JPH03181311A - シート状乾燥剤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は吸湿性有機物質を基材に担持してなるシート状
乾燥剤で、半導体および半導体部品または金属および金
属部品の保存時に用いられる乾燥剤に関する。

〔従来技術〕

従来、半導体等（以後、「半導体および半導体部品また
は金属および金属部品」を「半導体等」と略称する〉の
保存は、保存容器内を乾燥窒素で置換する方法で実施さ
れている。

しかし、乾燥窒素の置換作業はクリーンルーム内で実施
されるため、包装作業場の酸素濃度が低下し、作業環境
を悪化させるとか、あるいは乾燥窒素との完全置換が困
難なため、容器内を防錆に必要とする乾燥状態（−船釣
には相対湿度５０ＲＨ％以下）にできないうらみがある
。

一方、金属製品の防錆にはシリカゲル、生石灰、ゼオラ
イトなどを通気性包装材で包装したものが広く用いられ
ている。

また、塩化カルシウムなどの塩類水溶液を紙に含浸させ
て乾燥したシート状の乾燥剤あるいはシリカゲルとオレ
フィン系プラスチックとを混練した後成形したシート状
乾燥剤も用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前記のシリカゲル、生石灰、ゼオライトなどは粒状の固
体であり、乾燥剤の包装時に、包材に微粉が付着する。

この微粉が製品の保存中あるいは輸送中に、半導体等の
表面に付着し、電気回路をショートさせる原因になった
り、あるいは表面をキズつける等の不都合がある。

一方、塩化カルシウム等塩類を紙に含浸させたシート状
乾燥剤の場合、これを半導体等の保存に使用すると含浸
させた塩化カルシウムが半導体等の表面に転写され、汚
染されることがある。

また、シリカゲルとポリエチレンを混練後成形したプラ
スチックシート乾燥剤の場合は、吸湿速度が小さく、対
象とする製品によっては防錆効果が十分発揮されない。

他方、グリセリンなどの吸湿性有機物質が、調湿剤とし
て用いられている例もある。しかし、グリセリンなど液
状の吸湿性有機物質を乾燥剤として使用し、防錆対象の
製品とともに袋あるいは容器に包装して搬送することは
取扱上、種々の不都合が生じる。

さらに、以上に列挙した従来の乾燥剤の場合、製品を包
装する袋あるいは容器内に酸性ガスが存在しても、これ
を吸収しないので半導体等の腐食を防止することができ
ない。

〔問題点を解決するための手段〕

このような従来乾燥剤の欠点を解消し、系内を速やかに
除湿し、しかも乾燥剤から飛散してくる微粉によって半
導体等を汚染せず、またキズつけることがなく、さらに
は容器内の酸性ガスをも吸収することができる乾燥剤を
開発すべく鋭意研究した結果、吸湿性有機物質を基材に
担持して得られるシート状乾燥剤が前記目的に合致する
ことを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、吸湿性有機物質が基材に担持され
、また必要に応じて塩基性物質を併用したシート状乾燥
剤に関する。

さらに詳しくは、本発明は、吸湿性有機物質を使用し、
これを基材に担持させるという手段を採用したものであ
り、従来のシリカゲノベ生石灰、セオライトなどにみら
れるような微粉の発生がなく、さらには、吸湿性有機物
質を基材に担持させることなく単独で用いるのに比べて
その吸湿速度を著しく増加させ得る、しかも形状をシー
ト状とすることにより、液状の吸湿性有機物質を乾燥剤
として実用上取扱いやすくし、通気性包装材で包装して
半導体等の保存用に使用することを可能とした乾燥剤に
関する。さらには、この乾燥剤に塩基性物質を併用する
ことにより保存用容器内に半導体等を腐食、変質させる
酸性ガスが存在した場合、これをも吸収する機能が付与
されたシート状乾燥剤に関する。

本発明のシート状乾燥剤を半導体等の保存用として使用
するときは、保存系の相対湿度を５０ＲＨ％以下とする
必要があり、これを可能とする吸湿性有機物質と基材が
選ばれる。

本発明で用いられる吸湿性有機物質は、系内の相対湿度
を５０ＲＨ％以下とするもので、水酸基あるいはアミン
基またはこれら両方の基を持った有機化合物が挙げられ
る。そしてこのような有機化合物はさらには１００℃以
下の温度における粘度が１０’Ｃｐ以下を示す物質が好
ましい。

具体的にはたとえばトリメチロールプロパン、グリセリ
ン、メトキシプロパンジオール、エトキシプロパンジオ
ールなどの多価アルコール類、モノ−、ジー　トリーエ
タノールアミン、モノジー　トリープロパツールアミン
などのアミノアルコール類、ポリ　（メタ）アクリル酸
、ポリ　（メタ）アクリル酸とポリビニルアルコールの
共重合物、ポリエチレングリコール類、その他ジメチル
チオ尿素、シアナミド、メチルイミダゾールなど挙げら
れるが、特にグリセリンが好ましい。

