TWI590913B - 化學機械硏磨刷具封裝及封裝、運輸、保護化學機械研磨刷具之方法 - Google Patents

Description

化學機械研磨刷具封裝及封裝、運輸、保護化學機械研磨刷具之方法 【相關申請案】

本申請案主張於2012年9月28日提出申請且名稱為「化學機械研磨刷具封裝(CMP BRUSH PACKAGING)」之美國臨時申請案第61/707,526號之優先權，該美國臨時申請案以引用方式全文併入本文中。

本發明概言之係關於半導體製造。更具體而言，本發明係關於用於搬運及封裝化學機械研磨(chemical mechanical planarization；CMP)刷具之裝置、系統、及方法。

目前仍繼續需要半導體製造環境具有較佳之潔淨度。一個特殊領域包括將化學機械研磨(CMP)清潔刷具安裝至加工工具上。在工作人員用佩戴手套之手搬運自標準封裝移出之刷具並隨後將該等刷具安裝於工具上時，可自手套引入污染物至刷具表面上及結節(nodule)上。在清潔期間，刷具會接觸基板(半導體晶圓、平板顯示器、硬碟等)，因而非常期望刷具表面係清潔的以及在運輸及安裝期間使任何附加之粒子、金屬離子污染物、 及有機污染物最少化。因許多CMP刷具係於一潮濕或潤濕狀態中運輸以維持刷具海綿材料之壓縮性，故包裝(packing)亦應提供一能夠保持刷具之化學及物理性質之環境，例如使刷具之圓柱形表面上之結節在運輸期間不發生變形，乃因此種刷具中所用之泡棉材料可具有記憶特性。

已知之封裝方法及系統(例如利用蛤殼式(clamshell)封裝之封裝方法及系統)將被潤濕之刷具密封於一聚合物殼內。當一使用者打開封裝時，該使用者可抓握CMP刷具。 然而抓握刷具可導致刷具被污染，故在此種情形中，使用者必須小心地僅抓握刷具之端部處，而非抓握刷具表面處。此種蛤殼式封裝可易於在掉落時使封裝之完整性受損。

此種系統使使用者局限於以可能極為困難之方式搬運刷具，且常常會導致意外接觸欲用於清潔基板表面之刷具結節及刷具表面。再者，期望一種用於本行業之能通過掉落測試之更為牢固之封裝系統。

為彌補已知CMP刷具封裝系統之缺點，本發明之實施例不僅提供在運輸及儲存期間之機械及化學保護，且亦提供用於在由封裝元件局部保護之同時令使用者抓握CMP刷具之方法，俾CMP刷具能夠安全地被放置至加工工具上而不受到污染。

本發明之實施例包含用於對一芯體上之一CMP刷具進行封裝，該CMP刷具至少部分地由一鬆的聚合物套管或撓性片 材覆蓋，所述撓性片材在片材中具有一或多個狹縫或一或多個穿孔，以使在一使用者將刷具安裝於工具上之同時，能自該刷具移除該片材。該聚合物套管或片材容許在無需手套之情況下將芯體上之刷具安裝於工具上，並使附著至刷具表面之污染物最小化或不會有污染物附著至刷具表面(例如，若利用剪刀來打開套管)。 撓性片材覆蓋CMP刷具之範圍可剛好滿足一工作人員握持該刷具之需要。

由撓性片材部分地覆蓋之CMP刷具可進一步被包含於一不透液體之密封外部包繞物(例如一聚合物容器)中，在某些實施例中，該外部包繞物包含一聚合物袋。在一實施例中，該外部包繞物可於一個端部處包含一易撕口(tear notch)，該易撕口允許在無需剪刀或其他引入污染之工具之情況下打開該外部包繞物。該外部包繞物不透液體，並可包含水及/或其他防腐劑，如過氧化氫(hydrogen peroixde)或氫氧化銨(ammonium hydroxide)。

在一實施例中，該外部包繞物(其在一實施例中包含一聚合物容器)具有一開口及內部尺寸，該開口及該等內部尺寸使該外部包繞物能夠容納位於一芯體上之一由套管覆蓋之CMP刷具，其中該芯體可具有安裝至該刷具端部之一或多個可移除之端部支撐結構。此等端部支撐件可包含在安裝至刷具芯體時用於使刷具及刷具結節保持偏離一表面(例如一管狀運輸容器之一表面)之盤、環或其他幾何結構。令刷具與一表面偏離能夠保護結節在運輸及搬運期間不發生變形。在某些實施例中，該撓性片材 可覆蓋該等支撐結構，而在其他實施例中，該撓性片材僅覆蓋刷具之一圓柱形部。

一外殼(例如一管狀運輸容器)可圍繞CMP刷具而放置，該外殼之端部上具有可選之支撐結構，該CMP刷具係由具有一或多個狹縫之聚合物套管或撓性片材部分地覆蓋。該外殼於運輸期間對刷具提供保護。該外殼或管狀運輸容器所具有之一橫截面幾何形狀可允許CMP刷具在端部支撐件安裝至該刷具之情況下被放置於殼體或管狀運輸容器內；該等端部支撐件可保持刷具表面及結節不接觸外殼/管狀運輸容器之一內表面。該外殼可具有用於將CMP刷具保持於殼體中之一或多個帽。

在某些實施例中，該外殼可具有亦用作支撐結構之端部帽。該刷具可於封裝期間配合於該等支撐結構中或鄰近該等支撐結構。此可有利地減少封裝材料之量。

本發明包含多個實施例，其中包括一種封裝一化學機械研磨(CMP)刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部以及一對端部連接部，該方法包含：至少以一液體弄濕該刷具；以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該圓柱形部之表面延伸並嚙合該圓柱形部之該表面；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；將該被弄濕之刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部 支撐件使該圓柱形刷具部不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝(self-supporting packaging)。

