JP2638671B2 - ウェーハの収納方法及び収納容器 - Google Patents
ウェーハの収納方法及び収納容器Info
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、例えばシリコンウェーハなどのウェーハ
は、その表面に結露を生じさせることなく収納できるウ
ェーハの収納方法及び収納容器に関する。
は、その表面に結露を生じさせることなく収納できるウ
ェーハの収納方法及び収納容器に関する。
［従来の技術］ 従来、例えばシリコンウェーハなどの半導体基板用ウ
ェーハの製造過程においては、鏡面仕上げ後のウェーハ
に異物が付着することを防止するため、鏡面仕上げ後に
十分洗浄されたウェーハを、クリーンルーム内において
ポリエチレン、ポリプロピレンアルイハナイロン等の樹
脂を素材とする収納容器に収納し、この後、収納容器を
密閉してウェーハを外部環境から隔離された状態で輸送
することが行われている。
ェーハの製造過程においては、鏡面仕上げ後のウェーハ
に異物が付着することを防止するため、鏡面仕上げ後に
十分洗浄されたウェーハを、クリーンルーム内において
ポリエチレン、ポリプロピレンアルイハナイロン等の樹
脂を素材とする収納容器に収納し、この後、収納容器を
密閉してウェーハを外部環境から隔離された状態で輸送
することが行われている。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、このような手順でウェーハを輸送する場
合、収納容器の温度は外気に左右され、また航空機輸送
される場合も多く、外部温度の上下に応じて収納容器内
の温度も上下する。一方、収納容器の内部にはウェーハ
の収納作業が行われるクリーンルーム内の空気が充填さ
れており、かかる空気は通常50％程度の湿度に管理され
ているため、収納容器内の温度が露点温度よりも低下し
てウェーハ表面に結露が生じることがある。
合、収納容器の温度は外気に左右され、また航空機輸送
される場合も多く、外部温度の上下に応じて収納容器内
の温度も上下する。一方、収納容器の内部にはウェーハ
の収納作業が行われるクリーンルーム内の空気が充填さ
れており、かかる空気は通常50％程度の湿度に管理され
ているため、収納容器内の温度が露点温度よりも低下し
てウェーハ表面に結露が生じることがある。
そして、ウェーハ表面に結露が生じると、洗浄後のウ
ェーハの表面に均一に分布していたNa、Zn、Ca等の微小
な異物が水滴の張力で引き寄せられてウェーハ表面に局
部的に集中し、自然酸化膜の異常成長などが生じ、この
結果結露が解消してもこれら異物が残されてウェーハの
鏡面に局部的にくもりが発生し、ウェーハの品質が劣化
することがあった。
ェーハの表面に均一に分布していたNa、Zn、Ca等の微小
な異物が水滴の張力で引き寄せられてウェーハ表面に局
部的に集中し、自然酸化膜の異常成長などが生じ、この
結果結露が解消してもこれら異物が残されてウェーハの
鏡面に局部的にくもりが発生し、ウェーハの品質が劣化
することがあった。
かかる欠点を解消する手段として、例えば収納容器内
に乾燥空気やチッソガス等の不活性ガスを充填して結露
を防止することが考えられるが、かかる作業はクリーン
ベンチ内で酸欠防止に注意しながら行う必要がある。ま
た、クリーンルーム内に保管中にクリーンルームの空気
と入れ換わるこ場合も多い。また、収納容器内に乾燥剤
を投入することも考えられるが、乾燥剤から発生するチ
リがウェーハ表面に付着するおそれがあって妥当でな
い。
に乾燥空気やチッソガス等の不活性ガスを充填して結露
を防止することが考えられるが、かかる作業はクリーン
ベンチ内で酸欠防止に注意しながら行う必要がある。ま
た、クリーンルーム内に保管中にクリーンルームの空気
と入れ換わるこ場合も多い。また、収納容器内に乾燥剤
を投入することも考えられるが、乾燥剤から発生するチ
リがウェーハ表面に付着するおそれがあって妥当でな
い。
この発明は、このような背景の下になされたもので、
ウェーハ表面の結露を防止できるウェーハの収納方法及
び収納容器を提供することを目的とする。
ウェーハ表面の結露を防止できるウェーハの収納方法及
