JP2006273578A - 平板状パネルの保持装置 - Google Patents
平板状パネルの保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006273578A JP2006273578A JP2005339131A JP2005339131A JP2006273578A JP 2006273578 A JP2006273578 A JP 2006273578A JP 2005339131 A JP2005339131 A JP 2005339131A JP 2005339131 A JP2005339131 A JP 2005339131A JP 2006273578 A JP2006273578 A JP 2006273578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat panel
- elastic
- elastic member
- flat
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by supporting substrates others than wafers, e.g. chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【課題】 安価なパネル保持装置の提供。
【解決手段】 保持装置10は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものである。装置10は、気体や液体などの流体の注入、排出により拡径,収縮自在な弾性袋体12と、弾性袋体12の一端側に固着される支持具14と、弾性袋体12の他端側に貼着され、平板状パネルPを接着ないしは粘着保持する保持剤層18とを備えている。そして、弾性袋体12を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、平板状パネルPを保持剤層18から脱着させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 保持装置10は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものである。装置10は、気体や液体などの流体の注入、排出により拡径,収縮自在な弾性袋体12と、弾性袋体12の一端側に固着される支持具14と、弾性袋体12の他端側に貼着され、平板状パネルPを接着ないしは粘着保持する保持剤層18とを備えている。そして、弾性袋体12を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、平板状パネルPを保持剤層18から脱着させる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、平板状パネルの保持装置に関し、特に、拡縮可能な弾性袋体により平板状パネルを保持,脱着する平板状パネルの保持装置に関するものである。
近年、FPD(Flat Panel Disply)産業においては、LCD,PDP,有機ELなどに見られるように、大画面化の傾向が著しく、パネルの貼り合せなどの製造工程において、大型パネルのハンドリングが重要な技術的課題となっている。
この種のパネルのうち、例えば、LCDパネルは、真空雰囲気下で2枚のパネル同士を貼り合せる工程があり、このような条件下では、パネルの保持が真空チャックできないので、パネルの保持を静電チャックで行うことが提案されていて、その一例が、特許文献1に開示されている。
この特許文献1に開示されている静電チャックは、電極の両側を焼結体または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆し、前記電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆した構成を備えている。
しかしながら、このような従来の静電チャックには、以下に説明する課題があった。
すなわち、静電チャックは、特許文献1に開示されているものを含めて、単価が非常に高く、大画面化に際して、必要個数が多くなり、多大な設備投資が要求されるという問題があった。
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、比較的簡単な構成により、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うことなく実施することができる平板状パネルの保持装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、気体や液体などの流体の注入、排出により拡径,収縮自在な弾性袋体と、前記弾性袋体の一端側に固着される支持具と、前記弾性袋体の他端側に貼着され、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
このように構成した平板状パネルの保持装置によれば、弾性袋体の他端側に貼着された保持剤層により、平板状パネルを接着ないしは粘着保持することができるとともに、弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させると、保持剤層と弾性袋体の接合面が低減して、平板状パネルを保持剤層から脱着させることができ、このような保持装置は、構成が簡単で、平板状パネルの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
前記支持具は、剛性平板から構成され、前記弾性袋体の前記平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮を規制するものであって、前記弾性袋体を直接ないしは交換板を介して固着することができる。
この構成によれば、弾性袋体の平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮が、支持具で規制されるので、平板状パネルの着脱が安定するとともに、弾性袋体が劣化した場合に、簡単に取り替えることができる。
前記弾性袋体は、複数から構成され、複数の前記弾性袋体を直列接続することができる。
この構成によれば、パネル大きさに対応して弾性袋体の数を使用することができるので、平板状パネルのより一層の大型化にも簡単に対応することができる。
前記弾性袋体は、前記支持具側の固着力と前記保持剤層の保持力とが異なっていて、前記固着力の方が前記保持力よりも大きくなるように設定することができる。
この構成によれば、弾性袋体を拡径ないしは収縮させた際に、平板状パネルを確実に脱着させることができる。
前記保持剤層は、前記弾性袋体の表面に、全面に形成するか、または、所定の間隔を隔てて帯状に複数列形成するか、あるいは、円形の小面積のものを複数散在させるかの、いずれかから選択することができる。
この構成によれば、平板状パネルに対する接着ないしは粘着力を容易にコントロールすることができる。
前記弾性袋体には、前記流体の供給装置と、前記弾性袋体内に設置される圧力センサーとを設置し、前記圧力センサーの検出値に基づいて、前記弾性袋体の拡径,収縮を制御する制御装置を設けることができる。
この構成によれば、弾性袋体がある程度拡径した状態を維持しつつ平板状パネルの保持を行うことができる。
前記弾性袋体は、前記平板状パネルを減圧雰囲気下で保持させる際には、前記制御装置により、前記弾性袋体が減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することができる。
この構成によれば、真空などの減圧雰囲気下でも、平板状パネルの保持と脱着とを安定して行うことができる。
また、本発明は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、 弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材の外周縁を気密ないしは液密状態に固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材と前記支持部材との間に、気体や液体などの流体を注入ないしは排出することにより、前記弾性部材が膨出ないしは収縮するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。このように構成した平板状パネルの保持装置によれば、構成が簡単で、平板状パネルの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
