JP4906102B2

JP4906102B2 - 保持治具

Info

Publication number: JP4906102B2
Application number: JP2007173994A
Authority: JP
Inventors: 俊明初見
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2007-07-02
Filing date: 2007-07-02
Publication date: 2012-03-28
Anticipated expiration: 2027-07-02
Also published as: JP2009016430A

Description

この発明は、保持治具に関し、さらに詳しくは、簡単な構成で、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具に関する。

従来、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板、フィルム等の薄板状物等は、一般に、その形状を保持しにくく、又は、破損等しやすいので、保持治具等に固定されて、例えば、研磨工程、パターン形成工程、ダイシング工程等の製造工程、製造工程間の搬送、及び／又は、保存等が行われている。

そして、これらの薄板状物等は、製造工程中、製造工程間の搬送中、及び／又は、保存中等には保持治具に保持される一方で、製造工程終了後、搬送後、及び／又は、保存後等には保持治具から取り外される。したがって、保持治具には、薄板状物等を所望のように粘着保持する特性と、必要時には、薄板状物を容易に取り外すことができる特性とが要求される。

このような保持治具として、例えば、「基板を真空吸着して保持する基板保持チャックにおいて、前記基板を真空吸引する際の負圧を形成する壁体と、前記真空吸引の際の基板の変形を抑制する複数の補助支持体とを備え、前記壁体と前記補助支持体の内少なくとも補助支持体を、ガラス基板表面に突出形成したことを特徴とする基板保持チャック」が挙げられる（特許文献１参照。）。

また、別の保持治具として、例えば、「複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置であって、前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とするフレキシブル基板の剥離装置」が挙げられる（特許文献２参照。）。

しかし、特許文献１に記載の基板保持チャックは、前記補助支持体によって基板が損傷又は破損して変形することがある。また、この基板保持チャックは、基板を真空吸引によって固定するものであるから、製造工程中、製造工程間の搬送中、及び／又は、保存中等には、常に真空吸引する必要があり、特に基板の質量が大きい場合には真空度を高める必要がある。それ故、この基板保持チャックは、高電圧を必要とし、保持装置から取り外した薄板状物等に電荷が残存することがあるうえ、保持具自体の構造、製造方法が複雑で高価なものである。さらに、この基板保持チャックは、基板を真空吸引によって固定するものであるから、減圧環境又は真空環境では、使用することができず、その用途が限定されることがある。例えば、基板上に液晶組成物等の各種組成物を塗布する方法として、塗布された各種組成物の内部又は表面に気泡等が混入することを防止するため、減圧環境又は真空環境で、基板上に各種組成物を塗布する方法が採用されることがある。この方法を採用すると、基板を保持する治具として、特許文献１に記載の基板保持チャックを使用することはできない。

また、特許文献２に記載の剥離装置は、粘着シートにフレキシブル基板を貼着するから、フレキシブル基板が損傷又は破損することをある程度防止することができても、フレキシブル基板の代わりにフィルム等の可撓性が高い薄板状物を用いると、吹き出す圧空により、粘着シート上で薄板状物の波打ち現象が起こって、薄板状物が変形することがある。また、この剥離装置は、粘着シートに加えて吹き出し手段を必要とし、剥離装置自体の構造が複雑で高価なものである。また、この剥離装置は、圧空を吹き出すことによってフレキシブル基板を剥離するものであるから、その用途が限定されることがあるという欠点をも有している。

特開２０００−２８６３２９号公報特開２００６−１５６７９３号公報

この発明は、簡単な構成で、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具を提供することを、目的とする。

前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、薄板状物を粘着保持することのできる粘着部を頂面に有する突出部材と、前記突出部材が貫通する貫通孔が穿設され、前記貫通孔の開口部以外の表面に非粘着部を有する板状部材とを備え、前記板状部材は前記突出部材の軸線方向長さよりも小さい厚さを有して前記表面から前記突出部材を突出させると共に前記突出部材に対して相対的に前後進可能に配置されて成ることを特徴とする保持治具であり、
請求項２は、前記貫通孔は前記突出部材の断面積と同じ開口面積を有している請求項１に記載の保持治具である。