上記吸湿性有機物質は一種または二種以上の混合物とし
て用いられる。

本発明で用いられる基材は吸湿性有機物質を保持する担
持体であり、吸湿速度の増大とシート化の形状保持のた
めのものである。この基材は吸湿性有機物質を保持でき
るものであれば特に限定するものでないが、好まし、く
は天然パルプからなる紙、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリエチレンフタレートなどからなる合成紙、不織
布、天然パルプと合成繊維の混抄紙、布などである。

この基材にはサイズ剤、接着剤、凝集剤、静電気防止剤
を必要に応じて添加することもある。

この基材としては通常坪量が１０〜５００ｇ／ｍ２厚み
０．１〜９．５ｍｍのものが用いられる。

基材への吸湿性有機物質の担持は吸湿性有機物質に基材
を浸漬して含浸する方法、あるいは基材の表面にコータ
ー等で塗布する方法が挙げられる。

吸湿性有機物質の担持量は基材１００重量部に対して１
０〜５００重量部である。

吸湿性有機物質を基材に速やかに浸透させ、担持量を増
大させる為に、浸透剤としてエタノール、メタノール等
の低級アルコール、脂肪酸アルカリ金属塩、アルキルベ
ンゼンスルホン酸塩類、高級アルコール化合物等の界面
活性剤または弗素化合物を添加することもある。

本発明のシート状乾燥剤には、必要に応じて、さらに塩
基性物質が併用される。

塩基性物質を併用することにより、酸性物質吸収機能が
付与され、シート状乾燥剤が封入されている容器内に残
存する、あるいは容器外から透過してくる硫黄化合物や
ハロゲン化合物や窒素化合物で酸性を示す物質あるいは
有機酸を吸収することができる。

これに使用される塩基性物質は無機あるいは有機の塩基
性物質いずれでもよいが、特にトリエタノールアミン、
トリアミノベンゼン、エチレンジアミンなどアミン化合
物の一種または二種以上の混合物が好適に使用される。

本発明において、塩基性物質併用の方法は種々あるが、
通常は吸湿性有機物質に溶解させ、吸湿性有機物質とと
もに基材に担持する方法、吸湿性有機物質を基材に担持
した後に塩基性物質を添加する方法等が挙げられる。ま
た吸湿性有機物質を担持させたシートと塩基性物質を担
持させたシートを重ね合わせて包装することもできる。

この塩基性物質の添加量は基材１００重量部に対して１
０〜２００重量部である。

本発明のシート状乾燥剤は、通気性包装材料に包装され
た包装体として使用され、その厚みは０．５〜１０ｍｍ
である。

以下に本発明の実施例および比較例を示し、具体的に説
明する。

実施例　１〜４ 水分量が２％になるまで乾燥したリンターパルプからな
るクツション紙　（厚み０．２７ｍｍ、　　坪量１５０
ｇ／ｍ２、サイズ１００Ｘ１００　ｍｍ）に、表−１に
示す各吸湿性有機物質１ｇを含浸させてシート状乾燥剤
を得た。これを、紙と曲孔ポリエチレンからなる通気性
包装材料（サイズ１２０Ｘ１２０　ｍｍ）で包装した。

このシート状乾燥剤を空気２５０−（２５℃。

８０　ＲＨ％）と共に厚さ１５μのポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）　／厚さ１５μのアルミニウム（Ａ
Ｉ）／厚さ３５μのポリエチレン（Ｒ８）の複合フィル
ムからなる袋（透湿度、　Ｏｇ／ｍ２−２４ｈｒｓ、　
ａｔ　２５℃）あるいは塩化ビニリデンをコートした厚
さ１５μのナイロン（ＫＯＮ）　／厚さ３５μのポリエ
チレン（ＰＩＥ）の複合フィルムからなる袋（サイズ２
００Ｘ２００　ｍｍ、透湿度、　０．２　ｇ／ｍ２−２
４ｈｒｓ、　ａｔ　２５℃）にそれぞれ密封し、２５℃
、１００Ｒ８％の雰囲気下で保存した。経過時間と袋内
の相対湿度を測定した。結果を表−１に示す。

比較例として、グリセリンを基材に担持させることなく
液状として単独で用いた場合、シリカゲルとポリエチレ
ンを混練後成形したシート状乾燥剤および塩化カルシウ
ムを含浸させたシート状乾燥剤を用いた場合についても
合わせて表−１に示す。

比較例　１ 本発明のシート状乾燥剤の代わりに直径７０ｍｍのガラ
ス製シャーレに入れたグリセリン１ｇを用いた以外は実
施例１〜３と同一方法で測定した。

比較例　２ ４０メツシユ以下のシリカゲル（Ａ型）１ｇを発泡剤（
ＮａＨＣＯｓ）　０．１　ｇと共にポリエチレン４ｇと
一緒に２５０℃下で溶融発泡させ、幅１ｍｍのスリット
から押し出してシート状乾燥剤を製造した。このシート
状乾燥剤を用いた以外は実施例１〜３と同じ方法で測定
した。

比較例　３ 塩化カルシウム４０％水溶液２．５ｇをリンターパルプ
からなるクツション紙（厚み０．２７ｍｍ、　　坪量１
５０ｇ／ｍ’、サイズ１００　Ｘ　１００ｍｍ）に含浸
させ、１３０℃で１時間乾燥したのち、両面に厚さ１５
μのナイロン／Ｗさ５０μのポリエチレンからなる複合
フィルムを１８０℃、３分間で、加熱圧着、積層して、
シート状乾燥剤を製造した。このシート状乾燥剤を用い
た以外は実施例１〜３と同じ方法で測定した。

実施例　５〜８ 水分量が２％になるまで乾燥したリンターパルプからな
るクツション紙（厚み０．３５ｍｍ、坪量２００ｇ／ｍ
２、サイズ１００Ｘ１００　ｍｍ）にグリセリン１ｇと
表−２に示す各塩基性物質０．５ｇの混合物を含浸させ
てシート状乾燥剤を得た。これを、紙と開孔ポリエチレ
ンからなる通気性包装材料（サイズ１２０Ｘ１２０　ｎ
ｕｎ）に包装した。

このシート状乾燥剤を、硫化水素２０ｐｐｍを含んだ空
気２５０ｒｎＩ！（２５℃、８０Ｒ，Ｈ％）と共に厚さ
１５μの塩化ビニリデンコートしたナイロン／厚さ６０
μのポリエチレンの複合フィルムからなる袋（サイズ２
００　Ｘ　２００＋ｎｍ）に密封し、２５℃、１００Ｒ
Ｈ％の雰囲気下で保存した。　経過時間と袋内の硫化水
素濃度と相対湿度を測定し、その結果を表−２に示す。

表−２ 実施例　９ 実施例１〜８で製造したシート状乾燥剤とＩＪ−ドフレ
ーム２００枚（幅５０×長さ２５０　ｍｍ）とをポリプ
ロピレン製の容器（サイズ２８５　Ｘ５０　ｘ７０ｍｍ
）に入れ、容器内の酸素濃度が５％になるように窒素ガ
スで置換した後、厚さ１５μの塩化ビニリデンコートナ
イロン／厚さ６０μのポリエチレンの複合フィルムから
なる袋（サイズ４００Ｘ１７０　ｍｍ）に密封した。

次いで、２５℃に３日間保存した後、航空便で輸送し、
これを開封してリードフレームの表面を拡大鏡で観察し
たところ、錆の発生とダストの付着がなく良好な保存状
態であった。

比較例　４ シリカゲル５０ｇ（Ａ型）を紙／開孔ポリエチレンから
なる通気性包装材料（サイズ７０　Ｘ７０ｍｍ）で包装
した乾燥剤を用いた以外は実施例９と同じ方法でリード
フレームを保存し、輸送したところリードフレームの表
面上に０．３μ以上のダストがリードフレーム−枚当た
り平均７個付着し、又表面に多数の傷があり、そのまま
では半導体に加工できなかった。

比較例　５ 実施例９で用いたシート状乾燥剤の代わりに比較例３で
製造したシート状乾燥剤を用いた以外は実施例９と同じ
方法でリードフレームを保存し、輸送したところ、リー
ドフレームの表面が斑点状に変色し、０．３μ以上のダ
ストがリードフレーム−枚当たり平均４個付着して、そ
のままでは半導体の加工に用いることができなかった。

以上の実施例および比較例から明らかなように本発明の
シート状乾燥剤は、吸湿性有機物質、たとえばグリセリ
ンを基材に担持させることなく液状のまま単独で用いた
場合にくらべ、平衡相対湿度に到達する時間が非常に短
縮される。

シリカゲルとポリエチレンを混練後成形したシート状乾
燥剤にくらべても、著しく短時間で平衡相対湿度に達す
る。

また、本発明のシート状乾燥剤は、シリカゲルを包装材
料に包装したもののように半導体等の表面をキズつけな
い。

また、塩化カルシウムを含浸せたシート状乾燥剤にくら
べると、除湿速度はほぼ同等であるが同封される製品を
汚染しない。

〔発明の効果〕

本発明のシート状乾燥剤を、密閉された容器内あるいは
袋内またはその他の方法において使用することにより、
共存する半導体等を汚染することなく、また表面をキズ
つけることもなく系内の湿分あるいは酸性ガス等の酸性
物質、またはその両方を極めて速やかに取り除くことが
でき、被包装製品の保存を完璧なものにすることができ
る。

本発明のシート状乾燥剤は、リードフレーム、ＩＣチッ
プ、シリコンウェハー等の半導体、半導体部品および製
品あるいは銅、銀、アルミニウム等金属、金属部品およ
び製品の保存時における乾燥、防錆用として好適に使用
される。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）吸湿性有機物質を基材に担持してなるシート状乾
   燥剤
2. （２）塩基性物質を併用した請求項第１項記載のシート
   状乾燥剤