KR20040068284A - 세정 시트 및 기판 처리 장치의 세정 방법 - Google Patents

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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 세정층; 및 실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름을 포함하되, 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 세정 시트에 관한 것이다.

Description

세정 시트 및 기판 처리 장치의 세정 방법{CLEANING SHEET AND PROCESS FOR CLEANING SUBSTRATE TREATMENT DEVICE}
기판 처리 장치는 물리적으로 서로 접촉하고 있는 다양한 운송 시스템과 기판을 운송한다. 이러한 과정 동안 기판 또는 운송 시스템에 이물질이 부착되어 있으면 후속 기판이 계속해서 오염되기 때문에 정기적인 간격을 두고 장치의 작동을 정지시켜 장치를 세정할 필요가 있다. 이로 인해, 가동 효율이 저하되거나 많은 노동력이 필요하게 되는 문제가 생겼다. 이들 문제점을 해결하기 위해, 점착성 물질이 고착된 기판을 운송하여 기판 처리 장치 내부에 부착된 이물질을 세정 제거하는 것을 포함하는 방법(일본 특허 공개 제 1998-154686 호) 및 판상 부재를 운송하여 기판 이면에 부착된 이물질을 제거하는 것을 포함하는 방법(일본 특허 공개 제1999-87458 호)이 제안되었다.
발명의 개시
점착성 물질이 고착된 기판을 운송하여 기판 처리 장치 내부에 부착된 이물질을 세정 제거하는 방법은 전술한 문제점을 극복하는데 효과적인 방법이다. 그러나, 이 방법에 따르면, 점착성 물질이 세정층으로서 사용되므로, 점착성 물질이 장치의 접촉 부위에 강하게 접착하여 접촉 부위로부터 박리될 수 없기 때문에 기판을 확실하게 운송할 수 없게 될 것이다. 특히 장치의 척 테이블(chuck table)이 진공 흡입 기구를 포함하는 경우에는 이 문제가 현저하다.
또한, 판상 부재를 운송하여 이물질을 제거하는 것을 포함하는 방법은 지장 없이 운송을 수행할 수는 있지만, 중요한 제거 능력이 불량하다는 점에서 불리하다.
또한, 이들 이물질의 제거에 사용하기 위한 세정 시트는 기판 처리 장치의 운송 부위 등을 오염시키지 않는 세정층으로 구성될 것이 요구된다. 세정층에 접합되는 세퍼레이터도 유사하게 고려할 필요가 있다. 즉, 통상적으로 세정 시트는 세퍼레이터를 세정층의 표면에 접합시켜 세정층의 표면을 보호하거나 세정층의 취급성을 개선시키도록 구성된다. 이러한 세퍼레이터로서는, 박리성의 관점에서 실리콘, 왁스 등으로 박리 처리된 폴리에스테르 필름 등이 종종 사용되고 있다.
그러나, 전술한 세퍼레이터가 사용 동안에 세정층으로부터 박리되는 경우, 실리콘 및 왁스와 같은 박리 처리제가 세정층으로 이동한다. 이물질을 제거하기위해 이러한 세정 시트를 기판 처리 장치 내로 운송하면, 전달된 상기 박리 처리제가 장치의 운송 부위 등에 부착되어 장치를 오염시키므로 불리하다.
따라서, 전술한 세퍼레이터 대신에 폴리올레핀계 수지로 제조된 세정층 표면 보호 필름을 사용하는 것이 지금까지 실시되어 왔다. 이러한 종류의 막 자체는 실리콘, 왁스 등으로 박리 처리되지 않더라도 충분한 박리성을 나타낼 수 있어 장치의 오염을 방지할 수 있다. 그러나, 세정 시트가 약 80℃의 온도를 갖는 장치에 사용되는 경우 또는 이와 유사한 경우, 폴리올레핀계 수지의 막 형성 동안에 첨가된 다양한 첨가제가 세정층으로 이동한 후 기화되거나 장치 내의 잔류 기체와 반응하기 때문에 장치 내부가 여전히 오염되는 문제가 생긴다.
제 1 및 제 2 발명은 기판 처리 장치를 통해 확실하게 운송되어 상기 장치에 부착된 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있는 세정 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 세정 기능을 갖는 운송 부재의 상기 제조 방법에 관해 언급하면, 세정 시트를 기판과 같은 운송 부재에 점착시켜 세정 부재를 제조하는 경우, 운송 부재의 형상보다 큰 크기를 갖는 세정 시트를 운송 부재에 접합시킨 후 운송 부재의 윤곽을 따라 절단하면(이하, "직접 절단 방법"이라 함), 시트 절단 동안에 세정층 등으로부터 부스러기가 생성되어 세정 부재 및 장치에 부착되므로 불리하다. 또한, 부재 형태로 미리 가공된 세정용 라벨 시트를 운송 부재에 접합시켜 세정 부재를 제조하는 경우에는(이하, "예비절단 방법"이라 함), 라벨 가공 동안의 부스러기 생성이 직접 절단 방법에 비해 억제될 수는 있지만, 세정층의 점착제가 라벨 절단 동안에 절단 부분으로부터 돌출되어 점착제가 라벨 단부에 부착될 수 있을 것이다. 또한, 점착제로서 중합 경화형 점착제를 사용하는 경우, 시트 절단 후에 경화가 수행되면 절단 단부의 점착제가 산소 억제로 인해 경화 불량이 되어 기판 처리 장치의 접촉 부위를 오염시킬 우려가 있다.
또한, 라벨 시트가 천공되는 경우, 세정 라벨은 통상의 점착제층을 사이에 두고 연속 길이의 세퍼레이터 형태로 연속적으로 제조된다. 그러나, 이 경우, 활성 에너지를 받으면 중합 및 경화되는 점착제가 세정 시트로서 사용되면 세정층이 경질화되고 수축되어 라벨 자체가 세퍼레이터로부터 쉽게 박리된다. 세퍼레이터와 점착제 사이의 박리 점착력이 작은 경우에는 세정 라벨이 세퍼레이터로부터 박리될 수 있다. 또한, 라벨을 보유하기 위한 세퍼레이터의 박리층이 불안정한 경우, 박리층의 박리 점착력이 저장 동안에 변화되거나 박리층의 구성성분이 점착제층의 표면으로 이동하여 라벨의 점착성을 저하시킬 수 있다. 최악의 경우에는 세정 부재의 사용 동안에 라벨이 운송 부재로부터 박리되어 장치에 고장이 생길 수 있다.
또한, 경화가 시트 천공 전에 수행되는 경우, 특히 실리콘 박리제가 세정층의 표면 보호를 위한 박리 필름으로서 사용되는 경우, 상기 실리콘 성분은 세정층의 표면으로 이동할 수 있다.
이러한 상황하에서, 제 3 발명은 예비절단 방법에서 세정 라벨을 세퍼레이터로부터 박리시키지 않고 기판 처리 장치를 통해 확실하게 운송되어 상기 장치에 부착된 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있고, 라벨의 노화 안정성 및 점착성이 우수한, 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 이러한 환경하에서, 제 4 발명은 기판 처리 장치를 통해 기판을 확실하게 운송하여 상기 장치의 내부에 부착된 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있고, 시트 천공 동안에 천공 불량을 초래하지도 않으며 예비절단 방법에서 점착제의 경화 불량을 초래하지도 않는, 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은 전술한 과제를 예의 연구하였다. 그 결과, 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름(이 때, 세정층을 갖는 시트 및 이러한 시트가 고착된 기판과 같은 운송 부재를 기판 처리 장치 내로 운송함으로써 상기 장치에 부착된 이물질을 세정 제거하는 경우, 상기 세퍼레이터가 상기 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양은 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하이고, 상기 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량은 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하이다)인 제 1 발명을 상기 세정층을 보호하기 위한 보호 필름으로서 사용하면, 세퍼레이터로 인한 장치의 오염 문제를 확실하게 방지하고, 전술한 문제점을 야기하지 않으면서 이물질을 간편하고도 확실하게 박리시킬 수 있음을 발견되었다. 이렇게 하여 본 발명이 완성되었다.
제 2 발명으로서, 세퍼레이터로서 적층된 폴리올레핀계 수지로 제조된 미처리된 보호 필름(이 때, 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 총량은 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만이다)을 세정층을 보호하기 위한 상기 보호 필름으로서 사용하면, 세퍼레이터로 인한 장치의 오염 문제를 확실하게 방지하고, 전술한 문제점을 야기하지 않으면서 이물질을 간편하고도 확실하게 박리시킬 수 있음이 발견되었다. 이렇게 하여 본 발명이 완성되었다.
제 4 발명으로서, 본 발명자들은 전술한 목적을 달성하기 위해 예의 연구하였다. 그 결과, 활성 에너지를 받으면 중합 및 경화되는 점착제로 제조된 세정층을 포함하는 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조하기 위한 예비절단 방법(이는 세정층의 점착제의 중합 경화 반응 전에 세정층의 제 1 박리 필름을 박리시키는 단계, 산소의 실질적인 영향이 없는 조건하에서 세정층을 중합 경화시키는 단계, 상기 세정층의 표면을 제 2 박리 필름으로 보호하는 단계, 및 이어서 라벨을 절단하는 단계를 포함한다)을 사용하면, 전술한 문제점을 야기하지 않으면서 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있는 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조할 수 있음이 발견되었다. 이렇게 하여 본 발명이 완성되었다.
즉, 본 발명의 제 1 요지는 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 것을 특징으로 하는, 세정층, 및 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 1), 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하인 양의 실리콘으로 코팅된 세퍼레이터가 세퍼레이터로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 세정층, 및 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 2),가 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하이고, 상기 세정층의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층이 제공된 것을 특징으로 하는,세정층, 및 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 3), 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하인 양의 실리콘으로 코팅된 세퍼레이터가 세퍼레이터로서 사용되고, 상기 세정층의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층이 제공된 것을 특징으로 하는, 세정층, 및 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 4), 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 것을 특징으로 하는, 지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층, 및 그 위에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 5), 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하인 양의 실리콘으로 코팅된 세퍼레이터가 세퍼레이터로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층, 및 그 위에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 6), 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 것을 특징으로 하는, 지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층, 상기 지지체의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층, 및 적어도 상기 세정층의 표면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 7), 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하인 양의 실리콘으로 코팅된 세퍼레이터가 세퍼레이터로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 지지체의 적어도한쪽 면에 제공된 세정층, 상기 지지체의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층, 및 적어도 상기 세정층의 표면에 세퍼레이터로서 적층된 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하는 세정 시트(청구항 8) 등에 관한 것이다.
본 발명의 제 2 요지는 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 폴리올레핀계 수지로 제조된 미처리된 보호 필름을 포함하고, 이 때 상기 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트(청구항 9), 세정층의 한쪽 면에 세퍼레이터로서 적층된 폴리올레핀계 수지로 제조된 미처리된 보호 필름을 포함하고, 이 때 상기 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만이며, 상기 세정층의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층이 제공된 세정 시트(청구항 10), 지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층 및 상기 세정층의 표면에 세퍼레이터로서 적층된 폴리올레핀계 수지로 제조된 미처리된 보호 필름을 포함하고, 이 때 상기 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트(청구항 11), 지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층, 상기 지지체의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층, 및 적어도 상기 세정층의 표면에 세퍼레이터로서 적층된 폴리올레핀계 수지로 제조된 미처리된 보호 필름을 포함하고, 이 때 상기 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트(청구항 12), 보호 필름이 열열화 억제제 및 윤활제를 함유하지 않는 청구항 9 내지 12에 따른 세정 시트(청구항 13)등에 관한 것이다.