この発明に係る保持治具は、突出部材と板状部材とを備えて成るから、その構成が単純であるにもかかわらず、この板状部材の表面に非粘着部を有しているから、突出部材の粘着部に粘着保持されている薄板状物を、平滑な非粘着部によって、突出部材の粘着部から均一に剥離することができる。その結果、薄板状物を、保持治具から剥離する際に、薄板状物の折れ、破損又は損傷等による変形を効果的に防止することができる。したがって、この発明によれば、簡単な構成で、粘着保持した薄板状物を変形させることなく剥離することのできる保持治具を提供することが、できる。

この発明に係る保持治具は、突出部材と板状部材とを備えて成り、例えば、粘着部に薄板状物を粘着保持して、薄板状物を製造し、搬送し、及び／又は、保存する際等に使用される。この発明に係る保持治具に保持される薄板状物は、この発明に係る保持治具に保持される必要性のある薄板状物であって、破損又は損傷しやすい薄板状物、又は、折れ等により変形しやすい薄板状物等であるのが有利である。薄板状物としては、例えば、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板、フィルム、ガラスエポキシ基板、樹脂基板等が挙げられる。この発明の目的をよく達成することができる点で、薄板状物は特に可撓性の高いフィルムであるのがよい。このような可撓性の高いフィルムとして、例えば、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のフィルム等に用いられる、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。この発明において、薄板状物は、保持治具に単独で粘着保持されてもよく、複数の薄板状物が同時に粘着保持されてもよい。

この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具１を、図を参照して、説明する。図３（ａ）に示されるように、この保持治具１は、薄板状物を粘着保持することのできる粘着部１４を頂面に有する複数の突出部材１２が配置された基板１０と、非粘着部３２を表面に有する板状部材３０と、補強部材２０とを備えて成る。

基板１０は、図１に示されるように、方形を成す盤状体に成形されている。なお、基板１０は、薄板状物の形状、その製造工程及び取り扱い性等に応じて、任意の形状に形成することができ、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成される。

図１に示されるように、この基板１０は、その一方の表面に、この表面から突出する複数の突出部材１２が、ほぼ等間隔で縦方向及び横方向それぞれに配置されている。この例では、図１（ｂ）に示されるように、縦方向及び横方向それぞれに１１個の突出部材１２が配置されている。この突出部材１２それぞれは、薄板状物を所望のように粘着保持することができる点で、それらの軸線が互いに平行であるのが好ましく、また、後述する板状部材３０の非粘着部３２に対して平行に薄板状物を粘着保持することができる点で、その軸線方向長さが同じ長さであるのが好ましい。突出部材１２の軸線方向長さは、後述する板状部材３０が突出部材１２に対して相対的に前後進可能となる程度の長さに調整されていればよく、通常、板状部材３０の厚さ以上の長さに調整される。

突出部材１２は、基板１０の表面から突出した状態に形成されていればよく、その軸線方向に垂直な平面で切断したときの断面形状は特に限定されず、例えば、図１（ａ）に示されるように、方形であってもよく、三角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた断面形状であってもよい。突出部材１２における前記断面の断面積は、例えば、突出部材１２の頂面に粘着部１４が形成されたときに、薄板状物を所望のように粘着保持することができる程度の断面積に調整される。

突出部材１２は少なくとも頂面に粘着部１４を有している。突出部材１２の少なくとも頂面に粘着部１４を有していると、平坦な複数の頂面によって薄板状物を均一に粘着保持することができる。粘着部１４は、薄板状物を粘着保持することができるように、突出部材１２の少なくとも頂面（先端面）に形成されていればよく、突出部材１２における頂面の一部又は全面に形成されてもよく、また、突出部材１２の全体（頂面及び側面）に粘着部１４が形成されてもよい。製造が容易で、薄板状物を所望のように粘着保持することができると共に、容易かつ確実に薄板状物を剥離することができる点で、粘着部１４は、突出部材１２における頂面の全面に形成されるのが好ましい。粘着部１４は、薄板状物を粘着保持することができる寸法に形成されていればよく、粘着部１４を形成する粘着性材料の粘着力、突出部材１２の配置数、突出部材１２における軸線方向の断面積等に応じて、例えば、薄板状物と接触する接触面積が適宜調整される。

