KR100802298B1

KR100802298B1 - 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리

Info

Publication number: KR100802298B1
Application number: KR1020030097926A
Authority: KR
Inventors: 한경수
Original assignee: 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date: 2003-12-26
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2008-02-11
Also published as: KR20050066618A

Abstract

본 발명의 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리는, 브러시 바에 브러시의 장착을 용이하게 하면서 장착 상태를 견고하게 하기 위하여, 상호 결합되어 원형의 중공 구조를 형성하도록 2개의 하프 피스로 이루어진 브러시 바, 이 브러시 바의 외주에 결합되도록 중공의 원기둥형으로 이루어지고 그 표면에 작은 돌출 브러시를 형성하고 있는 브러시, 및 이 브러시와 브러시 바를 상호 밀착시키는 블레더로 구성되어 있다.

블레더, 브러시, 브러시바, 하프피스

Description

웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리 {BRUSH ASSEMBLY FOR WAFER CLEANING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리의 사시도이고,

도 2는 블레더(bladder)의 사시도이며,

도 3은 브러시(brush)의 사시도이고,

도 4는 브러시 바(brush bar)의 분해 사시도이다.

본 발명은 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브러시 바에 부러시의 장착을 용이하게 하면서 장착 상태를 견고하게 하는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리에 관한 것이다.

화학 기계적 연마장비(CMP; Chemical Mechanical Polishing)는 웨이퍼를 회전하는 폴리싱 패드에서 연마하는 폴리싱 장치와 폴리싱 과정에서 발생된 파티클 및 잔류물을 제거하기 위하여 웨이퍼를 크리닝하는 크리닝 장치를 구비하고 있다.

이 크리닝 장치는 웨이퍼를 크리닝하기 위하여 브러시 어셈블리를 사용하고 있다.

이 브러시 어셈블리는 회전 구동되는 브러시 바와 이 브러시 바에 장착되어 웨이퍼 표면을 직접 크리닝하는 브러시로 구성되는 바(bar) 타입으로 이루어져 있다.

이 브러시는 중공의 원기둥형으로 이루어지고, 브러시 바는 이 브러시의 내측으로 삽입되어 브러시와 일체로 회전 구동된다. 그리고 브러시의 표면에는 작은 돌출 브러시들이 형성되어 있다.

또한, 브러시 바는 회전하도록 양측이 회전 가능하게 지지되며, 모터의 구동력을 전달받을 수 있도록 연결되고, 브러시를 교환할 수 있도록 일측이 분리되는 구조로 이루어져 있다.

브러시 교환 시, 브러시 바의 분리측으로 브러시를 끼워 넣게 되는 데, 웨이퍼 세척시 브러시 바에서 브러시가 헛도는 것을 방지하도록 브러시와 브러시 바를 긴밀하게 결합시켜야 한다.

따라서 상기와 같은 브러시 어셈블리는 브러시 바와 브러시를 긴밀하게 결합시키게 되면 상기와 같은 헛도는 현상이 발생되지는 않지만 브러시를 브러시 바에 결합시키기가 어렵게 되고, 결합을 쉽게 하면 양자간에 헛도는 현상이 발생되는 문제점을 가지고 있다.

또한, 상기 브러시 어셈블리는 브러시 바에 브러시를 강제로 끼우게 되면 브러시 표면의 작은 돌출 브러시들이 찢겨 나갈 우려가 있고, 브러시가 브러시 바에서 일측으로 치우치게 되는 문제점을 가지고 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 브러시 바에 브러시의 장착을 용이하게 하면서 장착 상태를 견고하게 하는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리를 제공하는 데 있다.

본 발명에 따른 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리는,

상호 결합되어 원형의 중공 구조를 형성하도록 복수의 피스(piece)로 이루어진 브러시 바,

상기 브러시 바의 외주에 결합되도록 중공의 원기둥형으로 이루어지고 그 표면에 작은 돌출 브러시를 형성하고 있는 브러시, 및

상기 브러시와 브러시 바를 상호 밀착시키는 밀착수단을 포함하고 있다.

상기 브러시 바는 하프 피스 2개로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 밀착수단은,

브러시 바에 길이 방향으로 길게 형성되는 관통구,

상기 관통구를 통하여 브러시의 내면에 밀착되도록 팽창 성질을 가지고 브러시 바에 내장되는 블레더를 포함하고 있다.

상기 블레더는 고무로 형성되고, 외부 표면이 코팅 처리되는 것이 바람직하다.

상기 블레더는 자체 내부에 에어를 공급하거나 배출할 수 있도록 그 일측에 원터치 타입의 에어 단자를 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 이점 및 장점은 이하의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명함으로서 보다 명확하게 될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리의 사시도로서, 폴리싱 공정을 경유한 웨이퍼(미도시)를 크리닝할 수 있도록 브러시 바(1) 및 브러시(3)를 구비하고 있으며, 이 브러시 바(1)와 브러시(3)의 결합을 편리하게 하고 또한 양자의 결합 상태를 견고하게 할 수 있도록 도 2에 도시된 바와 같은 밀착수단(A)을 더 구비하고 있다.

먼저, 브러시 바(1)는 브러시 어셈블리의 근간을 이루는 부분으로서, 웨이퍼 크리닝 장치에 회전 가능하게 장착되고 모터(미도시)로부터 회전 동력을 전달받을 수 있도록 이루어져 있다.

이 브러시 바(1)는 브러시 어셈블리 전체에 회전력을 제공하며, 상호 결합되어 중공 구조를 형성할 수 있는 복수의 피스(piece)로 이루어져 있고, 브러시(3)와의 견고한 장착 구조를 형성할 수 있도록 원형으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이 브러시 바(1)의 복수 피스에 의한 중공 결합 구조는 브러시 바(1)와 브러시(3) 사이에 밀착수단(A)을 개재하여 양자의 결합을 견고히 할 수 있게 한다.

따라서, 이 브러시 바(1)는 복수의 피스로 이루어질 수 있으며, 도 1에 도시된 바와 같이 하프 피스(1a, 1b) 2개로 이루어지는 것이 바람직하다.

이 하프 피스(1a, 1b)는 밀착수단(A)을 삽입하기 위하여 브러시 바(1)의 중공부를 개폐시킬 수 있는 구조 중에서 피스의 개수를 최소화하여 피스의 분해 결합과 같은 작업의 편의성을 최대화하고 있다.

피스가 몇 개로 이루어지든 브러시 바(1)의 외주에는 브러시(3)가 결합된다. 즉 브러시(3) 내측으로 브러시 바(1)가 끼워지는 구조를 형성하게 된다.

따라서, 이 브러시(3)는 도 3에 도시된 바와 같이, 중공 구조의 원기둥형으로 이루어지는 것이 바람직하고, 그 표면에는 웨이퍼를 크리닝하게 될 작은 돌출 브러시를 형성하고 있다.

이러한 브러시(3) 내에 위치하는 브러시 바(1)는 최대한 원형에 가까운 외관을 형성하는 것의 양자의 결합력을 증대시키고 브러시(3)의 웨이퍼 크리닝을 원활하게 하기 위하여 바람직하다.

상호 결합된 브러시 바(1)와 브러시(3)는 상기 밀착수단(A)에 의하여 더욱 견고한 결합 구조를 형성하게 된다. 따라서 이 밀착수단(A)의 개재로 인하여 브러시 바(1)의 회전에 따라 브러시(3)는 헛도는 현상을 발생시키지 않고 브러시 바(1)와 일체로 회전하게 된다.

이러한 밀착수단(A)은 도 1에 도시된 바와 같이, 관통구(5)와 블레더(7)를 포함하고 있다.

상기 관통구(5)는 브러시 바(1)의 길이 방향으로 긴 타원으로 형성되어 있다. 블레더(7)는 팽창 성질을 가지면서 브러시 바(1)에 내장될 수 있도록 형성되어 있다.

이 블레더(7)는 수축된 상태로 브러시 바(1)에 삽입되고 그 내부에서 팽창되어 관통구(5)를 통하여 일부 빠져나오게 되면서 이와 같이 관통구(5)로 빠져나온 부분이 브러시(3)의 내면에 밀착되게 하여, 브러시(3)와 브러시 바(1)의 결합을 견 고하게 한다. 그리고 브러시 바(1)가 원기둥형을 이루고 있으므로 블레더(7)에 의하여 지지되는 브러시(3)도 원기둥형을 유지하게 된다.

따라서, 블레더(7)는 탄성질의 고무로 형성되는 것이 바람직하고 그 일측에는 공기를 공급 및 배출시킬 수 있는 에어 단자(9)를 구비하고 있다. 이 에어 단자(9)는 블레더(7) 내부에 에어를 공급하거나 배출하는 조작을 편리하게 하도록 원터치 타입으로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 블레더(7)는 물에 의하여 부식되는 것을 방지하기 위하여 그 외부 표면에 코팅 처리되어 있다.

이와 같은 블레더(7)가 브러시 바(1) 내에서 팽창하더라고 브러시 바(1)의 상태를 유지하도록 브러시 바(1)를 형성하는 하프 피스(1a, 1b)는 그 선단에 마개(1c)를 개재하고 이 마개(1c)에 나사(1d)로 고정되어 있다.

상기와 같이 구성된 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리는 블레더(7)에 공기를 뺀 상태로 브러시 바(1)로부터 브러시(3)를 빼내며 브러시 바(1)에 브러시(3)를 설치하며, 브러시(3)를 설치한 상태에서 블레더(7)에 공기를 공급하여 브러시 바(1)와 브러시(3)의 결합력을 견고하게 한다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.

이와 같은 본 발명의 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리는 브러시 바와 브러시에 블레더를 개재함으로서, 브러시를 손상시키지 않으면서 브러시 바와 브러시의 장착을 편리하게 하고, 브러시 바와 브러시의 결합력을 견고하게 할 수 있다.

Claims

상호 결합되어 원형의 중공 구조를 형성하도록 복수의 피스(piece)로 이루어진 브러시 바,

상기 브러시 바의 외주에 결합되도록 중공의 원기둥형으로 이루어지고 그 표면에 작은 돌출 브러시를 형성하고 있는 브러시, 및

상기 브러시와 브러시 바를 상호 밀착시키는 밀착수단을 포함하는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리.
청구항 1에 있어서,

상기 브러시 바는 하프 피스 2개로 이루어지는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리.
청구항 1에 있어서,

상기 밀착수단은,

브러시 바에 길이 방향으로 길게 형성되는 관통구,

상기 관통구를 통하여 브러시의 내면에 밀착되도록 팽창 성질을 가지고 브러시 바에 내장되는 블레더를 포함하는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리.
청구항 3에 있어서,

상기 블레더는 고무로 형성되고, 외부 표면이 코팅 처리되는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리.
청구항 3에 있어서,

상기 블레더는 자체 내부에 에어를 공급하거나 배출할 수 있도록 그 일측에 원터치 타입의 에어 단자를 구비하는 웨이퍼 크리닝 장치의 브러시 어셈블리.