본 발명의 제 3 요지는 통상의 점착제층으로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 180° 박리 점착력이 0.05N/50mm 이상인 것을 특징으로 하는, 지지체의 한쪽 면에 제공되고 표면이 박리 필름으로 보호된 세정층을 포함하며, 상기 지지체의 다른쪽 면은 통상의 점착제층을 사이에 두고 연속 길이의 세퍼레이터상에 서로로부터 이격되어 박리가능하게 연속적으로 제공되는, 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 16), 닛토덴코 가부시키가이샤(NITTO DENKO CORPORATION)에 의해 제조된 No. 31 B에 의해 측정시 85% 이상의 % 잔류 점착력을 갖는 세퍼레이터가 세퍼레이터로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 지지체의 한쪽 면에 제공되고 표면이 박리 필름으로 보호된 세정층을 포함하고, 상기 지지체의 다른쪽 면은 통상의 점착제층을 사이에 두고 연속 길이의 세퍼레이터상에 서로로부터 이격되어 박리가능하게 연속적으로 제공되는, 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 17), 세정층의 인장 탄성률(JIS K7127 시험법에 따름)이 10MPa 이상인, 청구항 16 또는 17에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 18), 감압(感壓) 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합 개시제를 함유하는 경화형 점착제로 제조된 세정층을 갖는 세정 시트를 포함하는, 청구항 16 또는 17에 따른 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 19), 청구항 19에 기재된 감압 점착제가 (메트)아크릴산 알킬에스테르를 주 단량체로서 포함하는 아크릴 중합체인, 청구항 16 또는 17에 따른 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 20), 청구항 19에 기재된 중합 개시제가 광중합 개시제이고, 세정층이 광경화형 점착제층인, 청구항 16 또는17에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트(청구항 21) 등에 관한 것이다.
본 발명의 제 4 요지는 수득된 라벨 시트의 세정층으로부터 전달된 크기 0.2㎛ 이상의 이물질의 양이 20개/in2이하인 것을 특징으로 하는, 활성 에너지를 받으면 중합 및 경화되는 점착제로 제조된 세정층을 지지체의 한쪽 면에 포함하고, 표면이 박리 필름으로 보호되며, 지지체의 다른쪽 면은 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는, 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 22), 세정층의 점착제의 중합 경화 반응 전에 세정층의 제 1 박리 필름을 박리시키는 단계, 산소의 실질적인 영향이 없는 조건하에서 세정층을 중합 경화시키는 단계, 세정층의 표면을 제 2 박리 필름으로 보호하는 단계, 및 이어서 시트를 라벨 형태로 천공하는 단계를 포함하는, 활성 에너지를 받으면 중합 및 경화되는 점착제로 제조된 세정층을 지지체의 한쪽 면에 포함하고, 표면이 박리 필름으로 보호되며, 지지체의 다른쪽 면은 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는, 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 23), 세정층의 점착제의 중합 경화 반응 전에 세정층의 표면을 보호하는 제 1 박리 필름이 실리콘계 박리제를 갖는 필름인, 청구항 23에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 24), 시트를 라벨 형태로 천공하는 동안의 세정층의 인장 탄성률(JIS K7127 시험법에 따름)이 10MPa 이상인, 청구항 22에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 25), 세정층이 감압 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합개시제를 함유하는 경화형 점착제인, 청구항 22에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 26), 감압 점착성 중합체가 (메트)아크릴산 및/또는 (메트)아크릴산 알킬에스테르를 주 단량체로서 포함하는 아크릴 중합체인, 청구항 26에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 27), 중합 개시제가 광중합 개시제이고, 세정층이 광경화형 점착제층인, 청구항 26에 기재된 바와 같은 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법(청구항 28) 등에 관한 것이다.
본 발명은 장치를 세정하기 위한 시트에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 반도체 또는 평판형 디스플레이 제조 장치 및 반도체 또는 평판형 디스플레이 검사 장치와 같은, 이물질에 의해 손상되기 쉬운 기판 처리 장치를 위한 세정 시트 및 세정 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 실시태양을 예시하는 평면도이다.
도 2는 도 1의 a-a 선을 따라 취한 단면도이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1: 세퍼레이터 A: 세정 라벨
2: 지지체 3: 세정층
4: 박리 필름 5: 통상의 점착제층
본 발명의 제 1 세정 시트는, 세정층의 표면을 보호하기 위한 보호 필름으로서, 실리콘계 박리제로 박리 처리된 세퍼레이터를 포함한다. 상기 세정층상에 적층되는 상기 세퍼레이터는 상기 세퍼레이터가 상기 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡, 특히 바람직하게는 0.003g/㎡인 요건을 충족시킬 필요가 있다. 다르게는, 상기 세퍼레이터는 상기 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하, 특히 바람직하게는 0.07g/㎡ 이하인 요건을 충족시킬 필요가 있다. 세정층에 부착된 실리콘의 양 또는 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량이 상기 예비결정된 값을 초과하는 경우, 세정층의 최외부 표면과 접촉하는 박리 처리제의 구성성분 또는 이 구성성분의 하나인 실리콘이 세정층의 표면으로 이동하여 세정층을 오염시킴으로써 기판 처리 장치의 접촉 부위가 이차적으로 오염되는 문제가 발생한다. 실리콘 양의 측정은 형광 X선 측정기를 사용하여 Si-Kα의 강도에 대해 30mmφ 측정 범위 내에서 시료의 표면을 측정하고, 이어서 측정값을 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산함으로써 수행될 수 있다. 환산식은 하기 수학식 1로 표시된다:
상기 식에서, y는 폴리디메틸실록산의 양(g/㎡)이고, x는 Si-Kα의 강도(Kcps)이다.
본 발명에서 사용되는 세퍼레이터는 세정층에 부착된 실리콘의 양 또는 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량이 전술한 예비결정 값보다 크지 않는 한, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 박리 처리제로서 사용되는 실리콘 수지는 용매형, 유화제형, 무용매형 등일 수 있다. 다르게는, 축합 반응 경화형, 부가 반응 경화형, 자외선 경화형 및 전자선 경화형 실리콘 수지와 같은 경화형 실리콘 수지가 사용될 수 있다. 실리콘 수지는 폴리디메틸실록산과 같은 주 성분 이외에 혼입되는, 경질 스트리핑 첨가제로서의 비작용성 실리콘 또는 중질 스트리핑 첨가제로서의 실리콘 수지와 같은 다양한 첨가제를 추가로 포함할 수 있다.
세퍼레이터로서 사용되는 재료는 특별히 한정되지 않고, 폴리비닐 클로라이드, 비닐 클로라이드 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리우레탄, 에틸렌 아세테이트-비닐 공중합체, 아이오노머 수지, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리스티렌, 폴리카보네이트 등으로 제조된 플라스틱 필름일 수 있다.
본 발명의 제 2 세정 시트는 세정층의 표면을 보호하기 위한 보호 필름으로서 폴리올레핀계 수지로 제조된 통상 25 내지 100㎛의 두께를 갖는 세퍼레이터를 포함한다. 폴리올레핀계 수지의 예로는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 에틸렌-에틸 아크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있다. 폴리에테르와 같은 종류의 필름은 실리콘 또는 왁스로 박리 처리되지 않더라도 낮은 임계 표면장력을 나타내며, 따라서 세정층의 표면에 대해 저하된 박리 점착력을 갖도록 예비결정될 수 있다. 또한, 연질 비닐 클로라이드로 제조된 필름은 필름에 혼입된 다량의 가소제가 세정층의 표면으로 이동하여 기판 처리 장치를 오염시키거나 또는 폴리비닐 클로라이드로부터 유리된 염화수소가 장치를 오염시킨다. 그러나, 폴리올레핀계 수지는 이러한 문제를 야기하지 않는다.
이러한 세정층 표면 보호 필름은, 통상적으로, 전술한 폴리올레핀계 수지에 다양한 첨가제를 첨가하고, 이어서 폴리올레핀계 수지를 압출기 및 캘린더와 같은 필름 형성 장치에 의해 필름 형태로 가공함으로써 제조된다. 본 발명은 전술한 첨가제가 열열화 억제제 및 윤활제를 함유하지 않거나, 존재하는 경우 두 첨가제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만과 같은 좁은 범위로 한정되는 것을 특징으로 한다.
열열화 억제제의 예로는 페놀성 열열화 억제제, 방향족 아민계 열열화 억제제, 유기 황계 열열화 억제제, 유기 인계 열열화 억제제 및 금속 화합물계 열열화 억제제를 들 수 있다. 열열화 억제제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀계 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 이상인 경우에는 이들 첨가제가 세정층의 표면으로 이동하여 기판 처리 장치의 오염을 확실하게 방지하기 어려워진다.
또한, 전술한 폴리올레핀계 수지로 제조된 보호 필름은 세정층 형성 점착제를 코팅하는 동안의 가열 및 건조 단계에 견뎌야 하므로, 필름 형성 물질인 폴리올레핀계 수지는 80℃ 이상의 열변형 온도를 나타내는 것이 바람직하다(0.45MPa의 하중에서 JIS K7207에 따름). 이러한 보호 필름은 박리 처리되지 않는다.
세정층은 그의 재료 등이 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 자외선 및 열과 같은 활성 에너지원에 의해 경화되어 저하된 점착성을 제공하는 3차원 망상구조화된 분자 구조를 갖는 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력이 0.20N/10mm 이하, 바람직하게는 약 0.010 내지 0.10N/10mm이다. 상기 점착력이 0.20N/10mm를 초과하는 경우, 운송 동안에세정층이 장치 내의 피세정 부위에 부착되어 운송이 곤란해질 우려가 있다.
또한, 본 발명에서는, 세정 시트를 라벨 형태로 절단한 후, 이를 세정 기능을 갖는 라벨 시트로서 사용할 수 있다. 이 경우, 절단 방법은 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 세정층의 점착제가 중합 및 경화되지 않은 경우, 세정층의 점착제층이 시트의 절단 단면으로부터 돌출되거나 또는 불균일한 깊이로 절단되어 절단 단면을 거칠게 함으로써 최악의 경우에는 절단 불량을 초래하는 점에서 상기 절단 방법은 불리하다. 또한, 중합 경화 반응이 시트의 절단 후에 수행되는 경우, 절단 단면상에 노출된 점착제가 산소 억제로 인해 중합되는 것이 방지되어 때때로 기판 처리 장치를 점착제로 오염시킨다. 따라서, 중합 경화 반응은 절단 전에 미리 수행되는 것이 바람직하다. 이러한 목적으로, 시트 절단에 따른 전술한 문제점의 발생을 방지하기 위해 세정층의 인장 탄성률은 10MPa 이상, 바람직하게는 10 내지 2,000MPa인 것이 바람직하다(JIS K7127에 따름). 인장 탄성률을 이러한 특정값 이상으로 예비결정함으로써, 세정층으로부터의 점착제 돌출 또는 라벨 절단 동안의 절단 불량이 방지될 수 있어 점착제에 의한 오염을 일으키지 않는 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조할 수 있게 된다. 인장 탄성률이 2,000MPa를 초과하는 경우, 운송 시트템으로부터 부착된 이물질을 제거하는 능력이 저하된다. 인장 탄성률이 상기 범위보다 작은 경우에는, 절단에 따른 전술한 문제점이 발생하거나 운송 동안에 장치 내의 피세정 부위에 점착되어 운송이 곤란해질 우려가 있다.