粘着部１４は、薄板状物を保持するのに十分な粘着力を有していればよく、例えば、粘着部１４に薄板状物を粘着保持した状態で保持治具１を少なくとも９０度傾斜させたときに、薄板状物が保持されるのに十分な粘着力を有しているのが好ましい。特に、粘着部１４が下向きになるように、保持治具１を１８０度回転させたときに、薄板状物が保持されるのに十分な粘着力、すなわち、薄板状物の単位面積あたりの自重（ｇ／ｍｍ^２）よりも大きな粘着力（ｇ／ｍｍ^２）を有しているのが好ましい。粘着部１４がこのような粘着力を有すると、保持治具１に薄板状物を確実に保持することができる。粘着部１４の具体的な粘着力は、薄板状物の自重、大きさ等に応じて決定されるが、例えば、１〜６０（ｇ／ｍｍ^２）であるのが好ましく、２〜４０（ｇ／ｍｍ^２）であるのがさらに好ましく、４〜２０（ｇ／ｍｍ^２）であるのが特に好ましい。

ここで、粘着部１４の粘着力は次のようにして求める。まず、粘着部１４を形成する粘着性材料で同様にして平滑な粘着性シートを作製する。この粘着性シートを水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱をなしたステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。この試験台上に粘着性シートを固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で粘着性シートの被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部位に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を２５ｇ／ｍｍ^２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を粘着部１４の粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡｌＭＯＤＥＬＭＯＴＯＲＩＺＥＤＳＴＡＮＤシリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。

粘着部１４は、薄板状物を粘着保持すると共に、ある程度の弾性を有しているのがよく、例えば、５〜６０の硬度（ＪＩＳＫ６２５３［デュロメータＥ］）を有しているのが好ましく、１５〜４５の硬度を有しているのが特に好ましい。

粘着部１４を形成する粘着性材料は、例えば、シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマーが挙げられるが、強度、耐候性に優れたシリコーンゴム、フッ素系ゴム等がよい。前記シリコーンゴムとしては、例えば、オルガノポリシロキサン、シリカ系充填剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するシリコーンゴム組成物が挙げられる。このようなシリコーンゴム組成物としては、例えば、信越化学工業株式会社から商品名「ＫＥ−５２０Ｕ」、「ＫＥ−５３０Ｕ」等が入手可能である。また、前記フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン・六フッ化プロピレン共重合体、カーボン等の充填剤、トリアルイソシアネート等の架橋助剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するフッ素系ゴム組成物が挙げられる。このようなフッ素系ゴム組成物としては、例えば、ダイキン工業株式会社から商品名「ＤＣ−２０５０」、「ＤＣ−２２６０」等が入手可能である。

図１に示されるように、基板１０、突出部材１２及び粘着部１４は、前記粘着性材料によって、一体に形成されている。すなわち、基板１０、突出部材１２及び粘着部１４はいずれも前記粘着力を有している。このように、基板１０、突出部材１２及び粘着部１４が一体に形成されていると、基板１０の表面も粘着部となり、後述する板状部材３０を、基板１０の表面上に粘着保持して、板状部材３０の不必要な移動を抑えることができる。基板１０、突出部材１２及び粘着部１４は、前記材料を公知の成形方法等によって成形し、硬化して、作製される。

前記補強部材２０は、基板１０を平坦に支持する。補強部材２０は、図１（ｂ）に示されるように、基板１０と同様に、方形を成す盤状体とされているが、基板１０を平坦に支持することができれば、基板１０と異なる形状に形成されていてもよい。この補強部材２０は、基板１０を平坦に支持することのできる強度を有する材料で形成され、このような材料として、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金等の金属、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリ塩化ビニル、メタクリル樹脂、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド等の樹脂等が挙げられる。補強部材２０は、例えば、真空成形、射出成形及び金型成形等の各種成形方法、圧延、切削、研削、溶接等の各種金属加工方法等によって、製造される。