在一實施例中，本發明亦可包含一種經封裝之化學機械研磨刷具，該刷具包含一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有一圓柱形表面，該封裝包含：一撓性聚合物片材材料，圍繞該圓柱形部延伸並沿圓周嚙合及覆蓋該圓柱形部；一對端部支撐部，以支撐方式嚙合各該端部連接部，各該端部支撐部具有一中心嚙合特徵及一凸緣部，該中心嚙合特徵嚙合該端部連接部，該凸緣部則沿徑向延伸超出該圓柱之徑向範圍；一剛性聚合物運輸容器，該等端部支撐部嚙合該聚合物運輸容器之端部，其中該刷具懸置於該剛性聚合物運輸容器中，且該圓柱形表面與該剛性聚合物運輸容器間隔開；以及該剛性聚合物運輸容器被氣密性地密封。

在一實施例中，本發明亦包含一種自一化學機械研磨封裝中取出一化學機械研磨刷具並安裝該化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨封裝包含該化學機械研磨刷具，該化學機械研磨刷具具有一被弄濕之圓柱形泡棉部及二相對之端部，該封裝包含：一聚合物片材材料，包繞及嚙合該圓柱形部；一對端部支撐部，嚙合該化學機械研磨之該等相對端部並嚙合一自支撐運輸容器，該方法包含：自該自支撐聚合物運輸容器移出具有支撐件之該化學機械研磨刷具，在保留包繞該圓柱形刷具部之該聚合 物片材材料之同時自該圓柱形刷具移除該等端部支撐件，藉由包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料而用手抓握該圓柱形刷具，俾使使用者之手不接觸該刷具部之表面；在藉由該聚合物片材材料握持該圓柱形刷具之同時，將該刷具黏固至一刷具固定裝置(fixture)，以及移除該聚合物片材材料。

在一實施例中，本發明包含一種封裝一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結(nodule)，該方法包含：以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該等節結延伸並嚙合該等節結而不會使該等節結變形；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；將該刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部支撐件使該等節結不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。

在一實施例中，本發明亦包含一種運輸一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該方法包含：提供三個聚合物覆蓋物至該圓柱形刷具部：其中一個係為一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結；其中另一個係為 一密封袋；以及最後一個係為一管狀運輸容器，該管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；將該圓柱形刷具部密閉於該三個聚合物覆蓋物內。

在一實施例中，本發明亦包含一種保護一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結，該方法包含：將該刷具弄濕；以一非自支撐包繞物包繞該圓柱形刷具部及該等節結，其中該圓柱形刷具可由一使用者之手抓握而手不會直接接觸該刷具。

在一實施例中，本發明包含一種經封裝之化學機械研磨刷具，該刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該封裝包含：覆蓋至該圓柱形刷具部之三個聚合物覆蓋物，該三個聚合物覆蓋物包含：一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結而不使該等節結變形；一密封袋；以及一剛性管狀運輸容器，該剛性管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；其中該化學機械研磨刷具係密封地密閉於該剛性管狀運輸容器中並與該容器之一管狀壁間隔開。

結合以下說明及附圖，將更佳地瞭解及理解本發明之該等態樣及其他態樣。以下說明闡明本發明之各種實施例及其諸多具體細節，且係以例示方式而非限制方式給出。可在本發明之範圍內作出諸多替代、潤飾、添加或重新設置，且本發明包含 所有此等替代、潤飾、添加或重新設置。

100‧‧‧CMP刷具封裝系統

102‧‧‧CMP刷具

104‧‧‧管狀運輸容器

106‧‧‧帽

108‧‧‧端部支撐件

110‧‧‧端部支撐件

112‧‧‧撓性片材

114‧‧‧外部包繞物

116‧‧‧管帽密封件

118‧‧‧外部自支撐封裝

120‧‧‧圓柱形刷具部

122‧‧‧端部連接部

124‧‧‧端部連接部

126‧‧‧結節

128‧‧‧刷具表面

130‧‧‧開口

132‧‧‧內腔

134‧‧‧腔孔

136‧‧‧外表面

138‧‧‧內表面

139‧‧‧凸緣部

140‧‧‧中心孔/盤部

141‧‧‧凸緣部

142‧‧‧突起

144‧‧‧表面

150‧‧‧穿孔/易撕口/凹口

160‧‧‧工具

D1‧‧‧刷具外徑

D2‧‧‧容器內徑

D3‧‧‧端部支撐件108之外徑

D4‧‧‧端部支撐件110之外徑

附於本說明書且形成本說明書一部分之圖式係用於描繪本發明之某些態樣。藉由參照圖式中所示之實例性及因此為非限制性之實施例，本發明及利用本發明之系統之組件及運作將變得更加顯而易見，在該等圖式中，相同之參考編號標識相同之組件。應注意，圖式中所示之特徵未必按比例繪製。

結合附圖閱讀以下對本發明各種實施例之詳細說明，即可理解本發明，其中：第1圖係為根據本發明一實施例之一種用於一CMP刷具之封裝系統之側視圖；第2圖係為第1圖所示封裝系統之一分解視圖；第3圖係為根據本發明一實施例之一刷具及第一端部支撐件之左側立體圖；第4圖係為根據本發明一實施例之第3圖之刷具及一第二端部支撐件之右側立體圖；第5圖係為根據本發明一實施例之一具有端部支撐件之刷具與一管狀運輸容器之一子總成之正視圖，該刷具被包繞於一撓性片材中且被部分地插入於一外部包繞物中；第6圖係為一使用者抓握被包繞於一撓性片材中之一CMP刷具之正視圖；第7圖係為一撓性片材沿一穿孔邊緣被撕裂之立體圖；以及 第8圖係為一使用者自附裝至一工具之一刷具移除一撓性片材之立體圖。