상기 세정층의 구체적인 예로서는, 감압 점착성 중합체에 혼입된, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 화합물을 포함하는 세정층이 바람직하다.
또한, 상기 감압 점착성 중합체의 예로는 아크릴산, 아크릴산 에스테르, 메타크릴산 및 메타크릴산 에스테르로 이루어진 군으로부터 선택된 (메트)아크릴산 및/또는 (메트)아크릴산 에스테르를 단량체로서 포함하는 아크릴 공중합체가 있다. 분자당 2개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 화합물을 공중합성 단량체로서 사용하여 상기 아크릴 중합체를 합성하거나, 또는 분자당 불포화 이중결합을 갖는 화합물을 작용기 사이의 반응에 의해 상기 합성된 아크릴 중합체에 화학적으로 결합시켜 아크릴 중합체 분자 내에 불포화 이중결합이 혼입되도록 함으로써, 중합체 자체도 역시 활성 에너지를 받으면 중합 경화 반응에 관여하도록 할 수 있다.
본원에서 사용되는, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 화합물(이하, "중합성 불포화 화합물"이라 함)은 10,000 이하의 중량 평균 분자량을 갖는 비휘발성 저분자 화합물인 것이 바람직하다. 상기 화합물이 5,000 이하의 분자량을 가져 경화 동안에 점착제층이 효과적으로 3차원 망상구조화되는 것이 바람직하다. 이러한 중합성 화합물의 예로는 페녹시 폴리에틸렌 글리콜, (메트)아크릴레이트, ε-카프로락톤 (메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜 디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜 디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사(메트)아크릴레이트, 우레탄 (메트)아크릴레이트, 에폭시 (메트)아크릴레이트, 올리고에스테르 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 중합성 화합물 중 1종 이상의 화합물이 사용된다.
또한, 점착제에 혼입되는 중합 개시제는 특별히 한정되지 않는다. 임의의 공지된 물질이 이러한 중합 개시제로서 사용될 수 있다. 예를 들어, 열을 활성 에너지원으로서 사용하는 경우, 벤조일 퍼옥사이드 및 아조비스이소부티로니트릴과 같은 열중합 개시제가 사용될 수 있다. 광을 사용하는 경우, 벤조일, 벤조인 에틸 에테르, 디벤질, 이소프로필 벤조인 에테르, 벤조페논, 미클러(Michler) 케톤 클로로티옥산톤, 도데실 티옥산톤, 디메틸 티옥산톤, 아세토페논 디에틸 케탈, 벤질 디메틸 케탈, α-하이드록시 사이클로헥실 페닐 케톤, 2-하이드록시메틸 페닐 프로판 및 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논과 같은 광중합 개시제가 사용될 수 있다.
세정층의 두께는 특별히 한정되지 않고 통상적으로 약 5 내지 100㎛이다.
본 발명은 또한 세정층의 다른쪽 면 또는 지지체의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층을 포함하는 세정 시트를 제공한다. 이 경우, 다른쪽 면의 점착제층은 접합 기능을 만족시키는 한, 그의 재료 등이 특별히 한정되지 않는다. 통상의 점착제(예를 들면, 아크릴계 점착제, 고무계 점착제)가 사용될 수 있다. 점착제층의 두께는 통상적으로 약 5 내지 100㎛이다. 본 발명에서, 기판과 같은 운송 부재를 이러한 점착제로부터 박리시켜 기판과 같은 운송 부재를 재사용하는 경우, 기판이 운송 동안에는 박리되지 않고 세정 후에는 용이하게 다시 박리될 수 있도록 이러한 통상의 점착제의 점착력은 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력에 의해 계산시 바람직하게는 약 0.21 내지 0.98N/10mm, 특히 약 0.40 내지 0.98N/10mm이다.
다른쪽 면의 점착제층에 사용되는 세퍼레이터는 특별히 한정되지 않는다. 세퍼레이터의 예로는 실리콘계 박리제, 장쇄 알킬계 박리제, 불소계 박리제, 지방산 아미드계 박리제, 실리카계 박리제 등으로 박리 처리된 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부텐, 폴리부타디엔 및 폴리메틸 펜텐과 같은 폴리올레핀, 폴리비닐 클로라이드, 비닐 클로라이드 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리우레탄, 에틸렌-비닐 아세테이트 공중합체, 아이오노머 수지, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리스티렌 및 폴리카보네이트로 제조된 플라스틱 필름을 들 수 있다. 세퍼레이터의 두께는 통상적으로 약 10 내지 100㎛이다.
세정층을 위한 지지체는 특별히 한정되지 않는다. 지지체의 예로는 폴리에틸렌, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 아세틸 셀룰로즈, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리카보디이미드, 나일론 필름 등으로 제조된 플라스틱 필름을 들 수 있다. 배면 필름의 두께는 통상적으로 약 10 내지 100㎛이다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 제 3 라벨 시트에서, 연속 길이의 세퍼레이터는 0.05N/50mm 이상, 바람직하게는 0.1N/50mm 이상, 특히 약 0.1 내지 0.5N/50mm 이상의 180° 박리 점착력을 가져 그 자체가 통상의 점착제층으로부터 박리될 것이 요구된다. 다르게는, 상기 세퍼레이터는 닛토덴코 가부시키가이샤에 의해 제조된 No. 31 B 테이프(상표명: 폴리에스테르 점착 테이프, 기판: 폴리에스테르, 점착제: 아크릴)에 의해 측정시 85% 이상, 바람직하게는 90% 이상, 특히 약 90 내지 110%의 % 잔류 점착력을 가질 것이 요구된다. 세퍼레이터의 박리 점착력 측정은 인장 시험기를 사용하여 통상의 상태(23℃, 50% RH)에서 180°의 각도 및 300mm/분의 속도로 세정 라벨로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 힘을 측정함으로써 수행된다(AS1635, FINAT-10, FS-147, PSTC-4에 규정되어 있음). 약간 상세히 설명하면,닛토덴코 가부시키가이샤에 의해 제조된 No. 31 B 폴리에스테르 점착 테이프를 JIS G 4305에 규정된 냉간압연 스테인레스강판(SUS304)에 접합시킨다. 이어서, 기준 점착력(F0)으로서 통상의 상태(23℃, 50% RH)에서 180°의 각도로 박리 점착력을 측정한다. 계속해서, 상기 폴리에스테르 점착 테이프를 19.6N(2kg) 롤러를 사용하여 상기 세퍼레이터에 접합시킨다. 이어서, 적층체를 49N(5kg)의 하중에서 가압한다. 24시간 후, 점착 테이프를 박리시킨다. 그 후, 이렇게 박리된 점착 테이프를 상기 스테인레스강판에 접합시킨다. 이어서, 상기와 동일한 방법으로 박리 점착력을 측정하여 잔류 점착력(F)을 결정한다. 이렇게 얻어진 기준 점착력(F0) 및 잔류 점착력(F)으로부터 하기 수학식 2를 사용하여 % 잔류 점착력을 결정한다:
상기 세퍼레이터의 180° 박리 점착력이 예비결정 값보다 작은 경우, 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 후 연속 길이의 세퍼레이터로부터 세정 라벨이 부분적으로 박리되어 점착제의 점착력 변화 또는 이물질에 의한 점착제 오염을 야기할 우려가 있다. 180° 박리 점착력이 0.5N/50mm를 초과하는 경우, 라벨이 세퍼레이터로부터 박리될 때 과도한 박리가 일어나서 작업성을 저하시킬 우려가 있다. 또한, % 잔류 점착력이 예비결정 값보다 작은 경우, 박리층 성분이 라벨 시트 저장 동안에 점착제로 전달되어 라벨의 점착성을 저하시키거나 세퍼레이터에 대한 라벨 시트의 박리 점착력을 불안정하게 하여 불리해질 우려가 있다. 이는 또한 상기 세정 라벨이 운송 부재에 접합될 때 이물질의 오염으로 인해 접합 불량이 발생하거나 또는 세정 라벨이 접합된 세정 기능을 갖는 운송 부재의 노화 안정성이 저하된다는 점에서도 불리하다.
본 발명에서, 연속 길이의 세퍼레이터는 그의 박리 점착력이 전술한 예비결정 값보다 작지 않는 한 재료가 특별히 한정되지 않고, 실리콘계 박리제, 장쇄 알킬계 박리제, 불소계 박리제, 지방산 아미드계 박리제, 실리카계 박리제 등으로 박리 처리된 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부텐, 폴리부타디엔 및 폴리메틸 펜텐과 같은 폴리올레핀, 폴리비닐 클로라이드, 비닐 클로라이드 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리우레탄, 에틸렌-비닐 아세테이트 공중합체, 아이오노머 수지, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리스티렌 및 폴리카보네이트로 제조된 플라스틱 필름일 수 있다.
전술한 세정층은 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력이 0.20N/10mm 이하, 바람직하게는 약 0.01 내지 0.1N/10mm이다(JIS Z0237에 따라 측정시). 이 점착력이 0.20N/10mm를 초과하는 경우, 운송 동안에 세정층이 장치 내의 피세정 부위와 접촉하여 운송이 곤란해질 우려가 있다. 세정층의 두께는 특별히 한정되지 않고, 통상적으로 약 5 내지 100㎛로 한정된다. 세정층의 보호에 사용되는 박리 필름은 특별히 한정되지 않고, 실리콘계 박리제, 장쇄 알킬계 박리제, 불소계 박리제, 지방산 아미드계 박리제, 실리카계 박리제 등으로 박리 처리된 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부텐, 폴리부타디엔 및 폴리메틸 펜텐과 같은 폴리올레핀, 폴리비닐 클로라이드, 비닐 클로라이드 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리우레탄, 에틸렌-비닐 아세테이트 공중합체, 아이오노머 수지, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리스티렌 및 폴리카보네이트로 제조된 플라스틱 필름일 수 있다.
본 발명에 따른 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조에서는, 지지체의 한쪽 면에 제공된 전술한 세정층 및 지지체의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층을 포함하는 세정 시트가 사용된다. 다른쪽 면의 점착제층은 연속 길이의 세퍼레이터가 상기 정의된 값 이상을 나타내는 한, 그 재료는 특별히 한정되지 않고 통상의 점착제(예를 들어, 아크릴계 점착제, 고무계 점착제)를 사용할 수 있다. 이러한 구성으로, 세정 라벨을 세퍼레이터로부터 박리시키고, 통상의 점착제층에 의해 다양한 기판과 같은 운송 부재에 접합시킨 후, 세정 기능을 갖는 운송 부재로서 장치를 통해 운송하여 피세정 부위와 접촉시켜 세정을 할 수 있다. 운송 부재의 재사용은 운송 부재가 점착제층으로부터 박리될 것을 요구하므로, 상기 점착제층의 점착력은 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력에 의해 계산시 0.01 내지 10.0N/10mm, 특히 약 0.05 내지 5.0N/10mm의 범위로 예비결정되어 운송 부재는 운송 동안에는 박리되지 않고 세정 후에는 점착제층으로부터 용이하게 다시 박리될 수 있다.
본 발명을 도면을 참조하여 더 설명하지만 본 발명이 이에 한정되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 예를 예시하는 평면도로서,다수의 세정 라벨(A)이 연속 길이의 세퍼레이터(1)상에 서로로부터 이격되어 연속적으로 제공되어 있다. 도 2(도 1의 a-a 선을 따라 자른 단면도)에 도시된 바와 같이, 이 라벨(A)은 지지체(2)의 한쪽 면에 제공된 세정층(3) 및 박리 필름(4)과 지지체(2)의 다른쪽 면에 제공된 통상의 점착제층(5)을 포함하고, 이 점착제층(5)을 사이에 두고 세퍼레이터(1)상에 박리가능하게 제공된다.