前記板状部材３０は、図２に示されるように、基板１０と同様に、方形を成す盤状体とされている。板状部材３０は、保持治具１としたときに、前記基板１０の突出部材１２を貫通させる貫通孔３４が、突出部材１２の配置と同様の配置となるように、略等間隔で縦方向及び横方向に配列された状態に、穿設されている。これらの貫通孔３４は、突出部材１２における前記断面の断面積と同じ又はそれよりも大きな開口面積となるように、形成されている。

そして、板状部材３０の表面（貫通孔３４の開口部以外の表面、すなわち、板状部材３０においては、複数の貫通孔３４の集合体を囲繞する周縁部及び複数の貫通孔３４の間に存在する格子状表面）は、非粘着部３２とされている。非粘着部３２は、粘着力を有していない場合、及び、それ単独では薄板状物を粘着保持することができない程度の粘着力を有している場合が含まれる。例えば、それ単独では薄板状物を粘着保持することができない程度の粘着力は、前記測定方法における粘着力が１（ｇ／ｍｍ^２）未満である。

このように、板状部材３０の表面が非粘着部３２とされていると、板状部材３０を突出部材１２の軸線方向に相対的に移動しても複数の非粘着部３２はそれぞれ同一平面内にあるから、突出部材１２の粘着部１４に粘着されている薄板状物が薄板状物であっても、薄板状物を粘着部１４から同一平面内で均一に剥離することができ、薄板状物を変形させることがない。

板状部材３０の厚さは、保持治具１としたときに、前記突出部材１２の軸線方向に前後進することができる程度の厚さを有していればよく、例えば、前記突出部材１２の軸線方向長さよりも小さい厚さに調整されている。この板状部材３０は、薄板状物を剥離する際に、平滑性を維持することができる程度の強度を有する材料で、前記各種成形方法又は前記各種金属加工方法等によって、製造される。このような材料として、例えば、補強部材２０で挙げた各種の材料が挙げられる。

保持治具１は、図３（ａ）に示されるように、基板１０における突出部材１２が配置されていない側の表面に補強部材２０が基板１０の粘着力及び／又は接着剤等によって固定され、基板１０における突出部材１２が配置されている側の表面に、突出部材１２それぞれが貫通孔３４それぞれを貫通する状態に、板状部材３０が配置されて成る。このように、基板１０及び板状部材３０が配置されていると、板状部材３０が突出部材１２に対して相対的に前後進可能になり、粘着部１４に粘着保持されている薄板状物を所望のように剥離することができる。

次に、保持治具１を用いた、薄板状物としてのシリコンウェハ５の取り扱い方法を説明する。シリコンウェハ５を取り扱う前に、基板１０、補強部材２０及び板状部材３０が図３（ａ）に示される初期状態に配置される。保持治具１にシリコンウェハ５を粘着保持するには、保持治具１における複数の突出部材１２の粘着部１４上にシリコンウェハ５を載置し、必要により、載置したシリコンウェハ５を粘着部１４に押圧する。そうすると、粘着部１４は前記粘着力を有しているから、図３（ｂ）に示されるように、シリコンウェハ５は粘着部１４上に均一かつ平坦に粘着保持される。

