KR20120115102A

KR20120115102A - 워크 점착 척 장치 및 워크 접합기

Info

Publication number: KR20120115102A
Application number: KR1020120033897A
Authority: KR
Inventors: 요시카즈 오타니
Original assignee: 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2011-04-07
Filing date: 2012-04-02
Publication date: 2012-10-17
Also published as: KR101930959B1; JP4903906B1; JP2012222118A

Abstract

본 발명의 워크 점착 척 장치는, 판형 워크에 대한 가동막의 가압 분포를 균등화해 판형 워크의 부분적인 변형을 방지한다.
이 워크 점착 척 장치에서는, 가동막(2)에, 지지 부재(3)의 통로(3a)와 대향하는 두꺼운 판형부(2a)와, 통로(3a)를 둘러싸는 표면 부위(3b1)와 대향하는 얇은 변형 가능부(2b)를 각각 형성하고, 통로(3a)로부터의 유체로 변형 가능부(2b)를 판형 워크(W)를 향하여 변형시키는 것에 의해, 강성이 높은 두꺼운 판형부(2a)가 형상 유지되면서 평행이동하며, 판형 워크(W)에 대한 가동막(2)의 압압력이 분산되어, 판형 워크(W)의 일부에 집중되어 하중이 걸리는 일 없이, 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)가 박리된다.

Description

워크 점착 척 장치 및 워크 접합기{CHUCK DEVICE FOR ADHERING WORKPIECE AND WORKPIECE BONDING MACHINE}

본 발명은, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 유기 EL디스플레이(OLED)나 플라즈마 디스플레이(PDP)나 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 제조 과정에 있어서, CF 유리나 TFT 유리 등의 유리제 기판이나 또는 PES(Poly-Ether-Sulfone) 등의 플라스틱 필름 등으로 이루어진 합성 수지제 기판 등의 판형 워크를 점착 지지해 접합하는 기판 접합기를 포함한 기판 조립 장치나, 이러한 기판 등의 절연체, 전도체 또는 반도체 웨이퍼 등의 워크(피처리체)를 반송하는 기판 반송 장치 등에 이용되는 워크 점착 척 장치와, 이 워크 점착 척 장치를 구비한 워크 접합기에 관한 것이다.

종래, 이런 종류의 워크 점착 척 장치 및 워크 접합기로서는, 제1 정반(定盤)에 안착하는 제1 기판을, 점착력을 이용해 고정시키는 점착 고무와, 상기 제1 기판이 상기 점착 고무로부터 이탈되도록 상기 점착력과 반대되는 방향의 힘을 유도하는 점착 해제 장치를 포함하고, 상기 점착 해제 장치는, 상기 제1 정반에 구비된 오목부에 설치되고, 상기 제1 기판의 부착면 방향으로 가열 팽창해 상기 제1 기판을 이탈시키는 가열 팽창부로 구성되며, 상기 가열 팽창부는, 상기 점착 고무에 부착된 상기 제1 기판의 부착면측으로 팽창되는 팽창 부재와, 상기 팽창 부재가 설치되어 밀폐 공간을 형성하는 하우징과, 상기 팽창 부재가 팽창되도록 상기 하우징 내부의 에어를 가열하기 위한 가열부를 포함하며, 상기 하우징에는, 상기 팽창 부재의 수축시에 지지해 복귀할 때의 변형을 방지하기 위한 지지 부재가 구비되는 기판 접합 장치가 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

그리고, 상기 팽창 부재는, 상기 지지 부재의 표면을 따라 설치된 다이어프램으로 구성되며, 상기 가열부를 구성하는 열선으로 상기 하우징 내부의 에어를 가열하여, 상기 지지 부재의 중앙에 뚫린 통로로부터 상기 다이어프램의 중앙부를 향해 분출시키는 것에 의해, 상기 다이어프램이 단면 원호 형상으로 팽창 변형되어, 상기 제1 기판을 압압해 점착 고무로부터 이탈시켜, 그 하방에 위치하는 제2 정반에 안착된 제2 기판과 접합시키고 있다.

일본 공개 특허 공보 제2010－126342호(도 1?도 5, 도 6?도 8)

그러나, 이러한 종래의 워크 점착 척 장치 및 워크 접합기에서는, 지지 부재의 통로로부터의 압력에 의해 다이어프램의 중앙부를 단면 원호 형상으로 팽창 변형시켜서 기판을 점착 고무로부터 떼어내기 때문에, 다이어프램에 의한 압압력(하중)이 기판의 일부, 특히 지지 부재의 통로와 대향하는 바로 아래 부분에만 걸려 버린다. 이로 인해, 다이어프램에 압압되는 부분에 있어서의 국부적인 가압 불균일에 의해, 기판의 집중 하중 부위만이 짓눌려 변형되어, 예를 들면 기판 사이에 끼워지는 시일재나 액정 디바이스 등이 원래의 평활한 형상으로 복원 불가능해져, 국부적인 가압 불균일에 의한 데미지가 계속 남는 등, 폐해가 생긴다고 하는 문제가 있었다.

또한, 다이어프램이 지지 부재의 표면을 따라 설치되고, 점착 고무에 의한 기판의 점착 지지시에는 다이어프램이 기판을 향해 돌출하지 않도록 다이어프램의 이면을 지지 부재의 표면에 밀접시킬 필요가 있기 때문에, 다이어프램과 지지 부재의 재질에 따라서는, 이들의 대향면끼리가 부분적 또는 전체적으로 접합될 우려가 있다. 이러한 경우에는, 기판의 박리시에, 지지 부재의 표면으로부터 다이어프램의 이면의 일부만이 부분적으로 이격되어, 다이어프램이 일그러진 형상으로 팽창 변형되고, 이 때문에 점착 고무의 점착면으로부터 기판을 경사 방향으로 떼어내거나, 불균일한 박리 상태가 되는 경우가 있었다.

특히, 진공 상태로 기판을 점착 지지하려면, 다이어프램을 지지 부재측으로부터 진공 흡인해 양자를 강하게 밀접시킬 필요가 있기 때문에, 다이어프램의 이면을 지지 부재의 표면이 다시 부착하기가 쉬워져, 내압의 상승만으로 전면적으로 떼어내는 것이 곤란했다.

