JP2021189303A - ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法 - Google Patents

Abstract

【課題】保管、輸送時にはペリクルをペリクルケースに好適に保持することができ、取り出す際にはペリクルをペリクルケースから好適に取り出すことができる、ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法を提供すること。【解決手段】フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを収納するペリクルケースであって、ペリクルを載置するためのトレイを備え、トレイは、少なくとも粘着層が接触する部位が、離型性を有し、部位と粘着層との剥離強度が、０．０５〜２．５ｋｇｆであることを特徴とする。【選択図】図５

Description

本発明は、ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法に関する。

大規模集積回路（ＬＳＩ）等の製造工程では、フォトマスクを防塵するため、ペリクルが用いられる。ペリクルは、一般に、ペリクル枠と、ペリクル枠の一端側に配された、透明な薄膜であるペリクル膜と、ペリクル枠の他端側（ペリクル枠のペリクル膜とは反対側）に配された、フォトマスクに張り付けられるための粘着層と、を有する。

ペリクルは、ペリクルケースに保持されることができる。ペリクルケースにペリクルを保持するための手法として、例えば、特許文献１に記載の手法が知られている。該手法では、ペリクルの粘着層に保護フィルム（以下、「ライナー」と称することがある）が張り付けられたうえでペリクルがペリクルケースに載置され、そして、そのライナーの一部がペリクルケースに粘着性テープで固定される。ペリクルをペリクルケースから取り出すと、ペリクルの粘着層からライナーが剥がれるとともに、該粘着性テープによってライナーがペリクルケースに残される。

特開２００７−０１７８１１号公報

上記のとおり、特許文献１に記載の手法において、ペリクルをペリクルケースから取り出すと、ペリクルの粘着層からライナーが剥がれるとともに、粘着性テープによってライナーがペリクルケースに残される。ここで、発明者は、各種の状況に応じて、ライナーをペリクルケースに残しながらペリクルを取り出すのが望まれる場合だけでなく、ライナー及びペリクルをペリクルケースから取り出す（ライナーごとペリクルを取り出す）のが望まれる場合が存在することに着目した。

しかしながら、ペリクルをトレイに粘着性テープにて収納する場合、テープを貼る個所が多いため収納の際に時間を要する。収納の際に時間を要すると、異物付着のリスクが生じる場合がある。

また、特許文献１に記載の手法であると、ライナーごとペリクルをペリクルケースから取り出すのが難しい。これに関連して、特許文献１に記載の手法において、ペリクルを取り出す前に、ライナーの一部をペリクルケースに張り付けるためのテープを剥がすことが考えられる。ただ、この場合、粘着性テープを剥がすことによって、粘着性テープの粘着成分が飛散するとともに飛散した粘着成分によってペリクル膜が汚染される可能性が生じる場合もある。

本発明は、このような実情に鑑みて提案されたものであり、本発明の目的は、保管、輸送時にはペリクルをペリクルケースに好適に保持することができ、他方、取り出す際にはペリクルをペリクルケースから好適に取り出すことができる、ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法を提供することにある。