このようにして保持治具１に粘着保持されたシリコンウェハ５を所望の製造工程に供した後又は搬送後等に、シリコンウェハ５を保持治具１から剥離するには、基板１０の表面上に粘着されている板状部材３０を基板１０の表面から引き離して、突出部材１２に対してその軸線方向に相対的に前進する方向に、すなわち、図３（ｂ）に示される矢印Ａの方向に、前進させる。換言すると、基板１０及び補強部材２０を板状部材３０に対して突出部材１２の軸線方向に相対的に後進する方向に、すなわち、図３（ｂ）に示される矢印Ａと逆方向に、後進させる。そうすると、板状部材３０は、突出部材１２に対してその軸線方向に相対的に前進し、図３（ｃ）に示される状態になる。板状部材３０を引き続き突出部材１２の軸線方向に沿って前進させると、突出部材１２の粘着部１４に粘着保持されたシリコンウェハ５の底面に板状部材３０における非粘着部３２が当接し、板状部材３０をさらに前進させると、図３（ｄ）に示されるように、シリコンウェハ５は、その底面に当接した非粘着部３２によって、突出部材１２の粘着部１４から剥離される。図３（ｄ）に示される状態においては、シリコンウェハ５は非粘着部３２の表面上に位置しているにすぎないから、保持治具１を傾斜又は反転させれば、シリコンウェハ５は保持治具１から脱離する。このようにして、シリコンウェハ５を保持治具１から剥離することができる。

このように、保持治具１は、シリコンウェハ５を剥離させるのに、真空吸着機構も圧空を吹き出す吹き出し手段も必要としないので、その構成が単純である。それにもかかわらず、保持治具１は、板状部材３０の非粘着部３２によって、突出部材１２の粘着部１４に粘着保持されているシリコンウェハ５を粘着部１４から同一平面内で均一に剥離することができるから、可撓性の高い薄板状物であっても、保持治具１から剥離する際に、薄板状物の折れ、破損又は損傷等による変形を効果的に防止することができる。また、シリコンウェハ５を粘着保持及び剥離する際に、粘着部１４の粘着力を強制的にかつ非可逆的に増大又は低減させる必要はないから、薄板状物を繰り返して粘着保持することができる。さらに、保持治具１は、特別な装置を必要とせず、単に、板状部材３０を突出部材１２に対して相対的に移動させるだけで、シリコンウェハ５の粘着保持及び剥離を可能にするから、保持治具１の使用環境は特に制限されず、常圧環境だけでなく、減圧環境でも加圧環境でも使用されることができる。したがって、保持治具１によれば、シリコンウェハ５を所望のように粘着保持することができると共に、剥離時の折れ、破損又は損傷等に起因する変形を薄板状物に生じさせることなく薄板状物を容易に剥離することができる。

この発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具２は、図４に示されるように、薄板状物を粘着保持することのできる粘着部１５を頂面に有する複数の突出部材１３が配置された基板（図４において図示しない。）と、非粘着部３３を表面に有する板状部材３１と、補強部材（図４において図示しない。）とを備えて成る。

この基板は、図４に示されるように、その一方の表面に、この表面から突出すると共に基板の一方向に延在する壁状の突出部材１３が、ほぼ等間隔で配置されている以外は、前記基板１０と基本的に同様に構成されている。

また、この基板における突出部材１３が形成されていない側に配置される補強部材は、前記補強部材２０と基本的に同様に構成されている。

板状部材３１は、図４に示されるように、保持治具２としたときに、前記基板の突出部材１３を貫通させる貫通孔３５が、板状部材３１の一方向に延在する溝状に穿設されている以外は、板状部材３０と基本的に同様に構成されている。

そして、この保持治具２は、前記保持治具１と同様にして、薄板状物を粘着保持し、剥離することができる。したがって、保持治具２によれば、シリコンウェハ５を所望のように粘着保持することができると共に、剥離時の折れ、破損又は損傷等に起因する変形を薄板状物に生じさせることなく薄板状物を容易に剥離することができる。

この発明に係る保持治具に用いられる基板の別の一実施例である基板１１は、薄板状物を粘着保持することのできる粘着部１６を頂面に有する複数の突出部材１３が配置されて成る。この基板１１は、前記補強部材２０を形成する前記金属又は前記樹脂等で形成され、突出部材１３それぞれの頂面に、前記粘着部１４を形成する粘着性材料を硬化して成る粘着部１６が形成されている以外は、前記基板１０と基本的に同様に構成されている。

したがって、この基板１１は、それ自身で突出部材１３を平坦かつ平行に支持することができるから、この基板１１を保持治具の基板として採用する場合には、補強部材は特に必要はない。