작동시, 세정 라벨을 세퍼레이터(1)로부터 박리시킨 후, 반도체 웨이퍼와 같은 운송 부재에 접합시킨다. 이어서, 박리 필름(4)을 세정층(3)으로부터 박리시킨다. 그 다음, 라벨 시트를 장치 내로 운송하여 피세정 부위를 세정할 수 있다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 제 4 라벨 시트의 제조 방법에서는, 상기와 같이 하여 얻어진 라벨 시트의 세정층으로부터 실리콘 웨이퍼로 전달되는 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 수가 20개/in2이하, 특히 10개/in2이하일 것이 요구된다. 이물질 전달량이 20개/in2를 초과하는 경우, 기판 처리 장치의 접촉 부위가 오염될 수 있는 문제가 발생한다.
본 발명에서 제 4 라벨 시트의 제조 방법은 이물질 전달량이 전술한 예비결정 값보다 크지 않는 한 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 특히 세정층의 점착제의 중합 경화 반응 전에 상기 세정층의 제 1 박리 필름을 박리시키고, 산소의 실질적인 영향이 없는 조건하에서 세정층을 중합 경화시키고, 상기 세정층의 표면을 제 2 박리 필름으로 보호하고, 이어서 시트를 라벨 형태로 천공하는 것을 포함하는 방법을 수행하는 것이 바람직하다. 세정 시트를 구성하는 점착제가 시트 천공 동안에 중합 및 경화되지 않으면, 세정층의 점착제층이 시트의 천공 단부로부터 돌출되거나 천공 단부에 부착되거나, 또는 점착제가 로핑(roping)되거나 불균일한 깊이로 천공되어 천공 단면을 거칠게 함으로써, 최악의 경우 천공 불량을 야기한다는 점에서 불리하다. 또한, 중합 경화 반응이 시트 천공 후에 수행되는 경우, 천공 단면에 대면하는 점착제는 산소 억제로 인해 중합이 억제되어 때때로 기판 처리 장치가 점착제에 의해 오염된다.
본 발명에서, 세정층의 인장 탄성률은 시트 천공에 따른 전술한 문제점이 발생하는 것을 방지하기 위해 10MPa 이상, 바람직하게는 10 내지 2,000MPa(JIS K7127에 따름)인 것이 바람직하다. 인장 탄성률을 상기 특정값 이상으로 예비결정함으로써, 세정층으로부터의 점착제 돌출 또는 시트 천공 동안의 천공 불량을 방지할 수 있고, 이로써 천공 방법에서 점착제에 의한 오염을 야기하지 않는 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조하는 것이 가능하다. 인장 탄성률이 10MPa보다 작은 경우, 시트 천공에 따른 전술한 문제점이 발생할 수 있거나 운송 동안에 장치 내의 피세정 부위에 점착제가 점착될 수 있어 운송이 곤란해질 우려가 있다. 한편, 인장 탄성률이 너무 큰 경우, 운송 시스템으로부터 부착 이물질을 제거하는 능력이 저하된다.
본 발명에서는, 세정층의 중합 경화 반응 전에 제 1 박리 필름으로부터 세정층을 제거한 후, 산소의 실질적인 영향이 없는 조건하에서 중합 및 경화시킬 것이 요구된다. 세정층을 제 1 박리 필름으로부터 제거하지 않고 중합 및 경화시키는 경우, 세정층의 최외부 표면과 접촉하고 있는 실리콘과 같은 박리제의 구성성분 또는 그의 일부가 세정층의 표면으로 이동하여 세정층으로 인한 오염이 야기된다. 또한, 산소의 실질적인 영향이 없는 조건하의 세정층의 중합 및 경화는, 예를 들어 진공 분위기(압력: 약 133Pa)에서 활성 에너지원을 조사함으로써 달성될 수 있다.
또한, 중합 및 경화된 세정층은 그의 표면을 제 2 박리 필름으로 보호한 후 시트 천공을 실시하여 라벨 형태를 만든다. 세정층의 표면을 보호하기 위한 제 1 및 제 2 박리 필름은 세정 시트의 제조 또는 사용 동안에 세정층으로부터 다시 박리될 수 있는 한 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 후술될 세퍼레이터와 같은 플라스틱 필름 또는 재박리가능한 점착 시트가 사용될 수 있다. 제 1 박리 필름과 제 2 박리 필름은 동일하거나 상이할 수 있다. 그러나, 본 발명의 제조 방법은 제 1 박리 필름이 식별번호 15에 기술된 바와 같은 실리콘계 박리제를 갖는 필름인 경우에 특히 효과적이다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법에 따르면, 지지체의 한쪽 면에 제공된 전술한 특정 점착제로 제조된 세정층을 포함하고 표면이 박리 필름으로 보호되며 지지체의 다른쪽 면이 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는 세정 시트는 세정층으로서의 경화형 점착제가 경화된 후에 세퍼레이터 이외의 부분에서 시트 천공이 실시되어 라벨 형태를 갖게 된다. 이 경우, 천공 방법 및 가공 형태는 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 세정 시트를 후술될 운송 부재의 형상에 따라 천공한 후, 불필요한 시트를 제거하여 라벨을 형성할 수 있다. 다르게는, 라벨 주위에 또는 시트의 단부에 라벨로부터 이격된 보강부로서 시트의 일부를 남기고 라벨부 및 보강부 이외의 부분으로부터 불필요한시트를 제거함으로써 라벨을 형성할 수 있다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법에 따르면, 지지체의 한쪽 면에 제공된 전술한 특정 세정층을 포함하고 지지체의 다른쪽 면이 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는 세정 시트가 사용된다. 다른쪽 면의 점착제층은 점착성을 만족시키는 한, 그 재료 등이 특별히 한정되지 않고 통상의 점착제(예를 들어, 아크릴계 점착제, 고무계 점착제)가 사용될 수 있다. 이러한 구성으로, 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 후술될 세퍼레이터로부터 박리시키고, 통상의 점착제층에 의해 다양한 기판과 같은 운송 부재에 접합시키고, 이어서 세정 기능을 갖는 운송 부재로서 장치를 통해 운송하여 피세정 부위와 접촉되게 함으로써 세정을 한다. 전술한 기판과 같은 운송 부재를 재사용하기 위해 세정 후에 점착제층으로부터 기판을 박리시키는 경우, 통상의 점착제층의 점착력은 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 통상의 점착제층의 점착력이 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력에 의해 계산시 0.01 내지 10N/10mm, 특히 약 0.1 내지 5N/10mm인 경우, 기판이 운송 동안에는 박리되지 않으나 세정 후에는 점착제층으로부터 용이하게 다시 박리될 수 있기 때문에 특히 유리하다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법에 따르면, 지지체의 한쪽 면에 제공된 전술한 특정 점착제로 제조된 세정층을 포함하고 표면이 박리 필름으로 보호되며 지지체의 다른쪽 면이 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는 세정 시트는 세정층으로서의 경화형 점착제가 경화된 후에 세퍼레이터 이외의 부분에서 시트 천공이 실시되어 라벨 형태를 갖게 된다. 이경우, 천공 방법 및 가공 형태는 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 세정 시트를 후술될 운송 부재의 형상에 따라 천공한 후, 불필요한 시트를 제거하여 라벨을 형성할 수 있다. 다르게는, 라벨 주위에 또는 시트의 단부에 라벨로부터 이격된 보강부로서 시트의 일부를 남기고 라벨부 및 보강부 이외의 부분으로부터 불필요한 시트를 제거함으로써 라벨을 형성할 수 있다.
본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법에 따르면, 지지체의 한쪽 면에 제공된 전술한 특정 세정층을 포함하고 지지체의 다른쪽 면이 통상의 점착제층을 사이에 두고 세퍼레이터상에 박리가능하게 제공되는 세정 시트가 사용된다. 다른쪽 면의 점착제층은 점착성을 만족시키는 한, 그 재료 등이 특별히 한정되지 않고 통상의 점착제(예를 들어, 아크릴계 점착제, 고무계 점착제)가 사용될 수 있다. 이러한 구성으로, 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 후술될 세퍼레이터로부터 박리시키고, 통상의 점착제층에 의해 다양한 기판과 같은 운송 부재에 접합시키고, 이어서 세정 기능을 갖는 운송 부재로서 장치를 통해 운송하여 피세정 부위와 접촉되게 함으로써 세정을 한다. 전술한 기판과 같은 운송 부재를 재사용하기 위해 세정 후에 점착제층으로부터 기판을 박리시키는 경우, 통상의 점착제층의 점착력은 특별히 한정되지 않는다. 그러나, 통상의 점착제층의 점착력이 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력에 의해 계산시 0.01 내지 10N/10mm, 특히 약 0.1 내지 5N/10mm인 경우, 기판이 운송 동안에는 박리되지 않으나 세정 후에는 점착제층으로부터 용이하게 다시 박리될 수 있기 때문에 특히 유리하다.
본 발명에서의 세퍼레이터는 세정 라벨이 세퍼레이터로부터 박리될 수 있는한 특별히 한정되지 않고, 실리콘계 박리제, 장쇄 알킬계 박리제, 불소계 박리제, 지방산 아미드계 박리제, 실리카계 박리제 등으로 박리 처리된 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부텐, 폴리부타디엔 및 폴리메틸 펜텐과 같은 폴리올레핀, 폴리비닐 클로라이드, 비닐 클로라이드 공중합체, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리우레탄, 에틸렌-비닐 아세테이트 공중합체, 아이오노머 수지, 에틸렌-(메트)아크릴산 공중합체, 에틸렌-(메트)아크릴산 에스테르 공중합체, 폴리스티렌 및 폴리카보네이트로 제조된 플라스틱 필름일 수 있다. 세퍼레이터의 두께는 특별히 한정되지 않고 통상적으로 약 10 내지 100㎛이다.
라벨(A)의 형상은 특별히 한정되지 않고, 라벨(A)이 접합될 기판과 같은 운송 부재의 형상에 따라 원형, 웨이퍼형, 플레임형, 척(chuck)부 등에 돌출부를 갖는 형상 등일 수 있다.
세정 시트 또는 세정 라벨이 접합될 운송 부재는 특별히 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼, LCD 및 PDP와 같은 평판형 디스플레이용 기판, 컴팩트 디스크 및 MR 헤드와 같은 기판 등일 수 있다.
본 발명을 하기 실시예로 설명하지만 본 발명이 이에 한정되지는 않는다. 하기에서 사용되는 "부"라는 용어는 "중량부"를 나타낸다.
실시예 1-1
2-에틸헥실 아크릴레이트 75부, 메틸 아크릴레이트 20부 및 아크릴산 5부로구성된 단량체 혼합물로부터 수득된 아크릴 중합체(중량 평균 분자량: 700,000) 100부를, 다작용성 우레탄 아크릴레이트(상표명: UV-1700B, 닛폰 신쎄틱 케미칼 인더스트리 캄파니 리미티드(Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.) 제조) 150부, 폴리이소시아네이트 화합물(상표명: 콜로네이트(Colonate), 닛폰 폴리우레탄 인더스트리 캄파니 리미티드(Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) 제조) 3부 및 광경화 개시제로서의 벤질 디메틸 케탈(상표명: 어가큐어(Irgacure) 651, 시바 스페셜티 케미칼스 캄파니 리미티드(Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 제조) 10부와 균일하게 혼합하여 자외선 경화형 점착제 용액을 제조하였다.