本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した。その結果、トレイの粘着層が接触する部位に離型性を付与し、該部位と粘着層との剥離強度を規定することで、保管、輸送時の確実な粘着力と、取り出し時の好適な剥離とを両立できることを見出し、本発明を成すに至ったものである。
すなわち、本発明は以下のとおりのものである。
［１］
フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
前記ペリクルを載置するためのトレイを備え、
前記トレイは、少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有し、
前記部位と前記粘着層との剥離強度が、０．０５〜２．５ｋｇｆであることを特徴とするペリクルケース。
［２］
フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
前記ペリクルを載置するためのトレイを備え、
前記トレイは、少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有し、
前記部位は、シリコーン化合物、フッ素系化合物、およびウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む、ペリクルケース。
［３］
前記トレイは、トレイ本体を有し、前記部位は、前記トレイ本体の、少なくとも前記粘着層が接触する面に配された離型層である、［１］または［２］に記載のペリクルケース。
［４］
前記離型層は、前記トレイ本体の少なくとも一方の面にコーティングにより形成されてなる、［３］に記載のペリクルケース。
［５］
前記ペリクルケースは、前記トレイを覆うためのカバーを更に備え、
前記カバーは、
前記トレイを前記カバーで覆ったとき、前記トレイに載置された前記ペリクルの前記フレームの少なくとも一部に当接する当接部を備える、［１］〜［４］のいずれかに記載のペリクルケース。
［６］
前記ペリクルケースは、
前記トレイに載置される前記ペリクルの前記フレームの側面に設けられた非貫通のピン挿入孔に、ピンを挿入して固定するためのピン保持機構を更に備える、［１］〜［５］のいずれかに記載のペリクルケース。
［７］
フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを載置するためのトレイであって、
少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有する、トレイ。
［８］
前記トレイは、トレイ本体を有し、前記部位は、前記粘着層が接触する面に配された離型層である、［７］に記載のトレイ。
［９］
フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを載置するためのトレイ本体の表面に、シリコーン化合物、フッ素系化合物、およびウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む離型層を形成する工程と、
前記ペリクルの前記粘着層を前記離型層に付着させる工程と、
を有する、ペリクルの保持方法。

本発明によれば、搬送中には、保管、輸送時にはペリクルをペリクルケースに好適に保持することができ、取り出す際にはペリクルをペリクルケースから好適に取り出すことができる、ペリクルケース、トレイおよびペリクルの保持方法を提供することができる。

ペリクルの一実施形態を示す図。 ペリクルケースの一実施形態を示す図。 トレイにペリクルを載置した状態を示す断面図。 トレイにペリクルを収納した状態を示す上面図。 ペリクルケースにペリクルを収納した状態を示す断面図。 ペリクルケースの他の実施形態を示す図。 剥離強度の測定方法を説明する図 ペリクルケースの他の実施形態を示す図。

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」と略記する。）について説明する。本発明は、以下の実施形態のみに限定されず、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。各図中、同一の構成要素に対しては同一の符号を付し、また、重複する説明は省略する場合がある。

［第１実施形態］
本実施形態に係るペリクルの概要を説明する。図１（ａ）は、ペリクルを示す上面図であり、図１（ｂ）は、縦断面図である。
なお、以下の説明においては、各図における上側を「上」とし、下側を「下」として説明する。

＜ペリクル＞
ペリクル１は、フォトリソグラフィ等においてフォトマスクの防塵を行う構造体である。ペリクル１は、ペリクル枠２と、ペリクル膜３と、粘着層４と、を備えている。

ペリクル枠２は、ペリクル膜３をペリクル枠２に張設することができるような任意の形態を有することができ、例えば、枠の正面視では、方形、多角形、円形、楕円形等の外形を有することができる。方形は、正方形、長方形等であり、角が直角の場合と、角が丸みを帯びている略方形（図１）の場合と、の両方を有することができる。多角形は、三角形、台形、平行四辺形、五角形、六角形等である。

ペリクル枠２及びその開口部のサイズは、フォトマスクのサイズに応じて定められることができる。ペリクル枠２が、正面視において一対の長辺と一対の短辺からなる長方形状である場合には、長辺長が５００ｍｍ〜２０００ｍｍであり、短辺長が３００ｍｍ〜１８００ｍｍであり、長辺と短辺の幅が、それぞれ４．０ｍｍ〜２０．０ｍｍであり、かつ／又は枠の高さが２．０ｍｍ〜８．０ｍｍであることができる。

図１に示されるように、ペリクル枠２は、縁部を有する。縁部は、直線状に延びる棒状の縁部材を有することができる。一対の縁部材は、互いに間隔を空けて平行に配置されることができ、同様に、他の一対の縁部材も互いに間隔を空けて平行に配置されることができる。接触している２つの縁部材は、互いに略直角を成すように端部が接続されることができる。

ペリクル枠２及びその縁部材は、例えば、アルミニウム；アルミニウム合金（例えば５０００系、６０００系、７０００系等）；鉄鋼；ステンレス鋼；マグネシウム合金；セラミックス（例えばＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ_２Ｏ_３等）；セラミックスと金属との複合材料（例えば、Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ_２Ｏ_３等）；ＰＥ、ＰＡ、ＰＣ、ＰＥＥＫ等のエンジニアリングプラスチック；ＧＦＲＰ、ＣＦＲＰ等の繊維複合材料；又はこれらの組み合わせ等の既知の材料で形成されることができる。

