JP2003142565A - 基板ホルダ - Google Patents
基板ホルダInfo
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- JP2003142565A JP2003142565A JP2001334581A JP2001334581A JP2003142565A JP 2003142565 A JP2003142565 A JP 2003142565A JP 2001334581 A JP2001334581 A JP 2001334581A JP 2001334581 A JP2001334581 A JP 2001334581A JP 2003142565 A JP2003142565 A JP 2003142565A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱伝導の良好なゴムシートおよび治具を有し
てこれらにより基板を効率よく冷却し、損傷する恐れな
しに基板を取り外す基板ホルダを提供する。 【解決手段】 基板ホルダベース９１と筒状リング９２
と上蓋９３により冷却水流通部９０が形成され、基板ホ
ルダベース９１には冷却水流通部９０に連通する冷却水
供給孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成され、上
蓋９３の上面には環状段部９３０を有する基板収容凹部
９３１が複数箇所に形成され、基板収容凹部９３１には
真空ポンプ接続部９３２が連通して形成され、金属板の
如き材料を原材料として形成され貫通孔１１が形成され
る治具１を具備し、表面に中空吸着突起４が形成される
と共にエア導入孔３が形成される柔軟性のゴムシート２
を具備し、ゴムシート２と治具１とを結合一体化し、ゴ
ムシート２と治具１をゴムシート２を介して基板収容凹
部９３１の環状段部９３０に載置した基板ホルダ。
てこれらにより基板を効率よく冷却し、損傷する恐れな
しに基板を取り外す基板ホルダを提供する。 【解決手段】 基板ホルダベース９１と筒状リング９２
と上蓋９３により冷却水流通部９０が形成され、基板ホ
ルダベース９１には冷却水流通部９０に連通する冷却水
供給孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成され、上
蓋９３の上面には環状段部９３０を有する基板収容凹部
９３１が複数箇所に形成され、基板収容凹部９３１には
真空ポンプ接続部９３２が連通して形成され、金属板の
如き材料を原材料として形成され貫通孔１１が形成され
る治具１を具備し、表面に中空吸着突起４が形成される
と共にエア導入孔３が形成される柔軟性のゴムシート２
を具備し、ゴムシート２と治具１とを結合一体化し、ゴ
ムシート２と治具１をゴムシート２を介して基板収容凹
部９３１の環状段部９３０に載置した基板ホルダ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板ホルダに関
し、特に、熱伝導の良好なゴムシートおよび熱伝導の良
好な材料により構成される治具を有してこれらにより基
板を効率よく冷却し、損傷する恐れなしに基板を取り外
すことができる基板ホルダに関する。
し、特に、熱伝導の良好なゴムシートおよび熱伝導の良
好な材料により構成される治具を有してこれらにより基
板を効率よく冷却し、損傷する恐れなしに基板を取り外
すことができる基板ホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】イオンガンからイオンビームを放射して
これにより基板を照射し、基板表面に形成される薄膜を
除去する薄膜エッチング除去方法が知られている。この
種の薄膜エッチング除去方法においては、基板は高エネ
ルギのイオンビームにより照射されることにより加熱さ
れ、基板表面にパターニング形成されたレジストを熱に
より変質するが如き不都合を発生することがある。これ
を図３を参照して説明する。
これにより基板を照射し、基板表面に形成される薄膜を
除去する薄膜エッチング除去方法が知られている。この