前記支持部材には、前記流体を前記弾性部材と前記支持部材との間に注入ないしは排出する通路を設けることができる。
前記弾性部材は、前記保持剤層が貼着される平坦部と、この平坦部の周縁に起立形成されたフランジ部とを備え、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着固定することができる。
前記フランジ部は、その内面側に、前記平坦部の側面ないしは上面に設けられた凹溝に嵌合する突起を有することができる。
前記弾性部材には、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着した状態で、前記フランジ部の外周面にリング状金具を締結することができる。
前記弾性部材は、前記保持剤層が設けられる前記平坦部の厚みを変更することにより、前記弾性変形量を調整することができる。
前記弾性部材は、前記保持剤層が設けられる前記平坦部の厚みを変更することにより、前記弾性変形量を調整することができる。
また、本発明は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、 弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、平板状に形成され、前記支持部材と接触する側の面に複数の凹部を設けて薄肉部が複数形成されており、前記凹部内に前記流体を注入することにより、前記薄肉部を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
さらに、本発明は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記パネルが配置される側の面に固着される薄肉平板部とを有し、前記貫通孔内に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部の前記貫通孔と対向する個所を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
また、本発明は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記保持部材が配置される側面に配置される薄肉平板部とを有し、前記薄肉平板部と前記支持部材との間に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部を前記貫通孔内に挿入するようにして、膨出変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることができる。
弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記保持部材が配置される側面に配置される薄肉平板部とを有し、前記薄肉平板部と前記支持部材との間に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部を前記貫通孔内に挿入するようにして、膨出変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることができる。
前記保持剤層は、接着ないしは粘着力に強弱を設けることができる。
前記接着ないしは粘着力の強弱は、接着剤ないしは粘着剤の種類の変更、または、面積の変更、さらに、密集度により設定することができる。
本発明にかかる平板状パネルの保持装置によれば、比較的簡単な構成により、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うことなく実施することができる。
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。
〔実施例1〕
図1は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第1実施例を示している。この図に示した平板状パネルの保持装置10は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12と、支持具14と、固着剤16と、保持剤層18とを備えている。
図1は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第1実施例を示している。この図に示した平板状パネルの保持装置10は、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12と、支持具14と、固着剤16と、保持剤層18とを備えている。
弾性袋体12は、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料であって、かつ、気密性を有する材料から偏平な円盤状に形成され、本体20と、本体20の一端側に設けられ、内部に連通する気体の注排出口22とを備えている。本体20は、注排出口22から気体、例えば、圧縮空気を注入することにより拡径し、これを排出することで収縮する。
なお、本実施例では、弾性袋体12に注入する流体として、圧縮空気を用いた場合を例示しているが、本発明の実施は、これに限られることはなく、例えば、窒素などの体の気体を用いることや、あるいは、場合によっては、水などの液体であっても良い。
支持具14は、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、本実施例の場合には、弾性袋体12の本体20とほぼ同じ大きさに形成され、下面側に固着剤16が設けられていて、弾性袋体12の偏平な本体20の上面が固着剤16に固着されており、この固着剤16は、例えば、接着剤ないしは粘着剤で構成することができる。
本実施例の場合、2個の弾性袋体12に対して、これらを個別に支持具14に固着しているが、単一構成の支持具に2個の弾性袋体12を固着するようにしてもよい。
保持剤層18は、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性袋体12の偏平な本体20の下面側に貼着されていて、その下面側には、平板状パネルPが接着ないしは粘着保持されている。なお、この保持剤層18は、所定形状の伸縮性のある接着フィルムや、両面接着フィルムを用いることもでき、このようなフィルムを用いると、接着力が低下した際に、これを剥がして、簡単に取り替えることができる。
平板状パネルPを保持剤層18に接着ないしは粘着させてこれを保持させる際には、図1(A)に示すように、弾性袋体12内に空気を注入して、弾性袋体12の本体20が所定の厚みになるようにする。本体20をこのような状態に維持するには、例えば、注排出口22に開閉バルブを設けて、空気を注入してバルブを閉止すればよい。
そして、平板状パネルPを脱着させる際には、図1(B)に示すように、空気を弾性袋体12の本体20内に注入して、これを拡径させて弾性変形させる。このように操作すると、拡径した本体20の周縁がパネルPから離間して、これに伴って、保持剤層18と平板状パネルPの接合面が小さくなって、平板状パネルPの自重により、保持剤層18から離脱して、落下させることができる。
このような平板状パネルPの着脱機構は、大気中で平板状パネルPを搬送する際などに適用することができる。以上のように構成された平板状パネルPの保持装置10によれば、弾性袋体12の他端側に貼着された保持剤層18により、平板状パネルPを接着ないしは粘着保持することができるとともに、弾性袋体12を拡径させて弾性変形させると、保持剤層18と弾性袋体12の接合面が低減し、平板状パネルPを保持剤層18から脱着させることができ、このような保持装置10は、構成が簡単で、平板状パネルPの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
〔実施例2〕