ペリクル膜３は、ニトロセルロース、セルロース誘導体、フッ素ポリマー等によって形成された透明な薄膜である。ペリクル膜３は、その厚みが１０μｍ以下であり、フォトリソグラフィにおいて光源が発する光を十分に透過させるように形成されている。図１（ｂ）に示すように、ペリクル膜３は、図示しない粘着剤によりペリクル枠２の一端側に接着及び固定され、ペリクル枠２を覆っている。

図１（ｂ）に示すように、ペリクル枠２の他端側（ペリクル枠のペリクル膜とは反対側）には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付けるための粘着層４が配されている。また、この粘着層４は、ペリクル１をペリクルケース１０に保持する機能も有する。

粘着層４は、アクリル系、ゴム系、ビニル系、エポキシ系、シリコ−ン系等の接着剤を含んで構成されており、より好ましい構成材料は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系等である。粘着層４の厚みは、例えば、０．８ｍｍ〜２．５ｍｍであることが好ましい。

以上の説明のように構成されたペリクル１は、ペリクルケース１０に保持された状態で搬送、保管されることができる。

＜ペリクルケース＞
（ペリクルケースの構成）
図２を参照しながら、本実施形態に係るペリクルケースの概要を説明する。
図２は、ペリクルケースの一例を示す縦断面図である。図３〜図４は、ペリクルケースのトレイにペリクルを保持させた状態を示す図であり、図３は、縦断面図、図４は上面図である。図５は、ペリクルケースにペリクルを保持させた状態を示す断面図である。

ペリクルを収納するペリクルケース１０は、ペリクル１を載置するためのトレイ２０を備え、トレイ２０は、少なくとも、ペリクル１に設けられた粘着層４が接触する部位が、離型性を有する。そして、該部位と粘着層４との剥離強度が０．０５〜２．５ｋｇｆである。
これにより、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持することができ、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出すことができる。

本実施形態において、トレイ２０は、トレイ本体２１と、トレイ本体２１の、少なくともペリクル１の粘着層４が接触する面に配された離型層２３とを備える。

図２に示すように、ペリクルケース１０は、トレイ２０を覆うためのカバー３０を更に有している。トレイ２０は、その中央に、ペリクル１を載置するための領域を有することができ、その周縁に、カバー３０と互いに嵌め合うための領域を有することができる。

トレイ本体２１及びカバー３０は、ポリエチレンテレフタレート、アクリロニトリルブタジエンスチレン、アクリル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料によって形成されている。

トレイ２０及びカバー３０の厚みは、ペリクル１を搬送又は保管するときに生じ得る振動及び衝撃からペリクル１を保護できる程度の値が好ましく、例えば、２．０〜１０．０ｍｍであることが好ましい。
トレイ２０及びカバー３０の平面形状及び大きさは、保持されるペリクル１の形状及び大きさに応じて、適宜決定される。

トレイ本体２１は、ペリクル１を保持するための固定面２１ａを有し、固定面２１ａの周縁部には、凹凸形状を有する嵌合部２４が形成されている。固定面２１ａは、トレイ本体２１におけるペリクルが載置される側の最表面を意味する。図２のトレイ２０は、トレイ本体２１の一方の面（固定面２１ａ）に離型層２３が形成された構成を有している。

カバー３０は、トレイ２０に嵌め合わせたときに、トレイ２０の固定面２１ａに略平行な天井面３１を有し、天井面３１の周囲には、天井面３１に連続する斜面３２を有している。また、カバー３０の周縁には、凹凸形状を有する嵌合部３３が形成されている。カバー３０の周縁に形成された嵌合部３３と、トレイ２０の周縁に形成された嵌合部２４とは嵌め合い可能である。