별도로, 상기 점착제가 벤질 디메틸 케탈을 함유하지 않는 것을 제외하고는 상기와 동일한 방법으로 수득된 점착제 용액을 폭 250mm 및 두께 25㎛의 폴리에스테르 지지체 필름의 한쪽 면에 건조 두께가 10㎛가 되도록 도포하여 그 위에 통상의 점착제층을 제공하였다. 이어서, 실리콘계 박리제로 박리 처리된 두께 38㎛의 폴리에스테르계 박리 필름을 통상의 점착제층의 표면에 접합시켰다. 계속해서, 전술한 자외선 경화형 점착제 용액을 건조 두께가 15㎛가 되도록 지지체 필름의 다른쪽 면에 도포하여 세정층으로서 점착제층을 제공하였다. 이어서, 세퍼레이터(A)로서 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 점착제층의 표면에 접합시켰다.
이어서, 상기 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사하였다.
이어서, 세정층을 위한 보호 필름인 세퍼레이터(A)를 세정 시트(A)로부터 박리시켰다. 그 후, 세정층 표면에 부착된 실리콘의 양을 측정하였다. 리가쿠 코포레이션(Rigaku Corporation)에 의해 제조된 형광 X선 측정기를 측정에 사용하였다. 세정층의 표면을 30mmφ의 면적에서 Si-Kα의 강도에 대해 측정하였다. 이어서, 측정값을 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 4.2kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.003g/㎡이다. 또한, 세퍼레이터(A)를 형광 X선 측정기에 의해 30mmφ의 영역에서 실리콘 코팅량에 대해 측정하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 104kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.064g/㎡이다.
자외선 경화 후 상기 세정 시트(A)의 점착제층의 인장 탄성률은 55MPa였다. 인장 탄성률은 JIS K7127 시험법에 따라 측정하였다.
또한, 세정층측의 점착제층을 10mm의 폭에 걸쳐 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시킨 후, JIS Z0237에 따라 세정층측의 통상의 점착제층의 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력을 측정하였다. 그 결과, 박리 점착력은 0.008N/10mm였다.
또한, 다른쪽 면 위의 통상의 점착제층의 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력을 상기와 동일한 방법으로 측정하였다. 그 결과, 박리 점착력은 0.85N/10mm였다.
상기 세정 시트(A)의 통상의 점착제층측의 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 세정 시트(A)를 8인치 실리콘 웨이퍼의 배면(거울면)에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼(A)를 제조하였다.
실시예 1-2
세정층의 보호 필름을 위한 세퍼레이터로서 실리콘계 박리제로 박리 처리된 세퍼레이터(B)를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1-1과 동일한 방법으로 세정 시트(B)를 제조하였다.
이어서, 세정층을 위한 보호 필름인 세퍼레이터(B)를 세정 시트(B)로부터 박리시켰다. 그 후, 세정층 표면에 부착된 실리콘의 양을 측정하였다. 상기 양의 측정을 위해, 실시예 1-1과 동일한 방법으로 Si-Kα의 강도를 측정하였다. 이어서, 측정값을 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 0.6kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.001g/㎡ 미만이다. 또한, 세퍼레이터(B)를 상기와 동일한 방법으로 실리콘 코팅량에 대해 측정하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 69kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.042g/㎡이다.
또한, 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼(B)를 실시예 1-1과 동일한 방법으로 제조하였다.
비교예 1-1
세정층의 보호 필름을 위한 세퍼레이터로서 실리콘계 박리제로 박리 처리된 세퍼레이터(C)를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1-1과 동일한 방법으로 세정 시트(C)를 제조하였다.
이어서, 세정층을 위한 보호 필름인 세퍼레이터(C)를 세정 시트(C)로부터 박리시켰다. 그 후, 세정층 표면에 부착된 실리콘의 양을 측정하였다. 상기 양의 측정을 위해, 실시예 1-1과 동일한 방법으로 Si-Kα의 강도를 측정하였다. 이어서, 측정값을 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 9.8kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.006g/㎡ 미만이다. 또한, 세퍼레이터(C)를 상기와 동일한 방법으로 실리콘 코팅량에 대해 측정하였다. 그 결과, Si-Kα의 강도는 214kcps였는데, 이는 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.13g/㎡이다.
또한, 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼(C)를 실시예 1-1과 동일한 방법으로 제조하였다.
이어서, 전술한 실시예 1-1 및 1-2와 비교예 1-1의 세정 시트(A) 내지 (C)에 대해, 하기 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 웨이퍼(A) 내지 (C)를 운송함으로써 반도체 웨이퍼에 대한 오염 시험 및 기판 처리 장치에서의 이물질 제거 시험을 실시하였다. 그 결과를 표 1에 기재하였다.
<웨이퍼 오염의 평가>
세퍼레이터(보호 필름)를 박리시키면서 세정 시트의 세정층을 핸드 롤러에 의해 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면 전체에 접합시켰다. 그 후, 세정 시트를 웨이퍼로부터 박리시켰다. 거울면에 부착된 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 레이저 표면 검사 장치에 의해 계수하였다.
<이물질 제거 시험>
레이저 표면 검사 장치를 사용하여 3장의 신품 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면상에서 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 측정하였다. 그 결과는 각각 4, 5 및 2개였다. 이어서, 이들 웨이퍼를 정전 흡착 기구를 갖는 개별적인 기판 처리 장치에 거울면을 아래쪽으로 하여 운송하였다. 이어서, 이들 웨이퍼의 거울면을 레이저 표면 검사 장치에 의해 측정하였다. 그 결과는 8인치 웨이퍼 크기의 영역에서 각각 33,643, 35,773 및 31,032개였다.
계속해서, 이렇게 수득된 운송용 세정 웨이퍼(A) 내지 (C)로부터 세정층측의 보호 필름을 박리시켰다. 이어서, 이물질이 부착된 웨이퍼 단(stage)을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 이들 웨이퍼를 운송하였다. 그 결과, 이들 웨이퍼는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다.
상기 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 세정층을 위한 세퍼레이터(보호 필름)로서 실리콘계 박리제로 박리 처리된 보호 필름을 포함하고, 상기 세퍼레이터가 상기 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하이거나 또는 상기 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하인 실시예 1-1 및 1-2의 세정 시트는 실리콘계 박리제의 구성성분 또는 그의 일부가 세정층의 표면으로 이동하는 것을 방지할 수 있었다. 그 결과, 이들 세정 웨이퍼를 사용하면 기판 처리 장치의 오염을 현저하게 배제하여 높은 이물질 제거능을 제공할 수 있게 됨이 밝혀졌다. 이와 반대로, 본 발명의 범주 밖에 있는 비교예 1-1의 세정 시트는 실리콘 웨이퍼에 다량의 실리콘을 부착되었고, 그 결과 이들 세정 웨이퍼를 사용하면 장치의 역오염이 야기됨으로써 이물질 제거능이 저하되어 사용이 불가능하게 됨이 밝혀졌다.
실시예 2-1
아사히 케미칼 인더스트리 캄파니 리미티드(ASAHI CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.)에 의해 제조된 저밀도 폴리에틸렌 수지 100부를 200℃의 압출 온도 및 4m/분의 테이크오프(take-off) 속도로 평평한 필름 제조기[SHI 모던 머쉬너리 리미티드(SHI Modern Machinery, Ltd.)]를 통해 열열화 억제제 및 윤활제 없이 압출하였다. 이렇게 하여 100㎛의 두께를 갖는 세정층 표면 보호 필름(A)을 수득하였다.
2-에틸헥실 아크릴레이트 75부, 메틸 아크릴레이트 20부 및 아크릴산 5부로 구성된 단량체 혼합물로부터 수득된 아크릴 중합체(중량 평균 분자량: 700,000) 100부를, 폴리에틸렌 글리콜 200 디메타크릴레이트(상표명: Nk 에스테르 4G, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤(Shinnakamura Kagaku K.K.) 제조) 50부, 우레탄 아크릴레이트(상표명: U-N-01, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤 제조) 50부, 폴리이소시아네이트 화합물(상표명: 콜로네이트 L, 닛폰 폴리우레탄 인더스트리 캄파니리미티드 제조) 3부 및 광경화 개시제로서의 벤질 디메틸 케탈(상표명: 어가큐어 651, 시바 스페셜티 케미칼스 캄파니 리미티드 제조) 3부와 균일하게 혼합하여 자외선 경화형 점착제 용액을 제조하였다. 별도로, 상기 점착제가 벤질 디메틸 케탈을 함유하지 않는 것을 제외하고는 상기와 동일한 방법으로 수득된 점착제 용액을 폭 250mm 및 두께 25㎛의 폴리에스테르 지지체 필름의 한쪽 면에 건조 두께가 10㎛가 되도록 도포하여 그 위에 통상의 점착제층을 제공하였다. 이어서, 두께 38㎛의 폴리에스테르계 박리 필름을 통상의 점착제층 표면에 접합시켰다. 계속해서, 전술한 자외선 경화형 점착제 용액을 건조 두께가 40㎛가 되도록 지지체 필름의 다른쪽 면에 도포하여 세정층으로서 점착제층을 제공하였다. 이어서, 점착제층의 표면에 상기 제조된 보호 필름(A)을 접합시켰다.
이어서, 상기 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 2,000mJ/㎠로 조사하여 본 발명의 세정 시트(A)를 수득하였다. 자외선 경화 후 이 세정 시트(A)의 세정층의 점착제층의 인장 탄성률은 55MPa였다.
인장 탄성률은 JIS K7127 시험법에 따라 측정하였다.
또한, 세정층측의 점착제층을 10mm의 폭에 걸쳐 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시킨 후, JIS Z0237에 따라 세정층측의 통상의 점착제층의 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력을 측정하였다. 그 결과, 박리 점착력은 0.029N/10mm였다.
또한, 다른쪽 면 위의 통상의 점착제층의 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 180° 박리 점착력을 상기와 동일한 방법으로 측정하였다. 그 결과, 박리 점착력은0.10N/10mm였다.
상기 세정 시트(A)의 통상의 점착제층측의 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 세정 시트(A)를 8인치 실리콘 웨이퍼의 배면(거울면)에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼(A)를 제조하였다.
실시예 2-2
아사히 케미칼 인더스트리 캄파니 리미티드에 의해 제조된 저밀도 폴리에틸렌 수지 100부에 지방산 에스테르계 윤활제 0.009부를 첨가하였다. 이어서, 혼합물에 대해 실시예 2-1과 동일한 방법으로 필름 형성을 실시하여 세정층 보호 필름(B)을 수득하였다. 세정층을 위한 세퍼레이터로서 세정층 표면 보호 필름(B)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 2-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 시트(B) 및 운송용 세정 웨이퍼(B)를 제조하였다.
비교예 2-1
아사히 케미칼 인더스트리 캄파니 리미티드에 의해 제조된 저밀도 폴리에틸렌 수지 100부에 페놀성 열열화 억제제 0.01부 및 지방산 에스테르계 윤활제 0.01부를 첨가하였다. 이어서, 혼합물에 대해 실시예 2-1과 동일한 방법으로 필름 형성을 실시하여 세정층 보호 필름(C)을 수득하였다. 세정층을 위한 세퍼레이터로서 세정층 표면 보호 필름(C)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 2-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 시트(C) 및 운송용 세정 웨이퍼(C)를 제조하였다.