び収納容器を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するために、この発明のウェーハの収
納方法では、素材に絶乾した樹脂材料を用いた収納容器
内にウェーハを収納し、この後、収納容器を密閉してウ
ェーハを収納することとした。
納方法では、素材に絶乾した樹脂材料を用いた収納容器
内にウェーハを収納し、この後、収納容器を密閉してウ
ェーハを収納することとした。
そして、かかる収納方法に用いて好適な収納容器とし
て、素材に絶乾したポリカーボネイトを用いた収納容器
を発明した。
て、素材に絶乾したポリカーボネイトを用いた収納容器
を発明した。
［作用］ 上記構成の収納方法によれば、絶乾した樹脂材料から
なる収納容器内にウェーハを収納しているから、収納容
器自体に水分を吸収する余地が残されている。従って、
容器を密閉した段階で容器内に充填される空気中の水分
は、まず収納容器自身に吸水され、これにより容器内の
湿度が低下してウェーハ表面の結露が抑制される。
なる収納容器内にウェーハを収納しているから、収納容
器自体に水分を吸収する余地が残されている。従って、
容器を密閉した段階で容器内に充填される空気中の水分
は、まず収納容器自身に吸水され、これにより容器内の
湿度が低下してウェーハ表面の結露が抑制される。
また、上記構成の収納容器によれば、素材として用い
られるポリカーボネイトの吸水率が、従来の収納容器の
素材に用いられていたポリエチレン等に比して著しく大
きいので、収納容器に吸水される水分量が大きくなり、
その分、容器内の湿度が一層低下してウェーハが結露す
るおそれがなくなる。
られるポリカーボネイトの吸水率が、従来の収納容器の
素材に用いられていたポリエチレン等に比して著しく大
きいので、収納容器に吸水される水分量が大きくなり、
その分、容器内の湿度が一層低下してウェーハが結露す
るおそれがなくなる。
［実施例］ 以下、図面を参照して、本発明の一実施例を説明す
る。
る。
図において符号１はウェーハカセットである。このウ
ェーハカセット１は、鏡面加工後のウェーハＷをその軸
線方向に適当な間隔をおいて保持するためのもので、そ
の形状は上方に開口する箱形容器状を呈している。ま
た、ウェーハカセット１の内部には、上記ウェーハＷを
一枚ずつ収納するための収納溝２…が多数形成されてい
る。
ェーハカセット１は、鏡面加工後のウェーハＷをその軸
線方向に適当な間隔をおいて保持するためのもので、そ
の形状は上方に開口する箱形容器状を呈している。ま
た、ウェーハカセット１の内部には、上記ウェーハＷを
一枚ずつ収納するための収納溝２…が多数形成されてい
る。
一方、符号３は収納容器である。この収納容器３は、
上記ウェーハカセット１を収納する容器本体４と、この
容器本体４の上部に装着される蓋５とからなるものであ
る。容器本体４は上方に向かって開口する略直方体形状
をなし、その内部が上記ウェーハカセット１を収納する
収納部とされている。
上記ウェーハカセット１を収納する容器本体４と、この
容器本体４の上部に装着される蓋５とからなるものであ
る。容器本体４は上方に向かって開口する略直方体形状
をなし、その内部が上記ウェーハカセット１を収納する
収納部とされている。
また、容器本体４の上部には、蓋５のフランジ5aと密
着するフランジ4aが形成されている。さらに、蓋５の裏
側には容器本体４の上端縁4bと嵌合する溝部（図示略）
が形成され、これら溝部及び上端縁4b及び上記各フラン
ジ4a、5aとによって、容器本体４の内部を密閉する密閉
部が構成されている。
着するフランジ4aが形成されている。さらに、蓋５の裏
側には容器本体４の上端縁4bと嵌合する溝部（図示略）
が形成され、これら溝部及び上端縁4b及び上記各フラン
ジ4a、5aとによって、容器本体４の内部を密閉する密閉
部が構成されている。
そして、これら容器本体４及び蓋５は、それぞれ全体
がポリカーボネートを素材として一体成形されており、
成形後に所定の乾燥処理が施されることによって内部水
分量が０となる絶乾状態に保持されている。また、これ
ら容器本体４の外表面及び蓋５の上面側はアルミラミネ
ート等によって覆われており、容器３の外部から内部へ
の水分の侵入が阻止される構造とされている。なお、図
において符号７はストッパであり、蓋５を容器本体４に
装着した場合においてウェーハＷ及びウェーハカセット
１と当接してこれらの遊動を阻止する機能を担ってい
る。
がポリカーボネートを素材として一体成形されており、
成形後に所定の乾燥処理が施されることによって内部水
分量が０となる絶乾状態に保持されている。また、これ
ら容器本体４の外表面及び蓋５の上面側はアルミラミネ
ート等によって覆われており、容器３の外部から内部へ
の水分の侵入が阻止される構造とされている。なお、図
において符号７はストッパであり、蓋５を容器本体４に
装着した場合においてウェーハＷ及びウェーハカセット
１と当接してこれらの遊動を阻止する機能を担ってい
る。
しかして、以上の構成からなる収納容器３を用いてウ
ェーハＷを収納するには、まずクリーンルーム内におい
て所定枚数のウェーハＷをウェーハカセット１に挿入
し、続いてウェーハＷをウェーハカセット１ごと容器本
体４の内部に収納し、この後、容器本体４の上部に蓋５
を装着して収納容器３の内部を密閉する。
ェーハＷを収納するには、まずクリーンルーム内におい
て所定枚数のウェーハＷをウェーハカセット１に挿入
し、続いてウェーハＷをウェーハカセット１ごと容器本
体４の内部に収納し、この後、容器本体４の上部に蓋５
を装着して収納容器３の内部を密閉する。
このようにウェーハＷを収納する場合、収納容器３全
体が絶乾されたポリカーボネイトから成形されているか
ら、収納容器３自体に容器内の水分が吸収される余地が
ある。このため、容器密閉後においては、収納容器３内
に充填される空気中の水分が収納容器３に吸水されて容
器内の湿度が低下し、これにより容器内の露点温度が低
下してウェーハＷの表面の結露が抑制される。従って、
ウェーハＷの表面に局部的なくもりが生じることもな
く、ウェーハＷの品質を一定に維持できる。
体が絶乾されたポリカーボネイトから成形されているか
ら、収納容器３自体に容器内の水分が吸収される余地が
ある。このため、容器密閉後においては、収納容器３内
に充填される空気中の水分が収納容器３に吸水されて容
器内の湿度が低下し、これにより容器内の露点温度が低
下してウェーハＷの表面の結露が抑制される。従って、
ウェーハＷの表面に局部的なくもりが生じることもな
く、ウェーハＷの品質を一定に維持できる。
また、本実施例では、収納容器３の素材に絶乾したポ
リカーボネイトが用いられているため、従来用いられて
いたポリエチレン等で収納容器３を成形した場合に比し
て収納容器３自体の吸水能力が高く、従って、ウェーハ
Ｗ表面の結露がより一層抑制される。ちなみに、温度20
℃、湿度75％の環境下に24時間放置した場合におけるポ
リエチレンの吸水率が体積の0.015％以下に止どまるの
に対して、同一条件におけるポリカーボネイトの吸水率
は0.23〜0.26％に達するため、収納容器３の全体をポリ
カーボネイトによって製造すれば、従来の15倍以上の水
分を収納容器３自体が吸水できることになる。
リカーボネイトが用いられているため、従来用いられて
いたポリエチレン等で収納容器３を成形した場合に比し
て収納容器３自体の吸水能力が高く、従って、ウェーハ
Ｗ表面の結露がより一層抑制される。ちなみに、温度20
℃、湿度75％の環境下に24時間放置した場合におけるポ
リエチレンの吸水率が体積の0.015％以下に止どまるの
に対して、同一条件におけるポリカーボネイトの吸水率
は0.23〜0.26％に達するため、収納容器３の全体をポリ
カーボネイトによって製造すれば、従来の15倍以上の水
分を収納容器３自体が吸水できることになる。
なお、本実施例では収納容器３の全体をポリカーボネ
イトで成形しているが、本発明はこれに限るものではな
く、容器自体の吸水能力がその内部に充填される空気の
水分量に比して十分に余裕があれば、例えば蓋５を別材
料とする等、一部に異なる材料を用いても良い。
イトで成形しているが、本発明はこれに限るものではな
く、容器自体の吸水能力がその内部に充填される空気の
水分量に比して十分に余裕があれば、例えば蓋５を別材
料とする等、一部に異なる材料を用いても良い。
他方、収納容器３の吸水能力が容器内の水分量に対し
て不足気味であれば、収納容器３の内部に吸水板等を設
けることによって容器の体積を増大させ、これにより吸
水能力を増大させることも可能である。
て不足気味であれば、収納容器３の内部に吸水板等を設
けることによって容器の体積を増大させ、これにより吸
水能力を増大させることも可能である。
ここで、収納容器３の素材として用いたポリカーボネ
イトの具体的な吸水能力と収納容器３の内部に充填され
る空気の水分量との関係を定量的に検討して、本発明の
効果を明らかにする。
イトの具体的な吸水能力と収納容器３の内部に充填され
る空気の水分量との関係を定量的に検討して、本発明の
効果を明らかにする。
まず容器内に充填される空気中の水蒸気量w0を算出す
る。
る。
ウェーハの収納作業が行われるクリーンルームが、温
度23℃、湿度50％とすると、 容器内の絶対湿度x0は、 x0＝0.0087Kg/Kg 比容積ｖは、 ｖ＝0.85m3/Kgである。
度23℃、湿度50％とすると、 容器内の絶対湿度x0は、 x0＝0.0087Kg/Kg 比容積ｖは、 ｖ＝0.85m3/Kgである。
一方、収納容器内部の寸法を170mm×170mm×170mmと
すれば、収納容器の内容積すなわち容器内に充填される
空気の体積V0は、 V0＝0.173≒0.005m3 従って、容器内の乾き空気量w1は、 w1＝V0/v＝5.88×10-3Kg よって容器内の水蒸気量w0は、 w0＝w1×x0＝5.12×10-5Kg 次に、ポリカーボネイト材料の吸水量を算出する。
すれば、収納容器の内容積すなわち容器内に充填される
空気の体積V0は、 V0＝0.173≒0.005m3 従って、容器内の乾き空気量w1は、 w1＝V0/v＝5.88×10-3Kg よって容器内の水蒸気量w0は、 w0＝w1×x0＝5.12×10-5Kg 次に、ポリカーボネイト材料の吸水量を算出する。
絶乾したポリカーボネイトにより直径150mm、厚さ1mm
の円板状の試料を成形したと仮定すると、試料の重量Ｍ
は、 Ｍ＝0.0247Kgとなる。
の円板状の試料を成形したと仮定すると、試料の重量Ｍ
は、 Ｍ＝0.0247Kgとなる。
ここで、ポリカーボネイトの平衡吸水率を0.2％とす
れば、試料の吸水量ｍは、 ｍ＝Ｍ×0.2/100＝4.95×10-5Kg となる。
れば、試料の吸水量ｍは、 ｍ＝Ｍ×0.2/100＝4.95×10-5Kg となる。
次に、の試料をの容器内に収納した場合におい
て、容器内の水蒸気が試料のみに吸水されて容器自体は
一切水蒸気を吸水しないと仮定すれば、容器内の残存水
蒸気量ｗは、 ｗ＝w0−ｍ＝0.17×10-5Kg 従って、吸水後の容器内の絶対湿度x1は、 x1＝w/w1＝0.000289 （≒０〜２％） となり、このときの露点温度ｔは、 ｔ≦−20℃となる。
て、容器内の水蒸気が試料のみに吸水されて容器自体は
一切水蒸気を吸水しないと仮定すれば、容器内の残存水
蒸気量ｗは、 ｗ＝w0−ｍ＝0.17×10-5Kg 従って、吸水後の容器内の絶対湿度x1は、 x1＝w/w1＝0.000289 （≒０〜２％） となり、このときの露点温度ｔは、 ｔ≦−20℃となる。
従って、容器内の温度が−20℃を下回らない限りウェ
ーハ表面に結露が生じることはない。
ーハ表面に結露が生じることはない。
以上のように、収納容器よりも遥かに体積が小さい試
料のみでも容器内の露点温度を十分に低下させてウェー
ハ表面の結露を防止できることが判明した。従って、収
納容器の全体を絶乾したポリカーボネイトで成形した場
合には、ウェーハ表面に結露が生じるおそれが全くない
ことが明らかである。さらに、必ずしも収納容器の全体
をポリカーボネイトで成形しなくとも足りることも実証
された。
料のみでも容器内の露点温度を十分に低下させてウェー
ハ表面の結露を防止できることが判明した。従って、収
納容器の全体を絶乾したポリカーボネイトで成形した場
合には、ウェーハ表面に結露が生じるおそれが全くない
ことが明らかである。さらに、必ずしも収納容器の全体
をポリカーボネイトで成形しなくとも足りることも実証
された。
なお、本実施例で示した収納容器３の具体的形状はあ
くまで一例を示すものであり、容器の密閉構造やウェー
ハＷの収納枚数等は必要に応じて適宜設計変更されるも
のである。
くまで一例を示すものであり、容器の密閉構造やウェー
ハＷの収納枚数等は必要に応じて適宜設計変更されるも
のである。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明のウェーハの収納方法
によれば、収納容器内に充填された空気中の水分が収納
容器自体に吸水されて容器内の湿度が低下するので、容
器内の露点温度を低下させてウェーハ表面の結露を抑制
できるという優れた効果が得られる。
によれば、収納容器内に充填された空気中の水分が収納
容器自体に吸水されて容器内の湿度が低下するので、容
器内の露点温度を低下させてウェーハ表面の結露を抑制
できるという優れた効果が得られる。
また、この発明のウェーハの収納容器によれば、ポリ
カーボネイトの吸水率が従来の素材に比して遥かに大き
いために、収納容器の吸水量が大幅に増加して容器内の
湿度が一層低下するので、ウェーハ表面への結露をより
確実に防止できる。
カーボネイトの吸水率が従来の素材に比して遥かに大き
いために、収納容器の吸水量が大幅に増加して容器内の
湿度が一層低下するので、ウェーハ表面への結露をより
確実に防止できる。
添付図は、ウェーハを収納する収納容器と、この収納容
器内に収納されるウェーハカセットの概略構成を示す斜
視図である。 ３……収納容器、４……容器本体、５……蓋、Ｗ……ウ
ェーハ。
器内に収納されるウェーハカセットの概略構成を示す斜
視図である。 ３……収納容器、４……容器本体、５……蓋、Ｗ……ウ
ェーハ。
Claims (2)
- 【請求項１】素材に絶乾した樹脂材料を用いた収納容器
内にウェーハを収納し、この後、上記収納容器を密閉す
るウェーハの収納方法。 - 【請求項２】ウェーハを収納する収納部と、該収納部を
密閉する密閉部とを備えてなるウェーハの収納容器であ
って、素材に絶乾したポリカーボネートが用いられてい
ることを特徴とするウェーハの収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27726490A JP2638671B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | ウェーハの収納方法及び収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27726490A JP2638671B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | ウェーハの収納方法及び収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04152548A JPH04152548A (ja) | 1992-05-26 |
| JP2638671B2 true JP2638671B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=17581100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27726490A Expired - Lifetime JP2638671B2 (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | ウェーハの収納方法及び収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2638671B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20080091072A (ko) * | 2006-05-24 | 2008-10-09 | 에스이아이 하이브리드 가부시키가이샤 | 웨이퍼 유지체와 그 제조 방법 및 반도체 제조 장치 |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP27726490A patent/JP2638671B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04152548A (ja) | 1992-05-26 |
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