カバー３０とトレイ２０とが互いに嵌め合わされることで、カバー３０とトレイ２０との間に、ペリクル１を収容するための空間１１が形成される（図５参照）。

固定面２１ａの周辺部には、該固定面２１ａから突出する位置決めピン２２が複数配されている。位置決めピン２２は、固定面２１ａに載置が予定されるペリクル１の外形に沿って配されている。また、位置決めピン２２は、固定面２１ａから離れるほど径が小さくなる、テーパー形状を有している。従って、ペリクル１をトレイ２０に載置するとき、これらの位置決めピン２２に案内させながらペリクル１の粘着層４を離型層２３に張り付けることができる。また、これらの位置決めピン２２によってペリクル１の位置を規定することができる（図４参照）。

本実施形態では、トレイ本体２１の、ペリクル枠２の下端面に設けられた粘着層４が接触する面、すなわち固定面２１ａに、離型層２３が形成されている。そして、離型層２３と、ペリクル１の粘着層４と、の剥離強度が０．０５〜２．５ｋｇｆである
これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持することができ、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出すことができる。

離型層２３は、シリコーン化合物、フッ素系化合物、及びウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含むことが好ましく、シリコーン系化合物を含むことがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持し易くなり、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出し易くなる。

離型層２３は、トレイ本体２１の表面のうち、少なくとも、ペリクル枠２に設けられた粘着層４と接する部位に形成されていればよい。例えば図２に示す例では、トレイ本体２１の一方の面（固定面２１ａ）の全面に離型層２３が形成された例を示しているが、例えば図６に示すように、トレイ本体２１の両面を含む全体に離型層２３が形成されていてもよい。

離型層２３の厚みは、例えば、１．０〜４０．０μｍであることが好ましく、１．２〜３０．０μｍであることがより好ましく、１．５〜２０．０μｍであることが更に好ましい。

離型層２３と粘着層４との剥離強度は、１．５ｋｇｆ以下であることが好ましく、１．０ｋｇｆ以下、さらには０．８ｋｇｆ以下であることがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持し易くなり、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出し易くなる。

また、離型層２３と粘着層４との剥離強度は、０．０５ｋｇｆ以上であることが好ましく、０．１ｋｇｆ以上、さらには０．２ｋｇｆであることがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に確実に保持することができ、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出すことができる。

離型層２３と粘着層４との剥離強度は、離型層２３を構成する材料と、粘着層４を構成する材料との組み合わせを適宜選択することにより、上記範囲に設定することができる。

また、離型層２３と粘着層４との剥離強度は、離型層２３の膜厚を調整することによって制御することができる。
例えば、離型層２３の膜厚が厚くなれば、剥離強度は大きくなる傾向があり、他方、離型層２３の膜厚が薄くなれば、剥離強度は小さくなる傾向がある。

離型層２３の膜厚を部分的に薄くする（又は厚くする）ことで、離型層２３と粘着層４との剥離強度に部分的に強弱を付与することができる場合がある。剥離強度に強弱をつけても、本実施形態に係る粘着層の範囲内であれば、輸送中のペリクルの移動を好適に防止することができる。他方、剥離強度に強弱をつけることで、ペリクルを取り出すとき、ライナーと粘着層の間に剥離きっかけを起こすことが容易になり、ペリクルを取り出すのが容易になる。

（剥離強度の測定方法）
本実施形態において、「離型層と粘着層との剥離強度」は、下記のとおり測定することができる。
図７は、本明細書における、「離型層と粘着層との剥離強度」の測定方法を説明するための図である。
なお、前記離型層は、「粘着層と接触する部位」の一例であり、本測定方法は、後述する第２実施形態においても適用される。

作製したペリクルを切断（縁部材：ｘ方向長さ１１ｍｍ×ｙ方向長さ３０ｍｍ×ｚ方向長さ４ｍｍ、粘着層：ｘ方向長さ４．５ｍｍ×ｙ方向長さ３０ｍｍ×ｚ方向長さ１．２ｍｍ）することで、試験片としてのペリクル片を得る。ペリクル片の粘着層側を、離型層が塗布されたサンプルピース板（ｘ方向長さ５０ｍｍ×ｙ方向長さ１００ｍｍ×ｚ方向長さ７ｍｍ）に接触及び静置し、錘を１ｋｇｆで１０秒間に亘ってペリクル片の上部に乗せる。その後、錘を外して１０分間放置する。