種の薄膜エッチング除去方法においては、基板は高エネ
ルギのイオンビームにより照射されることにより加熱さ
れ、基板表面にパターニング形成されたレジストを熱に
より変質するが如き不都合を発生することがある。これ
を図３を参照して説明する。
【０００３】図３において、９は基板ホルダ全体を示
す。基板ホルダ９は、基板ホルダベース９１、基板ホル
ダベース９１の上面に接合固定される筒状リング９２、
筒状リング９２にシール部材９４を介して気液密に固定
される上蓋９３より成る。基板ホルダベース９１と、筒
状リング９２と、上蓋９３により冷却水流通部９０が形
成される。基板ホルダベース９１には、図示されない冷
却水供給源と冷却水流通部９０とに連通する冷却水供給
孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成されている。
上蓋９３には上面に加工されるべき基板が収容される基
板収容凹部９３１が形成されると共に、基板収容凹部９
３１に連通する真空ポンプ接続部９３２が形成されてい
る。９３０は基板収容凹部９３１に形成される環状段部
である。真空ポンプ接続部９３２には図示されない真空
ポンプが接続される。９５は基板押さえ板である。基板
押さえ板９５には上蓋９３の基板収容凹部９３１に対応
してこれと同一のピッチで照射開口が９５１が形成され
ると共に基板収容凹部９３１に連通する真空ポンプ接続
部９３２に対応して貫通孔９５２が形成されている。
す。基板ホルダ９は、基板ホルダベース９１、基板ホル
ダベース９１の上面に接合固定される筒状リング９２、
筒状リング９２にシール部材９４を介して気液密に固定
される上蓋９３より成る。基板ホルダベース９１と、筒
状リング９２と、上蓋９３により冷却水流通部９０が形
成される。基板ホルダベース９１には、図示されない冷
却水供給源と冷却水流通部９０とに連通する冷却水供給
孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成されている。
上蓋９３には上面に加工されるべき基板が収容される基
板収容凹部９３１が形成されると共に、基板収容凹部９
３１に連通する真空ポンプ接続部９３２が形成されてい
る。９３０は基板収容凹部９３１に形成される環状段部
である。真空ポンプ接続部９３２には図示されない真空
ポンプが接続される。９５は基板押さえ板である。基板
押さえ板９５には上蓋９３の基板収容凹部９３１に対応
してこれと同一のピッチで照射開口が９５１が形成され
ると共に基板収容凹部９３１に連通する真空ポンプ接続
部９３２に対応して貫通孔９５２が形成されている。
【０００４】基板ホルダ９は、薄膜成膜装置、エッチン
グ装置その他の加工装置に装着して使用される。ここ
で、成膜或いはエッチング加工されるべき基板８は基板
収容凹部９３１に形成される環状段部９３０に直接に載
置され、基板押さえ板９５により環状段部９３０に上か
ら押さえ付け保持される。冷却水流通部９０に冷却水を
循環させて上蓋９３を含む基板ホルダ９を冷却し、上蓋
９３に形成される基板収容凹部９３１の環状段部９３０
を介して冷却している。ここで、真空ポンプ接続部９３
２に真空ポンプを接続し、基板収容凹部９３１内を吸引
して基板８を環状段部９３０に吸着する。基板８を基板
ホルダ９から取り外すには、真空ポンプの動作を停止
し、逆に基板８の下面に空気を吹き付けて基板ホルダ９
から基板８を取り外す。
グ装置その他の加工装置に装着して使用される。ここ
で、成膜或いはエッチング加工されるべき基板８は基板
収容凹部９３１に形成される環状段部９３０に直接に載
置され、基板押さえ板９５により環状段部９３０に上か
ら押さえ付け保持される。冷却水流通部９０に冷却水を
循環させて上蓋９３を含む基板ホルダ９を冷却し、上蓋
９３に形成される基板収容凹部９３１の環状段部９３０
を介して冷却している。ここで、真空ポンプ接続部９３
２に真空ポンプを接続し、基板収容凹部９３１内を吸引
して基板８を環状段部９３０に吸着する。基板８を基板
ホルダ９から取り外すには、真空ポンプの動作を停止
し、逆に基板８の下面に空気を吹き付けて基板ホルダ９
