JP2010045086A

JP2010045086A - 保持治具

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Publication number: JP2010045086A
Application number: JP2008206548A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Hatsumi; 俊明初見
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2008-08-11
Filing date: 2008-08-11
Publication date: 2010-02-25
Anticipated expiration: 2028-08-11
Also published as: JP4958312B2

Abstract

【課題】多種類の被粘着物に使用することのできる製品寿命の長い保持治具を提供すること。
【解決手段】粘着部２１を頂面に有すると共に支持部材４に着脱可能に支持された粘着性突出部材５と、非粘着部３１を表面に有する離脱部材７とを備え、前記離脱部材７は、前記粘着性突出部材５の軸線方向に相対的に移動可能に配置されて成ることを特徴とする保持治具１。
【選択図】図１

Description

この発明は、保持治具に関し、さらに詳しくは、多種類の被粘着物に使用することのできる製品寿命の長い保持治具に関する。

例えば、チップコンデンサ等の小型部品等は、小型であるが故に、その取扱性が悪く、また、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板、フィルム等の薄板状物等は、厚さが薄い故に、その形状を保持しにくく、又は、破損等しやすい。したがって、このような小型部品及び薄板状物等は、保持治具等に固定されて、例えば、電極形成工程、研磨工程、パターン形成工程、ダイシング工程等の製造工程、製造工程間の搬送、及び／又は、保存等が行われる。このような保持治具を用いて小型部品及び薄板状物等を製造した後には、小型部品及び薄板状物等は保持治具から取り外される。

このような保持治具として、例えば、「少なくとも表面部が粘着性を有するゴム弾性材で形成され、その粘着力により小型部品をその弾性材表面において密着保持可能であることを特徴とする小型部品の保持治具」が挙げられる（特許文献１）。この保持治具に粘着保持した小型部品等を取り外す方法として、例えば、スクレイパー等の小型部品掻き取り部材を弾性材表面上に摺動させる方法がある。小型部品掻き取り部材を弾性材表面上に摺動させると、弾性材表面が損傷しやすく、製品寿命を縮めることになる。さらに、弾性材表面の一部でも損傷すると、弾性材を含む保持治具全体を交換する必要がある。そして、この保持治具における弾性材は一定の粘着力を有しているから、粘着保持する例えば小型部品又は薄板状物の種類が変更されると、これらの小型部品又は薄板状物を必要以上に強固な粘着力で粘着保持してしまうことがある。そうすると、必要以上に強固な粘着力で粘着保持された小型部品又は薄板状物を保持治具から離脱する際に、小型部品又は薄板状物を変形又は損傷させてしまうことがあり、種々の小型部品又は薄板状物を所望のように粘着保持及び離脱させることができないことがあった。

別の保持治具として、例えば、「基板を真空吸着して保持する基板保持チャックにおいて、前記基板を真空吸引する際の負圧を形成する壁体と、前記真空吸引の際の基板の変形を抑制する複数の補助支持体とを備え、前記壁体と前記補助支持体の内少なくとも補助支持体を、ガラス基板表面に突出形成したことを特徴とする基板保持チャック」が挙げられる（特許文献２）。この特許文献２に記載の基板保持チャックは、その壁体及び補助支持体が損傷すると、基板を所望のように真空吸引することができず、新たな基板保持チャックに交換する必要がある。さらに、この基板保持チャックは、基板を真空吸引によって固定するものであるから、前記補助支持体によって基板が損傷又は破損して変形することがある。

また別の保持治具として、例えば、「複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置であって、前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とするフレキシブル基板の剥離装置」が挙げられる（特許文献３）。この特許文献３に記載の剥離装置は、例えば、フィルム等の可撓性が高い薄板状物を用いると、吹き出す圧空により、粘着シート上で薄板状物の波打ち現象が起こって、薄板状物が変形してしまうことがある。さらに、この剥離装置は、粘着シートが一定の粘着力を有しているから、特許文献１に記載の保持治具と同様に、種々の小型部品又は薄板状物を所望のように粘着保持及び離脱させることができないことがあった。

特公平０７−９３２４７号公報特開２０００−２８６３２９号公報特開２００６−１５６７９３号公報

この発明は、多種類の被粘着物に使用することのできる製品寿命の長い保持治具を提供することを目的とする。

前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、粘着部を頂面に有すると共に支持部材に着脱可能に支持された粘着性突出部材と、非粘着部を表面に有する離脱部材とを備え、前記離脱部材は、前記粘着性突出部材の軸線方向に相対的に移動可能に配置されて成ることを特徴とする保持治具であり、
請求項２は、非粘着部を頂面に有すると共に支持部材に着脱可能に支持された非粘着性突出部材を備えて成る請求項１に記載の保持治具である。