비교예 2-2
아사히 케미칼 인더스트리 캄파니 리미티드에 의해 제조된 저밀도 폴리에틸렌 수지 100부에 페놀성 열열화 억제제 0.1부 및 지방산 에스테르계 윤활제 0.1부를 첨가하였다. 이어서, 혼합물에 대해 실시예 2-1과 동일한 방법으로 필름 형성을 실시하여 세정층 보호 필름(D)을 수득하였다. 세정층을 위한 세퍼레이터로서 세정층 표면 보호 필름(D)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 2-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 시트(D) 및 운송용 세정 웨이퍼(D)를 제조하였다.
비교예 2-3
두께 50㎛의 실리콘 처리된 폴리에스테르 필름을 세정층 보호 필름(E)으로서 사용하였다. 세정층을 위한 세퍼레이터로서 세정층 표면 보호 필름(E)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 2-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 시트(E) 및 운송용 세정 웨이퍼(E)를 제조하였다.
이어서, 상기 실시예 2-1 및 2-2와 비교예 2-1 내지 2-3의 세정 시트(A) 내지 (E)를, 세정층으로부터 세퍼레이터(세정층 표면 보호 필름)를 박리시키는데 필요한 박리 점착력에 대해 시험하였다. 또한, 이들 세정 시트(A) 내지 (E)에 대해, 하기 방법으로 세정 기능을 갖는 세정 웨이퍼(A) 내지 (E)를 운송함으로써 반도체 웨이퍼에 대한 오염 시험 및 기판 처리 장치에서의 이물질 제거 시험을 실시하였다. 그 결과를 표 2에 기재하였다.
<웨이퍼 오염의 평가>
세퍼레이터(보호 필름)를 박리시키면서 세정 시트의 세정층을 핸드 롤러에 의해 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면 전체에 접합시켰다. 그 후, 세정 시트를 웨이퍼로부터 박리시켰다. 거울면에 부착된 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 레이저 표면검사 장치에 의해 계수하였다.
<이물질 제거 시험>
레이저 표면 검사 장치를 사용하여 3장의 신품 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면상에서 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 측정하였다. 그 결과는 각각 10, 8, 3, 5 및 11개였다. 이어서, 이들 웨이퍼를 정전 흡착 기구를 갖는 개별적인 기판 처리 장치에 거울면을 아래쪽으로 하여 운송하였다. 이어서, 이들 웨이퍼의 거울면을 레이저 표면 검사 장치에 의해 측정하였다. 그 결과는 8인치 웨이퍼 크기의 영역에서 각각 33,156, 38,945, 32,144, 37,998 및 31,327개였다.
계속해서, 이렇게 수득된 운송용 세정 웨이퍼(A) 내지 (E)로부터 세정층측의 보호 필름을 박리시켰다. 이어서, 이물질이 부착된 웨이퍼 단을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 이들 웨이퍼를 운송하였다. 그 결과, 이들 웨이퍼는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다.
상기 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리에틸렌계 수지 100부를 기준으로 0.01부 미만인 세정층 보호 필름을 세정층의 세퍼레이터(보호 필름)로서 포함하는 실시예 2-1 및 2-2의 세정 시트는 세정층의 표면에 대해 0.5N/50mm 폭으로 작은 박리 점착력을 나타내었고 세정층 조성물의 부분 낙하와 같은 결함 없이 세정층으로부터 용이하게 박리될 수 있었다. 또한, 실리콘 웨이퍼에 부착된 이물질의 수가 적기 때문에, 이들 세정 웨이퍼를 사용하면 기판 처리 장치의 오염을 현저하게 배제하여 높은 이물질 제거능을 제공할 수 있게 됨이 밝혀졌다. 이와 반대로, 전술한 2가지 성분의 총량이 본 발명의 범주 밖에 있는 비교예 2-1 및 2-2의 세정 시트와 종래의 실리콘 처리된 폴리에스테르 필름을 포함하는 비교예 2-3의 세정 시트는 실리콘 웨이퍼에 다량의 실리콘이 부착되었고, 그 결과 이들 세정 웨이퍼를 사용하면 장치의 역오염이 야기됨으로써 이물질 제거능이 저하되어 사용이 불가능하게 됨이 밝혀졌다.
실시예 3-1
2-에틸헥실 아크릴레이트 75부, 메틸 아크릴레이트 20부 및 아크릴산 5부로 구성된 단량체 혼합물로부터 수득된 아크릴 중합체(중량 평균 분자량: 700,000) 100부를, 폴리에틸렌 글리콜 200 디메타크릴레이트(상표명: Nk 에스테르 4G, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤 제조) 50부, 우레탄 아크릴레이트(상표명: U-N-01, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤 제조) 50부, 폴리이소시아네이트 화합물(상표명: 콜로네이트 L, 닛폰 폴리우레탄 인더스트리 캄파니 리미티드 제조) 3부 및 광경화 개시제로서의 벤질 디메틸 케탈(상표명: 어가큐어 651, 시바 스페셜티 케미칼스 캄파니 리미티드 제조) 3부와 균일하게 혼합하여 자외선 경화형 점착제 용액(A)을 제조하였다.
별도로, 온도계, 교반기, 질소 흡입관 및 응축기가 장착된 500ml의 3목 플라스크형 반응 용기에 2-에틸헥실 아크릴레이트 3부, n-부틸 아크릴레이트 10부, N,N-디메틸아크릴아미드 15부, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 0.15부 및 중합 개시제로서의 에틸 아세테이트 100부를 충전하여 200g이 되도록 하였다. 이어서, 약 1시간 동안 반응 혼합물에 질소 기체를 도입하여 공기를 질소로 대체하면서 반응 혼합물을 교반하였다. 그 후, 반응 용기의 내부 온도를 58℃로 상승시킨 후, 이 온도에서 반응 혼합물을 약 4시간 동안 유지시켜 중합시켰다. 그 결과, 점착성 중합체 용액이 수득되었다. 이어서, 점착성 중합체 용액 100부를 폴리이소시아네이트 화합물(상표명: 콜로네이트 L, 닛폰 폴리우레탄 인더스트리 캄파니 리미티드 제조) 3부와 균일하게 혼합하여 점착제 용액(A)을 수득하였다.
한쪽 면이 실리콘계 박리제로 처리된 연속 길이의 폴리에스테르 필름(두께: 38㎛, 폭: 250mm)으로 제조된 세퍼레이터(A)의 박리 처리된 표면에 건조 두께가 15㎛가 되도록 상기 점착제 용액(A)을 도포하였다. 이어서, 점착제층상에 연속 길이의 폴리에스테르 필름(두께: 25㎛, 폭: 250mm)을 적층하였다. 이어서, 자외선 경화형 점착제 용액(A)을 건조 두께가 40㎛가 되도록 상기 필름에 도포하여 세정층으로서 점착제층을 제공하였다. 이어서, 상기한 바와 동일한 박리 필름의 박리 처리된 표면을 점착제층의 표면에 접합시켜 시트를 수득하였다.
이어서, 상기 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로조사하여 자외선 경화된 세정층을 갖는 세정 시트(A)를 수득하였다.
이어서, 상기 세정 시트(A)의 점착제층측의 세퍼레이터 이외의 적층 물질인 점착성 필름을 직경 200mm의 원형으로 천공하였다. 그 후, 불필요한 점착성 필름을 연속적으로 박리 제거하여 도 1에 도시된 바와 같은 본 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트(A)를 제조하였다. 이 세정 기능을 갖는 라벨 시트(A)의 천공은 점착제 로핑 또는 부스러기 발생의 문제 없이 수행되었다. 제조 후, 세정 기능을 갖는 라벨 시트(A)를 관찰하였다. 그 결과, 세정 라벨이 세퍼레이터로부터 박리되지 않고 세퍼레이터상에 보유되었다. 또한, 통상의 점착제가 라벨 단부로부터 돌출되지도 않고 라벨이 점착제에 의해 오염되지도 않음이 관찰되었다. 또한, 라벨 시트(A)를 1개월간 저장하였다. 그러나, 라벨이 세퍼레이터로부터 박리되지 않았고, 이는 세정 시트(A)가 높은 노화 안정성을 나타냄을 입증해준다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(A)를 세정 라벨로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 180° 박리 점착력에 대해 측정하였다. 그 박리 점착력은 0.1N/50mm였다. 세퍼레이터의 박리 점착력 측정은 인장 시험기를 사용하여 통상의 상태(23℃, 50% RH)에서 180°의 각도 및 300mm/분의 속도로 세정 라벨로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 힘을 측정함으로써 수행하였다(AS1635, FINAT-10, FS-147, PSTC-4에 규정되어 있음).
또한, 닛토덴코 가부시키가이샤에 의해 제조된 No. 31 B 테이프(폴리에스테르 점착 테이프)를 사용하여 % 잔류 점착력을 측정하였다. 약간 상세히 설명하면, No. 31 B 테이프를 JIS G 4305에 규정된 스테인레스강판(SUS304)에 점착시켰다.이어서, 박리 점착력(기준 점착력)을 측정하였다. 기준 점착력은 5.2N/20mm였다. 계속해서, 19.6N(2kg) 롤러를 사용하여 No. 31 B 테이프의 점착성 표면에 세퍼레이터(A)를 접합시켰다. 이어서, 적층체를 49N(5kg)의 하중에서 가압하였다. 24시간 후, 점착 테이프를 박리시켰다. 이어서, 이렇게 박리된 점착 테이프를 상기 스테인레스강판에 접합시켰다. 이어서, 상기와 동일한 방법으로 박리 점착력을 측정하여 잔류 점착력을 측정하였다. 잔류 점착력은 5.4N/20mm이고, % 잔류 점착력은 104%였다.
상기 자외선 경화형 점착제(A)를 인장 탄성률에 대해 측정하였다(JIS K7127 시험법). 그 결과, 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사한 후 인장 탄성률은 49MPa였다.
실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 상기 통상의 점착제층의 180° 박리 점착력은 0.25N/10mm였다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(A)를 라벨 접합기(NEL-GR3000, 닛토 세이키 인코포레이션(NITTO SEIKI INC.) 제조)를 사용하여 8인치 실리콘 웨이퍼에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송 부재(A)를 제조하였다. 이 때, 세정 라벨을 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시켰다. 이 조작을 25장의 시트에 대해 연속적으로 수행하였다. 그 결과, 시트는 지장 없이 웨이퍼에 접합되었다. 이렇게 하여, 세정 기능을 갖는 운송용 운송 부재(A)를 제조하였다.
별도로, 레이저 표면 검사 장치를 사용하여 4장의 신품 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면상에서 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 측정하였다. 제 1 시트는 5개의 이물질을 나타내고, 제 2 시트는 3개의 이물질을 나타내고, 제 3 시트는 5개의 이물질을 나타내었다. 이어서, 이들 웨이퍼를 정전 흡착 기구를 갖는 개별적인 기판 처리 장치 내에 거울면을 아래쪽으로 하여 운송하였다. 이어서, 이들 웨이퍼의 거울면을 레이저 표면 검사 장치에 의해 크기 0.2㎛ 이상의 이물질에 대해 측정하였다. 제 1, 제 2 및 제 3 시트는 8인치 웨이퍼 크기의 영역에서 각각 29,845, 32,194 및 30,036개의 이물질을 나타내었다.