から基板８を取り外す。
【０００５】図４を参照するに、この従来例において
は、上蓋９３に形成される基板収容凹部９３１の環状段
部９３０に熱伝導の良好な熱伝導性ゴムシート２を載置
し、この上に基板８を載置する。ここで、原材料ゴムに
金属（銀）微粒子を混合したコンパウンドを使用して構
成した電気伝導の良好な導電性ゴムシートを熱伝導の良
好なゴムシート２として転用している。ゴムシートに電
気伝導性を付与している金属微粒子は熱伝導も良好なも
のであるところから、導電性ゴムシートは電気伝導性を
示すことに対比して熱伝導性も示すものであることが類
推される。熱伝導性ゴムシート２にはエア導入孔３がマ
トリクス状に形成されている。基板８は、これと基板収
容凹部９３１の環状段部９３０との間に熱伝導性ゴムシ
ート２を介在させることにより、この熱伝導性ゴムシー
ト２に全表面に接触した状態で上蓋９３に対して良好に
熱伝導することができる。
は、上蓋９３に形成される基板収容凹部９３１の環状段
部９３０に熱伝導の良好な熱伝導性ゴムシート２を載置
し、この上に基板８を載置する。ここで、原材料ゴムに
金属（銀）微粒子を混合したコンパウンドを使用して構
成した電気伝導の良好な導電性ゴムシートを熱伝導の良
好なゴムシート２として転用している。ゴムシートに電
気伝導性を付与している金属微粒子は熱伝導も良好なも
のであるところから、導電性ゴムシートは電気伝導性を
示すことに対比して熱伝導性も示すものであることが類
推される。熱伝導性ゴムシート２にはエア導入孔３がマ
トリクス状に形成されている。基板８は、これと基板収
容凹部９３１の環状段部９３０との間に熱伝導性ゴムシ
ート２を介在させることにより、この熱伝導性ゴムシー
ト２に全表面に接触した状態で上蓋９３に対して良好に
熱伝導することができる。
【０００６】ここで、真空ポンプ接続部９３２に真空ポ
ンプを接続し、基板収容凹部９３１内を吸引して熱伝導
性ゴムシート２のエア導入孔３を介して載置される基板
８を熱伝導性ゴムシート２の上面に吸着する。基板８を
基板ホルダ９からに取り外すには、真空ポンプの動作を
停止し、逆に熱伝導性ゴムシート２の下面に空気を吹き
付けて基板ホルダ９から基板８を取り外す。
ンプを接続し、基板収容凹部９３１内を吸引して熱伝導
性ゴムシート２のエア導入孔３を介して載置される基板
８を熱伝導性ゴムシート２の上面に吸着する。基板８を
基板ホルダ９からに取り外すには、真空ポンプの動作を
停止し、逆に熱伝導性ゴムシート２の下面に空気を吹き
付けて基板ホルダ９から基板８を取り外す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来例におい
て、基板ホルダから基板を取り外すに際して、基板或い
は熱伝導性ゴムシートの下面に空気を吹き付けると、吹
き付けられた空気は基板の内の１箇所に集中する傾向が
あり、これに起因して基板が破損し、或いは基板の１箇
所から基板の側面に空気が抜けて基板の他の部分が熱伝
導性ゴムシートに張り付いたままとなる場合があり、こ
れ以上空気を吹き付けても基板ホルダから基板を取り外
すことができないことがある。この発明は、上述の問題
を解消した基板ホルダを提供するものである。
て、基板ホルダから基板を取り外すに際して、基板或い
は熱伝導性ゴムシートの下面に空気を吹き付けると、吹
き付けられた空気は基板の内の１箇所に集中する傾向が
あり、これに起因して基板が破損し、或いは基板の１箇
所から基板の側面に空気が抜けて基板の他の部分が熱伝
導性ゴムシートに張り付いたままとなる場合があり、こ
れ以上空気を吹き付けても基板ホルダから基板を取り外
すことができないことがある。この発明は、上述の問題
を解消した基板ホルダを提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１：基板ホルダベ
ース９１、基板ホルダベース９１の上面に接合固定され
る筒状リング９２、筒状リング９２に気液密に固定され
る上蓋９３より成る基板ホルダ９を具備し、基板ホルダ
ベース９１と筒状リング９２と上蓋９３により冷却水流
通部９０が形成され、基板ホルダベース９１には冷却水
