JPH04152548A

JPH04152548A - ウェーハの収納方法及び収納容器

Info

Publication number: JPH04152548A
Application number: JP2277264A
Authority: JP
Inventors: Shoji Tsuruta; 鶴田　捷二
Original assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1990-10-16
Filing date: 1990-10-16
Publication date: 1992-05-26
Anticipated expiration: 2012-08-06
Also published as: JP2638671B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、例えばシリコンウェーハなどのウェーハを
、その表面に結露を生じさせることなく収納できるウェ
ーハの収納方法及び収納容器に関する。

［従来の技術］従来、例えばシリコンウェーハなどの半導体基板用ウェ
ーハの製造過程においては、鏡面仕上げ後のウェーハに
異物が付着することを防止するため、鏡面仕上げ後に十
分洗浄されたウェーハを、クリーンルーム内においてポ
リエチレン、ポリブロビレンアルイハナイロン等の樹脂
を素材とする収納容器に収納し、この後、収納容器を密
閉してウェーハを外部環境から隔離された状態で輸送す
ることが行われている。

［発明が解決しようとする課題］ところで、このような手順でウェーハを輸送する場合、
収納容器の温度は外気に左右され、また航空機輸送され
る場合も多く、外部温度の上下に応じて収納容器内の温
度も上下する。一方、収納容器の内部にはウェーハの収
納作業が行われるクリーンルーム内の空気が充填されて
おり、かかる空気は通常５０％程度の湿度に管理されて
いるため、収納容器内の温度が露点温度よりも低下して
ウェーハ表面に結露が生じることがある。

そして、ウェーハ表面に結露が生じると、洗浄後のウェ
ーハの表面に均一に分布していたＮａ。

Ｚｎ、Ｃａ等の微小な異物が水滴の張力で引き寄セられ
てウェーハ表面に局部的に集中し、自然酸化膜の異常成
長などが生じ、この結果結にが解消してもこれら異物が
残されてウェーハの鏡面に局部的にくもりが発生し、ウ
ェーハの品質が劣化することがあった。

かかる欠点を解消する手段として、例えば収納容器内に
乾燥空気やチッソガス等の不活性ガスを充填して結露を
防止することが考えられるが、かかる作業はクリーンベ
ンチ内で酸欠防止に注意しながら行う必要がある。また
、クリーンルーム内に保管中にクリーンルームの空気と
入れ換わるこ場合も多い。また、収納容器内に乾燥剤を
投入することも考えられるが、乾燥剤から発生するチリ
がウェーハ表面に付着するおそれがあって妥当でない。

この発明は、このような背景の下になされたもので、ウ
ェーハ表面の結露を防止できるウェーハの収納方法及び
収納容器を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記課題を解決するために、この発明のウェーハの収納
方法では、素材に絶乾した樹脂材料を用いた収納容器内
にウェーハを収納し、この後、収納容器を密閉してウェ
ーハを収納することとした。

そして、かかる収納方法に用いて好適な収納容器として
、素材に絶乾したポリカーボネイトを用いた収納容器を
発明した。

［作用］上記構成の収納方法によれば、絶乾した樹脂材料からな
る収納容器内にウェーハを収納しているから、収納容器
自体に水分を吸収する余地が残されている。従って、容
器を密閉した段階で容器内に充填される空気中の水分は
、まず収納容器自身に吸水され、これにより容器内の湿
度が低下してウェーハ表面の結露が抑制される。

また、上記構成の収納容器によれば、素材として用いら
れるポリカーボネイトの吸水率が、従来の収納容器の素
材に用いられていたポリエチレン等に比して著しく大き
いので、収納容器に吸水される水分量が大きくなり、そ
の分、容器内の湿度が一層低下してウェーハが結露する
おそれがなくなる。

［実施例］以下、図面を蓼照して、本発明の一実施例を説明する。

図において符号１はウェーハカセットである。

このウェーハカセット１は、鏡面加工後のつ：Ｌ　−ハ
Ｗをその軸線方向に適当な間隔をおいて保持するための
もので、その形状は」一方に開口する箱形容器状を呈し
ている。また、ウェーハカセット１の内部には、上記ウ
ェーハＷを一枚ずつ収納するための収納溝２・・が多数
形成されている。