본 발명은, 이러한 문제에 대처하는 것을 과제로 하는 것으로, 판형 워크에 대한 가동막의 가압 분포를 균등화해 판형 워크의 부분적인 변형을 방지하는 것이 가능한 워크 점착 척 장치를 제공하는 것, 점착 지지된 제1 판형 워크를 제2 판형 워크와 평행하게 박리해 접합하는 것이 가능한 워크 접합기를 제공하는 것, 등을 목적으로 하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 의한 워크 점착 척 장치는, 판형 워크와 대향하도록 설치되어 그 판형 워크를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재와, 상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 변형되어 상기 점착 부재의 점착면으로부터 상기 판형 워크를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 가동막과, 상기 가동막의 배후에 설치되어 그 가동막을 상기 판형 워크를 향해 변형시키는 유체의 통로를 가진 지지 부재를 구비하며, 상기 가동막은, 상기 지지 부재의 통로와 대향하여 두꺼운 형상으로 형성되는 강성이 높은 판형부와, 상기 지지 부재의 상기 통로를 둘러싼 표면 부위와 대향하여 얇은 형상으로 형성되는 강성이 낮은 변형 가능부를 갖고, 상기 통로로부터의 유체로 상기 변형 가능부를 변형시켜 상기 판형부를 상기 판형 워크를 향해 평행이동시키도록 구성하며, 상기 가동막의 상기 판형부를 상기 지지 부재의 상기 표면을 향해 볼록 형상으로 형성하고, 상기 지지 부재의 상기 표면에 있어서 상기 판형부와 대향하는 부위를 오목 형상으로 형성하여, 그 오목 형상부에 대해서 상기 판형부를 상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 감합시킨 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 의한 워크 접합기는, 상기 워크 점착 척 장치를, 대향하는 한 쌍의 지지판 중 어느 한쪽 또는 양쪽 모두에 설치하고, 상기 워크 점착 척 장치로 상기 판형 워크를 점착 지지하면서 박리하여, 다른 하나의 판형 워크에 중첩하는 것을 특징으로 한다.

전술한 특징을 가진 본 발명에 의한 워크 점착 척 장치는, 가동막에, 지지 부재의 통로와 대향하는 두꺼운 판형부와, 통로를 둘러싼 표면 부위와 대향하는 얇은 변형 가능부를 각각 형성하고, 통로로부터의 유체로 변형 가능부를 판형 워크를 향해 변형시키는 것에 의해, 강성이 높은 두꺼운 판형부가 형상 유지되면서 평행이동하고, 판형 워크에 대한 가동막의 압압력이 분산되어, 판형 워크의 일부에 집중되어 하중이 걸리는 일 없이, 점착 부재의 점착면으로부터 판형 워크가 박리되기 때문에, 판형 워크에 대한 가동막의 가압 분포를 균등화해서 판형 워크의 부분적인 변형을 방지할 수 있다.

그 결과, 지지 부재의 통로로부터의 압력에 의해 다이어프램의 중앙부를 단면 원호 형상으로 팽창 변형시켜 기판을 점착 고무로부터 떼어내는 종래의 것에 비해, 가동막의 압압에 의한 국부적인 가압 불균일을 방지할 수 있고, 예를 들면 기판 사이에 끼워지는 시일재나 액정 디바이스 등의, 국부적인 가압 불균일에 의한 데미지를 경감시킬 수 있다.

또한, 가동막의 중앙부에 판형 강체부를 판형 워크와 대향하여 설치하는 것에 비해, 가동막의 팽창 변형에 따라 점착 부재로부터 판형 워크를 떼어낼 때에, 판형 강체부의 판형 워크의 일부에 하중이 집중되어 걸리는 일이 없기 때문에, 판형 워크가 유리제 기판이어도 균열을 방지할 수 있다.

또한 가동막의 판형부를 지지 부재의 표면을 향해서 볼록 형상으로 형성하고, 지지 부재의 표면에 있어서 판형부와 대향하는 중앙 부위를 오목 형상으로 형성하여 오목 형상부에 대해서 판형부를 판형 워크와 교차하는 Z방향으로 감합시켰기 때문에, 통로로부터의 유체로 가동막의 변형 가능부를 변형시키는 것에 의해, 판형부가 판형 워크를 향해서 평행이동하고, 지지 부재 표면의 오목 형상부로 출입하여, 판형 워크를 따른 XY방향으로의 위치 어긋남이 억제된다.

그에 따라, 가동막의 변형에 따른 판형부의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

그 결과, 지지 부재에 대해서 가동막이 올바르게 위치 결정되기 때문에, 판형 워크의 박리 방향의 정밀도를 높일 수 있어, 동작의 안정성, 경시적인 변형 및 수명의 개선을 도모할 수 있다.

또한, 전술한 특징을 가진 본 발명에 의한 워크 접합기는, 한쪽 지지판에 설치한 워크 점착 지지 장치의 점착 부재로 점착 지지되는 제1 판형 워크와, 다른쪽 지지판에 지지되는 제2 판형 워크를 서로 접근시켜, 워크 점착 지지 장치의 가동막으로 점착 부재로부터 제1 판형 워크를 박리하는 경우에, 가동막에 의한 압압력이 제1 판형 워크에 대해 분산되어, 제1 판형 워크의 일부에 집중되어 하중이 걸리는 일 없이, 점착 부재로부터 제1 판형 워크가 박리되기 때문에, 박리시에 있어서 제1 판형 워크에 발생하는 찌그러짐 변형이 최소한으로 억제되므로, 점착 지지된 제1 판형 워크를 제2 판형 워크와 평행하게 박리해 접합할 수 있다.

그 결과, 다이어프램에 의해 박리시에 발생한 제1 기판의 찌그러짐 변형이 접합 후에도 남는 종래의 것에 비해, 가동막의 압압에 의한 국부적인 가압 불균일을 방지할 수 있고, 예를 들면 기판 사이에 끼워지는 시일재나 액정 디바이스 등의, 국부적인 가압 불균일에 의한 데미지를 경감시킬 수 있다.