流通部９０に連通する冷却水供給孔９１１および冷却水
排出孔９１２が形成され、上蓋９３の上面には環状段部
９３０を有する基板収容凹部９３１が複数箇所に形成さ
れ、基板収容凹部９３１には真空ポンプ接続部９３２が
連通して形成され、剛性を有する変形し難い金属板の如
き材料を原材料として形成されて貫通孔１１がマトリク
ス状に形成される治具１を具備し、表面に中空吸着突起
４がマトリクス状に形成されると共にエア導入孔３がマ
トリクス状に形成される柔軟性のゴムシート２を具備
し、中空吸着突起４を貫通孔１１に下側から圧入するこ
とによりゴムシート２と治具１とを結合一体化し、結合
一体化したゴムシート２および治具１をゴムシート２を
介して基板収容凹部９３１の環状段部９３０に載置した
基板ホルダを構成した。
ース９１、基板ホルダベース９１の上面に接合固定され
る筒状リング９２、筒状リング９２に気液密に固定され
る上蓋９３より成る基板ホルダ９を具備し、基板ホルダ
ベース９１と筒状リング９２と上蓋９３により冷却水流
通部９０が形成され、基板ホルダベース９１には冷却水
流通部９０に連通する冷却水供給孔９１１および冷却水
排出孔９１２が形成され、上蓋９３の上面には環状段部
９３０を有する基板収容凹部９３１が複数箇所に形成さ
れ、基板収容凹部９３１には真空ポンプ接続部９３２が
連通して形成され、剛性を有する変形し難い金属板の如
き材料を原材料として形成されて貫通孔１１がマトリク
ス状に形成される治具１を具備し、表面に中空吸着突起
４がマトリクス状に形成されると共にエア導入孔３がマ
トリクス状に形成される柔軟性のゴムシート２を具備
し、中空吸着突起４を貫通孔１１に下側から圧入するこ
とによりゴムシート２と治具１とを結合一体化し、結合
一体化したゴムシート２および治具１をゴムシート２を
介して基板収容凹部９３１の環状段部９３０に載置した
基板ホルダを構成した。
【０００９】そして、請求項２：請求項１に記載される
基板ホルダにおいて、中空吸着突起４は貫通孔１１に嵌
合した曉において貫通孔１１から極く僅かに突出する高
さに形成されるものである基板ホルダを構成した。
基板ホルダにおいて、中空吸着突起４は貫通孔１１に嵌
合した曉において貫通孔１１から極く僅かに突出する高
さに形成されるものである基板ホルダを構成した。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１およ
び図２の実施例を参照して説明する。図１（ａ）は治具
を示す図、図１（ｂ）は熱伝導性ゴムシートを示す図、
図１（ｃ）は治具と熱伝導性ゴムシートを結合一体化し
た状態の厚さ方向断面を示す図である。図２は基板ホル
ダの縦方向断面を示す図である。先ず、図１を参照する
に、１は板状の治具である。治具１は剛性を有する変形
し難い金属板の如き材料を原材料として形成され、貫通
孔１１がマトリクス状に形成されている。２は柔軟性の
熱伝導性ゴムシートである。熱伝導性ゴムシート２に
は、エア導入孔３がマトリクス状に形成されると共に、
表面には中空吸着突起４がマトリクス状に形成されてい
る。中空吸着突起４は貫通孔１１に嵌合した曉において
貫通孔１１から極く僅かに突出する高さに形成される。
び図２の実施例を参照して説明する。図１（ａ）は治具
を示す図、図１（ｂ）は熱伝導性ゴムシートを示す図、
図１（ｃ）は治具と熱伝導性ゴムシートを結合一体化し
た状態の厚さ方向断面を示す図である。図２は基板ホル
ダの縦方向断面を示す図である。先ず、図１を参照する
に、１は板状の治具である。治具１は剛性を有する変形
し難い金属板の如き材料を原材料として形成され、貫通
孔１１がマトリクス状に形成されている。２は柔軟性の
熱伝導性ゴムシートである。熱伝導性ゴムシート２に
は、エア導入孔３がマトリクス状に形成されると共に、
表面には中空吸着突起４がマトリクス状に形成されてい
る。中空吸着突起４は貫通孔１１に嵌合した曉において
貫通孔１１から極く僅かに突出する高さに形成される。
【００１１】図２を参照するに、９は基板ホルダ全体を
示す。基板ホルダ９は、基板ホルダベース９１、基板ホ
ルダベース９１の上面に接合固定される筒状リング９