この発明に係る保持治具は、粘着部を頂面に有すると共に支持部材に着脱可能に支持された粘着性突出部材と非粘着部を表面に有する離脱部材とを備えて成る。故に、使用中に粘着性突出部材等が破損しても、粘着性突出部材の着脱可能性を利用することによって、保持治具全体を交換する必要はなく破損した粘着性突出部材のみを交換すれば保持治具を再生することができる。また、この発明に係る保持治具において、粘着性突出部材の着脱可能性を利用して粘着性突出部材の支持位置を適宜変更し、また、粘着部の大きさ及び形状等を適宜変更することによって種々の寸法及び形状を有する被粘着物を粘着保持し、かつ、離脱部材の移動によって被粘着物を変形及び損傷させることなく離脱させることができる。したがって、この発明によれば、多種類の被粘着物に使用することのできる製品寿命の長い保持治具を提供することができる。

この発明に係る保持治具は、粘着性突出部材と離脱部材とを備えて成り、例えば、粘着部に被粘着物を粘着保持して、被粘着物を製造し、搬送し、及び／又は、保存する際等に使用される。

この発明に係る保持治具に保持される被粘着物は、特に限定されず、例えば、小型部品及び薄板状物等が挙げられる。

前記小型部品は、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等が挙げられ、小型部品には、これらの小型部品を製造可能な小型部品用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等も含まれる。したがって、この発明においては、小型部品と小型部品用部材とは明確に区別される必要はない。これらの小型部品の中でも、この発明に係る保持治具には、小型部品及び小型部品用部材が特に好ましく粘着保持される。これらの小型部品の形状は、特に限定されないが、この発明に係る保持治具が粘着保持するのに好適な小型部品として、柱状の小型部品及び／又は柱状の小型部品用部材等が挙げられ、より具体的には、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、及び／又は、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等の小型部品及び／又は小型部品用部材等が挙げられる。このような形状を成す小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材等として、具体的には、例えば、コンデンサチップ（チップコンデンサとも称されることがある。）、インダクタチップ、抵抗体チップ等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な部材等が挙げられる。

前記薄板状物は、例えば、破損又は損傷しやすい薄板状物、又は、折れ等により変形しやすい薄板状物等が好適に挙げられる。このような薄板状物として、具体的には、例えば、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板、フィルム、ガラスエポキシ基板、樹脂基板等が挙げられる。この発明の目的をよく達成することができる点で、薄板状物は特に可撓性の高いフィルムであるのがよい。このような可撓性の高いフィルムとして、例えば、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のフィルム等に用いられる、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム等が挙げられる。この発明において、薄板状物は、保持治具に単独で粘着保持されてもよく、複数の薄板状物が同時に粘着保持されてもよい。

この発明に係る保持治具に粘着保持される被粘着物としては、従来の保持治具では離脱又は剥離する際に変形又は損傷しやすい薄板状物であっても、離脱部材の移動によって薄板状物を変形及び損傷させることなく、保持治具から容易に離脱又は剥離することができる点で、薄板状物が特に好適に採用される。

この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具１を、図を参照して、説明する。図１に示されるように、この保持治具１は、粘着部２１を頂面に有すると共に支持部材４（図１（ａ）に図示しない。）に着脱可能に支持された粘着性突出部材５と、非粘着部３１を表面に有する離脱部材７とを備えて成る。

粘着性突出部材５を支持固定する支持部材４は、図１及び図２に示されるように、方形を成す盤状体に成形されている。なお、支持部材４は、被粘着物の形状、その製造工程及び取扱性等に応じて、任意の形状に形成することができ、例えば、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等に形成される。

支持部材４は、図１及び図２に示されるように、その一方の表面に、この表面から突出する複数の支持部１１がほぼ等間隔で縦方向及び横方向それぞれに形成されている。支持部１１それぞれは、後述する粘着性突出部材５の被支持部２５と共に、後述する粘着性突出部材５を支持部材４の前記表面上に略垂直な起立状態に着脱可能に支持固定することができるように構成されている。支持部１１としては、例えば、ボルト又はネジ穴、係止片又は係止凹部、磁石等が挙げられ、この例においては、ボルトが採用されている。

支持部材４は、粘着性突出部材５を支持することのできる強度を有する材料で形成され、このような材料として、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金、ニッケル合金等の金属、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリ塩化ビニル、メタクリル樹脂、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド等の樹脂等が挙げられる。支持部材４は、例えば、真空成形、射出成形及び金型成形等の各種成形方法、圧延、切削、研削、溶接等の各種金属加工方法等によって、製造される。