測定機器として、オートグラフ（島津製作所製，型式「ＡＧＳ−Ｘ ５００Ｎ」）を用い、引張試験を実施する。サンプルピース板を固定し、ペリクル片のフレームの側面を、上記測定機器の固定治具で挟む。固定治具を垂直方向に引張速度５ｍｍ／ｍｉｎの条件でサンプルピース板から引っ張り、ペリクル片がサンプルピース板から完全に離れたときの引張強度を、「離型層と粘着層との剥離強度」として採用することができる。なお、これらの試験は、全て室温（２５℃）下で行うことができる。

（離型層の形成方法）
離型層２３は、トレイ本体２１の表面に、離型層用塗工液をコーティングすることにより形成することができる。コーティングにより、トレイ２０上に離型層２３を簡便かつ確実に形成することができる。
なお、本実施形態におけるコーティングには、トレイ本体２１の表面に対して離型層用塗工液を塗布する手法のみならず、トレイ本体２１を離型層用塗工液に浸漬（ディッピング）させる手法も含まれる。

離型層用塗工液は、例えば、最適な溶剤にて最適な濃度に稀釈することで得ることができる。塗工方法は、エアスプレー、静電塗装、浸漬塗装、ロールコートが望ましく、中でも、エアスプレー方式が好ましい。

（ペリクルケースへのペリクルの収容）
図３及び図４は、ペリクルケースにペリクルを収納した状態を示す図である。ペリクルケース１０の収納空間１１において、ペリクル１は、トレイ２０の中央部の固定面２１ａに配置される。このとき、ペリクル１の粘着層４は、トレイ２０の離型層２３に張り付けられている。これにより、ペリクル１は、トレイ２０に保持される。

図５に示すように、ペリクル１が載置されたトレイ２０を、カバー３０で覆うことができる。これにより、ペリクル１への塵の付着を抑制し易くなるとともに、搬送及び保管中の振動及び衝撃等からペリクル１を保護し易くなる。

カバー３０は、トレイ２０をカバー３０で覆ったとき、斜面３２の一部が、トレイ２０に載置されるペリクル１のペリクル枠２の少なくとも一部に当接する当接部３２ａとされている。これにより、トレイ２０をカバー３０で覆うことで、当接部３２ａによってペリクル１をトレイ２０側に押し付けることができ、よって、ペリクル１が搬送中にペリクルケース１０内で動くことがより確実に抑制される。

更に、ペリクル１のペリクル枠２の側面に、非貫通のピン挿入孔を設けておき、ペリクルケース１０のトレイ２０に配置されたペリクル１を、このピン挿入孔にピンを挿入して固定することが好ましい。これにより、搬送中の振動等により、ペリクル１がペリクルケース１０内で動くことがより確実に抑制される。

そして、ペリクル１をペリクルケース１０から取り出すとき、特にユーザーがペリクルを掴んで持ち上げる場合には、まず、ペリクル１の粘着層４とトレイ２０側の離型層２３との間に、剥離を開始する端部が形成され、離型層２３から剥離した範囲が拡大していき、最終的に、ペリクル１全体を離型層２３から完全に剥離させることができる。

また、特に機械でペリクル１を掴んで持ち上げる場合には、機械でペリクル１又はトレイ２０の位置を固定しながら、固定されていない方の部材を両者の対面方向に沿って離間させていくことで、離型層２３からペリクル１側の粘着層４をほぼ一度に剥離させることができる。

［第２実施形態］
図面を参照しながら、ペリクルケースの第２実施形態の概要を説明する。
図８は、本実施形態のペリクルケースの一例を示す縦断面図である。
なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と異なる部分について主に説明し、共通する部分についてはその説明を省略する。

上述したペリクルケースでは、トレイ２０において、離型層２３がトレイ本体２１の表面に形成されていたが、本実施形態のペリクルケースでは、トレイ２０において、離型層がトレイ本体２１と一体に形成されている、すなわち、トレイ本体２１自体が離型性を有する。
本実施系形態のペリクルケースは、トレイ２０（トレイ本体２１）は、少なくとも前記粘着層４が接触する部位が、離型性を有し、前記部位と粘着層４との剥離強度が、０．０５〜２．５ｋｇｆである。