一方、符号３は収納容器である。この収納容器３は、上
記ウェーハ表面ｙ　ｌ’　１を収納する容器本体４と、
この容器本体４の上部に装着されるＮ５とからなるもの
である。容器本体４は上方に向かって開口する略直方体
形状をなし、その内部が上記ウェーハカセット１を収納
する収納部とされている。

また、容器本体４の上部には、Ｍ５のフランジ５ａと密
着するフランジ４ａが形成されている。

さらに、蓋５の裏側には容器本体４の一ヒ端縁４ｂと嵌
合する溝部（図示略）が形成され、これら溝部及び上端
縁４　ｂ及び上記各フランジ４ａ、５ａとによって、容
器本体４の内部を密閉する密閉部が構成されている。

そして、これら容器本体４及び蓋５は、それぞれ全体が
ポリカーボネートを素材として一体成形されており、成
形後に所定の乾燥処理が施されることによって内部水分
量がＯとなる絶乾状態に保持されている。また、これら
容器本体４の外表面及び蓋５の上面側はアルミラミネー
ト等によって覆われており、容器３の外部から内部への
水分の侵入が阻止される構造とされている。なお、図に
おいて符号７はストッパであり、蓋５を容器本体４に装
着した場合においてウェーハＷ及びウェーハカセット１
と当接してこれらの遊動を阻止する機能を担っている。

しかして、以上の構成からなる収納容器３を用いてウェ
ーハＷを収納するには、まずクリーンルーム内において
所定枚数のウェーハＷをウェーハカセット１に挿入し、
続いてウェーハＷをウェーハカセットｌごと容器本体４
の内部に収納し、この後、容器本体４の上部にＭ５を装
着して収納容器３の内部を密閉する。

このようにウェーハＷを収納する場合、収納容器３全体
が絶乾されたポリカーボネイトから成形されているから
、収納容器３自体に容器内の水分が吸収される余地があ
る。このため、容器密閉後においては、収納容器３内に
充填される空気中の水分が収納容器３に吸水されて容器
内の湿度が低下し、これにより容器内の露点温度が低下
してウェーハＷの表面の結露が抑制される。従って、ウ
ェーハＷの表面に局部的なくもりが生じることもなく、
ウェーハＷの品質を一定に維持できる。

また、本実施例では、収納容器３の素材に絶乾したポリ
カーボネイトが用いられているため、従来用いられてい
たポリエチレン等で収納容器３を成形した場合に比して
収納容器３自体の吸水能力が高く、従って、ウェーハＷ
表面の結露がより一層抑制される。ちなみに、温度２０
℃、湿度７５％の環境下に２４時間放置した場合におけ
るポリエチレンの吸水率が体積の０．０１５％以下に止
どまるのに対して、同一条件におけるポリカーボネイト
の吸水率は０．２３〜０．２６％に達するため、収納容
器３の全体をポリカーボネイトによって製造すれば、従
来の１５倍以上の水分を収納容器３自体が吸水できるこ
とになる。

なお、本実施例では収納容器３の全体をポリカーボネイ
トで成形しているが、本発明はこれに限るものではな（
、容器自体の吸水能力がその内部に充填される空気の水
分量に比して十分に余裕があれば、例えば蓋５を別材料
とする等、一部に異なる材料を用いても良い。

他方、収納容器３の吸水能力が容器内の水分量に対して
不足気味であれば、収納容器３の内部に吸水板等を設け
ることによって容器の体積を増大させ、これにより吸水
能力を増大させることも可能である。

ここで、収納容器３の素材として用いたポリカーボネイ
トの具体的な吸水能力と収納容器３の内部に充填される
空気の水分量との関係を定量的に検討して、本発明の効
果を明らかにする。