図2は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第2実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
図2は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第2実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置10aは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12aと、支持具14aと、固着剤16aと、保持剤層18aとを備えている。
弾性袋体12aは、本体20aと注排出口22aとを有していて、圧縮空気を注入することにより本体20aは、偏平な円盤状に形成され、その側に固着剤16aが配置され、下面側に保持剤層18aが貼着形成されている。
平板状パネルPは、保持剤層18aの下面側に接着ないしは粘着されることで保持されている。本実施例の場合、平板状パネルPを脱着させる際には、図2(B)に示すように、空気を弾性袋体12の本体20内から排出させて、弾性袋体12を収縮するように弾性変形させる。
このように操作すると、拡径した本体20aの周縁がパネルPから離間して、これに伴って、保持剤層18aと平板状パネルPの接合面が小さくなって、平板状パネルPの自重により、保持剤層18aから離脱して落下する。このように構成した平板状パネルPの保持装置10aによっても上記実施例と同等の作用効果が得られる。
〔実施例3〕
図3は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第3実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
図3は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第3実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置10bは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12bと、支持具14bと、固着剤16bと、保持剤層18bとを備えている。
本実施例の場合、支持具14bは、上記実施例1同様に、弾性袋体12bの本体20bとほぼ同じ大きさの剛性平板から形成されているとともに、外周縁には、周回する突起部24bが一体に形成されている。突起部24bは、本体20bを取付けると、その外周縁を取り囲むように形成されている。
また、支持具14bの内面側には、着脱可能な交換板26bが配置されており、この交換板26bに固着剤16bが固着されている。このように構成した保持装置10bでは、上記実施例1と同様に、弾性袋体12bを拡径することにより、平板状パネルPを保持剤層18bから脱着させることになるが、この際に、弾性袋体12bの本体20bが、平板状パネルPと反対側に拡径することを、突起部24bにより抑制することができる。
このため、弾性袋体12bに空気を注入して、本体20bを拡径させると、弾性変形が保持剤層18b側でのみ大きくなって、確実に平板状パネルPを脱着させることができる。
なお、弾性袋体12bの拡径方向を規制する手段は、支持具14bに突起部24bを設けること以外に、例えば、本体20bの厚みを、上下面で異ならせて、保持剤層18b側がより薄くなるようにしても良い。
また、確実に平板状パネルPを脱着させるための手段としては、例えば、弾性袋体12bに関して、支持具14b側の固着力と保持剤層18bのパネルPに対する保持力とが異なるようにし、固着力の方が保持力よりも大きくなるように設定することも有効である。以上の各手段は、2以上を組合わせることも有効である。
さらに、本実施例の場合には、弾性袋体12bが劣化した場合に、交換板26bを取外して、簡単に取り替えることができる。
〔実施例4〕
図4は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第4実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
図4は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第4実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置10cは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12cと、支持具14cと、固着剤16cと、保持剤層18cとを備えている。
本実施例の場合にも、支持具14cの内側に交換板26cが配置されていて、この交換板26cに固着剤16cが固着されている。交換板26cは、支持具14cにボルトナットで取付けられていて、取外し可能になっている。このように構成した保持装置10cによれば、弾性袋体12cが劣化した場合に、交換板26cを取外して、簡単に取り替えることができる。
〔実施例5〕 図5は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第5実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置10dは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体12dと、支持具14dと、固着剤16dと、保持剤層18dとを備えている。
本実施例の場合、2個の弾性袋体12dは、一方の注排出口22dが、他方の本体20dと連通接続されていて、これらが直列接続されている。また、注排出口22dには、コネクタ28dを介して、空気の供給装置30dを接続し、各弾性袋体12d内には、圧力センサー32dを配置している。
圧力センサー32dの検出信号は、制御装置34dに入力されている。制御装置34dは、圧力センサー32dの検出値を受けて、各弾性袋体12dの拡径ないしは収縮を制御する。
この場合、平板状パネルPを保持させる際には、図5に示すように、弾性袋体12dがある程度拡径した状態を維持するとともに、弾性袋体12dを拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、平板状パネルPを保持剤層18dから脱着させることができ、図1と図2に示した実施例の機能を、同じ構成で持たせることができる。
さらに、本実施例の場合には、弾性袋体12dは、平板状パネルPを減圧雰囲気下で保持させる際に、制御装置34dにより、弾性袋体12dが減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することができるので、大気中でのパネルPの搬送以外に、真空などの減圧雰囲気下でも、平板状パネルPの保持と脱着とを安定して行うことができ、例えば、パネル同士の貼り合せにおいても適用することができる。
〔実施例6〕
図6は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第6〜8実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
図6は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第6〜8実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した実施例は、弾性袋体12e〜12gに貼着する保持剤層18e〜18gの変形例である。図6(A)に示した第6実施例では、弾性袋体12eに形成する保持剤層18eは、偏平な本体20eの下面の全面に貼着形成されている。
〔実施例7〕
また、図6(B)に示した第7実施例では、弾性袋体12fに形成する保持剤層18fは、偏平な本体20fの下面に、所定の間隔を隔てて帯状に複数列貼着形成されている。
また、図6(B)に示した第7実施例では、弾性袋体12fに形成する保持剤層18fは、偏平な本体20fの下面に、所定の間隔を隔てて帯状に複数列貼着形成されている。
〔実施例8〕
さらに、図6(C)に示した第8実施例では、弾性袋体12gに形成する保持剤層18gは、偏平な本体20gの下面に、所定の直径の円形の小面積のものが、複数散在させるように貼着形成している。
