JP2011159936A - 基板保持具及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持用の支持板1と、この支持板1の表面に貼着されて半導体ウェーハWを着脱自在に保持する可撓性の密着保持層10とを備え、支持板1の表面と密着保持層10との間に気体流通空間13を形成し、支持板1の中央部厚さ方向に、気体流通空間13の空気を外部に排気して密着保持層10を凹凸に変形させる排気孔2を穿孔した保持具で、支持板1の平坦な表面に貼着される密着保持層10の被貼着面11に複数の凹凸12を形成することにより、密着保持層10の姿勢を安定させ、かつ気体流通空間13を区画形成する。密着保持層10の被貼着面11に凹凸12を形成するので、支持板1に微細な突起を多数形成する必要がない。
【選択図】図1
Description
密着保持層の支持板に貼り付けられる被貼付面を凹凸に形成することにより、密着保持層の姿勢を安定させ、かつ気体流通空間を区画形成したことを特徴としている。
密着保持層の支持板に貼り付けられる被貼付面を凹凸に形成し、支持板に密着保持層の被貼付面を貼り付けて支持板と密着保持層との間に気体流通空間を区画形成し、かつ密着保持層の姿勢を安定させることを特徴としている。
2 排気孔
10 密着保持層
11 被貼着面(被貼付面)
12 凹凸
13 気体流通空間
14 凸部
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 支持板と、この支持板に貼り付けられて基板を着脱自在に保持する可撓性の密着保持層とを備え、支持板と密着保持層との間に気体流通空間を形成し、支持板に、気体流通空間の気体を外部に排気して密着保持層を変形させる排気孔を設けた基板保持具であって、
密着保持層の支持板に貼り付けられる被貼付面を凹凸に形成することにより、密着保持層の姿勢を安定させ、かつ気体流通空間を区画形成したことを特徴とする基板保持具。 - 支持板と、この支持板に貼り付けられて基板を着脱自在に保持する可撓性の密着保持層とを用い、請求項1記載の基板保持具を製造する基板保持具の製造方法であって、
密着保持層の支持板に貼り付けられる被貼付面を凹凸に形成し、支持板に密着保持層の被貼付面を貼り付けて支持板と密着保持層との間に気体流通空間を区画形成し、かつ密着保持層の姿勢を安定させることを特徴とする基板保持具の製造方法。
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2010
- 2010-02-04 JP JP2010022784A patent/JP2011159936A/ja active Pending
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