■まず容器内に充填される空気中の水蒸気ｆｆｔｗ。

を算出する。

ウェーハの収納作業が行われるクリーンルームが、温度
２３℃、湿度５０％とすると、容器内の絶対湿度ｘ０は
、ｘｏ−０，００８７Ｋｇ／Ｋｇ比容積Ｖは、ｖ＝０．８５　　ｍ’／Ｋｇである。

一方、収納容器内部の寸法を１７０ｍｍＸ１７０＃ｌｌ
Ｘ　ｌ　７０ｍｓとすれば、収納容器の内容積すなわち
容器内に充填される空気の体積■。は、Ｖ、＝０．１７
３＃０．００５ｓ３従って、容器内の乾き空気１１Ｗ＋は、ＷＩ−ＶＯ／Ｖ
＝５．８８Ｘ１０−　　Ｋｇよって容器内の水蒸気！！
ｗｏは、ｗ、、−ｗ、Ｘｘｏ＝５．１　２Ｘ　　１　０−　　　
　Ｋｇ■次に、ポリカーボネイト材料の吸水量を算出す
る。

絶乾したポリカーボネイトにより直径１５０　ａｍ。

厚さ１１の円板状の試料を成形したと仮定すると、試料
の重ｆｉＭは、Ｍ＝０．０２４７　　Ｋｇ　　となる。

ここで、ポリカーボネイトの平衡吸水率を０２％とすれ
ば、試料の吸水ＩＬｍは、ｍ＝ＭＸ０．２／１００＝４．９５Ｘ　１０−Ｊｇとな
る。

０次に、■の試料を■の容器内に収納した場合において
、容器内の水蒸気が試料のみに吸水されて容器自体は一
切水蒸気を吸水しないと仮定すれば、容器内の残存水蒸
気量Ｗは、ｗ＝ｗ、−ｍ＝０．１７Ｘ１０−　　Ｋｇ従って、吸水
後の容器内の絶対湿度Ｘ、は、Ｘ　ｌ−Ｗ／Ｗ＋＝　０
．０００２８９（ζ０〜２％）となり、このときの露点温度ｔは、ｔ≦−２０℃　となる。

従って、容器内の温度が一２０°Ｃを下回らない限りウ
ェーハ表面に結露が生じることはない。

以上のように、収納容器よりも遥かに体積が小さい試料
のみでも容器内の露点温度を十分に低下させてウェーハ
表面の結露を防止できることが判明した。従って、収納
容器の全体を絶乾したポリカーボネイトで成形した場合
には、ウェーハ表面に結露が生じるおそれが全くないこ
とが明らかである。さらに、必ずしも収納容器の全体を
ポリカーボネイトで成形しなくとも足りることも実証さ
れた。

なお、本実施例で示した収納容器３の具体的形状はあく
まで一例を示すものであり、容器の密閉構造やウェーハ
Ｗの収納枚数等は必要に応じて適宜設計変更されるもの
である。

［発明の効果コ以上説明したように、この発明のウェーハの収納方法に
よれば、収納容器内に充填された空気中の水分が収納容
器自体に吸水されて容器内の湿度が低下するので、容器
内の露点温度を低下させてウェーハ表面の結露を抑制で
きるという優れた効果が得られる。

また、この発明のウェーハの収納容器によれば、ポリカ
ーボネイトの吸水率が従来の素材に比して遥かに太きい
ために、収納容器の吸水量が大幅に増加して容器内の湿
度が一層低下するので、ウェーハ表面への結露をより確
実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

添付図は、ウェーハを収納する収納容器と、この収納容
器内に収納されるウェーハカセットの概略構成を示す斜
視図である。３・・・・・・収納容器、４・・・・・・容器本体、５
・・・・・・蓋、Ｗ・・・・・・ウェーハ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）素材に絶乾した樹脂材料を用いた収納容器内にウ
ェーハを収納し、この後、上記収納容器を密閉するウェ
ーハの収納方法。
（２）ウェーハを収納する収納部と、該収納部を密閉す
る密閉部とを備えてなるウェーハの収納容器であって、
素材に絶乾したポリカーボネートが用いられていること
を特徴とするウェーハの収納容器。