粘着性突出部材５は、図１（ｂ）〜図１（ｄ）に明確に示されるように、軸線方向における一方の端部２３の頂面に被粘着物を粘着保持することのできる粘着部２１を有し、他方の端部２４に被支持部２５を有している。具体的には、粘着性突出部材５は、軸線方向に延在する大径円筒部２６と、この大径円筒部２６と同軸にその先端面から延在し、大径円筒部２６の外径よりも小さな外径を有する小径円筒部２７とから成る。大径円筒部２６の底部（前記他方の端部２４）には被支持部２５が形成され、大径円筒部２６の上面は小径円筒部２７と共に後述する離脱部材７を載置する環状肩部２８を形成している。小径円筒部２７の頂面は粘着部２１が形成されている。

大径円筒部２６に形成された被支持部２５は、前記支持部材４の支持部１１と協働して、粘着性突出部材５を支持部材４の表面上に略垂直な起立状態に着脱可能に支持固定することができるように構成されている。被支持部２５としては、例えば、ネジ穴又はボルト、係止凹部又は係止片、磁石等が挙げられ、この例においては、ネジ穴が採用されている。

前記支持部材４に支持される粘着性突出部材５は、１以上であればよく、粘着保持する被粘着物の種類、寸法及び質量等に応じて、適宜選択されるが、図１等に示されるように、通常複数が用いられる。複数の粘着性突出部材５を用いる場合には、複数の粘着性突出部材５は、その軸線方向の長さがほぼ同じ長さに調整されている。粘着性突出部材５の軸線方向の長さは、後述する離脱部材７が粘着性突出部材５に対して相対的に前後進移動可能となる程度の長さに調整されていればよく、通常、離脱部材７の厚さ以上の長さに調整される。粘着性突出部材５をその軸線方向に垂直な平面で切断したときの断面の断面積、特に前記小径円筒部２７の前記断面積は、例えば、粘着部２１が形成されたときに、被粘着物を所望のように粘着保持することができる程度の断面積に調整される。

大径円筒部２６及び小径円筒部２７は、粘着保持された被粘着物を支持することのできる強度を有する材料で形成され、このような材料として、例えば、支持部材４で例示した各種金属及び各種樹脂等が挙げられる。大径円筒部２６及び小径円筒部２７は、例えば、真空成形、射出成形及び金型成形等の各種成形方法、圧延、切削、研削、溶接等の各種金属加工方法等によって、一体に、又は、別体に形成された後接合して、製造される。

粘着性突出部材５は少なくともその頂面に粘着部２１を有している。粘着性突出部材５の少なくとも頂面に粘着部２１を有していると、粘着部２１の平坦な頂面によって被粘着物を均一に粘着保持することができる。粘着部２１は、被粘着物を粘着保持することができるように、粘着性突出部材５の少なくとも頂面（先端面）に形成されていればよく、粘着性突出部材５における頂面の一部又は全面に形成されてもよく、また、粘着性突出部材５の全体（頂面及び側面）に形成されてもよい。製造が容易で、被粘着物を所望のように粘着保持することができると共に、容易かつ確実に被粘着物を剥離することができる点で、粘着部２１は、粘着性突出部材５における頂面の全面に形成されるのが好ましい。この粘着部２１は、被粘着物を粘着保持することができる寸法に形成されていればよく、粘着部２１を形成する粘着性材料の粘着力、粘着性突出部材５の配置数、粘着性突出部材５における軸線方向の断面積等に応じて、例えば、被粘着物と接触する接触面積が適宜調整される。この例における粘着部２１は、粘着性突出部材５における小径円筒部２７の外径と略同一の外径を有する円盤状に成形されている。

粘着部２１は、被粘着物を保持するのに十分な粘着力を有していればよく、例えば、粘着部２１に被粘着物を粘着保持した状態で保持治具１を少なくとも９０度傾斜させたときに、被粘着物が保持されるのに十分な粘着力を有しているのが好ましい。特に、粘着部２１が下向きになるように、保持治具１を１８０度回転させたときに、被粘着物が保持されるのに十分な粘着力、すなわち、被粘着物の単位面積あたりの自重（ｇ／ｍｍ^２）よりも大きな粘着力（ｇ／ｍｍ^２）を有しているのが好ましい。粘着部２１がこのような粘着力を有すると、保持治具１に被粘着物を確実に保持することができる。粘着部２１の具体的な粘着力は、被粘着物の自重、大きさ等に応じて決定されるが、例えば、１〜６０（ｇ／ｍｍ^２）であるのが好ましく、２〜４０（ｇ／ｍｍ^２）であるのがさらに好ましく、４〜２０（ｇ／ｍｍ^２）であるのが特に好ましい。粘着部２１の粘着力は、特開２００７−１６５３９７号公報に記載の「信越ポリマー法」に従って測定することができる。