２、筒状リング９２にシール部材９４を介して気液密に
固定される上蓋９３より成る。基板ホルダベース９１
と、筒状リング９２と、上蓋９３により冷却水流通部９
０が形成される。基板ホルダベース９１には図示されな
い冷却水供給源および冷却水流通部９０に連通する冷却
水供給孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成されて
いる。上蓋９３には、上面に基板収容凹部９３１が形成
されると共に真空ポンプ接続部９３２が形成されてい
る。ここで、真空ポンプ接続部９３２には図示されない
真空ポンプが接続される。９５は基板押さえ板である。
真空ポンプ接続部９３２は基板収容凹部９３１に連通し
ている。基板押さえ板９５には上蓋９３の基板収容凹部
９３１に対応してこれと同一のピッチで照射開口が９５
１が形成されると共に、基板収容凹部９３１に連通する
真空ポンプ接続部９３２に対応して貫通孔９５２が形成
されている。
示す。基板ホルダ９は、基板ホルダベース９１、基板ホ
ルダベース９１の上面に接合固定される筒状リング９
２、筒状リング９２にシール部材９４を介して気液密に
固定される上蓋９３より成る。基板ホルダベース９１
と、筒状リング９２と、上蓋９３により冷却水流通部９
０が形成される。基板ホルダベース９１には図示されな
い冷却水供給源および冷却水流通部９０に連通する冷却
水供給孔９１１および冷却水排出孔９１２が形成されて
いる。上蓋９３には、上面に基板収容凹部９３１が形成
されると共に真空ポンプ接続部９３２が形成されてい
る。ここで、真空ポンプ接続部９３２には図示されない
真空ポンプが接続される。９５は基板押さえ板である。
真空ポンプ接続部９３２は基板収容凹部９３１に連通し
ている。基板押さえ板９５には上蓋９３の基板収容凹部
９３１に対応してこれと同一のピッチで照射開口が９５
１が形成されると共に、基板収容凹部９３１に連通する
真空ポンプ接続部９３２に対応して貫通孔９５２が形成
されている。
【００１２】基板ホルダ９は、薄膜成膜装置、エッチン
グ装置その他の加工装置に装着して使用される。この基
板ホルダ９は、８により示される成膜或いはエッチング
加工されるべき基板を、板状の治具１に嵌合一体化され
た熱伝導性ゴムシート２の表面に載置した状態で保持す
る。基板ホルダ９に対する基板８の組み込みについて説
明するに、先ず、基板ホルダ９の上蓋９３の上面に形成
される基板収容凹部９３１に熱伝導性ゴムシート２を載
置収容する。次いで、治具１を熱伝導性ゴムシート２の
上面に載置して中空吸着突起４を貫通孔１１に嵌合せし
め、治具１を熱伝導性ゴムシート２に結合一体化した状
態にする。板状の治具１に嵌合一体化された熱伝導性ゴ
ムシート２の表面に基板８を載置してから基板押さえ板
９５を載置する。
グ装置その他の加工装置に装着して使用される。この基
板ホルダ９は、８により示される成膜或いはエッチング
加工されるべき基板を、板状の治具１に嵌合一体化され
た熱伝導性ゴムシート２の表面に載置した状態で保持す
る。基板ホルダ９に対する基板８の組み込みについて説
明するに、先ず、基板ホルダ９の上蓋９３の上面に形成
される基板収容凹部９３１に熱伝導性ゴムシート２を載
置収容する。次いで、治具１を熱伝導性ゴムシート２の
上面に載置して中空吸着突起４を貫通孔１１に嵌合せし
め、治具１を熱伝導性ゴムシート２に結合一体化した状
態にする。板状の治具１に嵌合一体化された熱伝導性ゴ
ムシート２の表面に基板８を載置してから基板押さえ板
９５を載置する。
【００１３】基板ホルダ９の動作について説明する。基
板ホルダ９は加工装置に装着して使用されるが、冷却水
流通部９０は冷却水供給孔９１１および冷却水排出孔９
１２を介して冷却水を供給循環した状態とされている。
これにより、相互に嵌合接合一体化された板状の治具１
および熱伝導性ゴムシート２は下面から冷却され、治具
１の表面に載置圧接触される基板８も良好に冷却される
こととなる。ここで、真空ポンプ接続部９３２に真空ポ
ンプを接続して真空ポンプを動作させると、治具１は熱
伝導性ゴムシート２にマトリクス状に分散形成されるエ
