KR102187264B1 - 검사용 소켓의 이물질 세정시트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사용 소켓의 이물질 세정시트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 실리콘 고무에 융합되어 두께방향으로 배열되는 복수의 도전부와, 각각의 도전부를 지지하면서 각 도전부를 절연하기 위한 절연부를 가지는 검사용 소켓에 사용되며, 상기 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 이물질 세정시트에 있어서,
검사용 소켓에서 이물질이 묻어 있는 표면과 대응되는 크기를 가지는 베이스 시트; 상기 베이스 시트의 일면에 배치되고 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있도록 점착력을 가지는 점착시트; 및 상기 점착시트에서 검사용 소켓의 도전부와 대응되는 위치마다 마련되며, 상기 점착시트의 표면에서 돌출되고 반구형상을 가지면서 점착력이 있는 돌출점착부를 포함하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트에 대한 것이다.

Description

검사용 소켓의 이물질 세정시트{Apparatus for cleaning impurity of test socket}

본 발명은 검사용 소켓의 이물질 세정시트에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 이물질 제거능력이 우수하고 검사용 소켓으로부터 쉽게 분리가능한 검사용 소켓의 이물질 세정시트에 대한 것이다.

일반적으로 검사용 소켓은, 제조된 피검사 디바이스의 불량여부를 판단하기 위한 검사과정에서 사용되는 것이다. 즉, 제조된 피검사 디바이스는 불량여부를 판단하기 위하여 소정의 전기적 검사를 수행하게 되는데, 이때 검사가 요구되는 피검사 디바이스와 검사를 위한 검사장치는 서로 직접 접촉되는 것이 아니라 검사용 소켓을 통하여 간접적으로 접속되게 된다. 그 이유는 검사를 위한 검사장치는 비교적 고가이기 때문에 빈번한 피검사 디바이스와의 접촉으로 인한 마모 또는 손상시 교체가 용이하지 않고 교체비용이 많이 들기 때문이다. 이에 따라 검사용 소켓은 검사장치의 상측에 교체가능하게 장착되고 상기 피검사 디바이스는 검사장치가 아닌 검사용 소켓과 접촉함으로서 상기 검사장치와 전기적으로 연결되게 된다. 따라서, 검사장치로부터 나오는 검사신호는 상기 검사용 소켓을 통하여 상기 피검사 디바이스로 전달되게 되는 것이다.

이러한 검사용 소켓은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(140)와 검사장치(130)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(130)의 패드(131)를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고 두께방향으로의 도전성을 나타내는 도전부로서, 상기 도전부(110)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(111)가 두께방향으로 배열되어 배치되는 도전부(110); 및 상기 각각의 도전부(110)를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부(120)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 검사용 소켓(100)은 검사장치(130)에 탑재된 상태에서 검사장치(130)의 패드(131)와 상기 도전부(110)가 서로 접촉되어 있으며, 피검사 디바이스(140)는 검사용 소켓(100)의 도전부(110)에 접촉될 수 있도록 구성된다.

인서트에 의하여 이동되어 오는 피검사용 디바이스(140)는 상기 검사용 소켓(100)의 도전부(110)에 접촉됨으로서, 상기 검사용 소켓(100)에 안착되고, 이후에 검사장치(130)로부터 소정의 전기적인 신호가 인가되면 그 신호는 검사용 소켓(100)을 거쳐서 피검사용 디바이스(140)로 전달됨으로서 소정의 전기적인 검사가 수행된다.

이러한 검사용 소켓은 수많은 피검사 디바이스에 대한 검사를 수행하는 과정에서 피검사 디바이스에 묻어 있는 이물질에 의하여 오염이 되게 된다. 구체적으로 피검사 디바이스의 단자에 묻어 있는 Sn이 이동 및 접촉과정에서 검사용 소켓의 표면에 묻게 되는데, 이물질이 검사용 소켓에 과다하게 쌓이게 되는 경우에는 검사의 신뢰성면에서 문제가 되고 이러한 검사용 소켓을 세정(cleaning)할 필요가 있게 된다.

세정방법으로는 프레온 세정과, 세정시트에 의한 세정이 활용된다.