계속해서, 이렇게 수득된 세정 기능을 갖는 운송용 운송 부재(A)로부터 세정층측의 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 29,845개의 이물질이 부착된 웨이퍼 단을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 운송 부재(A)를 운송하였다. 그 결과, 이 운송 부재는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다. 그 결과를 표 3에 기재하였다.
실시예 3-2
세정 기능을 갖는 라벨 시트를 위한 연속 길이의 세퍼레이터로서 저밀도 폴리에틸렌으로 제조된 폴리올레핀 필름(B)(두께: 70㎛, 폭: 250mm)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 3-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 라벨 시트(B)를 제조하였다. 이 세정 기능을 갖는 라벨 시트(B)의 천공은 점착제 로핑 또는 부스러기 발생의 문제 없이 수행되었다. 제조 후, 세정 기능을 갖는 라벨 시트(B)를 관찰하였다. 그 결과, 세정 라벨이 세퍼레이터로부터 박리되지 않고 세퍼레이터상에 보유되었다. 또한, 통상의 점착제가 라벨 단부로부터 돌출되지도 않고 라벨이 점착제에 의해 오염되지도 않음이 관찰되었다. 또한, 라벨 시트(B)를 1개월간 저장하였다. 그러나, 라벨이 세퍼레이터로부터 박리되지 않았고, 이는 세정 시트(B)가 높은 노화 안정성을 나타냄을 입증해준다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(B)를 세정 라벨로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 180° 박리 점착력에 대해 측정하였다. 그 박리 점착력은 0.15N/50mm였다.
또한, 세퍼레이터(B)를 No. 31 B 테이프에 의해 잔류 점착력에 대해 측정하였다. 잔류 점착력은 4.7N/20mm이고, % 잔류 점착력은 90%였다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(B)를 라벨 접합기(NEL-GR3000, 닛토 세이키 인코포레이션 제조)를 사용하여 8인치 실리콘 웨이퍼에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송 부재(B)를 제조하였다. 이 때, 세정 라벨을 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시켰다. 이 조작을 25장의 시트에 대해 연속적으로 수행하였다. 그 결과, 시트는 지장 없이 웨이퍼에 접합되었다. 이렇게 하여, 세정 기능을 갖는 운송용 운송 부재(B)를 제조하였다.
계속해서, 이전에 수득된 세정 기능을 갖는 운송용 운송 부재(A)로부터 세정층측의 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 32,194개의 이물질이 부착된 웨이퍼 단을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 운송 부재(A)를 운송하였다. 그 결과, 이 운송 부재는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다. 그 결과를 표 3에 기재하였다.
비교예 3-1
세정 기능을 갖는 라벨 시트를 위한 연속 길이의 세퍼레이터로서 폴리에스테르 필름(C)(두께: 38㎛, 폭: 250mm)을 사용한 것을 제외하고는 실시예 3-1과 동일한 방법으로 세정 기능을 갖는 라벨 시트(C)를 제조하였다. 이 세정 기능을 갖는 라벨 시트(C)의 천공은 점착제 로핑 또는 부스러기 발생의 문제 없이 수행되었다.
그러나, 세정 기능을 갖는 라벨 시트(C)를 제조 후 관찰하였을 때, 거의 모든 세정 라벨이 세퍼레이터로부터 박리된 것으로 관찰되었고, 이는 라벨 시트가 제조되지 않았음을 나타낸다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(C)를 세정 라벨로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 180° 박리 점착력에 대해 측정하였다. 그 결과, 측정하는 라벨들간의 박리 점착력 분산이 컸다. 180° 박리 점착력은 최대 0.03N/50mm였다.
또한, 세퍼레이터(C)를 No. 31 B 테이프에 의해 잔류 점착력에 대해 측정하였다. 잔류 점착력은 4.0N/20mm이고, % 잔류 점착력은 77%였다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트(C)를 라벨 접합기(NEL-GR3000, 닛토 세이키 인코포레이션 제조)를 사용하여 8인치 실리콘 웨이퍼에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송 부재(C)를 제조하였다. 이 때, 세정 라벨을 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시켰다. 이 조작을 25장의 시트에 대해 연속적으로 수행하였다. 그 결과, 세정 라벨이 접합기에 의해 세퍼레이터로부터 완전히 박리되어 웨이퍼에 대한 접합 불량을 자주 일으켰다. 웨이퍼에 접합될 수 있었던 세정 기능을 갖는 운송 부재(C)도 접합 동안 기포(부유물)가 혼합되어 단일의 양호한 제품을 수득할 수 없게 되었다. 따라서, 세정 기능을 갖는 운송 부재(C)에 의한 기판 처리 장치 내부의 세정을 중지하였다.
실시예 4-1
2-에틸헥실 아크릴레이트 75부, 메틸 아크릴레이트 20부 및 아크릴산 5부로 구성된 단량체 혼합물로부터 수득된 아크릴 중합체(중량 평균 분자량: 700,000) 100부를, 폴리에틸렌 글리콜 200 디메타크릴레이트(상표명: Nk 에스테르 4G, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤 제조) 50부, 우레탄 아크릴레이트(상표명: U-N-01, 신나카무라 가가쿠 가부시키가이샤 제조) 50부, 폴리이소시아네이트 화합물(상표명: 콜로네이트 L, 닛폰 폴리우레탄 인더스트리 캄파니 리미티드 제조) 3부 및 광경화 개시제로서의 벤질 디메틸 케탈(상표명: 어가큐어 651, 시바 스페셜티 케미칼스 캄파니 리미티드 제조) 3부와 균일하게 혼합하여 자외선 경화형 점착제 용액을 제조하였다.
별도로, 상기 점착제가 벤질 디메틸 케탈을 함유하지 않는 것을 제외하고는상기와 동일한 방법으로 통상의 점착제 용액을 수득하였다.
한쪽 면이 실리콘계 박리제로 처리된 연속 길이의 폴리에스테르 필름(두께: 38㎛, 폭: 250mm)으로 제조된 세퍼레이터의 박리 처리된 표면에 건조 두께가 10㎛가 되도록 상기 점착제 용액을 도포하였다. 이어서, 점착제층상에 연속 길이의 폴리에스테르 필름(두께: 25㎛, 폭: 250mm)을 적층하였다. 이어서, 자외선 경화형 점착제 용액을 건조 두께가 40㎛가 되도록 상기 필름에 도포하여 세정층으로서 점착제층을 제공하였다. 이어서, 건조 후, 한쪽 면이 실리콘계 박리제로 처리된 연속 길이의 폴리에스테르 필름(두께: 38㎛, 폭: 250mm)으로 제조된 제 1 박리 필름의 박리 처리된 표면을 점착제층의 표면에 접합시켜 시트를 수득하였다.
상기 시트의 세정층상의 제 1 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 진공 분위기(133Pa)에서 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사하였다. 이어서, 세정층의 표면에 제 2 박리 필름으로서 두께 50㎛의 폴리올레핀 필름(미처리됨)을 접합시켜 자외선 경화된 세정층을 갖는 세정 시트를 수득하였다.
이어서, 상기 세정 시트의 세퍼레이터 이외의 적층 물질인 점착성 필름을 직경 200mm의 원형으로 천공하였다. 그 후, 불필요한 점착성 필름을 연속적으로 박리 제거하여 도 1에 도시된 바와 같은 본 발명의 세정용 라벨 시트를 제조하였다. 이 세정 시트의 천공은 점착제 로핑 또는 부스러기 발생의 문제 없이 수행되었다. 제조 후, 라벨 시트를 관찰하였다. 그 결과, 통상의 점착제가 라벨의 단부로부터 돌출되지도 않고 라벨이 점착제에 의해 오염되지도 않음이 관찰되었다.
또한, 경화 후, 즉 시트 천공 동안의 상기 세정 시트의 세정층의 인장 탄성률은 49MPa였다. 본원에서 인장 탄성률은 JIS K7127 시험법에 따라 측정하였다.
또한, 상기 세정용 라벨 시트의 세정층상의 제 2 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 세정층이 웨이퍼와 접촉하게 되는 배열로 세정용 라벨 시트를 8인치 실리콘 웨이퍼에 접합시켰다. 이어서, 라벨 시트를 웨이퍼로부터 박리시켰다. 8인치 실리콘 웨이퍼의 표면을 레이저식 이물질 측정 기구에 의해 측정하였다. 그 결과, 크기 0.2㎛ 이상의 이물질의 수는 14개였다.
이렇게 수득된 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 세퍼레이터로부터 세정 라벨을 박리시킨 후, 핸드 롤러에 의해 8인치 실리콘 웨이퍼의 배면(거울면)에 접합시켜 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼를 제조하였다. 실리콘 웨이퍼(거울면)에 대한 통상의 점착제층의 180° 박리 점착력은 2.5N/10mm였다.
상기 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 사용하여, 라벨 테이프 접합기(NEL-GR3000, 닛토 세이키 인코포레이션 제조)에 의해 8인치 실리콘 웨이퍼의 배면(거울면)에 라벨을 접합시켰다. 이 조작을 25장의 시트에 대해 연속적으로 수행하였다. 그 결과, 시트는 지장 없이 웨이퍼에 접합되어 세정 기능을 갖는 운송용 세정 웨이퍼를 제조할 수 있었다. 또한, 세정층을 10mm의 폭에 걸쳐 실리콘 웨이퍼의 거울면에 접합시킨 후, JIS Z0237에 따라 실리콘 웨이퍼에 대한 180° 박리 점착력을 측정하였다. 그 결과, 박리 점착력은 0.018N/10mm였다.
별도로, 레이저 표면 검사 장치를 사용하여 4장의 신품 8인치 실리콘 웨이퍼의 거울면상에서 크기 0.2㎛ 이상의 이물질을 측정하였다. 제 1 시트는 6개의 이물질을 나타내고, 제 2 시트는 5개의 이물질을 나타내었다. 이어서, 이들 웨이퍼를 정전 흡착 기구를 갖는 개별적인 기판 처리 장치에 거울면을 아래쪽으로 하여 운송하였다. 이어서, 이들 웨이퍼의 거울면을 레이저 표면 검사 장치에 의해 크기 0.2㎛ 이상의 이물질에 대해 측정하였다. 제 1 및 제 2 시트는 8인치 웨이퍼 크기의 영역에서 각각 33,456 및 36,091개의 이물질을 나타내었다.
계속해서, 이렇게 수득된 운송용 세정 웨이퍼로부터 세정층측의 제 2 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 33,456개의 이물질이 부착된 웨이퍼 단을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 세정 웨이퍼를 운송하였다. 그 결과, 세정 웨이퍼는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다. 이물질의 % 제거율을 표 4에 기재하였다.
비교예 4-1
제 1 박리 필름이 세정층으로부터 박리되지 않고 남아 있는 분위기에서 세정 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사한 것을 제외하고는 실시예 4-1과 동일한 방법으로 세정 시트를 제조하였다. 이어서, 상기 세정용 라벨 시트의 세정층으로부터 제 2 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 세정층이 웨이퍼와 접촉하게 되는 배열로 세정용 라벨 시트를 8인치 실리콘 웨이퍼에 접합시켰다. 이어서, 세정용 라벨 시트를 웨이퍼로부터 박리시켰다. 8인치 실리콘 웨이퍼의 표면을 레이저식 이물질 측정 기구에 의해 측정하였다. 그 결과, 크기 0.2㎛ 이상의 이물질의 수는 6,264개였다. 이어서, 실시예 4-1과 동일한 방법으로 상기세정 시트로부터 세정 웨이퍼를 수득하였다.