粘着部２１は、被粘着物を粘着保持すると共に、ある程度の弾性を有しているのがよく、例えば、５〜６０の硬度（ＪＩＳＫ６２５３［デュロメータＥ］）を有しているのが好ましく、１５〜４５の硬度を有しているのが特に好ましい。

粘着部２１は、後述する粘着性材料を、例えば、真空成形、射出成形及び金型成形等の各種成形方法等によって、成形された後、小径円筒部２７の頂面に粘着又は接着して、設けることができる。粘着部２１を形成する粘着性材料は、例えば、シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマーが挙げられるが、強度、耐候性に優れたシリコーンゴム、フッ素系ゴム等がよい。前記シリコーンゴムとしては、例えば、オルガノポリシロキサン、シリカ系充填剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するシリコーンゴム組成物が挙げられる。このようなシリコーンゴム組成物としては、例えば、信越化学工業株式会社から商品名「ＫＥ−５２０Ｕ」、「ＫＥ−５３０Ｕ」等が入手可能である。また、前記フッ素系ゴムとしては、例えば、フッ化ビニリデン・六フッ化プロピレン共重合体、カーボン等の充填剤、トリアルイソシアネート等の架橋助剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するフッ素系ゴム組成物が挙げられる。このようなフッ素系ゴム組成物としては、例えば、ダイキン工業株式会社から商品名「ＤＣ−２０５０」、「ＤＣ−２２６０」等が入手可能である。

離脱部材７は、図１に示されるように、支持部材４と同様に、方形を成す盤状体とされている。離脱部材７は、図３に示されるように、保持治具１としたときに、前記支持部材４に支持された粘着性突出部材５を貫通させる貫通部３３が形成されている。この離脱部材７において、貫通部３３は貫通孔３４であり、粘着性突出部材５の配置と同様の配置となるように、略等間隔で縦方向及び横方向に配列された状態に、穿設されている。これらの貫通孔３４は、粘着性突出部材５における小径円筒部２７の前記断面積と同じ又はそれよりも大きな開口面積となるように、形成されている。

そして、離脱部材７の表面（貫通孔３４の開口部以外の表面、すなわち、離脱部材７においては、複数の貫通孔３４の集合体を囲繞する周縁部及び複数の貫通孔３４の間に存在する表面）は、非粘着部３１とされている。非粘着部３１は、粘着力を有していない場合、及び、それ単独では被粘着物を粘着保持することができない程度の粘着力を有している場合が含まれる。例えば、それ単独では被粘着物を粘着保持することができない程度の粘着力は、前記「信越ポリマー法」における粘着力が１（ｇ／ｍｍ^２）未満である。

このように、離脱部材７の表面が非粘着部３１とされていると、離脱部材７を粘着性突出部材５の軸線方向に相対的に移動しても複数の非粘着部３１はそれぞれ同一平面内にあるから、粘着性突出部材５の粘着部２１に粘着されている被粘着物が薄板状物であっても、被粘着物を粘着部２１から同一平面内で均一に剥離することができ、被粘着物を変形させることがない。

離脱部材７の厚さは、保持治具１としたときに、前記粘着性突出部材５の軸線方向に前後進移動することができる程度の厚さを有していればよく、例えば、前記粘着性突出部材５の軸線方向長さよりも小さい厚さに調整されている。この離脱部材７は、被粘着物を離脱又は剥離する際に、平滑性を維持することができる程度の強度を有する材料で、前記各種成形方法又は前記各種金属加工方法等によって、製造される。このような材料として、例えば、支持部材４で例示した各種金属及び各種樹脂等が挙げられる。

保持治具１は、特に図１（ｂ）に明確に示されるように、支持部材４の支持部１１にそれぞれに粘着性突出部材５が着脱自在に支持されている。そして、離脱部材７は、粘着性突出部材５それぞれが離脱部材７における貫通孔３４それぞれを貫通し、支持部材４における粘着性突出部材５が配置されている側であって粘着性突出部材５における環状肩部２８上に載置された状態に、配置される。

次に、保持治具１を用いた、薄板状物であるシリコンウェハ１５の取扱方法を説明する。シリコンウェハ１５を取り扱う前に、支持部材４の支持部１１それぞれに、粘着性突出部材５の被支持部２５を螺合させて、図１（ｂ）に示されるように、粘着性突出部材５を支持部材４の表面上に略垂直な起立状態に支持固定する。この後、粘着性突出部材５における小径円筒部２７それぞれが離脱部材７における貫通孔３４それぞれを貫通し、離脱部材７が粘着性突出部材５における環状肩部２８上に載置された状態に、離脱部材７を配置して、保持治具１を準備する。