이중에서 프레온 세정의 경우 처리시간이 길고 단위면적당 처리능력이 낮으며 불순물이 잔존하게 쉬으며 프레온이나 유기용제 의한 환경오염, 세척에 견딜수 없는 재질에는 적용할 수 없는 점, 웨트 방법이기 때문에 장치의 공간이 크게 필요하다는 문제점이 있다. 이에 반해서, 세정시트에 의한 세정은 간편하면서도 환경오염의 문제가 없고 공간을 비교적 넓게 차지하지 않아 검사용 소켓의 세정방법으로 바람직하다.

세정시트(200)는, 도 3에 도시된 바와 같이 PCB 기판(201)을 지지체로 하여, 그 PCB 기판(201)의 하면에 접착제(202)를 도포한 후에, 실리콘 시트로 이루어지는 세정기판(203)을 부착하여 구성된다. 세정기판(203)은 점착력을 가지고 있어서 검사용 소켓에 반복적으로 접촉하는 과정에서 검사용 소켓(100)의 표면에 묻어 있는 이물질을 부착시켜 제거하게 된다.

이러한 종래의 세정시트(200)는 도전부(110)의 표면에 절연부(120)에 비하여 돌출된 검사용 소켓(100)에 적용되는 경우에는 세정능력을 어느정도 확보할 수 있으나, 도전부(110)와 절연부(120)가 평면상태인 도 3에 도시된 검사용 소켓(100)에 적용시에는 확실한 세정효과를 얻을 수 없는 단점이 있다.

구체적으로 반복되는 검사과정에서 피검사 디바이스의 단자에 묻어있는 이물질은 도전부 상면 뿐 아니라 도전부의 주변에 많이 묻어있게 되는데, 도전부 주변의 이물질의 경우 세정작업시 잘 흡착되지 않게 되며 이에 따라서 세정효과는 크게 저하되게 된다.

구체적으로 도 4 및 도 5에서는 종래의 세정시트를 이용하여 검사용 소켓을 세정한 모습을 나타내고 있다. 도 4는 점착력이 낮은 세정시트를 사용한 경우로서, 도 4(a)는 세정후의 세정시트의 표면을 촬영한 것이고, 도 4(b)는 검사용 소켓의 표면을 촬영한 것이다. 또한, 도 5는 점착력이 높은 세정시트를 사용한 경우로서, 도 5(a)는 세정후의 세정시트의 표면을 촬영한 것이고, 도 5(b)는 검사용 소켓의 표면을 촬영한 것이다.

점착력이 낮은 세정시트를 사용한 경우에는 도 4(a)에 나타나는 바와 같이 세정시트에서 도전부가 위치되는 부분과, 그 주변의 이물질은 묻어 있지 않는다는 것을 알 수 있으며, 도 4(b)를 통해서 확인되는 바와 같이, 검사용 소켓에서도 도전부와 그 주변에서는 이물질이 제거되지 않았다는 것을 확인할 수 있다.

또한, 도 5(a)에서 확인되는 바와 같이, 점착력이 높은 세정시트를 사용한 경우에도 도전부가 위치되는 부분과 그 주변은 이물질이 묻어 있지 않는 것을 확인할 수 있고, 도 5(b)에서 볼 수 있는 바와 같이, 검사용 소켓의 도전부와 바로 인접한 부분은 이물질이 충분하게 제거되지 않음을 확인할 수 있다.

이와 같이, 종래의 평면형태의 세정시트를 이용하여 세정작업을 수행하면 도전부와, 바로 인접한 부분에서는 이물질이 충분하게 제거되지 않는다는 것을 알 수 있다. 이와 같이 이물질이 잘 제거되지 않는 경우에는 전기적 검사의 신뢰성이 매우 떨어지게 되는 문제점이 있다.

한편, 종래기술의 경우 점착력을 매우 높게 하는 경우에는 가압에 의하여 세정시트가 검사용 소켓의 표면에 접촉한 후에 상기 세정시트를 검사용 소켓으로부터 분리하기 어렵게 되는 문제점도 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 이물질 제거능력이 우수하고 검사용 소켓으로부터 쉽게 분리가능한 검사용 소켓의 이물질 세정시트를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 실리콘 고무에 융합되어 두께방향으로 배열되는 복수의 도전부와, 각각의 도전부를 지지하면서 각 도전부를 절연하기 위한 절연부를 가지는 검사용 소켓에 사용되며,

상기 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 이물질 세정시트에 있어서,

검사용 소켓에서 이물질이 묻어 있는 표면과 대응되는 크기를 가지는 베이스 시트;