儘管本文將闡述各種組成及方法，然而應理解，本發明並非僅限於所述之特定組成、設計、方法或協定，乃因其組成、設計、方法或協定可發生改變。亦應理解，本說明中所用術語係僅用於闡述特定型式或實施例之目的，而非旨在限制本發明之範圍，本發明之範圍將僅由隨附申請專利範圍限制。

亦須注意者，除非上下文另外清楚地指明，否則本文及隨附申請專利範圍中所用之單數形式「一(a、an)」及「該」包含複數形式。因此，舉例而言，在提及一「聚合物容器」時，係指一或多個聚合物容器以及熟習此項技術者所習知之聚合物容器之等效物，等等。除非另外定義，否則本文所用之所有技術及科學術語之意義皆與此項技術中之通常知識者所通常理解之意義相同。類似於或等效於本文所述方法及材料者可用於本發明各實施例之實踐或測試。本文所提及之所有公開案皆以引用方式全文併入本文中。本文之任何內容皆不應被視為係承認本發明無權憑藉先前發明先於此公開內容。「視需要(optional)」或「視需要視需要(optionally)」意指隨後所述之事件或情形可發生或可不發生，且本說明包含事件發生之情形及事件不發生之情形。無論是否明確指出，本文所有數值皆可由措辭「約」修飾。措辭「約」一般係指一數字範圍，熟習此項技術者將認為該範圍等效於所列 舉之值(即，具有相同之功能或結果)。在某些實施例中，措辭「約」係指所述值之±10%，在其他實施例中，措辭「約」係指所述值之±2%。在以「包含」各種組件或步驟(解釋為「包含但不限於」)之措辭闡述組成及方法時，該等組成及方法亦可由各種組件及步驟「實質上組成」或「組成」，此種措辭應被理解為界定實質上封閉或封閉之成員群組。

如下文中結合圖式更詳細地闡述，本發明之實施例包含一種用於位於一芯體上之一CMP刷具之封裝系統，該封裝系統具有一保護套管或撓性片材。不同於習知之封裝系統，該撓性片材容許在將刷具自外部封裝移出時握持該刷具，並使使用者能夠將該刷具安裝於CMP清潔工具裝置上。可在不使用如剪刀等切割工具之條件下自刷具及安裝於一CMP清潔工具上之刷具移除該撓性片材。概言之，圖式顯示一CMP刷具，該CMP刷具包含：一海綿刷，位於一圓柱形刷具芯體上；一撓性片材，包含一聚合物套管，該聚合物套管大於該刷具直徑且具有一或多個狹縫，該一或多個狹縫容許在刷具兩端安裝於一CMP清潔工具上時自刷具移除該套管。

該CMP刷具更包含端部支撐件，該等端部支撐件使刷具表面自該等支撐件所位於之表面偏離開，該等端部支撐件係於該表面處安裝於該刷具之端部上。圖式更顯示CMP封裝，該CMP封裝包含一外殼(例如一管狀運輸容器)，該外殼具有一或多個端部帽，該一或多個端部帽用於密閉具有一易撕口之一聚合物 容器，該聚合物容器可容納一液體並可與CMP刷具及端部支撐件不透液體地密封。

CMP刷具封裝系統100之一實施例繪示於第1圖及第2圖中。第1圖繪示處於一完全組裝狀態之CMP刷具封裝系統100，而第2圖提供CMP刷具封裝系統100之分解視圖。

在所示實施例中，CMP刷具封裝系統100包圍刷具102並包含保護外殼，該保護外殼可包含一管狀運輸容器104，管狀運輸容器104具有帽106、第一端部支撐件108、第二端部支撐件110、撓性片材112、及外部包繞物114。在一實施例中，且如第2圖所示，封裝系統100亦可包含管帽密封件116及外部自支撐封裝118。

CMP刷具102可包含聚乙烯縮醛(PVA)、聚氨酯、纖維素、或其他海綿或泡棉材料。在一實施例中，CMP刷具102包含圓柱形刷具部120、第一端部連接部122、及第二端部連接部124。圓柱形刷具部120界定一外徑D1並包含遠離刷具表面128向外延伸之複數個刷具突起或結節126。此項技術中之通常知識者應理解，當CMP刷具102附裝至一清潔工具時(亦參見第8圖)，結節126將接觸一欲被清潔之基板。刷具102、特別係表面128及結節126需要保持清潔且無污染物。

在一實施例中，第一端部連接部122包含一封閉之端部連接部，而第二端部連接部124包含界定開口130之一開口之端部連接部。在其他實施例中，端部連接部122二者皆可為開 口的(例如界定一中心孔)或二者皆可為封閉的(例如無中心孔，或具有中心突起)。第一端部連接部122及第二端部連接部124可包含刷具102之一「芯體」之部分。

此外，CMP刷具102可由一液體浸濕或包含一液體。

管狀運輸容器104在一實施例中包含一大致圓柱形之剛性結構，以用於包圍及保護刷具102。在其他實施例中，管狀運輸容器104可不係圓柱形的，但可界定一方形或矩形之橫截面，而非一圓形橫截面，俾使管狀運輸容器104更接近類似於一盒或紙板箱。在一實施例中，管狀運輸容器104包含一聚合物材料。在一實施例中，管狀運輸容器104可包含一自支撐容器。

管狀運輸容器104界定內腔132，內腔132具有腔孔134、外表面136、及內表面138。管狀運輸容器104亦界定一內徑D2，內徑D2大於刷具外徑D1。

帽106被配置成在腔孔134處耦合至管狀運輸容器104，以密閉或加蓋於管狀運輸容器104之一端部。如在下文中進一步闡述，帽106可被密封至管狀運輸容器104上。在一實施例中，帽106具有螺紋，俾使其被配置成旋轉或螺接至管狀運輸容器104之一端部上。儘管僅在管狀運輸容器104之一個端部處繪示有一個帽106，然而亦可於管狀運輸容器104之一第二端部處利用一第二帽106。

亦參照第3圖，第一端部支撐件108在一實施例中包含一盤形狀，該盤形狀包含凸緣部139，凸緣部139界定一嚙合 特徵，例如一中心孔140，以用於接納第一端部連接部122，藉此以支撐方式嚙合端部連接部122。第一端部支撐件108可包含大致剛性之聚合物材料。

第一端部支撐件108界定一外徑或最大直徑D3。直徑D3大致大於刷具102之直徑D1。因此，凸緣部139沿徑向延伸超出刷具102之圓柱形刷具部120之徑向範圍。

亦參照第4圖，第二端部支撐件110在一實施例中包含凸緣部141及遠離盤部140之表面144向外突起之中心嚙合特徵或突起142。在一實施例中，突起142可為大致圓柱形且中空的。突起142被配置成由第二端部連接部124之孔130接納，俾使第二端部支撐件110牢固地耦合至第二端部連接部124，藉此以支撐方式嚙合端部連接部124。此外，凸緣部141沿徑向延伸超出刷具102之圓柱形刷具部120之徑向範圍。

第二端部支撐件110界定一外徑或最大直徑D4。直徑D4大致大於刷具102之直徑D1，且在一實施例中等於第一端部支撐件110之直徑D3。

在所示實施例中，第一端部支撐件108被配置成耦合至端部連接部122之一「封閉」實施例，因此呈盤狀或墊圈狀，而第二端部支撐件110被配置成耦合至端部連接部124之一「開口」實施例，因此呈具有一中心突起之盤狀結構。然而，端部支撐件108及110可包含用以支撐刷具102之端部之其他結構及形狀。

端部支撐件108用作CMP刷具102之支撐件或支座(stand-off)，以支撐方式嚙合端部連接部122。如上所述，端部支撐件108可界定一孔或其他開孔，例如孔140，以容許端部支撐件圍繞刷具102芯體之一部分(例如端部連接部122)而安裝。其他端部支撐部(例如端部支撐件110)可包含封裝盤，該等封裝盤包含一接頭(nipple)或其他結構(例如突起142)，以使該接頭能夠被插入至一刷具102芯體之一開口端(例如第二端部連接部124)中。

在一實施例中且如上文所簡述，CMP刷具102可由一液體浸濕或包含一液體。液體之某些部分可被保持於刷具102之一中空部或芯體中，且藉由端部支撐件108及/或110其中之一或二者之一密封效應而被保持於刷具102內。

仍參照第1圖及第2圖，CMP刷具封裝系統100亦包含撓性片材112。撓性片材112圍繞刷具102之圓柱形刷具部120之至少某些結節126及(在某些情形中)表面128而延伸並與其相嚙合。在一實施例中，撓性片材112包含一聚合物(例如一低密度聚乙烯(LDPE))內部套管。在一實施例中，撓性片材112亦可沿撓性片材112之一邊緣包含穿孔150或多個狹縫。亦可利用容許在不接觸刷具之條件下自刷具移除套管(同時刷具之二端部安裝至一CMP清潔工具)之其他較長或較短之狹縫150。舉例而言，可利用圍繞撓性片材112之一螺旋形穿孔，抑或一聚合物膜圍繞刷具之一寬鬆螺旋形包繞可構成套管之一連續狹縫。套管 可係為一聚合物包繞物，例如一聚乙烯膜、聚丙烯、或其他清潔之低粒子含量覆蓋物(shedding)、低離子含量金屬(小於每十億分之100份)、及低含量有機物(低於每十億分之100份)，該聚合物包繞物容許握持經覆蓋之刷具，並可在刷具安裝之後被移除。

在一實施例中，撓性片材112係鬆散地配合於刷具102上，在某些實施例中，此在容許一使用者握持刷具102及撓性片材112之同時容許該使用者於穿孔或狹縫150上方抓握撓性片材112。

在又一實施例中，撓性片材112並非包含一套管，而是包含一撓性包繞材料，該撓性包繞材料圍繞刷具102之圓柱形刷具部120而包繞，藉此接觸結節126並覆蓋結節126及表面128，進而保護並保持刷具102不受污染(亦參見第8圖)。

在另一實施例中，撓性片材112包含一半剛性塑膠套管，該套管沿其長度具有單個狹縫，而非多個穿孔150。一半剛性套管容許在將刷具安裝於工具上期間搬運及保護刷具，亦容許在事後容易地自刷具移除套管。

外部包繞物114可包含一外部聚合物容器或聚合物袋，該外部聚合物容器或聚合物袋可視需要具有一由聚乙烯內部及一耐綸形成之外部。在一實施例中，外部包繞物114可界定一「V」形易撕口150，以在不使用剪刀之條件下打開外部包繞物或袋。凹口150避免由可能用於打開外部包繞物114之一工具(例如剪刀)造成之可能之污染。在一實施例中，外部包繞物114亦 用於保持刷具102之液體不流失或保持液體不自圓柱形刷具部120蒸發。在一實施例中，外部包繞物114圍繞刷具102形成一氣密性密封。

在所示實施例中，外部包繞物114包圍耦合至端部支撐件108及110且由「內部」撓性片材112包繞之刷具102。外部包繞物114與被包圍之刷具102被接納於管狀運輸容器104之腔132中。

亦參照第5圖，耦合至端部支撐件108及110、且圓柱形刷具部120覆蓋有撓性片材112之刷具102被繪示成部分地插入於外部包繞物114中。在所示實施例中，外部包繞物114包含一套管或一袋，該套管或袋具有一開口，所包繞之刷具102可插入於該開口中。

