JP4440005B2 - 部品保持具 - Google Patents
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Description
[発明の実施の形態1]
[発明の実施の形態2]
2 ベース部材
3 粘着部
4 粘着弾性シート部材
5 周縁部
6 通気孔
7 隆起部
8 接着部
9 非接着部
10 通気部
11 厚肉部
12 薄肉部
14 非粘着部
P 部品
Claims (4)
- ベース部材と、該ベース部材の上面に少なくとも周縁部で接着固定され、かつ上面に粘着部が形成された粘着弾性シート部材とを有し、前記粘着部の上側に部品を密着保持するようにした部品保持具であって、
前記ベース部材又は前記粘着弾性シート部材には圧縮気体を注入・排出する通気孔が設けられ、該通気孔から圧縮気体を注入することにより前記粘着弾性シート部材が膨張して上方に隆起することで、前記粘着弾性シート部材に取り付けられた部品と前記粘着弾性シート部材との密着部の一部が剥がされ、
前記粘着部の一部に非粘着部が形成されており、該非粘着部は、圧縮気体を注入したときに形成される隆起部の頂部に対応した部位であり、
前記粘着弾性シート部材は、前記粘着部の上面に離型フイルムを介在させて所定形状をしたマスキング用部材を並べて紫外線を照射して当該粘着部の一部を変質させることにより、前記非粘着部が形成されたシリコーンゴムであることを特徴とする部品保持具。 - 前記粘着弾性シート部材は、前記粘着弾性シート部材の周縁部以外の部分の少なくとも一箇所が前記ベース部材に接着固定され、前記通気孔より圧縮気体を注入することにより、前記粘着弾性シート部材の上面に複数の隆起部が形成されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の部品保持具。
- 前記粘着弾性シート部材は、厚肉部と薄肉部とで形成されており、前記通気孔から圧縮気体を注入することにより前記薄肉部が上方に膨張することで隆起するようにしたことを特徴とする請求項1又は2に記載の部品保持具。
- 前記粘着弾性シート部材は、永久伸び20%以下の弾性特性を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一つに記載の部品保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176361A JP4440005B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 部品保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004176361A JP4440005B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 部品保持具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006000930A JP2006000930A (ja) | 2006-01-05 |
JP4440005B2 true JP4440005B2 (ja) | 2010-03-24 |
Family
ID=35769744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004176361A Expired - Fee Related JP4440005B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 部品保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4440005B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105575857A (zh) * | 2013-03-22 | 2016-05-11 | 友达光电股份有限公司 | 制作可挠式基板的方法及其装置 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG125112A1 (en) * | 2004-04-15 | 2006-09-29 | Kwang Ho Jeong | Apparatus for holding flat substrate |
DE102006031434B4 (de) * | 2006-07-07 | 2019-11-14 | Erich Thallner | Handhabungsvorrichtung sowie Handhabungsverfahren für Wafer |
JP2009054676A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 保持治具、一組の保持治具及び小型部品保持装置 |
JP5151398B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2013-02-27 | 東ソー株式会社 | 機械研磨方法、機械研磨装置および研磨物 |
JP4985392B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-07-25 | 株式会社ニコン | 基板保持装置、露光装置およびデバイスの製造方法 |
JP5078603B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-11-21 | コバレントマテリアル株式会社 | 板状体の加工方法 |
KR100878139B1 (ko) * | 2008-07-10 | 2009-01-14 | 이동혁 | 산사태 모의 실험장치 |
KR101135622B1 (ko) * | 2009-10-26 | 2012-04-17 | 강원대학교산학협력단 | 접착력 제어가 가능한 이송 스탬퍼 |
KR101116319B1 (ko) | 2010-02-03 | 2012-03-09 | 에이피시스템 주식회사 | 기판 지지 유닛 및 기판 처리 장치 및 그 동작 방법 |
JP2011159936A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板保持具及びその製造方法 |
JP5577817B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2014-08-27 | 凸版印刷株式会社 | 基板載置用パッド機構 |
DE102011014674A1 (de) * | 2011-03-22 | 2012-09-27 | Global Safety Textiles Gmbh | Vorrichtung zum Handhaben von Gegenständen |
JP2012204709A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板保持用のパッドおよびそれを用いて半導体基板を搬送する方法 |
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JP5426737B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-26 | コバレントマテリアル株式会社 | 板状体の加工方法 |
JP6226563B2 (ja) * | 2013-05-28 | 2017-11-08 | リンテック株式会社 | 静電保持装置および静電保持装置からの保持対象物の離脱方法 |
JP6398301B2 (ja) * | 2014-05-09 | 2018-10-03 | 藤倉化成株式会社 | 吸着離脱装置 |
JP6280019B2 (ja) * | 2014-10-21 | 2018-02-14 | 信越ポリマー株式会社 | 薄板保持具 |
CN107009163B (zh) * | 2017-03-03 | 2019-03-22 | 上海交通大学 | 柔性气囊滚动支撑装置 |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004176361A patent/JP4440005B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN105575857A (zh) * | 2013-03-22 | 2016-05-11 | 友达光电股份有限公司 | 制作可挠式基板的方法及其装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006000930A (ja) | 2006-01-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091002 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100105 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100106 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160115 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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