상기 베이스 시트의 일면에 배치되고 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있도록 점착력을 가지는 점착시트; 및

상기 점착시트에서 검사용 소켓의 도전부와 대응되는 위치마다 마련되며, 상기 점착시트의 표면에서 돌출되고 반구형상을 가지면서 점착력이 있는 돌출점착부를 포함한다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 점착시트와 상기 돌출점착부는 서로 다른 소재로 이루어지되, 상기 돌출점착부는, 상기 점착시트보다 경도가 낮고 탄성력이 좋은 소재로 이루어질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 돌출점착부는, 상기 점착시트보다 점착력이 높은 소재로 이루어질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 돌출점착부는 도전부와 접촉시 탄성변형되어 접촉면적이 커지면서 도전부의 표면과 도전부의 주변 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 점착시트는 상기 절연부의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 베이스 시트는, PCB, 금속 또는 경질의 비금속소재로 이루어질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 점착시트는 고무 또는 실리콘일 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 베이스 시트의 일면 또는 타면에는 정전기 방지를 위한 정전기 방지시트가 배치될 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 정전기 방지시트는, 구리소재로 이루어질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에는,

상기 베이스 시트와, 상기 점착시트의 사이에는 접착제층이 형성되어 있으며, 상기 접착제층에 의하여 상기 점착시트가 상기 베이스 시트의 일면에 부착될 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서, 상기 돌출점착부는 반구형상을 가질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 돌출점착부는, 기둥형, 원뿔형, 다각뿔형, 원뿔대형, 다각뿔대형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 돌출점착부의 단면형상은, 상기 도전부의 단면형상과 대응되는 형상을 가질 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이물질 세정시트는, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 실리콘 고무에 융합되어 마련된 도전부와 상기 도전부를 지지하기 위한 절연부를 가지는 검사용 소켓에 사용되며, 상기 검사용 소켓에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 이물질 세정시트에 있어서,

검사용 소켓에서 이물질이 묻어 있는 표면과 대응되는 크기를 가지는 베이스 시트;

상기 베이스 시트의 일면에 배치되고 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있도록 점착력을 가지는 점착시트; 및

상기 베이스 시트와 상기 점착시트 사이에 배치되고 반복되는 검사용 소켓과의 접촉에 의하여 유발되는 정전기에 의하여 점착시트가 검사용 소켓에 달라붙는 것을 방지하기 위한 정전기 방지시트;를 포함한다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 정전기 방지시트는, 구리소재로 이루어질 수 있다.

상기 이물질 세정시트에서,

상기 정전기 방지시트와 상기 점착시트의 사이에는 접착제층이 형성되고, 상기 접착제층에 의하여 상기 점착시트가 상기 정전기 방지시트에 부착될 수 있다.

본 발명은 세정시트의 하면에서 도전부와 접촉되는 부분이 반구형 세정볼을 형성함으로서, 세정시트를 검사용 소켓 측으로 가압하는 과정에서 반구형 세정볼이 압착되면서 도전부와 도전부 주변을 확실하게 세정할 수 있는 효과를 가진다.

또한 세정시트의 점착력이 높아져도 압축변형된 반구형 세정볼이 탄성복원되면서 그 탄성복원력에 의하여 세정시트가 검사용 소켓으로부터 쉽게 분리될 수 있게 하는 효과를 가진다.

도 1 및 도 2는 종래의 검사용 소켓을 이용한 전기적 검사모습을 도시한 도면.
도 3은 종래의 세정시트를 이용하여 세정작업을 수행하는 모습을 나타내는 도면.
도 4 및 도 5는 종래의 세정시트를 이용하여 세정하고 난 후의 모습을 나타내는 사진.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정시트를 이용하여 세정작업을 수행하는 모습을 나타내는 도면.
도 8은 도 6의 세정시트를 검사용 소켓에 밀착시켰을 때의 모습을 나타내는 도면.
도 9 및 도 10은 도 6의 세정시트를 이용하여 세정하고 난 후의 모습을 나타내는 사진.
도 11 및 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세정시트를 나타내는 도면.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 본 개시에서, 대응된다는 의미는 2개의 구성들이 서로 동일한 형상과 모양을 가지는 것만을 의미하는 것이 아니라, 2개의 구성들이 서로 유사한 형상과 유사한 모양을 가지는 것을 모두 포함할 수 있으며, 이때 유사한 모양과 형상이란 기능적인 측면에서 동일한 효과를 가지는 범위 내에서 당업자가 쉽게 치환변경할 수 있는 것을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

본 발명의 일 실시예에 따른 이물질 세정시트(10)는 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하는데 사용되는 검사용 소켓(20)의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 것이다.

이때 검사용 소켓(20)은, 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 실리콘 고무에 융합되어 두께방향으로 배열되는 복수의 도전부(21)와, 각각의 도전부(21)를 지지하면서 각 도전부(21)를 절연하기 위한 절연부(22)를 포함하는 것으로서 공지의 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다.

본 발명의 세정시트(10)는, 베이스 시트(11), 접착제층(12), 점착시트(13) 및 돌출점착부(14)를 포함하여 구성된다.

상기 베이스 시트(11)는, 검사용 소켓(20)에서 이물질이 묻어 있는 표면과 대응되는 크기를 가지는 것으로서, 점착시트(13) 및 돌출점착부(14)를 지지하는 지지체로서 기능을 수행한다.

베이스 시트(11)는 특별히 제한되지 않지만 PCB, 금속 또는 경질의 비금속소재로 이루어질 수 있다. 경질의 비금속소재로서는 예를 들면 폴리에틸렌, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 아세틸셀룰로오스, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌, 폴리아미드 등의 플라스틱 필름 등을 들 수 있다. 베이스 시트(11)의 두께는 통상 0,05 ~ 2.0mm정도이다.

상기 접착제층(12)은, 점착시트(13)를 베이스 시트(11)의 일면에 부착시키기 위한 것으로서, 통상적으로 널리 활용되는 접착제라면 무엇이나 가능하다. 이러한 접착제층(12)에 의하여 점착시트(13)가 상기 베이스 시트(11)에 확실하게 부착될 수 있다.

상기 점착시트(13)는, 상기 접착제층(12)에 의하여 상기 베이스 시트(11)의 일면에 부착되고 검사용 소켓(20)의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있도록 점착력을 가지는 것이다. 점착시트(13)는, 검사용 소켓(20)의 절연부(22)에 접촉되어 절연부(22)에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있다.

상기 점착시트(13)는 이물질을 부착할 수 있는 한 특별히 제한되지 않지만 특히 그 표면 저항률이 1×10¹³ Ω 이상이면 특히 그 재료 등은 한정되지 않는다. 점착시트(13)의 표면 저항률을 이러한 특정값 이상이 되도록 설계하여 점착시트(13)을 가능한 한 절연체로 함으로써 정전기에 의한 이물질의 포획, 흡착도 할 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 표면 저항률이 1×10¹³ Ω미만일 경우는 이물질 제거 성능이 저하할 우려가 있다.

이러한 점착시트(13)는 바람직하게는 그 표면 저항률이 상기 범위 내인 한 그 재료 등은 특별히 제한되지 않지만 도전 기능을 가지는 첨가제 등의 도전성 물질을 포함하지 않는 것이 바람직하다. 예를 들면 자외선이나 열 등의 활성 에너지원에 의해 가교 반응이나 경화가 촉진되고, 그 인장 탄성률을 크게 할 수 있는 것이 바람직하다.

상기 점착시트(13)의 인장 탄성률(시험법 JIS K7127에 준한다)은 0.98~4900 N/cm², 바람직하게는 9.8~3000 N/cm²가 바람직하다. 점착시트(13)의 인장 탄성률을 이러한 특정 범위 내에 설계함으로써, 반송 트러블을 발생시키지 않고 이물질을 더욱 확실하게 제거할 수 있다.

또한, 이러한 가교나 경화에 의해 분자 구조가 삼차원 망형화해 그 점착력이 저하한 점착제가 바람직하고 예를 들면 실리콘 웨이퍼(미러면)에 대한 180박리 점착력이 0.20N(20g)/10 mm이하, 바람직하게는 0.010 ~ 0.10N(1~10g)/10 mm정도이다. 이 점착력이 0.20N(20g)/mm를 초과하면, 이송 시에 장치 내의 피클리닝부에 접착하여 반송 트러블이 될 우려가 있다.

이러한 점착시트(13)의 구체적인 예로서는 예를 들면 감압 접착성 폴리머에 분자 내에 불포화 이중 결합을 하나 이상 가지는 화합물을 함유시켜서 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 이러한 감압 접착성 폴리머로서는 예를 들면 아크릴산, 아크릴산 에스테르, 메타크릴산, 메타크릴산 에스테르에서 선택되는(메타) 아크릴산 및/또는(메타) 아크릴산 에스테르를 주모노머로 한 아크릴계 폴리머를 들 수 있다. 이 아크릴계 폴리머의 합성 시, 공중합 모노머로서 분자 내에 불포화 이중 결합을 2개 이상 가지는 화합물을 이용하거나, 혹은 합성 후의 아크릴계 폴리머에 분자 내에 불포화 이중 결합을 가지는 화합물을 작용기 간의 반응으로 화학 결합시키는 등, 아크릴계 폴리머의 분자 내에 불포화 이중 결합을 도입해 둠으로써, 이 폴리머 자체도 활성 에너지에 의해 중합 경화 반응에 관여시키도록 할 수도 있다.

여기서 분자 내에 불포화 이중 결합을 하나 이상 가지는 화합물(이하, 중합성 불포화 화합물이라고 한다)로서는 비휘발성이며 중량 평균 분자량이 10000 이하의 저분자량체인 것이 좋고 특히 경화 시의 점착제층의 삼차원 망형화가 효율적으로 되도록, 5000 이하의 분자량을 가지고 있는 것이 바람직하다.

또한 점착시트(13)에 첨가되는 중합 개시제는 특별히 제한되지 않고 공지의 것을 사용할 수 있고 예를 들면 활성 에너지원에 열을 이용할 경우에는 벤조일 퍼옥사이드, 아조비스 이소부티로니트릴 등의 열중합 개시제, 또한 광을 이용할 경우에는 벤조일, 벤조인 에틸에테르, 시벤질, 이소프로필 벤조인에테르, 벤조페논, 미히라즈케톤크로로치오키산톤, 도데실 티오 키산톤, 디메틸티옥산톤, 아세토페논 디에틸 케탈, 벤질디메틸케탈, -히드르키시시크로히키시르페니르케톤,2-하이드록시디메틸페닐 프로판, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논 등의 광중합 개시제를 들 수 있다.

상기 돌출점착부(14)는, 상기 점착시트(13)에서 검사용 소켓(20)의 도전부(21)와 대응되는 위치마다 마련되며, 상기 점착시트(13)의 표면에서 돌출되고 반구형상을 가지면서 점착력이 있는 것이다. 구체적으로 돌출점착부(14)는 점착시트(13)의 표면에서 돌출되어 형성되는 것으로서, 도전부(21)와 대응되는 위치마다 배치되고 도전부(21)와 접촉하여 도전부(21)의 상면에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 것이다.

이러한 돌출점착부(14)는 점착시트(13)와는 다른 소재로 이루어질 수 있으며, 구체적으로는 점착시트(13)보다 경도가 낮으면서 탄성력이 좋아서 쉽게 탄성변형될 수 있는 소재로 이루어질 수 있다. 또한, 돌출점착부(14)는 점착시트(13)보다 점착력이 높아서 도전부(21)에 묻어 있는 이물질을 쉽게 제거할 수 있다. 한편, 돌출점착부(14)는 점착시트(13)와 동일한 소재로 이루어질 수 있으나, 이때에도 경도나 점착력은 다르게 하는 것이 바람직하다. 예를 들어 돌출점착부(14)와 점착시트(13)가 모두 실리콘 고무로 이루어지는 것이 가능하나, 이때에도 돌출점착부(14)는 경도, 탄성력, 점착력면에서 점착시트(13)와 다른 물성을 가지는 실리콘 고무가 적용되는 것이 가능하다.

이러한 돌출점착부(14)는, 소정의 가압장치에 의하여 세정시트(10)를 검사용 소켓(20)에 가압하였을 때, 도전부(21)와 접촉하면서 눌리게 된다. 이와 같이 돌출점착부(14)가 눌리게 되면, 점착시트(13)는 볼면적이 좌우방향으로 확대되면서 최초 접촉면적보다 가압에 의하여 도전부(21)와 접촉되는 면적이 커지게 되고, 이에 따라서 도전부(21) 뿐 아니라 도전부(21)의 주변부분까지 면적이 확대될 수 있다. 돌출점착부(14)가 도전부(21)와 도전부(21) 주변부까지 면적이 확대됨으로서 도전부(21), 도전부(21)의 주변부에 묻어 있는 이물질을 확실하게 부착시킬 수 있다.

특히, 종래의 평면형 시트에서는 세정시트(10)에 가해지는 가압력이 면전체에 가해져서 과도한 가압력을 가하지 않는 이상 도전부(21)에 가해지는 가압력을 크게 할 수 없었으나, 본 발명에서는 점착시트(13)의 표면에서 돌출된 돌출점착부(14)에 가압력이 집중됨으로서 돌출점착부(14)에 의하여 접촉되는 부분, 즉, 도전부(21)와 그 인접부에 대해서는 보다 확실한 가압력에 의하여 이물질을 확실하게 부착시킬 수 있게 되는 것이다.

또한 돌출점착부(14)는 가압력에 의하여 구형상의 볼면적이 확대되면서 검사용 소켓(20)의 도전부(21)에 밀착접촉되는데, 세정시트(10)에 가해진 가압력을 제거하면 구형상의 볼면적이 원래상태로 복원되면서 탄성복원력에 의하여 검사용 소켓(20)을 밀어내는 기능도 수행하게 된다. 특히, 구형상의 특성상 볼면적의 확대 및 축소면적이 다른 형상에 비해서 크기 때문에, 탄성복원력이 매우 우수하여 돌출점착부(14)의 점착력이 강해도 돌출점착부(14)의 탄성복원력에 의하여 검사용 소켓(20)으로부터 세정시트(10)가 쉽게 분리될 수 있게 된다.

한편, 본 발명에서는 돌출점착부(14)의 경도가 점착시트(13)보다 낮아서 탄성변형이 용이하기 때문에, 도전부(21)에 접촉되었을 때 면적의 확대가 용이하고, 또한 탄성복원력이 보다 우수하게 된다. 또한, 점착시트(13)의 경도를 돌출점착부(14)보다 높게 함으로서, 돌출점착부(14)를 지지하는 지지력이 커지게 되어 돌출점착부(14)가 도전부(21)에 접촉하여 가압되었을 때 쉽게 탄성변형될 수 있게 돌출점착부(14)를 지지한다.

한편, 돌출점착부(14)의 형상은 검사용 소켓의 도전부와 동일한 단면형상을 가지면 탄성반발력이 우수한 반구형이 가장 적합하나 기타 다양한 형상이 가능하다. 예를 들어, 돌출점착부(14)의 형상은 알약형, 원기둥형, 다각기둥형, 원뿔형, 다각뿔형, 원뿔대형, 다각뿔대형 등 가압과정에서 면적이 확대되고 이에 따라서 탄성반발력에 의하여 분리를 용이하게 하는 형상이라면 다양하게 적용될 수 있다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 세정시트(10)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.

먼저, 도 6에 도시된 바와 같이 반복된 검사과정에서 이물질이 표면에 많이 묻어 있는 검사용 소켓(20) 위에 세정시트(10)를 위치시킨다.

이후에, 도 7에 도시된 바와 같이 세정시트(10)를 검사용 소켓(20)의 표면에 접촉하면서 가압하게 된다. 이때 세정시트(10)의 가압은 별도의 가압장치(미도시)에 의하여 이루어지도록 한다. 세정시트(10)를 가압하는 경우, 점착시트(13)에서 돌출된 돌출점착부(14)가 도전부(21)에 접촉하게 되고, 이때 점착시트(13)에 의하여 지지된 돌출점착부(14)는 그 면적이 좌우방향으로 넓어지면서 도전부(21)와 도전부(21) 주변까지 면적이 확대된다. 한편, 세정시트(10)를 추가적으로 가압하게 되면 도 8에 도시된 바와 같이 점착시트(13)도 검사용 소켓(20)의 절연부(22)에 접촉할 수 있다.

한편, 세정시트(10)를 가압하게 되면, 도전부(21)와 도전부(21)의 주변은 눌려진 돌출점착부(14)의 표면에 접촉하게 되고, 이 과정에서 점착력이 좋은 돌출점착부(14)가 도전부(21)와 도전부(21) 주변에 묻어 있는 이물질을 확실하게 제거할 수 있게 된다.

먼저, 구체적으로 도 9 및 도 10에서는 본 발명의 세정시트(10)를 이용하여 검사용 소켓(20)을 세정한 모습을 나타내고 있다. 도 9는 점착력이 낮은 세정시트(10)를 사용한 경우로서, 도 9(a)는 세정후의 세정시트(10)의 표면을 촬영한 것이고, 도 9(b)는 검사용 소켓(20)의 표면을 촬영한 것이다. 또한, 도 10는 점착력이 높은 세정시트(10)를 사용한 경우로서, 도 10(a)는 세정후의 세정시트(10)의 표면을 촬영한 것이고, 도 10(b)는 검사용 소켓(20)의 표면을 촬영한 것이다.

먼저, 도 9(a)를 통해서 확인되는 바와 같이, 점착력이 낮은 세정시트(10)를 사용한 경우에도 볼에는 많은 양의 이물질이 묻어 있다는 것을 확인할 수 있으며, 도 9(b)를 통해서 확인되는 바와 같이, 도전부(21)와 그 주변에는 이물질이 제거된 모습이 확인되었다.

또한, 도 10(a)에서 확인되는 바와 같이, 점착력이 높은 세정시트(10)를 사용한 경우에도 돌출점착부(14) 주변에 많은 양의 이물질이 묻어 있는 것이 확인되고, 도 10(b)에서 볼 수 있는 바와 같이, 검사용 소켓(20)의 도전부(21)와, 도전부(21) 주변에는 이물질이 거의 남아 있지 않은 것을 확인할 수 있다.

도 9와 도 10을 서로 비교하면 점착력이 높은 세정시트를 사용한 경우가 점착력이 낮은 세정시트를 사용한 경우보다 이물질의 제거능력면에서 더 유리하다는 점을 알 수 있다, 이를 통해 세정능력은 점착시트의 점착력, 돌출점착부의 유무, 돌출점착부의 점착력이 복합적으로 작용한다는 점을 알 수 있다. 한편, 세정능력만 고려하여 점착력을 상당하게 높이는 것은 바람직하지 않다. 그 이유는 점착력이 높으면 세정능력면에서는 우수하나 세정시트를 검사용 소켓으로부터 제거하는 것이 쉽지 않기 때문이다. 따라서 검사용 소켓에서 제거가 용이하면서도 세정능력이 우수한 적절한 점착도를 유지하는 것이 중요하다.

결국, 종래의 세정시트(10)를 사용하여 세정작업을 수행한 모습(도 4, 도 5)와 대비하였을 때 본 발명에 따른 세정시트(10)를 사용하는 경우에는 도전부(21)와 그 주변이 확실하게 이물질이 제거되는 것을 확인할 수 있다.

종래기술에서는 도전부와 그 주변의 이물질이 잘 제거되지 않았던 것에 비하여 본 발명의 세정시트를 이용하는 경우에는 도전부와 그 주변은 보다 확실하게 이물질이 제거됨을 알 수 있다.

한편, 본 발명은 이물질 제거능력과 아울러 높은 점착력을 가지는 돌출점착부를 사용해도 점착력이 높은 면적이 작아서 검사용 소켓으로부터 쉽게 분리될 수 있다.

또한, 종래의 세정시트는 가압해도 변형면적에 한계가 있었으나, 본 발명에서는 점착시트는 지지대로서 기능하고, 돌출점착부는 점착시트에 지지되어 확실하게 탄성변형되면서 보다 확실한 탄성변형되고, 또한 탄성변형된 후에는 탄성복원력이 우수하기 때문에, 그 탄성복원력이 검사용 소켓으로부터 세정시트를 쉽게 분리할 수 있게 작용하는 장점이 있게 된다.

결국, 본 발명에 따른 세정시트를 사용하는 경우에는 도전부와 그 주변의 이물질을 보다 확실하게 제거할 수 있을 뿐 아니라, 돌출점착부의 탄성복원력에 의하여 쉽게 분리될 수 있는 장점을 가진다.

이러한 본 발명의 세정시트는 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.

일반적으로 세정시트와 검사용 소켓은 1회가 아닌 반복적인 접촉에 의하여 세정작업을 수행하게 되는데, 이러한 반복적인 접촉과정에서 정전기가 발생하여 세정시트가 검사용 소켓에 달라붙는 현상이 발생하는 경우가 있게 된다.

이러한 정전기력에 의해 달라붙는 현상이 발생하게 되면 세정시트를 검사용 소켓으로부터 분리하는 것이 어렵게 되어 세정시간을 지연시키는 요인이 된다.

본 발명의 변형실시예에서는 도 11에 도시된 바와 같이, 구리와 같은 소재로 이루어지는 정전기 방지시트를 추가로 배치하게 된다.

구체적으로 본 발명의 세정시트(10')는 베이스 시트(11'), 접착제층(12') 및 점착시트(13')에 추가로 상기 베이스 시트(11')과 점착시트(13')의 사이에 정전기 방지시트(15')를 마련하게 된다. 점착시트(13')는 접착제층(12')에 의하여 상기 정전기 방지시트(15')에 부착되어 있게 된다. 이와 같이 점착시트(13')에 정전기 방지시트(15')가 마련되는 경우에는 반복되는 검사용 소켓(20)과의 접촉에 의하여 유발되는 정전기에 의하여 점착시트(13')가 검사용 소켓에 달라붙는 것을 방지할 수 있다.

도 12는 도 11의 세정시트에 돌출점착부를 추가로 형성한 것을 예시한다. 이와 같이 돌출점착부(14'')과, 정전기 방지시트(15'')를 함께 마련하는 경우에는 정전기력을 제거함으로서 세정시트(10'')가 검사용 소켓에 달라붙는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있게 된다.

한편, 상술한 실시예에서는 점착시트와 돌출점착부가 다른 소재로 이루어지는 것을 예시하였다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며 점착시트와 돌출점착부가 서로 동일한 소재로 이루어지는 것이 가능하다. 예를 들어 동일한 물성을 가지는 실리콘 고무로 이루어지는 것이 가능하므로, 경도와, 점착력이 모두 동일한 실리콘 고무를 이용하여 점착시트와 돌출점착부를 구성하는 것이 가능하다.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.

10...세정시트 11...베이스 시트
12...접착제층 13...점착시트
14...돌출점착부 20...검사용 소켓
21...도전부 22...절연부

Claims (16)

1. 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 실리콘 고무에 융합되어 두께방향으로 배열되는 복수의 도전부와, 각각의 도전부를 지지하면서 각 도전부를 절연하기 위한 절연부를 가지는 검사용 소켓에 사용되며,
   상기 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 이물질 세정시트에 있어서,
   검사용 소켓에서 이물질이 묻어 있는 표면과 대응되는 크기를 가지는 베이스 시트;
   상기 베이스 시트의 일면에 배치되고 검사용 소켓의 표면에 묻어 있는 이물질을 제거할 수 있도록 점착력을 가지되, 상기 절연부와 대응되는 위치에 절연부 표면에 묻은 이물질을 제거하기 위한 평면점착부가 마련된 점착시트; 및
   상기 점착시트에서 검사용 소켓의 도전부와 대응되는 위치마다 마련되며, 상기 점착시트의 표면에서 돌출되고 점착력이 있는 돌출점착부를 포함하고,
   상기 돌출점착부는 상기 점착시트보다 점착력이 높은 소재로 이루어지고,
   검사용 시트에 가압되었을 때, 돌출점착부는 도전부와 접촉하여 면방향으로 팽창되면서 도전부의 표면과 도전부 주변 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하고, 평면점착부는 절연부 표면에 묻어 있는 이물질을 제거하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
2. 제1항에 있어서,
   상기 점착시트와 상기 돌출점착부는 서로 다른 소재로 이루어지되, 상기 돌출점착부는, 상기 점착시트보다 경도가 낮고 탄성력이 좋은 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 베이스 시트는, PCB, 금속 또는 경질의 비금속소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
7. 제1항에 있어서,
   상기 점착시트는 고무 또는 실리콘인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
8. 제1항에 있어서,
   상기 베이스 시트의 일면 또는 타면에는 정전기 방지를 위한 정전기 방지시트가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
9. 제8항에 있어서,
   상기 정전기 방지시트는, 구리소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
10. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 시트와, 상기 점착시트의 사이에는 접착제층이 형성되어 있으며, 상기 접착제층에 의하여 상기 점착시트가 상기 베이스 시트의 일면에 부착되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
11. 제1항에 있어서,
    상기 돌출점착부는 반구형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
12. 제1항에 있어서,
    상기 돌출점착부는, 기둥형, 원뿔형, 다각뿔형, 원뿔대형, 다각뿔대형 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
13. 제1항에 있어서,
    상기 돌출점착부의 단면형상은, 상기 도전부의 단면형상과 대응되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 이물질 세정시트.
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15. 삭제
16. 삭제

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