粘着部１６は、基板１１と異なる前記材料で別体に形成されている以外は、前記粘着部１４と基本的に同様に形成されている。したがって、粘着部１６は、突出部材１３の少なくとも頂面に形成されていればよく、突出部材１３における頂面の一部又は全面に形成されてもよい。この粘着部１６は、その表面が平坦であるのが好ましく、その厚さは０．０５〜２ｍｍ程度であるのが好ましい。粘着部１６の厚さが、０．０５ｍｍ未満であると粘着部１６の機械的強度が低下し、粘着部１６の耐久性が十分でないことがあり、一方、２ｍｍを越えると、複数の粘着部１６における厚さを均一に調整して、複数の粘着部１６における頂面を平坦にすることができないことがある。

粘着部１６は、例えば、前記粘着性材料を突出部材１３の頂面に塗布し、硬化して、突出部材１３の頂面に形成させることができ、また、前記粘着性材料を所望の寸法及び形状に硬化して成る硬化体を、その粘着力及び／又は接着剤等で突出部材１３の頂面に密着させて、突出部材１３の頂面に形成することができる。

この基板１１を採用すると、万が一、粘着部１６が劣化又は損傷等しても、劣化又は損傷等した粘着部１６のみを交換することにより、基板１１を再生することができる。

この発明における保持治具は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。例えば、保持治具１及び２は、例えば、図３に示されるように、１枚のシリコンウェハ５を粘着保持するが、この発明においては、１枚の薄板状物を複数の保持治具で粘着保持してもよく、また、１つの保持治具で複数の薄板状物を粘着保持してもよい。

また、前記基板１０及び１１は、複数の突出部材１２がほぼ等間隔で縦方向及び横方向それぞれに１１個ずつ配置され、また、保持治具２の基板は、複数の突出部材１３がほぼ等間隔で図４における横方向に１１個ずつ配置されているが、この発明において、基板に配置される突出部材の配置パターン及び数は特に限定されず、粘着保持する薄板状物の寸法、数等に応じて、適宜調整される。例えば、突出部材の配置パターンは、同心円状、放射状等のパターン等が挙げられる。

さらに、前記板状部材３０及び３１は、非粘着性の材料で形成され、その表面自体が非粘着部３２及び３３とされているが、この発明において、板状部材の非粘着部は、例えば、板状部材の表面に各種樹脂若しくは各種ゴム等の非粘着性材料等を架橋又は硬化して、又は、離型剤等を塗布して、形成されてもよい。

図１は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における基板及び補強部材を示す概略図であり、図１（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における基板及び補強部材を示す概略上面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面の一部を示す概略部分断面図である。図２は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における板状部材を示す概略図であり、図２（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における板状部材を示す概略上面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線における断面の一部を示す概略部分断面図である。図３は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具の使用方法を説明する部分説明図であり、図３（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具の初期状態を説明する説明図であり、図３（ｂ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具にシリコンウェハを粘着保持した状態を説明する説明図であり、図３（ｃ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における板状部材を突出部材に対して相対的に移動した状態を説明する説明図であり、図３（ｄ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具に粘着保持されたシリコンウェハを剥離した状態を説明する説明図である。図４は、この発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具を示す概略上面図である。図５は、この発明に係る保持治具における基板の変形例を説明する概略断面図である。

符号の説明

１、２保持治具
５シリコンウェハ
１０、１１基板
１２、１３突出部材
１４、１５、１６粘着部
２０補強部材
３０、３１板状部材
３２、３３非粘着部
３４、３５貫通孔

Claims

薄板状物を粘着保持することのできる粘着部を頂面に有する突出部材と、
前記突出部材が貫通する貫通孔が穿設され、前記貫通孔の開口部以外の表面に非粘着部を有する板状部材とを備え、
前記板状部材は、前記突出部材の軸線方向長さよりも小さい厚さを有して前記表面から前記突出部材を突出させると共に前記突出部材に対して相対的に前後進可能に配置されて成ることを特徴とする保持治具。
前記貫通孔は、前記突出部材の断面積と同じ開口面積を有している請求項１に記載の保持治具。