この保持治具１にシリコンウェハ１５を粘着保持するには、保持治具１における複数の粘着性突出部材５の粘着部２１上にシリコンウェハ１５を載置し、必要により、載置したシリコンウェハ１５を粘着部２１に押圧する。そうすると、粘着部２１は前記粘着力を有しているから、図４（ａ）に示されるように、シリコンウェハ１５は複数の粘着部２１上に均一かつ平坦に粘着保持される。この説明においては、複数の粘着部２１が協働して１つのシリコンウェハ１５を粘着保持している。

このようにして保持治具１に粘着保持されたシリコンウェハ１５を所望の製造工程に供した後又は搬送後等に、シリコンウェハ１５を保持治具１から離脱又は剥離するには、離脱部材７を粘着性突出部材５に対して相対的にその軸線方向に前進移動させる。具体的には、前記環状肩部２８上に載置されている離脱部材７を、粘着性突出部材５に対してその軸線方向に相対的に前進（シリコンウェハ１５に近接）する方向、すなわち、図４（ａ）に示される矢印Ａの方向に、前進移動させる。換言すると、支持部材４を離脱部材７に対して粘着性突出部材５の軸線方向に相対的に後進する方向に、すなわち、図４（ａ）に示される矢印Ａと逆方向に、後進移動させる。そうすると、離脱部材７は、粘着性突出部材５に対してその軸線方向に相対的に前進移動し、図４（ｂ）に示されるように、粘着性突出部材５の粘着部２１に粘着保持されたシリコンウェハ１５の底面に離脱部材７における非粘着部３１が当接した状態になる。引き続き離脱部材７を同方向に移動させると、図４（ｃ）に示されるように、シリコンウェハ１５は、その底面に当接した非粘着部３１によって、粘着性突出部材５の粘着部２１から離脱又は剥離される。このとき、シリコンウェハ１５の粘着部２１に接触している部分は、離脱部材７の非粘着部３１に囲繞された状態で、粘着部２１から均一な力で引き離されるから、この部分を含むシリコンウェハ１５が変形又は損傷することが極めて少ない。このようにして粘着部２１から離脱又は剥離されたシリコンウェハ１５は、離脱部材７における非粘着部３２の表面上に位置しているにすぎないから、離脱部材７を傾斜又は反転させれば、シリコンウェハ１５は離脱部材７から離脱する。このようにして、シリコンウェハ１５を保持治具１から離脱又は剥離することができる。

このように、保持治具１は、支持部材４、粘着性突出部材５及び離脱部材７とから構成され、シリコンウェハ１５を離脱又は剥離させるのに、真空吸着機構も圧空を吹き出す吹き出し手段も必要としないので、その構成が単純である。

そして、保持治具１は、粘着部２１を有する粘着性突出部材５を備えているから、被粘着物を所望のように粘着保持することができる。さらに、保持治具１は、簡単な構成であるにもかかわらず、離脱部材７の非粘着部３１によって、粘着性突出部材５の粘着部２１に粘着保持されているシリコンウェハ１５を粘着部２１から同一平面内で均一に離脱又は剥離することができるから、可撓性の高い薄板状物であっても、保持治具１から離脱又は剥離する際に、薄板状物の折れ、破損又は損傷等による変形を効果的に防止することができる。また、保持治具１は、シリコンウェハ１５を粘着保持及び剥離する際に、粘着部２１の粘着力を強制的にかつ非可逆的に増大又は低減させる必要はないから、薄板状物を繰り返して粘着保持することができる。さらに、保持治具１は、特別な装置を必要とせず、単に、離脱部材７を粘着性突出部材５に対して相対的に移動させるだけで、シリコンウェハ１５の粘着保持及び離脱を可能にするから、保持治具１の使用環境は特に制限されず、常圧環境だけでなく、減圧環境でも加圧環境でも使用されることができる。したがって、保持治具１によれば、シリコンウェハ１５を所望のように粘着保持することができると共に、離脱又は剥離時の折れ、破損又は損傷等に起因する変形を被粘着物に生じさせることなく被粘着物を容易に離脱又は剥離することができる。

さらに、保持治具１においては、粘着性突出部材５が着脱可能に支持部材４に支持されることができるから、粘着性突出部材５の着脱可能性を利用して粘着性突出部材５の支持位置を適宜変更し、また、粘着部２１の大きさ及び形状等を適宜変更することによって、保持治具１全体としての粘着力を所望のように変更することができる。したがって、種々の寸法及び形状を有する被粘着物であっても、粘着性突出部材５の着脱可能性を利用して、如何なる種類の被粘着物を所望のように粘着保持し、かつ、離脱部材の移動によって被粘着物を変形及び損傷させることなく離脱させることができる。

また、粘着性突出部材５及び粘着部２１に寸法誤差があっても、例えば、支持部材４に支持固定するときに、支持部１１及び被支持部２５の螺合を調整することによって、支持部材４の表面からの粘着部２１の位置を同一平面内に配置することができるから、保持治具１は、１つの被粘着物を水平に、また、複数の被粘着物を均一な状態に、粘着保持することができる。