또한, 제1 판형 워크의 박리시에 있어서의 부분적인 정밀도 불량에 대한 영향을 적게 할 수 있으므로, 제1 판형 워크와 제2 판형 워크의 접합 정밀도가 향상되고, 생산성을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치를 나타내는 설명도이며, (a)가 워크 점착 지지시의 종단 정면도, (b)가 워크 박리시의 종단 정면도이다.
도 2는 도 1의 (a)의 저면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 접합기를 나타내는 축소 종단 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치의 가동막에 의한 압력 분포 시험을 나타내는 설명도이며, (a)가 시험기의 종단 정면도, (b)가 감압지에 의한 압력 분포 시험 결과를 나타내는 평면도이다.
도 5는 비교예의 가동막에 의한 압력 분포 시험을 나타내는 설명도이며, (a)가 시험기의 종단 정면도, (b)가 감압지에 의한 압력 분포 시험 결과를 나타내는 평면도이다.
도 6은 가동막에 판형 강체부를 설치한 워크 점착 척 장치를 나타내는 설명도이며, (a)가 워크 점착 지지시의 종단 정면도, (b)가 워크 박리시의 종단 정면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거해 상세하게 설명한다.

본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치 (A)는, 도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타내듯이, 판형 워크(W)와 대향하도록 설치되어 판형 워크(W)를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재(1)와, 판형 워크(W)와 교차(직교)하는 Z방향으로 변형되어 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 가동막(2)과, 가동막(2)의 배후에 설치되어 가동막(2)을 판형 워크(W)를 향해 변형시키는 유체의 통로(3a)를 가지는 지지 부재(3)를, 주요한 구성요소로서 구비하고 있다.

또한, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 접합기는, 도 3에 나타내듯이, 복수의 워크 점착 척 장치(A)를, 대향하는 한 쌍의 지지판(11, 11') 중 어느 한쪽이나 또는 양쪽 모두에 분산 배치하고, 워크 점착 척 장치(A)로 판형 워크(W)를 점착 지지하면서 박리하는 것에 의해, 다른 하나의 판형 워크(W')에 중첩하고 있다.

점착 부재(1)는, 판형 워크(W)와 대향하는 표면에 점착면(1a)을 갖는 판형 점착 부재이며, 적어도 점착면(1a) 또는 전체가, 예를 들면 불소 고무나 엘라스토머, 부틸 고무, 감광성 수지, 아크릴계나 실리콘계 등의 점착 재료로, 점착면(1a)이 탄성이 있는 면형상으로 형성되어 있다.

또한, 점착면(1a)에는, 예를 들면 엠보스 처리나 오목홈 등을 형성하여 전체적으로 탄성 변형되기 쉽게 하는 것에 의해, 판형 워크(W)에 대해서 용이하게 접착되도록 구성하는 것이 바람직하다.

가동막(2)은, 예를 들면 고무나 엘라스토머, 연질 합성수지 등의 탄성 변형 가능한 재료로, 점착 부재(1)의 점착면(1a)에서 점착 지지되는 판형 워크(W)에 대해서 접근 또는 이격하는 Z방향으로 변형 가능한 대략 평판 형상으로 형성되는 다이어프램이나 탄성막 등으로 이루어지고, 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3b)을 따라 표면(3b)과의 사이에 밀폐 공간을 구획 형성하도록 배치되어 있다.

가동막(2)의 제조 방법으로서는, 예를 들면 압축 성형(컴프레션 성형)이나 사출 성형(인젝션 성형) 등에 의해, 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3b) 및 측면(3c)을 따른 단면 대략 U자 형태로 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 가동막(2)은, 후술하는 지지 부재(3)의 통로(3a)와 대향하여 두꺼운 형상으로 형성되는 강성이 높은 판형부(2a)와, 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3b)에 있어서 통로(3a)를 둘러싼 외주 표면 부위(3b1)와 대향하여 얇은 형상으로 형성되는 강성이 낮은 변형 가능부(2b)를 가지고 있다.

판형부(2a)는, 가동막(2)의 중앙 부위에 후술하는 지지 부재(3)의 표면(3b)을 향해 볼록 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.

변형 가능부(2b)는, 판형부(2a)의 주위에 오목 형상으로 일체 형성하는 것이 바람직하다.

가동막(2)에 있어서 변형 가능부(2b)의 외주에는, 변형 가능부(2b)와 연속해서 두께 방향으로 연장되도록 형성되는 다리부(2c)와, 다리부(2c)로부터 외측을 향해 돌출하도록 형성되는 플랜지 형상의 장착 볼록부(2d)를 일체 형성하는 것이 바람직하다.

다리부(2c)는, 가동막(2)의 이면측을 향해, 후술하는 지지 부재(3)의 측면(3c)을 따라 원통형 또는 각통형으로 일체 형성된다.

장착 볼록부(2d)는, 다리부(2c)의 이면측 외면에 환형으로 돌출 형성되어 있다. 장착 볼록부(2d)와 반대측에서 후술하는 지지 부재(3)의 측면(3c)과 대향하는 내면에는, 환형의 결합 홈(2e)을 형성하는 것이 바람직하다.

지지 부재(3)는, 예를 들면 경질 합성 수지, 금속, 세라믹 등의 가동막(2)과 접합하기 어려운 재료로, 예를 들면 원형 또는 직사각형 등의 판형으로 형성되며, 그 중앙 부위에는, 가동막(2)과 대향하는 표면(3b)을 향해 통로(3a)가 뚫려 있다.

통로(3a)는, 가동막(2)의 변형 가능부(2b)를 탄성 변형시키기 위해서 예를 들면 압축 공기 등의 유체가, 예를 들면 컴프레서 등의 공급원으로부터 유체가 가동막(2)의 표면(3b)을 향해 공급되어, 다시 필요에 따라서 역방향으로 흡인된다.

통로(3a)의 직경은, 공급원으로부터 공급되는 유체의 유량과 가동막(2)의 변형량과의 관계로 설정된다. 가동막(2)은, 통로(3a)로의 유체 공급에 따라 생기는 가동막(2)의 일차측과 이차측의 압력차에 의해, 변형 가능부(2b)를 지지 부재(3)의 표면(3b)으로부터 멀어지는 방향으로 팽창 변형시켜, 판형부(2a)가 대략 평판 형상으로 형상 유지되면서 평행이동하도록 구성하고 있다.