トレイ２０と粘着層４との剥離強度は、１．５ｋｇｆ以下であることが好ましく、１．０ｋｇｆ以下、更には０．８ｋｇｆ以下であることがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持し易くなり、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出し易くなる。

また、トレイ２０と粘着層４との剥離強度は、０．０５ｋｇｆ以上であることが好ましく、０．１ｋｇｆ、更には０．２ｋｇｆ以上であることがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に確実に保持することができ、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出すことができる。

トレイ２０（トレイ本体２１）は、シリコーン化合物、フッ素系化合物、及びウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含むことが好ましく、シリコーン系化合物を含むことがより好ましい。これによれば、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０に好適に保持し易くなり、他方、ペリクル１をペリクルケース１０又はトレイ２０から好適に取り出し易くなる。

トレイ本体２１は、その他、ポリエチレンテレフタレート、アクリロニトリルブタジエンスチレン、アクリル、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料を含んで形成されていてもよい。これにより、トレイ本体２１に、ペリクル１を搬送又は保管するときに生じ得る振動及び衝撃からペリクル１を保護できる強度を付与することができる。

トレイ２０（トレイ本体２１）の厚みは、上記の観点から、例えば、２．０〜１０．０ｍｍであることが好ましい。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

本発明によるペリクルケースを用いることで、保管、輸送時にはペリクルをペリクルケース又はトレイに好適に保持させることができ、取り出す際にはペリクルをペリクルケースから好適に取り出すことができるので、ペリクルの搬送、保管用ケースとして広く利用することができる。

１ ：ペリクル
２ ：ペリクル枠
３ ：ペリクル膜
４ ：粘着層
１０ ：ペリクルケース
１１ ：収納空間
２０ ：トレイ
２１ ：トレイ本体
２１ａ ：固定面
２２ ：位置決めピン
２３ ：離型層
２４ ：嵌合部
３０ ：カバー
３１ ：天井面
３２ ：斜面
３２ａ ：当接部
３３ ：嵌合部

Claims (9)

1. フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
   前記ペリクルを載置するためのトレイを備え、
   前記トレイは、少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有し、
   前記部位と前記粘着層との剥離強度が、０．０５〜２．５ｋｇｆであることを特徴とするペリクルケース。
2. フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを収納するペリクルケースであって、
   前記ペリクルを載置するためのトレイを備え、
   前記トレイは、少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有し、
   前記部位は、シリコーン化合物、フッ素系化合物、およびウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む、ペリクルケース。
3. 前記トレイは、トレイ本体を有し、前記部位は、前記トレイ本体の、少なくとも前記粘着層が接触する面に配された離型層である、請求項１または２に記載のペリクルケース。
4. 前記離型層は、前記トレイ本体の少なくとも一方の面に、コーティングにより形成されてなる、請求項３に記載のペリクルケース。
5. 前記ペリクルケースは、前記トレイを覆うためのカバーを更に備え、
   前記カバーは、
   前記トレイを前記カバーで覆ったとき、前記トレイに載置された前記ペリクルの前記フレームの少なくとも一部に当接する当接部を備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクルケース。
6. 前記ペリクルケースは、
   前記トレイに載置される前記ペリクルの前記フレームの側面に設けられた非貫通のピン挿入孔に、ピンを挿入して固定するためのピン保持機構を更に備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載のペリクルケース。
7. フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを載置するためのトレイであって、
   少なくとも前記粘着層が接触する部位が、離型性を有する、トレイ。
8. 前記トレイは、トレイ本体を有し、前記部位は、前記粘着層が接触する面に配された離型層である、請求項７に記載のトレイ。
9. フレームの一端面側に配された粘着層を有するペリクルを載置するためのトレイ本体の表面に、シリコーン化合物、フッ素系化合物、およびウレタン系化合物からなる群から選択される少なくとも１つを含む離型層を形成する工程と、
   前記ペリクルの前記粘着層を前記離型層に付着させる工程と、
   を有する、ペリクルの保持方法。

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