この保持治具１においては、被粘着物を離脱させる際に、粘着部２１を損傷させることがないから、粘着部２１の耐久性が高く製品寿命を大幅に伸ばすことができる。特に、使用中等に粘着部２１又は粘着性突出部材５がたとえ損傷したとしても、粘着性突出部材５の着脱可能性を利用して、損傷した粘着性突出部材５のみを支持部材４から取り外して新たな粘着性突出部材５に交換することができるから、保持治具１全体を交換する必要はなく破損した粘着性突出部材５のみを交換すれば保持治具１を再生することができる。したがって、保持治具１は、粘着性突出部材５の着脱可能性を利用することによって、保持治具１としての製品寿命を著しく延長することができる。

このように、この保持治具１によれば、多種類の被粘着物に使用することができると共に、製品寿命が極めて長いという効果が得られる。

この発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具２は、図５に示されるように、粘着部２２を頂面に有すると共に支持部材（図５に図示しない。）に着脱可能に支持された粘着性突出部材６と、非粘着部３２を表面に有する離脱部材８とを備えて成る。

保持治具２の支持部材は、その一方の表面に、この表面から突出すると共に一方向に延在する複数の支持部（図５に図示しない。）が、ほぼ等間隔で前記一方向に垂直な方向に配置されていること以外は、前記支持部材４と基本的に同様に構成されている。この支持部材における支持部は軌条をなす係止片とされている。

粘着性突出部材６は、一方向に延在し、この一方向に垂直な平面における断面形状が図１（ｄ）に示される形状を有する壁状を成していること以外は、前記粘着性突出部材５と基本的に同様に構成されている。なお、粘着性突出部材６の被支持部（図５に図示しない。）は係止凹部とされている。

離脱部材８は、図５に示されるように、保持治具２としたときに、前記粘着性突出部材６を貫通させる貫通部としての貫通溝３５が、離脱部材８の一方向に延在するように穿設されていること以外は、離脱部材７と基本的に同様に構成されている。

保持治具２は、図５に示されるように、支持部材の支持部それぞれに粘着性突出部材６が係止片及び係止凹部によって着脱自在に支持され、粘着性突出部材６それぞれが離脱部材８における貫通溝３５それぞれを貫通し、支持部材における粘着性突出部材６が配置されている側であって粘着性突出部材６における環状肩部（図５に図示しない。）上に載置された状態に、離脱部材８が配置されて、成る。

このように、保持治具２は、粘着性突出部材６の形状等が異なること以外は、保持治具１と基本的に同様に構成されているから、保持治具１が奏する前記効果を同様に奏することができる。

この発明に係る保持治具のまた別の一実施例である保持治具３は、図６に示されるように、粘着部２１を頂面に有すると共に支持部材４に着脱可能に支持された粘着性突出部材５と、非粘着部４１を頂面に有すると共に支持部材４に着脱可能に支持された非粘着性突出部材９と、非粘着部３１を表面に有する離脱部材７とを備えて成る。すなわち、保持治具３は、図６に示されるように、複数の粘着性突出部材５の一部を非粘着性突出部材９で置き換えて成る保持治具である。具体的には、保持治具３は、図６に示されるように、粘着性突出部材５同士及び非粘着性突出部材９同士が互いに隣接しないように、粘着性突出部材５と非粘着性突出部材９とを交互に支持部材４に支持固定して成る。

したがって、保持治具３における支持部材４、粘着性突出部材５及び離脱部材７は、それぞれ、保持治具１における支持部材４、粘着性突出部材５及び離脱部材７と基本的に同様に構成されている。非粘着性突出部材９は、図６（ｄ）に示されるように、その頂面に粘着部２１が形成されてなく、軸線方向の長さが同一となるように大径円筒部４２及び／又は小径円筒部４３の長さが調整されていること以外は、粘着性突出部材５と基本的に同様である。非粘着性突出部材９は、非粘着性材料で形成された小径円筒部４３の表面が非粘着部４１となっている。

保持治具３は、図６に示されるように、支持部材４の支持部１１それぞれに粘着性突出部材５及び非粘着性突出部材９が交互に着脱自在に支持され、粘着性突出部材５及び非粘着性突出部材９それぞれが離脱部材７における貫通孔３４それぞれを貫通し、支持部材４における粘着性突出部材５及び非粘着性突出部材９が配置されている側であって粘着性突出部材５における環状肩部２８及び非粘着性突出部材９における環状肩部４４上に載置された状態に、離脱部材７が配置されて、成る。

このように、保持治具３は、粘着性突出部材５の一部を非粘着性突出部材９に置き換えたこと以外は、保持治具１と基本的に同様に構成されているから、保持治具１が奏する前記効果を同様に奏することができる。