지지 부재(3)의 표면(3b)에는, 가동막(2)의 판형부(2a)와 대향하는 중앙 부위가 오목 형상으로 형성되고, 이 오목 형상부(3b2)에 대해서 판형부(2a)를 판형 워크(W)와 교차(직교)하는 Z방향으로 감합시키는 것이 바람직하다.

지지 부재(3)의 측면(3c)에는, 가동막(2)의 환형의 결합 홈(2e)과 감합하는 환형의 결합 볼록부(3d)를 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 서로 대향하는 가동막(2)의 이면 또는 지지 부재(3)의 표면(3b) 중 어느 한쪽이나, 혹은 가동막(2)의 이면 및 지지 부재(3)의 표면(3b) 양쪽 모두에는, 통로(3a)를 중심으로 해서 방사 방향으로 연통되는 확산로(4)를 형성하는 것이 바람직하다.

도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타내는 예에서는, 가동막(2)의 판형부(2a) 및 지지 부재(3)의 오목 형상부(3b2)가 통로(3a)의 직경보다 크게 형성되고, 가동막(2)의 이면과 지지 부재(3)의 표면(3b)의 사이에는 간극을 형성하여, 지지 부재(3)의 표면(3b)에만 통로(3a)를 중심으로 하여 확산로(4)가 방사 형상으로 형성되어 있다.

또한, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 통로(3a)의 직경을 도시한 예보다 대직경으로 하여 가동막(2)의 판형부(2a)와 대략 같은 크기로 하거나, 가동막(2)의 이면과 지지 부재(3)의 표면(3b)을 접촉시키거나, 가동막(2)의 이면 및 지지 부재(3)의 표면(3b) 양쪽 모두에 확산로(4)를 형성하는 것도 가능하다. 그리고 또한, 확산로(4) 대신에, 지지 부재(3)에 다수의 통로(3a)를 뚫어, 각각의 통로(3a)에 동시에 구동 유체를 공급하거나, 확산로(4)를 형성하지 않고, 가동막(2)의 이면과 지지 부재(3)의 표면(3b)의 사이에 간극을 형성하거나, 혹은 접촉시키는 것도 가능하다.

그리고, 도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타내는 예에서는, 지지 부재(3)의 외주에, 가동막(2)에 일체 형성된 가동막(2)의 다리부(2c) 및 플랜지 형상의 장착 볼록부(2d)를 사이에 두고, 환형의 장착 부재(5)가 설치되어 있다.

환형의 장착 부재(5)는, 예를 들면 금속, 경질 합성 수지, 세라믹 등에 의해 지지 부재(3)의 두께와 대략 동일한 두께의 판형으로 형성되며, 그 중앙에는, 지지 부재(3)보다 큰 관통공이 뚫려 있고, 관통공의 내면(5i)에는, 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)를 사이에 두고 지지 부재(3)가 끼워 넣어진다.

또한, 장착 부재(5)는, 지지 부재(3)의 측면(3c)과의 사이에 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)를 끼워 넣도록 형성되는 계지(係止) 오목부(5a)와, 변형 가능부(2b)의 바깥 가장자리와 인접하며 점착 부재(1)가 장착되는 장착면(5b)을 가지고 있다.

계지 오목부(5a)는, 관통공의 내면(5i)에서 이면측에 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)와 대향하여 오목하게 마련되고, 계지 오목부(5a)와 장착 볼록부(2d)를 접촉시키는 것에 의해, 계지 오목부(5a)에 대해서 장착 볼록부(2d)가 변형 가능부(2b)의 팽창 변형 방향으로 이동 불가능하게 지지된다.

장착면(5b)은, 장착 부재(5)의 표측에 변형 가능부(2b)의 바깥 가장자리와 인접하여 오목하게 마련되고, 점착 부재(1)의 이면을 예를 들면 접착제 등으로 고착하는 것에 의해, 점착면(1a)이 가동막(2)의 표면, 구체적으로는 판형부(2a) 및 변형 가능부(2b)의 표면보다 약간 돌출되도록 배치되어 있다.

이러한 점착 부재(1), 가동막(2), 지지 부재(3) 및 장착 부재(5)는, 이들을 차례차례 조립함으로써 일체화된다. 그 구체적인 예를 설명한다.

먼저, 장착 부재(5)에 있어서의 관통공의 내면(5i) 및 계지 오목부(5a)와, 가동막(2)의 다리부(2c) 및 장착 볼록부(2d)를, 접착제 등에 의해 고착해 일체화하거나, 관통공의 내면(5i) 및 계지 오목부(5a)를 따라, 가동막(2)을 압축 성형이나 사출 성형 등의 몰드 형성에 의해 일체화한다.

이때, 관통공의 내면(5i) 및 계지 오목부(5a)와 가동막(2)의 다리부(2c) 및 장착 볼록부(2d)와의 접착 강도를 높이기 위해서, 장착 부재(5) 및 가동막(2)의 대향면에 있어서 그 어느 한쪽 또는 양쪽 모두를 샌드블라스트 등으로 조면(粗面)으로 형성하는 것이 바람직하다.

그 후 공정에서, 장착 부재(5)와 일체화된 가동막(2) 내로, 지지 부재(3)를 끼워 넣어, 그 결합 볼록부(3d)가 가동막(2)의 결합 홈(2e)과 감합하는 것에 의해, 장착 부재(5) 및 가동막(2)에 지지 부재(3)가 일체화된다.

또한, 장착 부재(5)의 장착면(5b)에는, 점착 부재(1)의 이면을 접착제 등에 의해 고착해 일체화하여, 워크 점착 척 장치(A)가 된다.

이와 같이 조립된 워크 점착 척 장치(A)는, 예를 들면 정반 등으로 이루어지는 지지판(11)에 대해, 점착면(1a)에서 점착 지지되는 판형 워크(W)와 대향하도록 분산되어 다수 배치된다.

도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타내는 예에서는, 장착 부재(5)의 외주 부분에 뚫린 장착 구멍(5c)에, 예를 들면 볼트 등의 고정 수단(6)을 삽입 통과해 지지판(11)에 고정하는 것에 의해, 지지판(11)에 대해 장착 부재(5)가 착탈 가능하게 장착되어 있다.

