JP2855044B2 - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- JP2855044B2 JP2855044B2 JP9119593A JP9119593A JP2855044B2 JP 2855044 B2 JP2855044 B2 JP 2855044B2 JP 9119593 A JP9119593 A JP 9119593A JP 9119593 A JP9119593 A JP 9119593A JP 2855044 B2 JP2855044 B2 JP 2855044B2
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル収納容器、特に
はリソグラフィー工程に支障をきたす空中浮遊粉塵の被
着を防ぐためのペリクル収納容器に関するものである。
はリソグラフィー工程に支障をきたす空中浮遊粉塵の被
着を防ぐためのペリクル収納容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置の製
造においては大規模集積回路製造中のリソグラフィ工程
でも近年集積化が進んでおり、露光マスク基板のパター
ンに小さなゴミが付着しただけでも集積回路が製品不良
につながる。そのため、これについてはマスク基板上に
ゴミよけのためのペリクルが用いられているが、このマ
スクを装着するとこのペリクル表面上にゴミが付着して
もゴミは露光の際にペリクルの分で焦点がずれるので、
集積回路の感光樹脂表面に結像しなくなり、したがって
ゴミによる集積回路パターンの不良が防止される。この
ペリクルは通常収納ケースに納められており、集積回路
感光樹脂表面に感光させるときにその都度この収納ケー
スから取り出されて使用されるのであるが、これはその
粘着剤層を保護するためのセパレーターを剥して用いら
れている。
造においては大規模集積回路製造中のリソグラフィ工程
でも近年集積化が進んでおり、露光マスク基板のパター
ンに小さなゴミが付着しただけでも集積回路が製品不良
につながる。そのため、これについてはマスク基板上に
ゴミよけのためのペリクルが用いられているが、このマ
スクを装着するとこのペリクル表面上にゴミが付着して
もゴミは露光の際にペリクルの分で焦点がずれるので、
集積回路の感光樹脂表面に結像しなくなり、したがって
ゴミによる集積回路パターンの不良が防止される。この
ペリクルは通常収納ケースに納められており、集積回路
感光樹脂表面に感光させるときにその都度この収納ケー
スから取り出されて使用されるのであるが、これはその
粘着剤層を保護するためのセパレーターを剥して用いら
れている。
【０００３】このセパレーターは通常ポリエチレンテレ
フタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）の片面にシリコ
ーン樹脂や高級脂肪酸エステル系樹脂などの離型層を形
成したものが用いられているが、このセパレーターに付
着したゴミを完全に除去することは困難であるし、この
セパレーターの端面からの発塵も無視することはできな
い。したがって、ペリクルをペリクル収納容器に入れて
運搬するときに、ペリクルの粘着剤を保護したセパレー
ターから発生したゴミがペリクル膜の内部表面に直接ま
たはフレーム内壁を通って付着するので、リソグラフィ
ー時にペリクルからマスクの上にゴミが落下し、このゴ
ミによって設計と異なる回路パターンがリソグラフィー
されることになる。
フタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）の片面にシリコ
ーン樹脂や高級脂肪酸エステル系樹脂などの離型層を形
成したものが用いられているが、このセパレーターに付
着したゴミを完全に除去することは困難であるし、この
セパレーターの端面からの発塵も無視することはできな
い。したがって、ペリクルをペリクル収納容器に入れて
運搬するときに、ペリクルの粘着剤を保護したセパレー
ターから発生したゴミがペリクル膜の内部表面に直接ま
たはフレーム内壁を通って付着するので、リソグラフィ
ー時にペリクルからマスクの上にゴミが落下し、このゴ
ミによって設計と異なる回路パターンがリソグラフィー
されることになる。
【０００４】そのため、このペリクルについてはペリク
ルを装着したマスク基板のフレーム内側に粘着剤層を設
けることが提案されており（特公昭63-777号公報参
照）、また、ペリクル表面に粘着剤をコーティングする
ことも提案されている（特開平1-120555号公報参照）
が、これについてはさらにペリクルを装着したマスク基
板の収納保管ケースの内側面に粘性を持たせ、ペリクル
表面についたゴミやその近くに存在するゴミを自然に取
り除く方法も提案されている（米国特許第 4,470,508号
明細書参照）。
ルを装着したマスク基板のフレーム内側に粘着剤層を設
けることが提案されており（特公昭63-777号公報参
照）、また、ペリクル表面に粘着剤をコーティングする
ことも提案されている（特開平1-120555号公報参照）
が、これについてはさらにペリクルを装着したマスク基
板の収納保管ケースの内側面に粘性を持たせ、ペリクル
表面についたゴミやその近くに存在するゴミを自然に取
り除く方法も提案されている（米国特許第 4,470,508号
明細書参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら公知の
方法はいずれもいったん付着したゴミが再び離れてそれ
が集積回路の感光面に転移していかないようにしている
だけで、ペリクルの保管中でもペリクル表面にゴミが付
着するのを防止するものではないので、集積回路の製品
不良防止方法としては不十分なものであった。
方法はいずれもいったん付着したゴミが再び離れてそれ
が集積回路の感光面に転移していかないようにしている
だけで、ペリクルの保管中でもペリクル表面にゴミが付
着するのを防止するものではないので、集積回路の製品
不良防止方法としては不十分なものであった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、欠点を解決したペリクル収納容器に関するものであ
り、これはペリクルと接触するペリクル収納容器表面
に、予め離型層を形成してなることを特徴とするもので
ある。
利、欠点を解決したペリクル収納容器に関するものであ
り、これはペリクルと接触するペリクル収納容器表面
に、予め離型層を形成してなることを特徴とするもので
ある。
【０００７】すなわち、本発明者らはペリクル保管中に
ペリクル表面にゴミが付着するのを防止したペリクル収
納容器を開発すべく種々検討した結果、これについては
ペリクル収納容器表面のペリクルを置く部分に直接シリ
コーン含有剥離剤からなる離型層を設けておけばペリク
ルに対するゴミの付着が防止されることを見出し、これ
によればセパレーターなどの装着も不要となるので、輸
送時などにおけるセパレーターからの発塵もなくなると
いう有利性の与えられることを確認して本発明を完成さ
せた。以下にこれをさらに詳述する。
ペリクル表面にゴミが付着するのを防止したペリクル収
納容器を開発すべく種々検討した結果、これについては
ペリクル収納容器表面のペリクルを置く部分に直接シリ
コーン含有剥離剤からなる離型層を設けておけばペリク
ルに対するゴミの付着が防止されることを見出し、これ
によればセパレーターなどの装着も不要となるので、輸
送時などにおけるセパレーターからの発塵もなくなると
いう有利性の与えられることを確認して本発明を完成さ
せた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明によればペリクル収納容器のペリクルを
置く位置にシリコーン含有剥離剤からなる離型層を設け
ておけば、セパレーターを使用する必要がないので、セ
パレーターからの発塵もなくなり、ペリクル収納容器に
収納されているペリクルにゴミの付着することが防止さ
れる。
置く位置にシリコーン含有剥離剤からなる離型層を設け
ておけば、セパレーターを使用する必要がないので、セ
パレーターからの発塵もなくなり、ペリクル収納容器に
収納されているペリクルにゴミの付着することが防止さ
れる。
【０００９】本発明のペリクル収納容器は例えば図１、
図２に示されたものとされる。図１は本発明に使用され
るペリクル収納容器の斜視図を示したものであるが、こ
れは例えばポリプロピレン樹脂で作られた縦横 140mm、
深さ10mm、肉厚 0.5mmの収納部１とその蓋２とからなる
ものとされ、この収納部１にペリクルを収納するように
したものであるが、この収納部１には図２に示したよう
にその底部３にペリクルフレームの枠よりもやや大きな
内側 115×90mm、外側 125×100mm の剥離剤４が塗布さ
れて、ここに離型層が設けられている。
図２に示されたものとされる。図１は本発明に使用され
るペリクル収納容器の斜視図を示したものであるが、こ
れは例えばポリプロピレン樹脂で作られた縦横 140mm、
深さ10mm、肉厚 0.5mmの収納部１とその蓋２とからなる
ものとされ、この収納部１にペリクルを収納するように
したものであるが、この収納部１には図２に示したよう
にその底部３にペリクルフレームの枠よりもやや大きな
内側 115×90mm、外側 125×100mm の剥離剤４が塗布さ
れて、ここに離型層が設けられている。
【００１０】この離型層は直接容器に塗られている。そ
のため、これまでのもののように容器とセパレーターの
こすれによる発塵がないために、容器に納められている
ペリクルを汚染することがないという有利性が与えられ
る。
のため、これまでのもののように容器とセパレーターの
こすれによる発塵がないために、容器に納められている
ペリクルを汚染することがないという有利性が与えられ
る。
【００１１】なお、本発明のペリクル収納容器に収納さ
れるペリクルは公知のものでよい。したがって、これは
公知のニトロセルロース、酢酸セルロース、ポリトリメ
チルビニルシラン、ブルラン化合物、非晶性フッ素重合
体、シリコーン変性ポリビニルアルコールなどで作られ
たものとし、これを公知のアルミニウム、ステンレス、
ポリエチレンなどから作られたペリクルフレームにエポ
キシ系接着剤などで固定したものとすればよく、これは
必要に応じＰＥＴフィルムなどで作られたセパレーター
を設けたものとしてもよい。また、本発明のペリクル収
納容器では、ペリクルが接触するその表面に剥離剤によ
って離型層が設けられるのであるが、この剥離剤として
は工業的に純度の高いものが得られるシリコーン含有剥
離剤とし、これにはシリコーン剥離剤、フッ素シリコー
ン系剥離剤、シリコーン系粘着剤などが例示される。
れるペリクルは公知のものでよい。したがって、これは
公知のニトロセルロース、酢酸セルロース、ポリトリメ
チルビニルシラン、ブルラン化合物、非晶性フッ素重合
体、シリコーン変性ポリビニルアルコールなどで作られ
たものとし、これを公知のアルミニウム、ステンレス、
ポリエチレンなどから作られたペリクルフレームにエポ
キシ系接着剤などで固定したものとすればよく、これは
必要に応じＰＥＴフィルムなどで作られたセパレーター
を設けたものとしてもよい。また、本発明のペリクル収
納容器では、ペリクルが接触するその表面に剥離剤によ
って離型層が設けられるのであるが、この剥離剤として
は工業的に純度の高いものが得られるシリコーン含有剥
離剤とし、これにはシリコーン剥離剤、フッ素シリコー
ン系剥離剤、シリコーン系粘着剤などが例示される。
【００１２】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１ 非晶質フッ素系重合体・サイトップ［旭硝子（株）製商
品名］から作製した膜厚が 8,150Åのペリクル膜を、 1
20mm×98mm×２mmで厚さが 5.8mmの表面をアルマイト処
理したジュラルミン製のペリクルフレームにエポキシ樹
脂で固定し、このペリクルフレームの表面に粘着剤・ポ
リブテンＳＶ-7,000［日本石油（株）製商品名］を厚さ
0.5mmに塗布した。
品名］から作製した膜厚が 8,150Åのペリクル膜を、 1
20mm×98mm×２mmで厚さが 5.8mmの表面をアルマイト処
理したジュラルミン製のペリクルフレームにエポキシ樹
脂で固定し、このペリクルフレームの表面に粘着剤・ポ
リブテンＳＶ-7,000［日本石油（株）製商品名］を厚さ
0.5mmに塗布した。
【００１３】ついで、このペリクルフレームに固定した
ペリクルを、図１に示したペリクル収納容器の底部に下
記の式
ペリクルを、図１に示したペリクル収納容器の底部に下
記の式
【化１】 で示されるシリコーン系剥離剤を図２に示したように厚
さ 0.5μｍに塗布した収納部に収納し、これを一般道路
で約 500km走行して、運行後のペリクル上における異物
の増加を0.5Luxの暗室内に30万Lux の集光ランプを照射
したときの目視検査でチェックしたところ、後記する表
１に示したように全く増加は認められなかった。
さ 0.5μｍに塗布した収納部に収納し、これを一般道路
で約 500km走行して、運行後のペリクル上における異物
の増加を0.5Luxの暗室内に30万Lux の集光ランプを照射
したときの目視検査でチェックしたところ、後記する表
１に示したように全く増加は認められなかった。
【００１４】実施例２ 実施例１と同じペリクルを実施例１と同じペリクルフレ
ームに固定したが、この場合ペリクルフレームに塗着し
た粘着剤をシリコーン粘着剤・ＫＲ-101-1［信越化学工
業（株）製商品名］の厚さ 0.6mmのものとし、ペリクル
収容容器に塗布する剥離剤をフッ素シリコーン剥離剤・
Ｘ-70-201 ［信越化学工業（株）製商品名］を 0.5μｍ
で塗布したものとしたほかは実施例１と同様に処理し、
これを実施例１と同じように 500km運行テストしてその
異物の増加をしらべたところ、この場合も後記する表１
に示したように異物の増加は認められなかった。
ームに固定したが、この場合ペリクルフレームに塗着し
た粘着剤をシリコーン粘着剤・ＫＲ-101-1［信越化学工
業（株）製商品名］の厚さ 0.6mmのものとし、ペリクル
収容容器に塗布する剥離剤をフッ素シリコーン剥離剤・
Ｘ-70-201 ［信越化学工業（株）製商品名］を 0.5μｍ
で塗布したものとしたほかは実施例１と同様に処理し、
これを実施例１と同じように 500km運行テストしてその
異物の増加をしらべたところ、この場合も後記する表１
に示したように異物の増加は認められなかった。
【００１５】実施例３ 実施例１と同じペリクル、ペリクルフレームを用いてペ
リクルを作成すると共に、このペリクルフレームに実施
例２と同じシリコーン粘着剤・ＫＲ-101-1（前出）を塗
布したのち、このペリクルをポリエチレンテレフタレー
トフィルムにフッ素シリコーン剥離剤・Ｘ-70-201 （前
出）を塗布したセパレーターをシリコーン粘着剤・ＫＲ
101-10（前出）で収納容器にとりつけ、ペリクル収納容
器に収納し、実施例１と同様の運行テストを行なったと
ころ、この場合も後記する表１に示したように異物の増
加はなかった。
リクルを作成すると共に、このペリクルフレームに実施
例２と同じシリコーン粘着剤・ＫＲ-101-1（前出）を塗
布したのち、このペリクルをポリエチレンテレフタレー
トフィルムにフッ素シリコーン剥離剤・Ｘ-70-201 （前
出）を塗布したセパレーターをシリコーン粘着剤・ＫＲ
101-10（前出）で収納容器にとりつけ、ペリクル収納容
器に収納し、実施例１と同様の運行テストを行なったと
ころ、この場合も後記する表１に示したように異物の増
加はなかった。
【００１６】比較例 実施例１と同様のペリクル膜、ペリクルフレームを用い
てペリクルを作成し、これにＰＥＴフィルムからなるセ
パレーターを設け、このセパレーターに実施例１と同じ
シリコーン剥離剤を厚さ 0.5μｍとなるように塗布し、
これを離型層を有しない収納容器に入れて実施例１と同
様の運行テストを行なったところ、この場合には後記す
る表１に示したように異物が19個になっていることが確
認された。
てペリクルを作成し、これにＰＥＴフィルムからなるセ
パレーターを設け、このセパレーターに実施例１と同じ
シリコーン剥離剤を厚さ 0.5μｍとなるように塗布し、
これを離型層を有しない収納容器に入れて実施例１と同
様の運行テストを行なったところ、この場合には後記す
る表１に示したように異物が19個になっていることが確
認された。
【００１７】比較例２ 実施例１と同様のペリクル膜、ペリクルフレームを用い
てペリクルを作成し、これに比較例１と同じＰＥＴフィ
ルムからなるセパレーターを設置しセパレーターに実施
例２と同じフッ素シリコーン剥離剤を厚さ 0.5μｍとな
るように塗布し、これを離型層を有しない収納容器に入
れて実施例１と同様の運行テストを行なったところ、こ
の場合にはつぎの表１に示したように異物が９個になっ
ていることが確認された。
てペリクルを作成し、これに比較例１と同じＰＥＴフィ
ルムからなるセパレーターを設置しセパレーターに実施
例２と同じフッ素シリコーン剥離剤を厚さ 0.5μｍとな
るように塗布し、これを離型層を有しない収納容器に入
れて実施例１と同様の運行テストを行なったところ、こ
の場合にはつぎの表１に示したように異物が９個になっ
ていることが確認された。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、セパレーターの装着が
不要となるので輸送時にセパレーターなどからの発塵が
なくなり、ペリクルに対するゴミの付着が防止される。
不要となるので輸送時にセパレーターなどからの発塵が
なくなり、ペリクルに対するゴミの付着が防止される。
【図１】本発明で使用されるペリクル収納容器の斜視図
を示したものである。
を示したものである。
【図２】本発明のペリクル収納容器における離型層の位
置を示した斜視図を示したものである。
置を示した斜視図を示したものである。
１…ペリクル収納部、 ２…ペリクル収納部蓋、３
…ペリクル収納部底部、 ４…離型層。
…ペリクル収納部底部、 ４…離型層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永田 愛彦 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 樫田周 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 久保田 芳宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 昭63−305359（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−208221（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03F 1/14
Claims (1)
- 【請求項１】 ペリクルと接触するペリクル収納容器表
面に、予めシリコーン含有剥離剤からなる離型層を形成
してなることを特徴とするペリクル収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9119593A JP2855044B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9119593A JP2855044B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308718A JPH06308718A (ja) | 1994-11-04 |
| JP2855044B2 true JP2855044B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=14019671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9119593A Expired - Fee Related JP2855044B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855044B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6320309B2 (ja) * | 2015-01-19 | 2018-05-09 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP9119593A patent/JP2855044B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06308718A (ja) | 1994-11-04 |
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Legal Events
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