また、この保持治具３は、非粘着部４１を有し、支持部材４に着脱可能に支持される非粘着性突出部材９を備えているから、粘着保持する被粘着物の種類、形状、寸法及び質量等に応じて、粘着性突出部材５の代わりに用いる非粘着性突出部材９の着脱可能性を利用して、非粘着性突出部材９の使用数を適宜変更して、保持治具３全体としての粘着力を最適な粘着力に容易に調整することができるから、被粘着物を必要以上の粘着力で強固に粘着保持することを効果的に防止することができ、被粘着物が極めて変形又は損傷しやすくても、被粘着物を変形及び損傷させることなく、粘着保持及び離脱させることができる。

さらに、非粘着性突出部材９は非粘着部４１を有しているから、その頂面に塵等が付着することがなく、被粘着物を粘着保持したときに、被粘着物が傷付くことを効果的に防止することができる。

この発明に係る保持治具は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。

例えば、保持治具１は、図４に示されるように、１枚のシリコンウェハ１５を粘着保持する態様を一例として示したが、この発明において、保持治具は、複数の被粘着物を粘着保持してもよく、また、１つの被粘着物を複数の保持治具で粘着保持してもよい。

前記保持治具１〜３に被粘着物として薄板状物の１種であるシリコンウェハ１５を粘着保持する場合について説明したが、この発明において、この発明に係る保持治具に粘着保持される被粘着物は、薄板状物に限定される必要はなく、例えば、図７に示されるように、コンデンサチップ１６に代表される小型部品等であってもよい。

また、保持治具１〜３の支持部材４並びに離脱部材７及び離脱部材８は、図１〜図３、図５及び図６に示されるように、平坦な盤状体とされているが、この発明において、支持部材及び離脱部材は、平坦な盤状体に限定される必要はなく、例えば、パラボラアンテナ、自動車用フロントガラス等の被粘着物の形状等に合わせて、湾曲した盤状体に成形されていてもよい。

保持治具１及び３における粘着性突出部材５及び保持治具３における非粘着性突出部材９は、ほぼ等間隔で縦方向及び横方向にそって格子状に配置され、また、保持治具２における粘着性突出部材６は、ほぼ等間隔で一方向に一列に配置されているが、この発明において、粘着性突出部材及び非粘着性突出部材は前記配列パターンに従って配置される必要はなく、例えば、同心円状、放射状等の配列パターンに従って配置されてもよい。

保持治具１及び３における粘着性突出部材５及び保持治具３における非粘着性突出部材９はそれぞれ、大径円筒部２６及び小径円筒部２７、並びに、大径円筒部４２及び小径円筒部４３からなっているが、この発明において、粘着性突出部材及び非粘着性突出部材は、大径円筒部及び小径円筒部からなっている必要はなく、例えば、図８（ａ）に示されるように、１つの筒部から形成された筒体又は棒状体であってもよい。この筒体又は棒状体における軸線方向の断面形状は、特に限定されず、例えば、方形、三角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた断面形状等に調整することができる。

保持治具１及び３における粘着性突出部材５の大径円筒部２６及び小径円筒部２７、並びに、保持治具３における非粘着性突出部材９の大径円筒部４２及び小径円筒部４３は、それぞれ、円筒状をなしているが、この発明において、粘着性突出部材及び非粘着性突出部材の大径円筒部及び小径円筒部はそれぞれ、その軸線方向に垂直な平面で切断したときの断面形状は円筒状に限定される必要はなく、例えば、方形、三角形、五角形、六角形等の多角形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた断面形状であってもよい。

保持治具１及び３における粘着性突出部材５の粘着部２１及び２２は、円盤状に成形されているが、この発明において、粘着部２１は、円盤状に成形される必要はなく、例えば、図８（ｂ）に示される半球状、半楕円球状（ドーム状）、錐状、図８（ｃ）に示される錐台状に形成されてもよい。

保持治具３における非粘着性突出部材９は、一方の端部が粘着性突出部材５の粘着部２１と同様に形成されているが、この発明において、非粘着性突出部材の一方の端部２３は、例えば、図８（ｄ）に示される半球状、半楕円球状（ドーム状）、錐状、図８（ｅ）に示される錐台状に形成されてもよい。また、保持治具３における非粘着性突出部材９は、一方の端部が粘着性突出部材５の粘着部２１と同様の形状に形成されているが、この発明において、非粘着性突出部材は、粘着性突出部材の粘着部と同様の形状に形成される必要はなく、任意の形状に形成されてもよい。

保持治具３における非粘着性突出部材９は、非粘着性材料で形成された小径円筒部４３の頂面が非粘着部４１とされているが、この発明において、非粘着部は、小径円筒部の頂面である必要はなく、例えば、非粘着性材料で成形された円盤状、半球状、半楕円球状（ドーム状）、錐状又は錐台状の非粘着部を小径円筒部の頂面に設けてもよい。

保持治具３は、粘着性突出部材５及び非粘着性突出部材９の着脱可能性を利用して、粘着性突出部材５の一部を非粘着性突出部材９に置き換えたが、この発明においては、粘着性突出部材の一部を非粘着性突出部材に置き換えることに加えて、又は、この置き換えに代えて、粘着性突出部材の一部を使用せず、粘着性突出部材を支持部材に支持固定させないこともできる。例えば、保持治具３において、支持部材４に支持した非粘着性突出部材９を取り外した状態にすることができる。

保持治具１〜３における離脱部材７は、粘着性突出部材５及び６並びに非粘着性突出部材９それぞれに対応する貫通部３３（貫通孔３４及び貫通溝３５）を有しているが、この発明においては、貫通部（貫通孔及び貫通溝）は、１つの粘着性突出部材及び非粘着性突出部材を貫通させる必要はなく、複数の粘着性突出部材及び非粘着性突出部材を貫通させるように、形成されてもよい。具体的には、保持治具１において、図１に示される離脱部材７に代えて、一列に配置固定された粘着性突出部材５すべてを貫通させる貫通溝３５を有する離脱部材例えば図５に示される離脱部材８を用いることができる。

保持治具１〜３における離脱部材７及び８は、盤状体の内部に貫通部３３（貫通孔３４及び貫通溝３５）が形成されているが、この発明において、離脱部材はこのような盤状体に限定されることなく、例えば、図９に示されるように、一方の端縁から他方の端縁に向かって形成された貫通溝３６を複数有し、表面全体が非粘着部４１である櫛状離脱部材であってもよい。

図１は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具を示す概略図であり、図１（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具の上面を示す概略上面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線における断面の一部を示す概略部分断面図であり、図１（ｃ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における粘着性突出部材を示す概略斜視図であり、図１（ｄ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における粘着性突出部材を示す概略正面図である。図２は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における支持部材を示す概略図であり、図２（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における支持部材を示す概略上面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線における断面の一部を示す概略部分断面図である。図３は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における離脱部材を示す概略図であり、図３（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における離脱部材を示す概略上面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＣ−Ｃ線における断面の一部を示す概略部分断面図である。図４は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具の使用方法を説明する部分説明図であり、図４（ａ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具にシリコンウェハを粘着保持した状態を説明する説明図であり、図４（ｂ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具における離脱部材を粘着性突出部材に対して相対的に移動して離脱部材とシリコンウェハとが接触した状態を説明する説明図であり、図４（ｃ）はこの発明に係る保持治具の一実施例である保持治具に粘着保持されたシリコンウェハを離脱又は剥離した状態を説明する説明図である。図５はこの発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具の上面を示す概略上面図である。図６はこの発明に係る保持治具のまた別の一実施例である保持治具の上面を示す概略上面図であり、図６（ａ）はこの発明に係る保持治具のまた別の一実施例である保持治具の上面を示す概略上面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ線における断面の一部を示す概略部分断面図であり、図６（ｃ）はこの発明に係る保持治具のまた別の一実施例である保持治具における粘着性突出部材を示す概略斜視図であり、図６（ｄ）はこの発明に係る保持治具のまた別の一実施例である保持治具における非粘着性突出部材を示す概略正面図である。図７は、この発明に係る保持治具の一実施例である図１に示す保持治具にコンデンサチップを粘着保持させた状態を示す概略断面図である。図８は、この発明に係る保持治具における粘着性突出部材及び非粘着性突出部材の変形例を説明する概略正面図である。図９は、この発明に係る保持治具における離脱部材の変形例を説明する概略上面図である。

符号の説明

１、２、３保持治具
４支持部材
５、６粘着性突出部材
７、８離脱部材
９非粘着性突出部材
１１支持部
１５シリコンウェハ
１６コンデンサチップ
２１、２２粘着部
２３一方の端部
２４他方の端部
２５被支持部
２６大径円筒部
２７小径円筒部
２８環状肩部
３１、３２非粘着部
３３貫通部
３４貫通孔
３５、３６貫通溝
４１非粘着部
４２大径円筒部
４３小径円筒部
４４環状肩部

Claims

粘着部を頂面に有すると共に支持部材に着脱可能に支持された粘着性突出部材と、非粘着部を表面に有する離脱部材とを備え、前記離脱部材は、前記粘着性突出部材の軸線方向に相対的に移動可能に配置されて成ることを特徴とする保持治具。
非粘着部を頂面に有すると共に支持部材に着脱可能に支持された非粘着性突出部材を備えて成る請求項１に記載の保持治具。