또한, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 지지판(11)에 대한 장착 부재(5)의 고정 수단(6)으로서, 볼트 대신에 다른 고착 수단 등을 이용하는 것도 가능하다.

또한, 가동막(2)에 의한 점착면(1a)으로부터의 판형 워크(W)의 박리 동작에 대해 그 구체적인 예를 들면, 점착 부재(1)에 의한 판형 워크(W)의 점착 지지시에는, 도 1의 (a)에 나타내듯이, 통로(3a)로의 유체의 공급이 정지되거나, 또는 통로(3a)로부터 흡인되어, 가동막(2)의 변형 가능부(2b)가 수축 변형되고, 판형부(2a)의 이면이 지지 부재(3)의 표면(3b)과 접근 또는 접하도록 점착면(1a)보다 오목하게 배치된다. 이에 의해, 점착면(1a)에서 점착 지지된 판형 워크(W)에 박리력을 작용시키지 않고 대기하고 있다.

판형 워크(W)의 박리시에는, 도 1의 (b)에 나타내듯이, 통로(3a)에 유체가 공급되고, 이에 따라 생기는 가동막(2)의 일차측과 이차측의 압력차에 의해, 변형 가능부(2b)가 지지 부재(3)의 표면(3b)으로부터 멀어지는 방향으로 팽창 변형되어, 판형부(2a)가 대략 평판 형상으로 형상 유지되면서 평행이동한다. 이에 의해, 판형부(2a)의 표면이 판형 워크(W)에 접촉해 압압되어 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)를 강제적으로 박리한다.

이러한 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)에 의하면, 통로(3a)로부터의 유체로 변형 가능부(2b)를 판형 워크(W)를 향하여 팽창 변형시키는 것에 의해, 강성이 높은 두꺼운 판형부(2a)가 대략 평판 형상으로 형상 유지되면서 평행이동하고, 판형 워크(W)에 대한 가동막(2)의 압압력이 분산되어, 판형 워크(W)의 일부에 집중되어 하중이 걸리는 일 없이, 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 판형 워크(W)가 박리된다.

따라서, 판형 워크(W)에 대한 가동막(2)의 가압 분포를 균등화해 판형 워크(W)의 부분적인 변형을 방지할 수 있다.

이러한 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)가 가지는 이점을 보충하기 위해서 이하와 같은 실험을 실시했다.

도 4의 (a)에 나타내는 것 같은 판형부(2a)와 변형 가능부(2b)를 갖는 가동막(2)이 구비된 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)와, 도 5의 (a)에 나타내는 것 같은 대략 균등한 두께의 가동막(2')을 잦는 비교 장치(A')를 준비하고, 이들 장치(A, A')를 동일한 조건으로 판형 워크(W)의 박리시험을 행하여, 가동막(2, 2')의 압압에 의해 판형 워크(W)에 발생하는 국부적인 가압 불균일을 조사했다.

비교 장치(A')는, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)의 가동막(2)만이 상이하고, 그 이외의 구성은 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)와 동일한 것이다.

가동막(2, 2')의 압압에 의한 국부적인 가압 불균일을 조사하는 방법으로서는, 정반(B, B') 상에 유리 기판(C, C')을 사이에 두고 예를 들면 압력 측정 필름 등의 감압지(D, D')를 배치하고, 점착 부재(1, 1')의 점착면(1a, 1a')으로부터 판형 워크(W)를 박리해 감압지(D)에 압압하는 것에 의해, 판형 워크(W)로부터의 압압력에 따라 감압지(D, D')가 발색(發色)되어, 판형 워크(W)에 걸리는 압력 분포가 농담(濃淡)으로 나타나도록 하고 있다.

도 4의 (a)에 도시된 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)의 가동막(2)에서 박리된 판형 워크(W)에 의한 감압지(D)의 압력 분포 상태를 도 4의 (b)에 나타내고 있다.

도 5의 (a)에 도시된 비교 장치(A')의 가동막(2')에서 박리된 판형 워크(W)에 의한 감압지(D)의 압력 분포 상태를 도 5의 (b)에 나타내고 있다.

또한, 판형 워크(W)로서는, 액정 유리에 사용되는 두께(t)가 0.5 ㎜인 무알칼리 유리를 사용했다.

실험의 결과로서, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)의 가동막(2)은, 도 4의 (a)의 2점 쇄선으로 도시된 바와 같이, 통로(3a)로부터의 유체로 변형 가능부(2b)가 팽창 변형하여, 강성이 높은 두꺼운 판형부(2a)가 대략 평판 형상으로 형상 유지되면서 평행이동하기 때문에, 도 4의 (b)에 도시된 감압지(D)의 압력 분포 상태는, 통로(3a)에 대향하는 중앙 개소(D1)가, 통로(3a)보다 큰 판형부(2a)와 거의 동일한 크기의 대략 원형으로 진하게 발색되고, 변형 가능부(2b)의 중앙측 부위와 대향하는 외측 개소(D2)가, 판형부(2a)보다 큰 대략 원형으로 얇게 발색되어 있다.

이에 비해, 비교 장치(A')의 가동막(2')은, 도 5의 (a)의 2점 쇄선으로 도시된 바와 같이, 통로(3a')로부터의 유체의 분출에 따라, 통로(3a')와 대향하는 중앙 부위가 최초로 팽창 변형되어, 거기서부터 서서히 방사 방향으로 팽창 변형되기 때문에, 도 5의 (b)에 나타내는 감압지(D')의 압력 분포 상태는, 통로(3a')에 대향하는 중앙 개소(D1')가, 통로(3a')와 거의 같은 크기의 대략 원형으로 가장 진하게 발색되고, 중앙 개소(D1')의 외측 개소(D2')가, 통로(3a')보다 큰 대략 원형으로 진하게 발색되며, 가장 외측의 개소(D3')가, 외측 개소(D2')보다 큰 대략 원형으로 얇게 발색되어 있다.

따라서, 이들 감압지(D, D1')의 압력 분포 상태를 보면, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)의 가동막(2) 쪽이, 비교 장치(A')의 가동막(2)에 비해, 판형 워크(W)에 대한 가동막(2)의 가압 분포가 균등화되어, 이에 의해 판형 워크(W)의 부분적인 변형을 방지할 수 있다는 것을 용이하게 이해할 수 있다.

또한, 그 외의 가동막 구조로서, 도 6의 (a), (b)에 나타내듯이, 판형 워크(W")와 대향하여 가동막(2")의 중앙부에 판형 강체부(2r")를 설치하고, 가동막(2")의 배후에 형성되는 일차측 공간(3f")의 압력 상승으로, 가동막(2")을 판형 워크(W")를 향해 팽창 변형하여 판형 강체부(2r")를 판형 워크(W")에 면 접촉시키는 것에 의해, 점착 부재(1")로부터 판형 워크(W")를 떼어내는 것을 고려할 수 있다.

그러나, 이 경우에는, 점착 부재(1")에서 점착 지지된 판형 워크(W")를, 가동막(2")의 팽창에 의해 판형 강체부(2")에서 박리 방향으로 압압하면, 판형 워크(W")에 있어서 판형 강체부(2r")의 주연부(2s")와 대향하는 부위(W1")가 절곡되어, 이 굴곡 부위(W1")에 판형 강체부(2r")의 주연부(2s")가 끼어 들어가기 때문에, 가동막(2")의 팽창 변형에 의한 압압 하중이 집중되어 걸려, 특히 판형 워크(W")가 유리제 기판 등인 경우에는 균열될 우려가 있다는 문제가 있었다.

이에 비해, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)는, 도 1의 (b)에 나타내듯이, 가동막(2)의 변형에 의해 판형 워크(W)를 점착 부재(1)의 점착면(1a)으로부터 강제적으로 박리할 때에, 가동막(2)에 있어서 얇은 변형 가능부(2b)가 판형 워크(W)로부터 서서히 멀어지도록 굴곡 변형되기 때문에, 가동막(2)의 팽창 변형에 의한 압압 하중이 분산되어, 특히 판형 워크(W)가 유리제 기판이더라도 균열을 방지할 수 있다.

또한, 가동막(2)에 두꺼운 판형부(2a) 및 얇은 변형 가능부(2b)가 일체 형성 가능해지기 때문에, 도 6의 (a), (b)에 나타내는 것에 비해, 부품 개수가 적고 신뢰성이 높아지고, 부재끼리를 접합할 필요가 없기 때문에, 가동막(2)을 변형시키는 유체가 빠져나올 우려도 없어, 기밀성이 유지된다. 이에 의해, 저비용이고 또한 작동성이 뛰어난 가동막(2)을 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)가, 도 1의 (a), (b) 및 도 2에 나타내듯이, 가동막(2)의 판형부(2a)를 지지 부재(3)의 표면(3b)을 향하여 볼록 형상으로 형성하고, 지지 부재(3)의 표면(3b)에 있어서 판형부(2a)와 대향하는 중앙 부위를 오목 형상으로 형성하며, 오목 형상부(3b2)에 대해서 판형부(2a)를 판형 워크(W)와 교차하는 Z방향으로 감합시킨 경우에는, 통로(3a)로부터의 유체로 가동막(2)의 변형 가능부(2b)를 변형시키는 것에 의해, 판형부(2a)가 판형 워크(W)를 향하여 평행이동하고, 지지 부재(3)의 표면(3b)의 오목 형상부(3b2)에 출입하여, 판형 워크(W)를 따른 XY방향으로의 위치 어긋남이 억제된다.

이에 의해, 가동막(2)의 변형에 따른 판형부(2a)의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

그 결과, 지지 부재(3)에 대해서 가동막(2)이 올바르게 위치 결정되기 때문에, 판형 워크(W)의 박리 방향의 정밀도를 높일 수 있다.

또한, 가동막(2)의 이면 또는 지지 부재(3)의 표면(3b) 중 어느 한쪽이나, 혹은 가동막(2)의 이면 및 지지 부재(3)의 표면(3b) 양쪽 모두에, 지지 부재(3)의 중앙에 형성되는 통로(3a)를 중심으로 하여 방사 방향으로 연통되는 확산로(4)를 형성했을 경우에는, 통로(3a)로부터 유체를 방사 형상의 확산로(4)에 공급하는 것에 의해, 지지 부재(3)의 표면(3b)에 대해, 가동막(2)의 이면이 그 중앙부위로부터 외주 부위를 향해 차례차례 (팽창) 변형되어, 지지 부재(3)의 표면(3b)으로부터 판형부(2a) 및 변형 가능부(2b)의 이면 전체가 이격된다.

이에 의해, 지지 부재(3)로부터 가동막(2)의 판형부(2a) 및 변형 가능부(2b)를 이들의 재질과 관계없이 전면적으로 분리해 대칭 형상으로 (팽창) 변형시킬 수 있다.

그 결과, 다이어프램과 지지 부재의 재질에 따라 이들의 대향면끼리가 부분적 또는 전체적으로 부착될 우려가 있는 종래의 것에 비해, 판형부(2a) 및 변형 가능부(2b)의 이면 전체에 구동 유체를 널리 퍼지게 할 수 있어, 가동막(2)의 전체에 걸쳐 박리의 압력이 전달되기 때문에, 변형 가능부(2b)의 (팽창) 변형에 따른 판형부(2a)의 이동에 의해, 점착 부재(1)의 점착면 (1a)으로부터 판형 워크(W)를 수직으로 떼어낼 수 있다. 이에 의해, 박리된 판형 워크(W)의 자세를 균일화할 수 있다.

또한, 확산로(4) 대신에, 지지 부재(3)에 다수의 통로(3a)를 뚫어, 각각의 통로(3a)에 동시에 구동 유체를 공급했을 경우에도, 확산로(4)를 설치한 경우와 동일한 효과를 얻을 수 있다.

그리고, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 접합기의 구체적 예로서는, 도 3에 나타내듯이, 한쪽(상방)의 지지판(11)에 워크 점착 지지 장치(A)가 설치되고, 그 점착 부재(1)로 제1 판형 워크(W)를 점착 지지하며, 다른쪽(하방)의 지지판(11')에 시일재(S)를 통해 제1 판형 워크(W)와 평행하게 대향하도록 제2 판형 워크(W')가 지지되어 있다.

또한 필요에 따라서, 한 쌍의 지지판(11, 11') 중 어느 한쪽이나 또는 양쪽 모두에는, 워크 점착 지지 장치(A)를 둘러싸도록 흡인 흡착 수단(12)이 복수 설치되고, 이들 흡인 흡착 수단(12)에 의해 판형 워크(W, W')를 착탈 가능하게 흡인 흡착하는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 접합기에 의하면, 워크 점착 지지 장치(A)의 가동막(2)에 의한 압압력이 제1 판형 워크(W)에 대해서 분산되어, 제1 판형 워크(W)의 일부에 집중되어 하중이 걸리는 일 없이, 점착 부재(1)로부터 제1 판형 워크(W)가 박리되기 때문에, 박리시에 있어서 제1 판형 워크(W)에 발생하는 찌그러짐 변형이 최소한으로 억제된다.

이에 의해, 점착 지지된 제1 판형 워크(W)를 제2 판형 워크(W')와 평행하게 박리해서 접합할 수 있다. 그 결과, 가동막(2)의 압압에 의한 국부적인 가압 불균일을 방지할 수 있고, 예를 들면 기판 사이에 끼워지는 시일재나 액정 디바이스 등의, 국부적인 가압 불균일에 의한 데미지를 경감시킬 수 있다.

다음으로, 본 발명의 한 실시예를 도면에 근거하여 설명한다.

실시예

이 실시예는, 도 1의 (a), (b)?도 3에 나타내듯이, 가동막(2)에 있어서 판형 워크(W)와 대향하는 표면의 외주에, 점착 부재(1)의 점착면(1a)과 인접하여 동일 평면 형상으로 돌출되는 돌기부(2f)를 일체 형성하고, 돌기부(2f)보다 내측의 표면부(2g)를, 워크 점착 지지시에 있어서 점착면(1a)보다 오목하게 배치한 것이다.

도 1의 (a), (b)?도 3에 도시되는 예에서는, 변형 가능부(2b)의 외주에 돌기부(2f)가 환형으로 형성되고, 돌기부(2f)보다 내측의 표면부(2g)로서, 판형부(2a) 및 변형 가능부(2b)의 표면 전체가 평면 형상으로 오목하게 형성되어 있다.

또한, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 단속적으로 복수의 돌기부(2f)를 배치하는 것도 가능하다.

이러한 본 발명의 실시예와 관련된 워크 점착 척 장치(A) 및 워크 접합기에 의하면, 점착 부재(1)의 점착면(1a)에 대해서 판형 워크(W)를, 예를 들면 진공 흡인 수단이나 압압 수단 등으로 부착해도, 판형 워크(W)의 대향면이 점착면(1a)에 접촉하는 시점에서 가동막(2)의 표면 외주의 돌기부(2f)에 닿는 것에 의해, 그 이상의 가동막(2)측으로의 변형이 억제된다.

따라서, 워크 점착 지지시에 있어서의 가동막(2)쪽으로의 판형 워크(W)의 극단적인 변형을 방지할 수 있다.

그 결과, 판형 워크(W)의 국부적인 오목 변형에 의한 폐해를 방지할 수 있다.

특히, 돌기부(2f)를 가동막(2)과 동일한 탄성 변형 가능한 재료로 일체 형성했을 경우에는, 예를 들면 진공 흡인 수단이나 압압 수단 등으로 판형 워크(W)를 부착할 때에 돌기부(2f)가 탄성 변형되기 때문에, 점착면(1a)에 대해서 판형 워크(W)가 부착되기 쉬워져, 점착 불량에 의한 낙하 사고를 방지할 수 있다고 하는 이점이 있다.

또한, 도 1의 (a), (b)?도 3에 나타내는 예에서는, 지지판(11)의 표면에 형성되는 오목 형상부(11a)에 대해, 워크 점착 척 장치(A)의 장착 부재(5)가 끼워 넣어져, 볼트 등의 고정 수단(6)으로 지지판(11)에 워크 점착 척 장치(A)를 장착하고, 지지판(11)에 뚫린 통기 구멍(11b)으로부터 압축 공기 등의 유체를 지지 부재(3)의 통로(3a)로 공급하는 것에 의해, 가동막(2)의 변형 가능부(2b)가 팽창 변형되어, 판형부(2a)를 대략 평판 형상으로 형상 유지하면서 평행이동시켜, 점착면(1a)에서 점착 지지된 판형 워크(W)를 강제적으로 떼어내고 있다.

통로(3a)의 외측에는, 통로(3a)로부터 장착 부재(5)에 연결되는 유로를 차단하는 환형 시일부(2h)가, 지지 부재(3)의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다.

도 1의 (a), (b)?도 3에 나타내는 예에서는, 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)에 환형 시일부(2h)가, 지지판(11)의 오목 형상부(11a)의 내저면을 향해 돌출하도록 일체 성형되어, 환형 시일부(2h)의 선단을 오목 형상부(11a)의 내저면에 닿게 하는 것에 의해, 지지판(11)의 통기 구멍(11b)으로부터 공급되는 유체가 오목 형상부(11a)의 내저면을 따라 장착 부재(5)를 향해 유출되는 것을 방지하고 있다.

또한, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 지지 부재(3)의 이면에 통로(3a)를 둘러싸도록 환형의 오목홈을 형성하고, 이 오목홈에 환형 시일부(2h)로서 O링 등을 지지판(11)의 오목 형상부(11a)의 내저면을 향해 돌출되도록 설치하여, 오목 형상부(11a)의 내저면에 닿게 하는 것도 가능하다.

따라서, 진공 또는 진공에 가까운 분위기에 있어서, 점착 부재(1)의 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를 박리시키기 위해, 지지 부재(3)의 통로(3a)를 거쳐 유체가 가동막(2)을 향하여 공급될 때에, 환형 시일부(2h)에서 통로(3a)로부터 장착 부재(5)를 향해 유체가 유출되는 것을 막기 때문에, 진공 또는 진공에 가까운 분위기 중으로 유체가 흘러나오는 일 없이, 높은 진공 상태가 유지된다.

이에 의해, 가동막(2)을 변형시키는 구동 유체가 유출되는 것을 방지할 수 있다.

그 결과, 진공 중에서 예를 들면 액정 디스플레이 등을 제조할 때에, 가동막(2)을 변형시키기 위한 유체가 액정 디바이스 내로 혼입되는 일이 없고, 기포 등의 문제가 일어나지 않는 이점이 있다.

또한, 지지 부재(3)의 측면(3c)과 장착 부재(5)의 계지 오목부(5a)의 사이에, 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)가 변형 가능부(2b)의 (팽창) 변형 방향으로 이동 불가능하도록 끼워지고, 장착 부재(5)의 장착면(5b)에, 변형 가능부(2b)의 바깥 가장자리와 인접하여 점착 부재(1)가 장착된다.

이에 의해, 장착 부재(5)를 통해 가동막(2) 및 지지 부재(3)와 점착 부재(1)가 일체적으로 조립된다.

그런데, 가동막(2)과 점착면(1a)의 거리는, 접근해서 배치하는 것이 멀리 떨어져 배치되는 것에 비해, 점착면(1a)에 점착 지지된 판형 워크(W)를, 변형 가능부(2b)의 (팽창) 변형으로 판형부(2a)에 의해 박리할 때에, 큰 박리력을 얻을 수 있다. 이에 의해, 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨(변형)도, 가동막(2)과 점착면(1a)을 접근해 배치하는 것이, 멀리 떨어져 배치되는 것에 비해, 적게 할 수 있다.

이 점에 관해, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)에 의하면, 가동막(2)과 점착면(1a)이 서로 인접하여 제한 없이 접근 배치되기 때문에, 박리시에 있어서 판형 워크(W)에 발생하는 휨을 최소한으로 억제할 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시형태와 관련된 워크 점착 척 장치(A)는, 점착 부재(1)와 가동막(2)의 유닛화를 구성하기 쉽게 하면서 박리 성능을 향상시킬 수 있다.

또한, 장착 부재(5)의 계지 오목부(5a)와 가동막(2)의 장착 볼록부(2d)의 접촉 부분을 접착제로 고착해도, 접착제가 탄성 변형하는 변형 가능부(2b)까지 밀려나와 부착될 우려가 없기 때문에, 변형 가능부(2b)의 변형에 따른 반복 응력에 의해 접착제가 부착된 개소의 단부로부터 균열이 발생하는 일 없이, 반복 내구성, 신뢰성이 높은 다이어프램 구조를 제공할 수 있다는 이점도 있다.

또한, 도 3에 나타나는 예에서는, 한쪽(상방)의 지지판(11)에만, 워크 점착 척 장치(A)와 흡인 흡착 수단(12)을 설치했지만, 이것에 한정되지 않고, 다른쪽(하방)의 지지판(11')에도 워크 점착 척 장치(A)를 설치하거나, 추가로 흡인 흡착 수단(12)을 더 설치해도 된다.

A : 워크 점착 척 장치 1 : 점착 부재
1a : 점착면 2 : 가동막
2a : 판형부 2b : 변형 가능부
2f : 돌기부 2g : 표면부
3 : 지지 부재 3a : 통로
3b : 표면 3b1 : 표면 부위
3b2 : 오목 형상부 4 : 확산로
11, 11' : 지지판 W, W' : 판형 워크

Claims

판형 워크와 대향하도록 설치되어 상기 판형 워크를 착탈 가능하게 점착 지지하는 점착 부재와,
상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 변형되어 상기 점착 부재의 점착면으로부터 상기 판형 워크를 강제적으로 박리시키도록 설치되는 가동막과,
상기 가동막의 배후에 설치되어 상기 가동막을 상기 판형 워크를 향해 변형시키는 유체의 통로를 갖는 지지 부재
를 구비하며, 상기 가동막은, 상기 지지 부재의 통로와 대향하여 두껍게 형성되는 강성이 높은 판형부와, 상기 지지 부재의 상기 통로를 둘러싼 표면 부위와 대향하여 얇게 형성되는 강성이 낮은 변형 가능부를 갖고, 상기 통로로부터의 유체로 상기 변형 가능부를 변형시켜 상기 판형부를 상기 판형 워크를 향해 평행이동시키도록 구성하며,
상기 가동막의 상기 판형부를 상기 지지 부재의 상기 표면을 향하여 볼록 형상으로 형성하고, 상기 지지 부재의 상기 표면에 있어서 상기 판형부와 대향하는 부위를 오목 형상으로 형성하여, 그 오목 형상부에 대해서 상기 판형부를 상기 판형 워크와 교차하는 방향으로 감합시킨 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
제1항에 있어서, 상기 지지 부재의 중앙에 상기 통로가 형성되고, 상기 가동막의 이면 또는 상기 지지 부재의 상기 표면 중 어느 한쪽이나, 혹은 상기 가동막의 이면 및 상기 지지 부재의 상기 표면 양쪽 모두에, 상기 통로를 중심으로 하여 방사 방향으로 연통되는 확산로를 형성한 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가동막에 있어서 상기 판형 워크와 대향하는 표면의 외주에, 상기 점착 부재의 상기 점착면과 동일 평면 형상으로 돌출되는 돌기부를 형성하고, 상기 돌기부보다 내측의 표면부를, 워크 점착 지지시에 있어서 상기 점착면보다 오목하게 배치한 것을 특징으로 하는 워크 점착 척 장치.
제1항 또는 제2항에 기재된 워크 점착 척 장치를, 대향하는 한 쌍의 지지판 중 어느 한쪽이나 또는 양쪽 모두에 설치하고, 상기 워크 점착 척 장치로 상기 판형 워크를 점착 지지하면서 박리하여, 다른 하나의 판형 워크에 중첩시키는 것을 특징으로 하는 워크 접합기.
제3항에 기재된 워크 점착 척 장치를, 대향하는 한 쌍의 지지판 중 어느 한쪽이나 또는 양쪽 모두에 설치하고, 상기 워크 점착 척 장치로 상기 판형 워크를 점착 지지하면서 박리하여, 다른 하나의 판형 워크에 중첩시키는 것을 특징으로 하는 워크 접합기.