さらに、図6(C)に示した第8実施例では、弾性袋体12gに形成する保持剤層18gは、偏平な本体20gの下面に、所定の直径の円形の小面積のものが、複数散在させるように貼着形成している。
このような保持剤層18e〜18gは、いずれか1つを選択することができ、これによれば、平板状パネルPに対する接着ないしは粘着力を容易にコントロールすることができる。
なお、上記実施例では、2個の弾性袋体12を用いる保持装置を例示したが、本発明の実施はこれに限られることはなく、例えば、保持対象の平板状パネルPの大きさに応じて数量を任意に選択することができる。
〔実施例9〕
図7および図8は、本発明に係る平板状パネルの保持装置の第9実施例を示している。
図7および図8は、本発明に係る平板状パネルの保持装置の第9実施例を示している。
この図に示した平板状パネルの保持装置50は、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性部材52と、支持部材54と、保持剤層58とを備えている。
弾性部材52は、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料から、例えば、円盤状に形成され、所定厚みの平板状の平坦部60と、平坦部60の周縁に起立形成されたフランジ部62とを備え、フランジ部62の内端側には、環状の突起64が設けられている。
支持部材54は、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、弾性部材52の外周縁を気密ないしは液密状態に固定支持している。本実施例の固定支持状態は、支持部材54の側面にフランジ部62を嵌着すると共に、支持部材54の厚み方向の外周に環状の凹溝66を形成し、この凹溝66内に、弾性部材52の突起64を嵌着することで固定支持している。
また、支持部材54の内部には、通路68が設けられている。この通路68は、一端側が支持部材54の上面に開口し、他端側が弾性部材54の平坦部60と支持部材54の下面とが接触する部分に開口している。
保持剤層58は、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性部材52の平坦面60の下面側に貼付されており、保持剤層58の下面側には、平板状パネルPが接着ないしは粘着保持される。
平板状パネルPを保持剤層58に接着ないしは粘着させた後に、パネルPを脱着させる際には、図8に示すように、例えば、空気を通路68を介して、弾性部材52の平坦部60と支持部材54の下面との間に注入すると、弾性部材52の平坦部60が、膨出するように弾性変形し、これに伴って、膨出変形した平坦部60の周縁がパネルPから離間して、その結果、保持剤層58と平板状パネルPの接合面が小さくなって、平板状パネルPの自重により、保持剤層58から離脱して、落下させることができる。
このような平板状パネルPの着脱機構は、上記実施例と同様に、大気中で平板状パネルPを搬送する際などに適用することができ、本実施例の保持装置50によれば、上記実施例と同様に、構成が簡単で、平板状パネルPの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
なお、この実施例では、支持部材54による弾性部材52の支持は、突起64を凹溝66内に嵌着することで行っているが、これに加えて接着剤などで固着する構成を併用してもよい。また、以下の実施例においも同じであるが、パネルPは、流体注入により弾性部材52をある程度膨出変形させた状態で保持させておいて、流体を排出することにより、弾性部材52を収縮させて、パネルPを離脱することもできる。
〔実施例10〕
図9は、本発明に係る保持装置の第10実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図9は、本発明に係る保持装置の第10実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54aによる弾性部材52aの支持構造の変形例であって、弾性部材52aは、上記実施例と同様に平坦部60aとフランジ部62aとを備えている。本実施例の場合、実施例9の突起64に代えて、フランジ部62aの上端には、環状のL字状部70aが設けられている。
一方、支持部材54aには、通路68aと、上面側に環状の凹溝72aが設けられている。そして、環状凹溝72a内には、弾性部材52aのL字状部70aの先端側が嵌着固定されている。この嵌着状態においては、弾性部材52aのフランジ部62aの内面が、支持部材54aの側面に密着するようになっている。
このように構成した支持装置50aによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材52aと支持部材54aとの密着部分が大きくなるので、弾性部材52aをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
〔実施例11〕
図10は、本発明に係る保持装置の第11実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図10は、本発明に係る保持装置の第11実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54bによる弾性部材52bの支持構造の変形例であって、弾性部材52bは、上記実施例と同様に平坦部60bとフランジ部62bと、突起64bとを備えている。本実施例の場合、フランジ部62bの上端には、環状の内方延設部74bが設けられている。
一方、支持部材54bには、通路68bと、外周面に環状の凹溝66bが設けられている。そして、環状凹溝66b内には、弾性部材52bの突起64bが嵌着固定されている。この嵌着状態において、弾性部材52bの延設部74bが、支持部材54bの上側面に密着するようになっている。
このように構成した支持装置50bによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材52bと支持部材54bとの密着嵌合部分が大きくなるので、弾性部材52bをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
〔実施例12〕
図11は、本発明に係る保持装置の第12実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図11は、本発明に係る保持装置の第12実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54cによる弾性部材52cの支持構造の変形例であって、弾性部材52cは、上記実施例と同様に平坦部60cとフランジ部62cと、突起64cとを備えている。本実施例の場合、フランジ部62cの上端には、環状のL字状部70cが設けられている。
一方、支持部材54cには、通路68cと、外周面に環状の凹溝66cが設けられているとともに、上面にも環状の凹溝72cが設けられている。そして、環状凹溝66c内には、弾性部材52cの突起64cが嵌着固定され、凹溝72cには、L字状部70cの先端が嵌着固定されている。
このように構成した支持装置50cによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材52cと支持部材54cとの嵌合および密着部分がより一層大きくなるので、弾性部材52cをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
〔実施例13〕
図12は、本発明に係る保持装置の第13実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図12は、本発明に係る保持装置の第13実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54dによる弾性部材52dの固定支持構造の変形例であって、弾性部材52dは、上記実施例と同様に平坦部60dとフランジ部62dとを備えている。一方、支持部材54dには、通路68dが設けられている。そして、フランジ部62dは、支持部材54dの外周面に嵌着されており、この状態で、フランジ部62dの外周面には、リング状の金具76dが締め付けるようにして装着されている。
このように構成した支持装置50dによれば、上記実施例の作用効果に加えて、金具76dによりフランジ部62dが締結されるので、弾性部材52dと支持部材54dとの嵌合および密着部分がより一層大きくなるので、弾性部材52dをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
〔実施例14〕
図13は、本発明に係る保持装置の第14実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図13は、本発明に係る保持装置の第14実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54eによる弾性部材52eの固定支持構造の変形例であって、弾性部材52eは、上記実施例と同様に平坦部60eとフランジ部62eと、延設部74eとを備えている。一方、支持部材54eには、通路68eが設けられている。そして、フランジ部62eは、支持部材54dの外周面に嵌着されており、この状態で、フランジ部62eの外周面には、リング状の金具76eが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置50eによれば、上記実施例13と同等の作用効果が得られる。
〔実施例15〕
図14は、本発明に係る保持装置の第15実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図14は、本発明に係る保持装置の第15実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54fによる弾性部材52fの固定支持構造の変形例であって、弾性部材52fは、上記実施例と同様に平坦部60fとフランジ部62fとを備えており、フランジ部62fの外面には、環状の凹溝78fが設けられている。一方、支持部材54fには、通路68fが設けられている。そして、フランジ部62fは、支持部材54fの外周側面に嵌着されており、この状態で、凹溝78f内には、リング状の金具76fが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置50fによれば、上記実施例14と同等の作用効果が得られる。
〔実施例16〕
図15は、本発明に係る保持装置の第16実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図15は、本発明に係る保持装置の第16実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
同図に示した実施例では、上記実施例9における支持部材54gによる弾性部材52gの固定支持構造の変形例であって、弾性部材52gは、上記実施例と同様に平坦部60gとフランジ部62gと、延設部74gとを備えており、フランジ部62gの外面には、環状の凹溝78gが設けられている。一方、支持部材54gには、通路68gが設けられている。そして、フランジ部62gは、支持部材54gの側面外周に嵌着されており、この状態で、凹溝78g内には、リング状の金具76gが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置50gによれば、上記実施例15と同等の作用効果が得られる。
〔実施例17〕
図16は、本発明に係る保持装置の第17実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図16は、本発明に係る保持装置の第17実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置50hは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性部材52hと、支持部材54hと、保持剤層58hとを備えている。
弾性部材52hは、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料から形成され、所定厚みの平板状に形成されている。この弾性部材52hには、支持部材54hと接触する側の面に、複数の凹部80hが設けられていて、凹部80hが設けられた個所には、肉厚が薄い薄肉部82hが複数設けられている。
弾性部材52hは、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料から形成され、所定厚みの平板状に形成されている。この弾性部材52hには、支持部材54hと接触する側の面に、複数の凹部80hが設けられていて、凹部80hが設けられた個所には、肉厚が薄い薄肉部82hが複数設けられている。
この凹部80hは、図示した例では、概略U字断面となっているが、角型断面や、V字状断面であってもよい。また、凹部80hは、独立したものを散在的に配置してもよいし、同心状などの溝形態であってもよい。
支持部材54hは、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、弾性部材52hの下面側を接着することにより固定支持しており、その内部には、空気などの流体の供給通路68hが設けられており、通路68hの一端は、凹部80内と連通している。
支持部材54hは、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、弾性部材52hの下面側を接着することにより固定支持しており、その内部には、空気などの流体の供給通路68hが設けられており、通路68hの一端は、凹部80内と連通している。
保持剤層58hは、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性部材52hの上面側に貼付されており、その上面側には、平板状パネルPが接着ないしは粘着保持される。
平板状パネルPを保持剤層58hに接着ないしは粘着させた後に、パネルPを脱着させる際には、図16(B)に示すように、例えば、空気を通路68hを介して、各凹部80h内に注入すると、弾性部材52hの薄肉部82hが、膨出するように弾性変形し、これに伴って、パネルPが保持剤層58hから離間して、平板状パネルPの自重により、保持剤層58hから離脱して、落下させることができる。
このような平板状パネルPの着脱機構は、上記実施例と同様に、大気中で平板状パネルPを搬送する際などに適用することができ、本実施例の保持装置50hによれば、上記実施例と同様に、構成が簡単で、平板状パネルPの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
なお、この実施例では、支持部材54hによる弾性部材52hの支持は、接着ないしは粘着で行う場合を例示したが、これに代えて、上記実施例で示した嵌着固定構造を採用することもできる。
〔実施例18〕
図17は、本発明に係る保持装置の第18実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図17は、本発明に係る保持装置の第18実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置50iは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性部材52iと、支持部材54iと、保持剤層58iとを備えている。
弾性部材52iは、所定厚みに形成された肉厚平板部84iと、肉厚平板部84iに貫通形成された貫通孔86iと、薄肉平板部88iとを備えている。薄肉平板部88iは、パネルP側に配置され、その上面には、保持剤層58iが設けられている。支持部材54iには、流体の供給通路68iが設けられており、通路68hの一端は、貫通孔86i内と連通している。
平板状パネルPを保持剤層58iに接着ないしは粘着させた後に、パネルPを脱着させる際には、図17(B)に示すように、例えば、空気を通路68iを介して、各貫通孔86i内に注入すると、貫通孔86iに対向する個所の薄肉平板部88iが、部分的に外方に向けて膨出するように弾性変形し、これに伴って、パネルPが保持剤層58jから離間して、平板状パネルPの自重により、落下させることができる。本実施例の場合にも上記実施例と同等の作用効果が得られる。
〔実施例19〕
図18は、本発明に係る保持装置の第19実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図18は、本発明に係る保持装置の第19実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した平板状パネルの保持装置50jは、上記実施例と同様に、LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルPを着脱可能に保持するものであって、弾性部材52jと、支持部材54jと、保持剤層58jとを備えている。
弾性部材52jは、所定厚みに形成された肉厚平板部84jと、肉厚平板部84jに貫通形成された貫通孔86jと、薄肉平板部88jとを備えている。薄肉平板部88jは、支持部材54j側に配置されている、肉厚平板部84jの上面には、保持剤層58jが設けられている。支持部材54jには、流体の供給通路68jが設けられており、通路68jの一端は、貫通孔86iと対向する位置で開口している。
平板状パネルPを保持剤層58jに接着ないしは粘着させた後に、パネルPを脱着させる際には、図18(B)に示すように、例えば、空気を通路68jを介して注入すると、貫通孔86jに対向する個所の薄肉平板部88jが、貫通孔86j内に挿入されるようにして、外方に向けて膨出変形し、これに伴って、パネルPが保持剤層58jから離間して、平板状パネルPの自重により、落下させることができる。本実施例の場合にも上記実施例と同等の作用効果が得られる。
〔実施例20〕
図19は、本発明に係る保持装置の第20実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図19は、本発明に係る保持装置の第20実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した実施例では、弾性部材52kに設けるパネルPの保持剤層56kに工夫をしており、本実施例の場合には、保持剤層56kは、接着力ないしは粘着力が異なる複数が用いられていて、円盤状に形成された弾性部材52kの中心に、小円状の第1層90kが設けられ、この第1層90kの外側に第2層91kが同心円状に配置され、接着力ないしは粘着力は、第1層90kが第2層91kよりも大きくなるように設定されている。このような構成の保持剤層56kを用いると、弾性部材52kを膨出変形させた際に、第2層91kが早期にパネルPから離間し、面積の小さい第1層90kでパネルPを保持することになるが、第1層90kは、接着力ないしは粘着力が大きいので、パネルPを安定して支持することができる。
〔実施例21〕
図20は、本発明に係る保持装置の第21実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図20は、本発明に係る保持装置の第21実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した実施例では、弾性部材52lに設けるパネルPの保持剤層56lを小円状に形成し、小円状の保持剤層56lの密集度合いを変更することにより、接着力ないしは粘着力に強弱を設けるようにしている。図21に示した例では、中心部分に密集度の密な部分を設け、その周囲に密集度の粗な部分を放射状に配置しており、このような構成によっても、実施例20と同等の作用効果が得られる。
〔実施例22〕
図21は、本発明に係る保持装置の第22実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図21は、本発明に係る保持装置の第22実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した実施例では、弾性部材52mに設けるパネルPの保持剤層56mの貼付面積を変更することにより、保持力の調整をするものであって、同図に示した例では、弾性部材52mの中心部分に円形状の保持剤層56mを貼付しない領域を設けて、保持力の調整を行っている。
〔実施例23〕
図22〜図24は、本発明に係る保持装置の第23実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
図22〜図24は、本発明に係る保持装置の第23実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
この図に示した実施例では、円盤状の弾性部材52nの厚みを変更することにより、これを膨出変形させた際の変形形状を変化させるものであって、この例では、弾性部材52nの平端部60nの厚みが異ならせてある。すなわち、図22では、平坦部60nの外周縁側に環状の薄肉部が設けられている。
また、図23では、平坦部60nの外周縁に設けられた環状薄肉部が、図22の場合よりも幅が大きくなっている。さらに、図24では、平坦部60nの中心部に環状の薄肉部が形成されている。このような形状の弾性部材52nに同じ圧力状態の流体を注入すると、図22では、平坦部60nのほぼ全域が膨出変形し、図23では、図22よりも小さい面積が膨出変形し、図24では、中心部分だけを比較的狭い領域で膨出変形させることになる。このような構成を採用すると、パネルPが保持剤層56nから離脱する際の速度に変化をもたせることが可能になる。
本発明にかかる平板状パネルの保持装置は、安価で大型の設備も必要としないので、FPD産業に有効に活用することができる。
10,10a〜10d 保持装置
12,12a〜12d 弾性袋体
14,14a〜14d 支持具
16,16a〜16d 固着剤
18,18a〜18d 保持剤層
20,20a〜20d 本体
22,22a〜22d 注排出口
12,12a〜12d 弾性袋体
14,14a〜14d 支持具
16,16a〜16d 固着剤
18,18a〜18d 保持剤層
20,20a〜20d 本体
22,22a〜22d 注排出口
Claims (18)
- LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
気体や液体などの流体の注入,排出により拡径,収縮自在な弾性袋体と、
前記弾性袋体の一端側に固着される支持具と、
前記弾性袋体の他端側に貼着され、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。 - 前記支持具は、剛性平板から構成され、前記弾性袋体の前記平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮を規制するものであって、前記弾性袋体を直接ないしは交換板を介して固着することを特徴とする請求項1記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性袋体は、複数から構成され、複数の前記弾性袋体を直列接続することを特徴とする請求項1または2記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性袋体は、前記支持具側の固着力と前記保持剤層の保持力とが異なっていて、前記固着力の方が前記保持力よりも大きくなるように設定することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記保持剤層は、前記弾性袋体の表面に、全面に形成するか、または、所定の間隔を隔てて帯状に複数列形成するか、あるいは、円形の小面積のものを複数散在させるかの、いずれかから選択することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性袋体には、前記流体の供給装置と、前記弾性袋体内に設置される圧力センサーとを設置し、前記圧力センサーの検出値に基づいて、前記弾性袋体の拡径,収縮を制御する制御装置を設けることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性袋体は、前記平板状パネルを減圧雰囲気下で保持させる際には、前記制御装置により、前記弾性袋体が減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することを特徴とする請求項6記載の平板状パネルの保持装置。
- LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材の外周縁を気密ないしは液密状態に固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材と前記支持部材との間に、気体や液体などの流体を注入ないしは排出することにより、前記弾性部材が膨出ないしは収縮するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。 - 前記支持部材には、前記流体を前記弾性部材と前記支持部材との間に注入ないしは排出する通路が設けられていることを特徴とする請求項8記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性部材は、前記保持剤層が貼着される平坦部と、この平坦部の周縁に起立形成されたフランジ部とを備え、
前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着固定することを特徴とする請求項8または9記載の平板状パネルの保持装置。 - 前記フランジ部は、その内面側に、前記平坦部の側面ないしは上面に設けられた凹溝に嵌合する突起を有することを特徴とする請求項10記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性部材には、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着した状態で、前記フランジ部の外周面にリング状金具を締結することを特徴とする請求項10記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記弾性部材は、前記保持剤層が設けられる平坦部の厚みを変更することにより、前記弾性変形量を調整することを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項記載の平板状パネルの保持装置。
- LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、平板状に形成され、前記支持部材と接触する側の面に複数の凹部を設けて薄肉部が複数形成されており、
前記凹部内に前記流体を注入することにより、前記薄肉部を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。 - LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記パネルが配置される側の面に固着される薄肉平板部とを有し、
前記貫通孔内に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部の前記貫通孔と対向する個所を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。 - LCD,PDP,有機ELなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記保持部材が配置される側面に配置される薄肉平板部とを有し、
前記薄肉平板部と前記支持部材との間に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部を前記貫通孔内に挿入するようにして、膨出変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。 - 前記保持剤層は、接着ないしは粘着力に強弱を設けることを特徴とする請求項1から15のいずれか1項記載の平板状パネルの保持装置。
- 前記接着ないしは粘着力の強弱は、接着剤ないしは粘着剤の種類の変更、または、面積の変更、さらに、密集度により設定することを特徴とする請求項16記載の平板状パネルの保持装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005339131A JP2006273578A (ja) | 2005-03-03 | 2005-11-24 | 平板状パネルの保持装置 |
TW095103042A TW200633150A (en) | 2005-03-03 | 2006-01-26 | Holder of flat plate panel |
PCT/JP2006/303299 WO2006093024A1 (ja) | 2005-03-03 | 2006-02-23 | 平板状パネルの保持装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005059500 | 2005-03-03 | ||
JP2005339131A JP2006273578A (ja) | 2005-03-03 | 2005-11-24 | 平板状パネルの保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006273578A true JP2006273578A (ja) | 2006-10-12 |
Family
ID=36941058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005339131A Pending JP2006273578A (ja) | 2005-03-03 | 2005-11-24 | 平板状パネルの保持装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006273578A (ja) |
TW (1) | TW200633150A (ja) |
WO (1) | WO2006093024A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007073802A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 部品保持具 |
WO2008093408A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 粘着チャック装置 |
JP2009294638A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板合着装置{apparatusforattachingsubstrates} |
WO2010113485A1 (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 株式会社アルバック | 保持装置、搬送装置及び回転伝達装置 |
JP2011159936A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板保持具及びその製造方法 |
JP4903906B1 (ja) * | 2011-04-07 | 2012-03-28 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機 |
JP2012204709A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板保持用のパッドおよびそれを用いて半導体基板を搬送する方法 |
KR101728622B1 (ko) | 2014-09-05 | 2017-04-19 | 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 | 유기 발광 다이오드 디스플레이 디바이스 및 그 제조 방법 |
JP2018074120A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | 株式会社東京精密 | ウエハの搬送保持装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002313688A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Toshiba Corp | ウェーハ接着装置 |
JP2003078294A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装装置 |
-
2005
- 2005-11-24 JP JP2005339131A patent/JP2006273578A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-26 TW TW095103042A patent/TW200633150A/zh unknown
- 2006-02-23 WO PCT/JP2006/303299 patent/WO2006093024A1/ja active Application Filing
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007073802A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 部品保持具 |
JP4671817B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2011-04-20 | 信越ポリマー株式会社 | 部品保持具 |
WO2008093408A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 粘着チャック装置 |
TWI415777B (zh) * | 2007-01-31 | 2013-11-21 | Shinetsu Eng Co Ltd | Adhesive chuck device |
JP2009294638A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-17 | Advanced Display Process Engineering Co Ltd | 基板合着装置{apparatusforattachingsubstrates} |
CN102365726A (zh) * | 2009-03-31 | 2012-02-29 | 株式会社爱发科 | 保持装置、传送装置以及旋转传动装置 |
JP5268013B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-08-21 | 株式会社アルバック | 保持装置及び搬送装置 |
WO2010113485A1 (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 株式会社アルバック | 保持装置、搬送装置及び回転伝達装置 |
JP2011159936A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-18 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板保持具及びその製造方法 |
JP2012204709A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板保持用のパッドおよびそれを用いて半導体基板を搬送する方法 |
JP4903906B1 (ja) * | 2011-04-07 | 2012-03-28 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク粘着チャック装置及びワーク貼り合わせ機 |
KR20120115102A (ko) * | 2011-04-07 | 2012-10-17 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 워크 점착 척 장치 및 워크 접합기 |
KR101930959B1 (ko) * | 2011-04-07 | 2018-12-19 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 워크 점착 척 장치 및 워크 접합기 |
KR101728622B1 (ko) | 2014-09-05 | 2017-04-19 | 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드 | 유기 발광 다이오드 디스플레이 디바이스 및 그 제조 방법 |
JP2018074120A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | 株式会社東京精密 | ウエハの搬送保持装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200633150A (en) | 2006-09-16 |
WO2006093024A1 (ja) | 2006-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006273578A (ja) | 平板状パネルの保持装置 | |
KR101442305B1 (ko) | 고정 지그 및 작업물의 처리 방법 | |
US8691043B2 (en) | Substrate lamination system and method | |
JP4125776B1 (ja) | 粘着チャック装置 | |
US20090120585A1 (en) | Substrate lamination system and method | |
JP2011192859A (ja) | テープ貼付装置及びテープ貼付方法 | |
KR20190063454A (ko) | 마이크로 소자 전사용 캐리어 필름 | |
JP6627243B2 (ja) | 基板の処理方法、及び基板の成膜方法 | |
JP2006310338A (ja) | ウェハー用真空テープ貼付装置 | |
JP2006215487A (ja) | ペリクル | |
JP2016018996A (ja) | 支持チャック及び基板処理装置 | |
JP5464859B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
KR102093991B1 (ko) | 고무 탄성체 다이아프램 타입 정전척 및 그 제조방법 | |
JP2010103287A (ja) | 半導体ウエハの支持具及び支持装置 | |
KR20120054002A (ko) | 기판합착장치 | |
US8714611B2 (en) | Handling device for handling of a wafer | |
CN201154988Y (zh) | 硅片单面漂浮腐蚀装置 | |
US6733623B2 (en) | Apparatus and method for adhering a flexible film to a ventilated platen without air entrapment | |
JP5147592B2 (ja) | 保持治具の搬送容器 | |
JP4907302B2 (ja) | 半導体ウエハの研削装置 | |
JP4594358B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US7422651B2 (en) | Apparatus and method for handling membranes | |
US20210229297A1 (en) | Conveying hand | |
JP2915341B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
JPH07179286A (ja) | 紙袋吸着吊具およびその製作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A975 | Report on accelerated examination |
Effective date: 20060628 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060718 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061121 |