第5圖亦繪示具有外表面136及內表面138之管狀運輸容器104之立體圖。如上所述，耦合至端部支撐件108及110、且圓柱形刷具部120被包繞於撓性片材112中、且被包繞於外部包繞物114中之刷具102可經由開孔134而被插入至管狀運輸容器104中。應注意者，儘管管狀運輸容器104被繪示成僅在一個端部處開口且隨後被蓋帽，然而管狀運輸容器104可在二相對端部處開口，且在一實施例中二者隨後皆被蓋帽及密封。

在一替代實施例中，耦合至端部支撐件108及110、且包繞有「內部」撓性片材112之刷具102被直接放置於管狀運輸容器104中，且管狀運輸容器104被接納至外部包繞物114中。

再次參照第1圖及第2圖，帽106被配置成插入至管狀運輸容器104上，並可被密封至管狀運輸容器104，以避免濕氣、灰塵、及其他污染物進入管狀運輸容器104中。在一實施例中，帽106經由管帽密封件116而被密封至管狀運輸容器104。管帽密封件116可包含多種材料(包括膠帶、聚酯薄膜(mylar)、PVC收縮帶等等)其中之任一種。在一實施例中，黏固至管狀運輸容器104之帽106形成一氣密性密封。

在一實施例中，且如第2圖所示，CMP刷具封裝系統100亦可包含外部自支撐封裝118。在一實施例中，自支撐封裝118包含一紙板箱(carton)，例如一運輸紙板箱，或其他此種自支撐紙板箱、盒、或容器。在一實施例中，自支撐封裝118可包含具有一方形端部形狀之一硬紙板盒。當存在時，外部自支撐封裝118被配置成接納管狀運輸容器104及其密封內容物，該等密封內容物包含耦合至端部支撐件108及110之刷具102、撓性片材112、以及在某些實施例中包含外部包繞物114。

因此，CMP刷具封裝系統100之實施例提供多個保護源：經由一外殼(例如一管狀運輸容器)提供機械保護；化學保護，包括經由一聚合物容器或聚合物袋(例如外部包繞物114)提供液體密封；以及在將刷具安裝於一CMP清潔工具上期間經由撓性片材112提供保護。

具體參照第1圖，刷具102被固定於管狀運輸容器104內。因凸緣139及141沿徑向延伸超出圓柱形刷具部120之徑 向範圍，即D2及D3大於D1(參照第2圖)，故刷具102懸置於管狀運輸容器104之圓柱形空間內。儘管圖未示出，然而在一實施例中，端部支撐件108及110嚙合管狀運輸容器104之內表面138。

參照第1圖及第2圖，本發明之另一實施例包含一種封裝一CMP刷具102之方法，CMP刷具102具有一圓柱形刷具部120及一對端部支撐件108及110。在一實施例中，該方法包含：以一液體弄濕刷具102；以撓性片材112覆蓋圓柱形刷具部120，撓性片材112圍繞圓柱形刷具部120之表面延伸並嚙合該表面；使各該端部支撐件108及110分別嚙合一端部連接部122及124；將被弄濕之刷具102插入一剛性聚合物管狀運輸容器(例如管狀運輸容器104)中。在一實施例中，該方法亦包含將端部連接部122及124支撐於管狀運輸容器104中。在一實施例中，該方法亦包含提供一額外之外部自支撐封裝，例如紙板箱118。

本發明之另一實施例係為一種取出一CMP刷具並將該CMP刷具安裝至一清潔工具上之方法，該CMP刷具被部分地密閉於具有一或多個狹縫之一套管中。該方法可包含如下操作或步驟：在將刷具安裝於清潔工具上之後，藉由沿該一或多個狹縫打開該套管而自刷具移除該套管。

更具體而言，在一實施例中，該方法包含：打開紙板箱118；自紙板箱118移出刷具102封裝，其中刷具102封裝可包含具有端部支撐件108及110、及撓性片材112且被外部包繞物 114環繞之刷具102；將一撕裂指示器(例如V形凹口150)定位於外部包繞物114上；將外部包繞物114撕開；以及自外部包繞物114移出管狀運輸容器104。在一實施例中，該最後二步驟可相互顛倒。

該方法可更包含：自帽106及管狀運輸容器104移除帽密封件116；自管狀運輸容器104移除帽106；移出包含耦合至端部支撐件108及110之刷具102之一刷具組件，其中圓柱形刷具部120由撓性片材112包繞；移除第一端部支撐件108；以及移除第二端部支撐件110。

亦參照第6圖，該方法亦可包含：在接觸撓性片材112之同時抓握圓柱形刷具部120，但不接觸刷具102之表面128或結節126。

亦參照第7圖，該方法亦可包含沿一穿孔之邊緣撕裂撓性片材112。撓性片材112之撕裂可發生於將刷具102安裝至一工具(亦參見第8圖，繪示刷具102被安裝至一工具160)之步驟之前、期間、或之後。

參照第8圖，該方法亦包含同樣在無需接觸刷具102之結節126或表面128之情況下自刷具102移除撓性片材112。

在另一相似之實施例中，本發明包含一種自一CMP封裝中取出一CMP刷具並安裝該化學機械研磨刷具之方法，該CMP封裝包含該CMP刷具，該CMP刷具具有一被弄濕之圓柱形泡棉部及二相對之端部連接部，該封裝包含：一聚合物片材材料， 包繞及嚙合該圓柱形部；一對端部支撐部，嚙合該CMP之該等相對端部並嚙合一自支撐運輸容器；該方法包含：自該自支撐聚合物運輸容器移出具有支撐件之該CMP刷具，在保留包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料之同時自該圓柱形刷具移除該等端部支撐件，藉由包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料而用手抓握該圓柱形刷具，俾使使用者之手不接觸該刷具部之表面；在藉由該聚合物片材握持該圓柱形刷具之同時，將該刷具黏固至一刷具固定裝置，以及移除該聚合物片材。

在另一實施例中，此種方法之一實施例亦可包含：該聚合物片材被配置成一套管，且移除該聚合物片材係藉由撕裂該聚合物片材中之一撕裂部並接著移除該套管而達成。

本發明包含多個實施例，其中包括一種封裝一CMP刷具之方法，該CMP刷具具有一圓柱形刷具部以及一對端部連接部，該方法包含：至少以一液體弄濕該刷具；以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該圓柱形部之表面延伸並嚙合該圓柱形部之該表面；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；將該被弄濕之刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部支撐件使該圓柱形刷具部不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。

在一實施例中，該方法亦可包含：對其中支撐有該等端部連接部之該聚合物管之外部施加一額外之聚合物片材包繞覆蓋物。

在一實施例中，該方法亦可包含：將該額外之片材包繞材料選擇成具有熱縮包裝(shrink wrap)能力，並加熱該額外之片材包繞物以使其收縮，藉此將該刷具氣密性地密封於其中。

在一實施例中，該方法亦可包含：選擇一套管作為該撓性片材以圍繞該圓柱形部延伸，且覆蓋該圓柱形部包含將該刷具插入該套管中。

此種實施例亦可包含：將該套管選擇成具有一易撕裂區域(tear conducive region)或一狹縫其中之一。

在一實施例中，該方法亦可包含：選擇在端視圖中具有一方形形狀之一硬紙板盒(cardboard box)作為該額外之外部自支撐封裝。

在一實施例中，該方法亦可包含：選擇具有一盤形凸緣部且具有一中心嚙合結構之端部支撐部，該中心嚙合結構用於嚙合該刷具之軸向中心。

在一實施例中，該方法亦可包含：提供一額外之密封聚合物袋作為封裝。

在一實施例中，該方法亦可包含：將該等支撐部插入於該聚合物管狀運輸容器內並在該管狀運輸容器之每一開口端上安裝一剛性帽。

在一實施例中，該方法亦可包含：氣密性地密封該剛性帽。

在一實施例中，本發明亦可包含一種經封裝之CMP刷具，該刷具包含一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有一圓柱形表面，該封裝包含：一撓性聚合物片材材料，圍繞該圓柱形部延伸並沿圓周嚙合及覆蓋該圓柱形部；一對端部支撐部，以支撐方式嚙合各該端部連接部，各該端部支撐部具有一中心嚙合特徵及一凸緣部，該中心嚙合特徵嚙合該端部連接部，該凸緣部則沿徑向延伸超出該圓柱之徑向範圍；一剛性聚合物運輸容器，該等端部支撐部嚙合該聚合物運輸容器之端部，其中該刷具懸置於該剛性聚合物運輸容器中，且該圓柱形表面與該剛性聚合物運輸容器間隔開；以及該剛性聚合物運輸容器被氣密性地密封。

在一實施例中，該氣密性密封係由一額外之聚合物密封袋提供，抑或由覆蓋該剛性聚合物運輸容器之一聚合物熱縮包裝材料提供。

在一實施例中，該剛性聚合物運輸容器被配置成一剛性管，且其中該等端部支撐件嚙合該管之端部。

在一實施例中，該封裝更包含一具有一方形端部形狀之硬紙板盒，該刷具密閉於該硬紙板盒中。

在一實施例中，圍繞該圓柱形部延伸之該撓性聚合物片材材料被配置成一套管。

在一實施例中，該套管具有利於開啟之結構，該結構包含一狹縫、複數個穿孔、及一易撕裂區域至少其中之一。

在一實施例中，圍繞該圓柱形部延伸之該撓性聚合物片材材料係為一矩形片材，該矩形片材捲繞於該圓柱形部上。

在一實施例中，本發明亦包含一種自一CMP封裝中取出一CMP刷具並安裝該CMP刷具之方法，該CMP封裝包含該CMP刷具，該CMP刷具具有一被弄濕之圓柱形泡棉部及二相對之端部，該封裝包含：一聚合物片材材料，包繞及嚙合該圓柱形部；一對端部支撐部，嚙合該CMP之該等相對端部並嚙合一自支撐運輸容器，該方法包含：自該自支撐聚合物運輸容器移出具有支撐件之該CMP刷具，在保留包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料之同時自該圓柱形刷具移除該等端部支撐件，藉由包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料而用手抓握該圓柱形刷具，俾使使用者之手不接觸該刷具部之表面；在藉由該聚合物片材材料握持該圓柱形刷具之同時，將該刷具黏固至一刷具固定裝置，以及移除該聚合物片材材料。

在一實施例中，該聚合物片材被配置成一套管，且移除該聚合物片材係藉由撕裂該聚合物片材中之一撕裂部並接著移除該套管而達成。

在一實施例中，本發明包含一種封裝一CMP刷具之方法，該CMP刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結，該方法包含：以一撓性片材 覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該等節結延伸並嚙合該等節結而不會使該等節結變形；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；將該刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部支撐件使該等節結不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。

在一實施例中，本發明亦包含一種運輸一CMP刷具之方法，該CMP刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該方法包含：提供三個聚合物覆蓋物至該圓柱形刷具部：其中一個係為一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結；其中另一個係為一密封袋；以及最後一個係為一管狀運輸容器，該管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；將該圓柱形刷具部密閉於該三個聚合物覆蓋物內。

在一實施例中，該方法更包含：在該容器內使該CMP刷具與該管狀運輸容器間隔開。

在一實施例中，本發明亦包含一種保護一CMP刷具之方法，該CMP刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結，該方法包含：將該刷具弄濕；以一非自支撐包繞物包繞該圓柱形刷具部及該等節結，其中 該圓柱形刷具可由一使用者之手抓握而手不會直接接觸該刷具。

此種方法之一實施例亦可包含：將該刷具放置於一管狀運輸容器內，且使該等節結與該容器之一壁間隔開。

此種方法之一實施例亦可包含：使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。

在一實施例中，本發明包含一種經封裝之CMP刷具，該刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該封裝包含：覆蓋至該圓柱形刷具部之三個聚合物覆蓋物，該三個聚合物覆蓋物包含：一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結而不使該等節結變形；一密封袋；以及一剛性管狀運輸容器，該剛性管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；其中該CMP刷具係密封地密閉於該剛性管狀運輸容器中並與該容器之一管狀壁間隔開。

儘管已參照一或多種實施方式顯示及闡述本發明，然而熟習此項技術者可基於對本說明書及附圖之閱讀及理解而設想出等效之更改及潤飾。本發明包含所有此種潤飾及更改，且僅受隨附申請專利範圍之範圍限制。此外，儘管可能已結合若干實施方式之僅一種實施方式揭露本發明之一特定特徵或態樣，然而此種特徵或態樣可視需要或為有利於任何給定或特定之應用起見而與其他實施方式之一或多個其他特徵或態樣相結合。此外，就 用於具體說明或申請專利範圍之措辭「包括(include)」、「具有(having、has、with)」或其變體形式而言，此等措辭旨在以類似於措辭「包含(comprising)」之方式而被包含。此外，措辭「實例性的」僅用於指一實例，而非最佳選擇。亦應理解，為簡明及便於理解起見，本文所繪示之特徵、層及/或元件被例示成相對於彼此具有特定之尺寸及/或取向，而實際尺寸及/或取向可實質上不同於本文所示者。

儘管已參照本發明之某些實施例相當詳細地闡述了本發明，然而亦可存在其他型式。因此隨附申請專利範圍之精神及範圍不應僅限於本說明書中所包含之說明及型式。

100‧‧‧CMP刷具封裝系統

102‧‧‧CMP刷具

104‧‧‧管狀運輸容器

106‧‧‧帽

108‧‧‧端部支撐件

110‧‧‧端部支撐件

112‧‧‧撓性片材

114‧‧‧外部包繞物

120‧‧‧圓柱形刷具部

139‧‧‧凸緣部

141‧‧‧凸緣部

Claims (27)

1. 一種封裝一化學機械研磨(chemical mechanical planarization)刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部以及一對端部連接部，該方法包含：至少以一液體弄濕該刷具；以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該圓柱形部之表面延伸並嚙合該圓柱形部之該表面，其中該撓性片材適於將該被弄濕化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在該化學機械研磨工具上之該被弄濕化學機械研磨刷具移除且不切割；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑，其中該端部支撐件由一外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該被弄濕化學機械研磨刷具；將該被弄濕之刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部支撐件使該圓柱形刷具部不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝(self-supporting packaging)。
2. 如請求項1所述之方法，更包含：對其中支撐有該等端部連接部之該剛性聚合物運輸容器之外部施加一額外之聚合物片材 包繞材料。
3. 如請求項2所述之方法，更包含：將該額外之片材包繞材料選擇成具有熱縮包裝(shrink wrap)能力，並加熱該額外之片材包繞材料以使其收縮，藉此將該刷具氣密性地密封於其中。
4. 如請求項1所述之方法，更包含：選擇一套管作為該撓性片材以圍繞該圓柱形部延伸，且覆蓋該圓柱形部包含將該刷具插入該套管中。
5. 如請求項4所述之方法，更包含：將該套管選擇成具有一易撕裂區域(tear conducive region)或一狹縫其中之一。
6. 如前述請求項1至5中任一項所述之方法，更包含：選擇在端視圖中具有一方形形狀之一硬紙板盒(cardboard box)作為該額外之外部自支撐封裝。
7. 如前述請求項1至5中任一項所述之方法，更包含：選擇具有一盤形凸緣部且具有一中心嚙合結構之端部支撐部，該中心嚙合結構用於嚙合該刷具之軸向中心。
8. 如前述請求項1至5中任一項所述之方法，更包含：提供一額外之密封聚合物袋作為封裝。
9. 如前述請求項1至5中任一項所述之方法，更包含：將該等支撐部插入於該聚合物管狀運輸容器內並在該管狀運輸容器之每一開口端上安裝一剛性帽。
10. 如請求項9所述之方法，更包含：氣密性地密封該剛性帽。
11. 一種經封裝之化學機械研磨刷具，其包含：一撓性聚合物片材材料，圍繞該圓柱形刷具部延伸並沿圓周嚙合及覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材材料適於將該被包繞弄濕化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在該化學機械研磨工具上之該被包繞弄濕化學機械研磨刷具移除且不切割；一對端部支撐部，以支撐方式嚙合各該端部連接部，各該端部支撐部具有一中心嚙合特徵及一凸緣部，該中心嚙合特徵嚙合該端部連接部，該凸緣部則沿徑向延伸超出一圓柱形表面之徑向範圍；一外部包繞物，其包圍該對端部支撐部且氣密性地密封該被包繞弄濕化學機械研磨刷具，該外部包繞物經結構設計以插入一剛性聚合物運輸容器中，該等端部支撐部嚙合該聚合物運輸容器之端部，其中該刷具懸置於該剛性聚合物運輸容器中，且該圓柱形表面與該剛性聚合物運輸容器間隔開；以及一個或多個端帽，其包圍該剛性聚合物運輸容器。
12. 如請求項11所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中該外部包繞物包含一額外之聚合物密封袋。
13. 如請求項11所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中該外部包繞物包含包含覆蓋該剛性聚合物運輸容器之一聚合物熱縮包裝材料。
14. 如請求項11所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中該剛性聚合物運輸容器被配置成一剛性管，且其中該等端部支撐件嚙合該管之端部。
15. 如請求項11至14中任一項所述之經封裝之化學機械研磨刷具，更包含一具有一方形端部形狀之硬紙板盒，該刷具密閉於該硬紙板盒中。
16. 如請求項11至14中任一項所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中圍繞該圓柱形部延伸之該撓性聚合物片材材料被配置成一套管。
17. 如請求項14所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中該套管具有利於開啟之結構，該結構包含一狹縫、複數個穿孔、及一易撕裂區域至少其中之一。
18. 如請求項11至14中任一項所述之經封裝之化學機械研磨刷具，其中圍繞該圓柱形部延伸之該撓性聚合物片材材料係為一矩形片材，該矩形片材捲繞於該圓柱形部上。
19. 一種自一化學機械研磨封裝中取出一化學機械研磨刷具並安裝該化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨封裝包含該化學機械研磨刷具，該化學機械研磨刷具具有一被弄濕之圓柱形泡棉部及二相對之端部，該封裝包含：一聚合物片材材料，包繞及嚙合該圓柱形部；一對端部支撐部，嚙合該化學機械研磨之該等相對端部並嚙合一自支撐運輸容器，該方法包含：自該自支撐聚合物運輸容器移出具有支撐件之該化學機械研磨刷具，在保留包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料之同時自該圓柱形刷具移除該等端部支撐件，其中該等端 部支撐件由一外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該化學機械研磨刷具；藉由包繞該圓柱形刷具部之該聚合物片材材料而用手抓握該圓柱形刷具，俾使使用者之手不接觸該刷具部之表面，其中該聚合物片材材料適於將該化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從該化學機械研磨刷具移除且不切割；在藉由該聚合物片材材料握持該圓柱形刷具之同時，將該刷具粘固至一刷具固定裝置(fixture)，以及移除該聚合物片材材料。
20. 如請求項19所述之方法，其中該聚合物片材被配置成一套管，且移除該聚合物片材係藉由撕裂該聚合物片材中之一撕裂部並接著移除該套管而達成。
21. 一種封裝一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結(nodule)，該方法包含：以一撓性片材覆蓋該圓柱形刷具部，該撓性片材圍繞該等節結延伸並嚙合該等節結而不會使該等節結變形，其中該撓性片材適於將該被弄濕化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在該化學機械研磨工具上之該被弄濕化學機械研磨刷具移除且不切割；使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形 部之一最大直徑，其中該等端部支撐件由一外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該被弄濕化學機械研磨刷具；將該刷具插入一剛性聚合物管狀運輸容器中，該剛性聚合物管狀運輸容器具有一管狀壁，該管狀壁具有一內表面，其中該等端部支撐件使該等節結不被該管狀壁接觸且使得該管狀壁不使該圓柱形部變形；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。
22. 一種運輸一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該方法包含：提供三個聚合物覆蓋物至該圓柱形刷具部：其中一個聚合物覆蓋物係為一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結；其中另一個聚合物覆蓋物係為一外部包繞物；以及最後一個係為一管狀運輸容器，該管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；將該圓柱形刷具部密閉於該三個聚合物覆蓋物內；其中每一端部連接部嚙合一各別端部支撐件，且該等端部支撐件由該外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該化學機械研磨刷具；且其中一撓性聚合物片材材料圍繞該圓柱形刷具部延伸且適於將該化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在 該化學機械研磨工具上之該化學機械研磨刷具移除且不切割。
23. 如請求項22所述之運輸一具有一帶有節結之圓柱形刷具部及一對端部連接部之化學機械研磨刷具之方法，該方法更包含：在該容器內使該化學機械研磨刷具與該管狀運輸容器間隔開。
24. 一種保護一化學機械研磨刷具之方法，該化學機械研磨刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有沿徑向延伸之節結，該方法包含：將該刷具弄濕；以一非自支撐包繞物包繞該圓柱形刷具部及該等節結，其中該圓柱形刷具可由一使用者之手抓握而手不會直接接觸該刷具，其中每一端部連接部經結構設計以嚙合一各別端部支撐件，且該等端部支撐件由該外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該化學機械研磨刷具；且其中該非自支撐包繞物適於將該化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在該化學機械研磨工具上之該化學機械研磨刷具移除且不切割。
25. 如請求項24所述之方法，更包含：將該刷具放置於一管狀運輸容器內，且使該等節結與該容器之一壁間隔開。
26. 如請求項24所述之方法，更包含：使各該端部連接部分別嚙合一端部支撐件，該等端部支 撐件具有一凸緣部，該凸緣部所具有之一直徑大於該圓柱形部之一最大直徑；以及圍繞該剛性聚合物運輸容器提供一額外之外部自支撐封裝。
27. 一種經封裝之化學機械研磨刷具，該刷具具有一圓柱形刷具部及一對端部連接部，該圓柱形刷具部具有節結，該封裝包含：覆蓋至該圓柱形刷具部之三個聚合物覆蓋物，該三個聚合物覆蓋物包含：一非自支撐包繞物，包繞於該圓柱形部周圍並嚙合該等節結而不使該等節結變形；一外部包繞物；以及一剛性管狀運輸容器，該剛性管狀運輸容器之大小使得一內徑大於該刷具部之一最大直徑；其中該化學機械研磨刷具係密封地密閉於該剛性管狀運輸容器中並與該容器之一管狀壁間隔開，其中每一端部連接部經結構設計以嚙合一各別端部支撐件，且該等端部支撐件由該外部包繞物所包圍，該外部包繞物氣密性地密封該化學機械研磨刷具；且其中該非自支撐包繞物適於將該化學機械研磨刷具安裝在一化學機械研磨工具上，且適於從安裝在該化學機械研磨工具上之該化學機械研磨刷具移除且不切割。