ア導入孔３を介して下向きに吸引されると共に、熱伝導
性ゴムシート２の中空吸着突起４に載置される基板８も
中空吸着突起４の中空を介して下向きに吸引される。基
板８が下向きに吸引されることにより中空吸着突起４は
潰れ、基板８の下面が治具１の上面に吸引接触し、基板
８が基板ホルダ９に確実に保持されるに到る。
板ホルダ９は加工装置に装着して使用されるが、冷却水
流通部９０は冷却水供給孔９１１および冷却水排出孔９
１２を介して冷却水を供給循環した状態とされている。
これにより、相互に嵌合接合一体化された板状の治具１
および熱伝導性ゴムシート２は下面から冷却され、治具
１の表面に載置圧接触される基板８も良好に冷却される
こととなる。ここで、真空ポンプ接続部９３２に真空ポ
ンプを接続して真空ポンプを動作させると、治具１は熱
伝導性ゴムシート２にマトリクス状に分散形成されるエ
ア導入孔３を介して下向きに吸引されると共に、熱伝導
性ゴムシート２の中空吸着突起４に載置される基板８も
中空吸着突起４の中空を介して下向きに吸引される。基
板８が下向きに吸引されることにより中空吸着突起４は
潰れ、基板８の下面が治具１の上面に吸引接触し、基板
８が基板ホルダ９に確実に保持されるに到る。
【００１４】基板ホルダ９に吸引保持される基板８を基
板ホルダ９から取り外すには、真空ポンプの動作を停止
して基板収容凹部９３１を大気圧に復帰する。これによ
り、治具１および熱伝導性ゴムシート２に対する吸引は
解除される。この状態で、剛性を有する治具１が基板８
の下側に存在するところから、この治具１と共に基板８
を取り外すことができる。即ち、熱伝導性ゴムシート２
および基板８の下側からエアを吹き付けることなく治具
１と共に基板８を取り外すことができる。エアを吹き付
ける場合とは異なり、１点に力が集中することがないの
で、基板８を損傷することなく確実に取り外すことがで
きる。治具１と熱伝導性ゴムシート２とを一体に構成し
ても以上と同等の作用効果を奏する。
板ホルダ９から取り外すには、真空ポンプの動作を停止
して基板収容凹部９３１を大気圧に復帰する。これによ
り、治具１および熱伝導性ゴムシート２に対する吸引は
解除される。この状態で、剛性を有する治具１が基板８
の下側に存在するところから、この治具１と共に基板８
を取り外すことができる。即ち、熱伝導性ゴムシート２
および基板８の下側からエアを吹き付けることなく治具
１と共に基板８を取り外すことができる。エアを吹き付
ける場合とは異なり、１点に力が集中することがないの
で、基板８を損傷することなく確実に取り外すことがで
きる。治具１と熱伝導性ゴムシート２とを一体に構成し
ても以上と同等の作用効果を奏する。
【００１５】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、基板を損傷することなく確実に取り外しをすること
ができ、基板を取り外すことができなくなるという従来
の基板ホルダの有する欠点を解消することができる。ま
た、この基板の取り外しは治具と共に取り外すという簡
単容易な操作により実施することができる。
ば、基板を損傷することなく確実に取り外しをすること
ができ、基板を取り外すことができなくなるという従来
の基板ホルダの有する欠点を解消することができる。ま
た、この基板の取り外しは治具と共に取り外すという簡
単容易な操作により実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例における治具および熱伝導性ゴムシート
を説明する図。
を説明する図。
【図２】実施例を説明する図。
【図３】従来例を説明する図。
【図４】他の従来例を説明する図。
１ 治具 １１ 貫通孔
２ 熱伝導性ゴムシート ３ エア導
入孔 ４ 中空吸着突起 ８ 基板 ９ 基板ホルダ ９０ 冷却水流通部 ９１ 基板ホルダベース ９１１ 冷却水供給孔 ９１２ 冷却水排出孔 ９２ 筒状リング ９３ 上蓋 ９３０ 環状段部 ９３１ 基板収容凹部 ９３２ 真空ポンプ
接続部 ９４ シール部材 ９５ 基板押さえ板 ９５１ 照射開口