계속해서, 이렇게 수득된 운송용 세정 웨이퍼로부터 세정층측의 제 2 박리 필름을 박리시켰다. 이어서, 36,091개의 이물질이 부착된 웨이퍼 단을 갖는 전술한 기판 처리 장치에 세정 웨이퍼를 운송하였다. 그 결과, 세정 웨이퍼는 지장 없이 운송할 수 있었다. 그 후, 신품 8인치 실리콘 웨이퍼를 거울면이 아래쪽으로 향하게 운송하고, 이어서 레이저 이물질 검사 장치로 크기 0.2㎛ 이상의 이물질 발생을 측정하였다. 이 조작을 5회 수행하였다. 이물질의 % 제거율을 표 4에 기재하였다.
비교예 4-2
세정 시트에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사하지 않은 것을 제외하고는 실시예 4-1과 동일한 방법으로 세정 시트를 제조하였다. 이어서, 상기 세정 시트를 실시예 4-1과 동일한 방법으로 직경 200mm의 원형으로 천공함으로써 절단하여 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조하였다. 이 과정 동안, 세정 시트는 아직 경화되지 않아서 쿠션재로서 작용하였다. 따라서, 천공이 균일한 깊이로 수행될 수 없었기 때문에 라벨의 천공 불량이 많이 발생하였다. 또한, 이렇게 제조된 라벨을 관찰하였다. 그 결과, 점착제가 라벨의 단부로부터 돌출된 것으로 관찰되었다. 또한, 천공 동안 전개된 점착제의 로핑으로 인해 라벨상에서 많은 점착제 얼룩이 관찰되었다. 또한, 점착제가 라벨의 단부에서 세정층측의 제 2 박리 필름으로 확장되어 부착되었다. 이렇게 제조된 라벨에 중심 파장 365nm의 자외선을 적산 광량 1,000mJ/㎠로 조사하였다. 그러나, 라벨 단부의 점착제는 산소 억제로 인해 경화되지 않았으며 점착성을 갖고 있었다. 따라서, 이 라벨 시트로부터의 운송용 세정 웨이퍼의 제조를 중지하였다.
상기한 바와 같이, 제 1 발명에서는, 세정 시트의 세정층 표면 보호 필름(세퍼)이 세정층으로부터 박리될 때 상기 세정층에 부착된 실리콘의 양 또는 세퍼레이터상의 실리콘 코팅량이 특정 값보다 크지 않도록 세정 시트의 세정층 표면 보호 필름(세퍼레이터)을 예비결정함으로써, 기판 처리 장치의 운송 부위 등으로부터 이물질을 제거하는 공정에 상기 세정 시트를 적용하여 보호 필름으로 인한 상기 장치의 오염 문제를 방지하고 높은 이물질 제거능을 제공할 수 있다.
또한, 제 2 발명에서는, 세정 시트의 세정층 표면 보호 필름(세퍼레이터)을 박리 처리되지 않은 폴리올레핀계 수지에 의해 형성하고, 표면 보호 필름에 혼입되는 열열화 억제제 및 윤활제의 양이 특정 값보다 크지 않도록 구성함으로써, 기판 처리 장치 내의 운송 부위 등으로부터 이물질을 제거하는 공정에 상기 세정 시트를 적용하여 보호 필름으로 인한 상기 장치의 오염 문제를 방지하고 높은 이물질 제거능을 제공할 수 있다.
또한, 제 3 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트는, 세퍼레이터로부터의 세정 라벨의 박리가 쉽지 않고 높은 노화 안정성을 나타내는 세정 기능을 갖는 라벨 시트 뿐만 아니라, 기판 처리 장치를 통해 확실하게 운송되어 상기 장치 내부에 부착된 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있는 세정용 운송 부재를 제공할 수 있다.
또한, 제 4 발명의 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법에 따르면, 시트를 라벨 형태로 천공하는 동안에 천공 불량이 생기기 어려운 세정용 라벨 시트를 제조할 수 있다. 동시에, 기판 처리 장치를 통해 확실하게 운송되어 상기 장치 내부에 부착된 이물질을 간편하고도 확실하게 제거할 수 있는 세정 기능을 갖는 라벨 시트를 제조할 수 있다.

Claims (29)

  1. 세정층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 세정 시트.
  2. 세정층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하의 양으로 코팅된 실리콘을 갖는 세정 시트.
  3. 세정층;
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층의 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름; 및
    세정층의 다른쪽 면에 제공된 점착제층
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 세정 시트.
  4. 세정층;
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층의 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름; 및
    세정층의 다른쪽 면에 제공된 점착제층
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하의 양으로 코팅된 실리콘을 갖는 세정 시트.
  5. 지지체;
    지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층상에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 세정 시트.
  6. 지지체;
    지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 세정층상에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡이하의 양으로 코팅된 실리콘을 갖는 세정 시트.
  7. 지지체;
    지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층;
    지지체의 다른쪽 면에 제공된 점착제층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 적어도 세정층상에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 세정층으로부터 박리될 때 세정층에 부착된 실리콘의 양이 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.005g/㎡ 이하인 세정 시트.
  8. 지지체;
    지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층;
    지지체의 다른쪽 면에 제공된 점착제층; 및
    실리콘을 포함하는 박리제로 처리되고, 적어도 세정층상에 세퍼레이터로서 제공된 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 세퍼레이터가 폴리디메틸실록산으로 환산하여 계산시 0.1g/㎡ 이하의 양으로 코팅된 실리콘을 갖는 세정 시트.
  9. 세정층; 및
    폴리올레핀 수지, 열열화 억제제 및 윤활제를 포함하고, 세정층의 적어도 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공되고, 박리제로 처리되지 않은 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트.
  10. 세정층;
    폴리올레핀 수지, 열열화 억제제 및 윤활제를 포함하고, 세정층의 한쪽 면에 세퍼레이터로서 제공되고, 박리제로 처리되지 않은 보호 필름; 및
    세정층의 다른쪽 면에 제공된 점착제층
    을 포함하고, 이 때 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트.
  11. 지지체;
    지지체의 적어도 한쪽 면에 제공된 세정층; 및
    폴리올레핀 수지, 열열화 억제제 및 윤활제를 포함하고, 세정층상에 세퍼레이터로서 제공되고, 박리제로 처리되지 않은 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트.
  12. 지지체;
    지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층;
    지지체의 다른쪽 면에 제공된 점착제층; 및
    폴리올레핀 수지, 열열화 억제제 및 윤활제를 포함하고, 적어도 세정층상에 세퍼레이터로서 제공되고, 박리제로 처리되지 않은 보호 필름
    을 포함하고, 이 때 열열화 억제제 및 윤활제의 총량이 폴리올레핀 수지 100중량부를 기준으로 0.01중량부 미만인 세정 시트.
  13. 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    보호 필름이 열열화 억제제 및 윤활제를 포함하지 않는 세정 시트.
  14. 운송 부재, 및 점착제층을 사이에 두고 운송 부재상에 제공된 제 3 항, 제 4 항, 제 7 항, 제 8 항, 제 10 항 및 제 12 항 중 어느 한 항에 따른 세정 시트를 포함하는, 세정 기능을 갖는 운송 부재.
  15. 제 1 항, 제 2 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 9 항 및 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 세정 시트 또는 제 14 항에 따른 운송 부재의 보호 필름을 박리시키는 단계; 및
    박리 후에 세정 시트 또는 운송 부재를 기판 처리 장치 내로 운송하는 단계
    를 포함하는 기판 처리 장치의 세정 방법.
  16. 지지체;
    지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층;
    세정층상에 제공된 박리 필름;
    세퍼레이터; 및
    지지체의 다른쪽 면에 제공되고, 세퍼레이터가 점착제층으로부터 박리될 수 있는 상태로 세퍼레이터상에 제공된 점착제층
    을 포함하고, 이 때 하나 이상의 점착제층이 하나의 세퍼레이터상에 서로로부터 이격되어 연속적으로 제공되며, 점착제층으로부터 세퍼레이터를 박리시키는데 필요한 180° 박리 점착력이 0.05N/50mm 이상인, 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  17. 지지체;
    지지체의 한쪽 면에 제공된 세정층;
    세정층상에 제공된 박리 필름;
    세퍼레이터; 및
    지지체의 다른쪽 면에 제공되고, 세퍼레이터가 점착제층으로부터 박리될 수 있는 상태로 세퍼레이터상에 제공된 점착제층
    을 포함하고, 이 때 하나 이상의 점착제층이 하나의 세퍼레이터상에 서로로부터 이격되어 연속적으로 제공되며, 세퍼레이터가 닛토덴코 가부시키가이샤(NITTO DENKO CORPORATION)에 의해 제조된 No. 31 B 테이프에 의해 측정시 85% 이상의 % 잔류 점착력을 갖는 세퍼레이터인, 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    JIS K7127 시험법에 따른 세정층의 인장 탄성률이 10MPa 이상인 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  19. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    세정층이 감압(感壓) 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합 개시제를 포함하는 경화형 점착제를 포함하는 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  20. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    세정층이 감압 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합 개시제를 포함하는 경화형 점착제를 포함하고, 감압 점착성 중합체가 (메트)아크릴산 알킬에스테르를 포함하는 아크릴 중합체인 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  21. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,
    세정층이 감압 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합 개시제를 포함하는 경화형 점착제를 포함하고, 중합 개시제가 광중합 개시제이고, 세정층이 광경화형 점착제층인 세정 기능을 갖는 라벨 시트.
  22. 표면에 박리 필름을 갖고, 활성 에너지에 의해 중합 및 경화되는 점착제를 포함하는 세정층을 지지체의 한쪽 면에 제공하는 단계; 및
    세퍼레이터가 점착제층으로부터 박리될 수 있는 상태로 지지체와 세퍼레이터 사이에 점착제층을 제공하는 단계(여기서, 점착제층은 지지체의 다른쪽 면에 위치한다)
    를 포함하고, 이 때 세정층으로부터 실리콘 웨이퍼로 전달된 크기 0.2㎛ 이상의 이물질의 양이 20개/in2이하인, 세정 기능을 갖는 라벨 시트의 제조 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    점착제의 중합 및 경화 전에 세정층으로부터 제 1 박리 필름을 박리시키는 단계;
    산소의 실질적인 영향이 없는 조건하에서 세정층을 중합 및 경화시키는 단계;
    상기 중합 및 경화 후 세정층의 표면을 제 2 박리 필름으로 보호하는 단계; 및
    수득된 세정층, 지지체, 점착제층 및 제 2 박리 필름의 적층체를 라벨 형태로 천공하는 단계를 포함하는 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    제 1 박리 필름이 실리콘을 포함하는 박리제를 갖는 필름인 방법.
  25. 제 22 항에 있어서,
    JIS K7127 시험법에 따른 천공 동안의 세정층의 인장 탄성률이 10MPa 이상인 방법.
  26. 제 22 항에 있어서,
    세정층이 감압 점착성 중합체, 분자당 1개 이상의 불포화 이중결합을 갖는 중합성 불포화 화합물 및 중합 개시제를 포함하는 경화형 점착제를 포함하는 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    감압 점착성 중합체가 (메트)아크릴산 및 (메트)아크릴산 알킬에스테르 중 하나 이상을 포함하는 아크릴 중합체인 방법.
  28. 제 26 항에 있어서,
    중합 개시제가 광중합 개시제이고, 세정층이 광경화형 점착제층인 방법.
  29. 제 22 항에 있어서,
    하나 이상의 점착제층이 세퍼레이터상에 서로로부터 이격되어 연속적으로 제공되는 방법.
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