入孔 ４ 中空吸着突起 ８ 基板 ９ 基板ホルダ ９０ 冷却水流通部 ９１ 基板ホルダベース ９１１ 冷却水供給孔 ９１２ 冷却水排出孔 ９２ 筒状リング ９３ 上蓋 ９３０ 環状段部 ９３１ 基板収容凹部 ９３２ 真空ポンプ
接続部 ９４ シール部材 ９５ 基板押さえ板 ９５１ 照射開口
Claims (2)
- 【請求項１】 基板ホルダベース、基板ホルダベースの
上面に接合固定される筒状リング、筒状リングに気液密
に固定される上蓋より成る基板ホルダを具備し、 基板ホルダベースと筒状リングと上蓋により冷却水流通
部が形成され、基板ホルダベースには冷却水流通部に連
通する冷却水供給孔および冷却水排出孔が形成され、上
蓋の上面には環状段部を有する基板収容凹部が複数箇所
に形成され、基板収容凹部には真空ポンプ接続部が連通
して形成され、 剛性を有する変形し難い金属板の如き材料を原材料とし
て形成されて貫通孔がマトリクス状に形成される治具を
具備し、 表面に中空吸着突起がマトリクス状に形成されると共に
エア導入孔がマトリクス状に形成される柔軟性のゴムシ
ートを具備し、 中空吸着突起を貫通孔に下側から圧入することによりゴ
ムシートと治具とを結合一体化し、 結合一体化したゴムシートおよび治具をゴムシートを介
して基板収容凹部の環状段部に載置したことを特徴とす
る基板ホルダ。 - 【請求項２】 請求項１に記載される基板ホルダにおい
て、 中空吸着突起は貫通孔に嵌合した曉において貫通孔から
極く僅かに突出する高さに形成されるものであることを
特徴とする基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001334581A JP2003142565A (ja) | 2001-10-31 | 2001-10-31 | 基板ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001334581A JP2003142565A (ja) | 2001-10-31 | 2001-10-31 | 基板ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003142565A true JP2003142565A (ja) | 2003-05-16 |
Family
ID=19149687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001334581A Withdrawn JP2003142565A (ja) | 2001-10-31 | 2001-10-31 | 基板ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003142565A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007288101A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバにおけるウエハ保持方法、プローバ及び高熱伝導性シート |
| JP2009016430A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 保持治具及び薄板状物の剥離方法 |
| JP2009238869A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ulvac Japan Ltd | 搬送トレー及びこの搬送トレーを用いた真空処理装置 |
| JP2010045086A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 保持治具 |
| KR101379707B1 (ko) | 2013-02-08 | 2014-04-02 | 주식회사 기가레인 | 기판 로딩 장치 및 기판 로딩 방법 |
-
2001
- 2001-10-31 JP JP2001334581A patent/JP2003142565A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |