KR20160031329A - 디스플레이 장치용 시트부재 척킹 및 디척킹 장치 - Google Patents

디스플레이 장치용 시트부재 척킹 및 디척킹 장치 Download PDF

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KR20160031329A
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강혜종
김종훈
백승복
허수동
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주식회사 씨엘디
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Abstract

본 발명은 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 개시한다. 본 발명은, 바디부와, 상기 바디부의 적어도 일부분에 설치되는 비점착부와, 상기 비점착부를 제외한 상기 바디부 상면에 설치되며, 시트부재를 점착력으로 선택적으로 착탈하는 척킹부와, 상기 척킹부 및 상기 비점착부 중 적어도 하나에 배치되어 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착시키거나 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착된 상기 시트부재를 상기 척킹부로부터 분리시키는 거리조절부를 포함한다.

Description

디스플레이 장치용 시트부재 척킹 및 디척킹 장치{Sheet member for display apparatus chucking and dechucking apparatus}
본 발명은 디스플레이 장치용 시트부재 척킹 및 디척킹 장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치를 제조하는 경우 다양한 시트부재를 이동하거나 라미네이션 공정 등을 수행하기 위하여 시트부재를 이동시킬 수 있다. 이때, 시트부재는 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 시트부재는 디스플레이 패널, 커버 윈도우, 터치패널, 다양한 부재를 포함할 수 있다.
상기와 같은 디스플레이 패널은 일반적으로 제조되는 액정 디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 발광 디스플레이 패널을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 패널은 기판과, 기판에 형성되는 발광물질을 구비하는 디스플레이부를 구비하며, 디스플레이부를 봉지하는 봉지부를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 디스플레이 패널은 다른 부재와 합착될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 패널이 액정 디스플레이 패널인 경우 디스플레이 패널 모듈은 액정 디스플레이 패널에 백라이트유닛(Back Light Unit, BLU)에 설치된 상태에서 커버 윈도우와 합착될 수 있으며, 터치 패널과 합착되는 것도 가능하다. 또한, 디스플레이 패널은 연성 인쇄회로기판(Flexible Printed circuit board, FPCB)과 합착할 수 있다.
이때, 상기와 같은 시트부재는 일반적으로 시트부재 척킹 및 디척킹 장치에 부착되어 이송되어 서로 합착될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 척킹 및 디척킹 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면은, 바디부와, 상기 바디부의 적어도 일부분에 설치되는 비점착부와, 상기 비점착부를 제외한 상기 바디부 상면에 설치되며, 시트부재를 점착력으로 선택적으로 착탈하는 척킹부와, 상기 척킹부 및 상기 비점착부 중 적어도 하나에 배치되어 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착시키거나 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착된 상기 시트부재를 상기 척킹부로부터 분리시키는 거리조절부를 포함하는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 제공할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 비점착부의 두께와 상기 척킹부의 두께는 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 비점착부는, 상기 바디부의 일측에 배치되는 제1 비점착부와, 상기 제1 비점착부로부터 이격되어 설치되는 제2 비점착부를 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 비점착부와 상기 제2 비점착부는 상기 바디부의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 거리조절부는 상기 제1 비점착부와 상기 제2 비점착부 사이에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 거리조절부는, 상기 바디부의 내부로부터 상기 척킹부의 외면 또는 상기 비척킹부의 외면으로 관통되도록 형성되는 유로부와, 상기 유로부와 연결되어 상기 유로부의 공기를 흡입하거나 상기 유로부로 공기를 공급하는 압력조절부를 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 유로부의 입구는 슬롯 형태의 홀 또는 원형 형태의 홀일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 비점착부는 우레탄, 고무 및 실리콘 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 척킹부 테두리는 상기 시트부재의 테두리와 대응될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 척킹 및 디척킹이 자유롭고 간편하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치가 시트부재를 척킹하는 모습을 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치가 시트부재를 디척킹하는 모습을 보여주는 단면도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치를 보여주는 평면도이다. 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 디스플레이 장치(미도시)를 제조하는 경우 사용될 수 있다. 특히 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 상기 디스플레이 장치의 제조 과정 중 시트부재(미표기)를 다른 상기 시트부재와 합착하는 경우 상기 시트부재를 흡착한 후 공정이 완료되면 상기 시트부재를 착탈하기 위하여 사용될 수 있다.
이때, 상기와 같은 상기 디스플레이 장치는 다양한 디스플레이 장치를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 디스플레이 장치는 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기 발광 디스플레이 장치를 포함할 수 있다. 뿐만 아니라 상기 디스플레이 장치는 상기에 한정되지 않으며 전자종이 등과 같이 외부로 발광하여 이미지 또는 텍스트 등을 표시하는 모든 장치를 포함할 수 있다.
한편, 상기와 같은 상기 디스플레이 장치는 다양한 상기 시트부재를 합착하여 제조할 수 있다. 이때, 상기 시트부재는 디스플레이 패널(미도시), 커버 윈도우(미도시), 터치패널(미도시), 상기 터치패널이 부착된 상기 커버 윈도우 등 다양한 시트 재료를 포함할 수 있다. 상기와 같은 상기 시트부재는 상기에 한정되지 않으며, 상기 디스플레이 장치의 제조 시 필요한 필름 형태, 패널 형태, 시트 형태의 모든 재질을 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 시트부재는 상기 디스플레이 패널과 상기 커버 윈도우를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 이하에서는 상기 디스플레이 패널이 액정 상기 디스플레이 패널인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 바디부(110)를 포함할 수 있다. 이때, 바디부(110)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 뿐만 아니라 바디부(110)는 금속 재질로 형성될 수 있으며, 금속 재질 이외에도 다양한 재질로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 바디부(110)가 금속 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 바디부(110)는 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 바디부(110)는 사각 기둥 형태, 원 기둥 형태 등으로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 바디부(110)는 사각 기둥 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
바디부(110)의 상면의 크기는 부착하고자 하는 상기 커버 윈도우의 크기와 동일하도록 형성될 수 있다. 특히 바디부(110)의 상면은 상기 커버 윈도우의 형상과 동일하도록 형성될 수 있다.
시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 바디부(110)의 적어도 일부분에 설치되는 비점착부(120)를 포함할 수 있다. 이때, 비점착부(120)는 우레탄, 고무, 실리콘 등과 같이 비점착 성질을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 또한, 비점착부(120)는 상기에서 설명한 것과 같이 탄성 재질로 형성될 수 있다. 이외에도 비점착부(120)는 상기와 같은 재질을 혼합하여 사용하는 것도 가능하다.
비점착부(120)는 바디부(110)의 일정 지역에 배치될 수 있다. 이때, 비점착부(120)는 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 비점착부(120)는 바디부(110)의 중심으로부터 서로 일정 각도를 형성할 수 있다. 예를 들면, 복수개의 비점착부(120)가 2개인 경우 바디부(110)의 중심을 기준으로 2개의 비점착부(120)는 서로 180도를 형성할 수 있으며, 복수개의 비점착부(120)가 3개인 경우 바디부(110)의 중심을 기준으로 3개의 비점착부(120)는 서로 120도를 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 비점착부(120)의 개수는 상기에 한정되지 않으며, 다양하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 비점착부(120)가 2개인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
복수개의 비점착부(120)는 서로 이격되도록 바디부(110)에 설치되는 제1 비점착부(121)와 제2 비점착부(122)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 제1 비점착부(121)와 제2 비점착부(122)는 바디부(110)의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 비점착부(121)와 제2 비점착부(122)는 서로 동일한 형상으로 형성될 수 있다.
시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 바디부(110)에 설치되며, 상기 커버 윈도우를 점착력으로 선택적으로 착탈하는 척킹부(130)를 포함할 수 있다. 이때, 척킹부(130)는 일반적인 점착척으로 형성되거나 접착필름이 바디부(110)에 설치된 형태로 형성될 수 있다. 또한, 척킹부(130)는 비점착부(120)가 설치된 바디부(110) 영역을 제외한 바디부(110) 상면에 설치될 수 있다. 구체적으로 바디부(110) 상면의 면적은 비점착부(120)의 면적과 척킹부(130)의 면적의 합과 동일할 수 있다. 이때, 비점착부(120)와 척킹부(130)는 서로 연결되도록 바디부(110)의 상면에 설치될 수 있다. 뿐만 아니라 비점착부(120)의 두께(T2)와 척킹부(130)의 두께(T1)는 서로 동일하게 형성될 수 있다. 따라서 바디부(110)의 저면으로부터 비점착부(120)의 상면까지의 거리(H2)와 바디부(110)의 저면으로부터 척킹부(130)의 상면까지의 거리(H1)는 동일하게 형성될 수 있으며, 비점착부(120)의 상면과 척킹부(130)의 상면은 서로 동일한 평면을 형성할 수 있다.
한편, 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 비점착부(120) 및 척킹부(130) 중 적어도 하나에 형성되는 거리조절부(140)를 포함할 수 있다. 이때, 거리조절부(140)는 상기 커버 윈도우를 척킹부(130)에 흡착시키거나 척킹부(130)에 흡착된 상기 커버 윈도우를 척킹부(130)로부터 분리시킬 수 있다.
상기와 같은 거리조절부(140)는 상기 커버 윈도우의 표면의 공기를 흡입하거나 상기 커버 윈도우로 공기를 분사할 수 있다. 구체적으로 거리조절부(140)는 바디부(110)의 내부로부터 척킹부(130)의 외면 또는 비점착부(130)의 외면으로 관통되도록 형성되는 유로부(144)를 구비할 수 있다. 또한, 거리조절부(140)는 유로부(144)와 연결되어 유로부(144)의 공기를 흡입하거나 유로부(144)로 공기를 공급하는 압력조절부(145)를 구비할 수 있다.
구체적으로 유로부(144)는 바디부(110) 내부에 유로 형태로 형성될 수 있다. 또한, 유로부(144)는 바디부(110)의 내부에 형성되는 유로와 연결되며, 척킹부(130) 및 비점착부(130) 중 적어도 하나를 관통하도록 형성될 수 있다. 이때, 척킹부(130) 및 비점착부(130) 중 적어도 하나를 관통하도록 형성되는 유로부(144)의 입구는 슬롯 형태의 홀 또는 원형 형태의 홀로 형성될 수 있다. 특히 상기와 같은 유로부(144)의 입구는 장공 형태로 형성될 수 있다.
압력조절부(145)는 바디부(110)와 호스나 파이프 등으로 연결되며, 유로부(144)의 공압을 조절하는 펌프를 포함할 수 있다. 이때, 압력조절부(145)는 유로부(144) 내부의 공기를 흡입하여 유로부(144)의 내부를 진공 상태로 유지하거나 유로부(144)로 공기를 공급하여 유로부(144) 내부의 압력을 증가시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 바디부(110)에는 압력조절부(145)와 연결된 호스나 파이프 등이 연결되는 연결부(110a)를 구비할 수 있다. 특히 연결부(110a)는 바디부(110)의 측면 및 저면 중 적어도 하나에 형성될 수 있다.
상기와 같은 거리조절부(140)는 복수 개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 거리조절부(140)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 거리조절부(140)는 바디부(110)의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 배치되는 것도 가능하다. 복수개의 거리조절부(140)는 상기의 경우 이외에도 바디부(110)의 중심을 기준으로 서로 동일한 각도를 형성하는 것도 가능하다. 이때, 복수개의 거리조절부(140)의 형상 및 개수는 특별히 한정되는 것은 아니며 다양하게 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
복수개의 거리조절부(140)는 바디부(110)의 중심에 배치되는 제1 거리조절부(141)를 구비할 수 있다. 또한, 복수개의 거리조절부(140)는 제1 거리조절부(141)로부터 이격되도록 배치되며, 척킹부(130)와 비점착부(120)를 지나도록 형성되는 제2 거리조절부(142)를 구비할 수 있다. 복수개의 거리조절부(140)는 제2 거리조절부(142)로부터 이격되도록 배치되며, 비점착부(120)에 형성되는 제3 거리조절부(143)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 제1 거리조절부(141)의 입구는 원형 형태의 홀로 형성될 수 있으며, 제2 거리조절부(142)의 입구와 제3 거리조절부(143)의 입구는 슬롯 형태의 홀로 형성될 수 있다. 또한, 제1 거리조절부(141)는 바디부(110)의 중심에 형성될 수 있으며, 제2 거리조절부(142)와 제3 거리조절부(143)는 각각 제1 거리조절부(141)를 중심으로 양측에 형성될 수 있다.
따라서 제1 거리조절부(141)는 상기 커버 윈도우를 척킹부(130)에 흡착시키거나 이격시키는 경우 상기 커버 윈도우의 하중에 의하여 쳐지는 상기 커버 윈도우의 중앙부위를 원활하게 부착시키거나 이격시킬 수 있다. 뿐만 아니라 제2 거리조절부(142) 및 제3 거리조절부(143)는 상기 커버 윈도우의 폭 방향으로 일정한 압력을 통하여 힘을 가함으로써 상기 커버 윈도우가 균일한 높이로 이동가능하도록 보조할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치가 시트부재를 척킹하는 모습을 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 시트부재 척킹 및 디척킹 장치가 시트부재를 디척킹하는 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 상기와 같은 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 진공 또는 대기압 상태를 형성하는 챔버(미도시) 내부에 설치될 수 있다. 이때, 상기 챔버 내부에는 다른 상기 시트부재가 배치되는 지그 장치(미도시)가 설치될 수 있다. 이때, 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)와 상기 지그 장치는 상기 챔버 내부에 서로 상하로 배치될 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)가 상기 챔버의 상부에 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
복수개의 상기 시트부재의 합착 과정을 살펴보면, 우선 상기 지그 장치에 상기 디스플레이 패널을 안착할 수 있다. 이때, 상기 디스플레이 패널에는 백라이트유닛(Back Light Unit, BLU)과 같은 다른 부속물들이 실장된 상태일 수 있다.
또한, 상기와 같은 작업이 진행되는 동안 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)에는 다른 상기 시트부재인 커버 윈도우(C)를 배치할 수 있다. 이때, 커버 윈도우(C)는 척킹부(130)에 흡착된 상태일 수 있다.
구체적으로 커버 윈도우(C)를 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)에 배치하는 경우 제1 거리조절부(141), 제2 거리조절부(142), 제3 거리조절부(143)가 작동할 수 잇다. 이때, 제1 거리조절부(141), 제2 거리조절부(142) 및 제3 거리조절부(143)에서는 커버 윈도우(C)와 척킹부(130) 사이 및 커버 윈도우(C)와 비점착부(120) 사이 중 적어도 하나의 공기를 흡입할 수 있다.
상기와 같이 공기가 흡입되면, 커버 윈도우(C)가 척킹부(130)로 이동하면서 척킹부(130)의 점착력에 의하여 커버 윈도우(C)가 척킹부(130)에 부착될 수 있다. 이때, 상기와 같이 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)는 커버 윈도우(C) 표면에 균일한 압력을 형성함으로써 커버 윈도우(C)가 척킹부(130)에 부착 시 뒤틀리거나 떨리는 현상을 방지할 수 있다.
한편, 상기와 같이 커버 윈도우(C)의 고정이 완료되면, 상기 지그 장치 및 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100) 중 적어도 하나를 선형 운동 시켜 상기 디스플레이 패널과 커버 윈도우(C)를 합착할 수 있다. 이때, 상기 디스플레이 패널과 커버 윈도우(C) 사이에는 접착 필름 또는 접착재가 설치되어 상기 디스플레이 패널과 커버 윈도우(C)를 서로 부착시킬 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 상기 지그 장치 및 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100) 중 적어도 하나를 선형 운동시켜 커버 윈도우(C)를 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)로부터 분리할 수 있다. 이때, 상기와 같이 커버 윈도우(C)가 분리되는 경우 척킹부(130)는 커버 윈도우(C)를 잡아당기게 되고, 커버 윈도우(C)는 상기 디스플레이 패널 또는 상기 디스플레이 패널에 실장된 다른 부품에 힘을 가하게 된다. 상기와 같은 경우 상기 디스플레이 패널은 파손되거나 손상될 수 있으며, 실장된 다른 부품 등이 상기 디스플레이 패널로부터 떨어져나갈 수 있다. 또한, 상기와 같이 잡아 당기는 경우 커버 윈도우(C)가 척킹부(130)로부터 분리되면서 진동하거나 위치가 어긋날 수 있다.
따라서 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 상기 디스플레이 패널과 커버 윈도우(C)가 합착 후 커버 윈도우(C)를 척킹부(130)로부터 분리할 때, 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)를 작동시켜 커버 윈도우(C)를 척킹부(130)로부터 분리할 수 있다.
구체적으로 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)에서 커버 윈도우(C) 상으로 기체를 분사할 수 있다. 이때, 제1 거리조절부(141)에서 분사된 기체는 커버 윈도우(C)의 중앙 부분을 척킹부(130)로부터 분리시키고, 제2 거리조절부(142) 및 제3 거리조절부(143)는 각각 커버 윈도우(C)의 양측 부분을 척킹부(130)로부터 분리시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)에서 분사되는 기체의 압력은 서로 상이하도록 설정될 수 있다. 예를 들면, 커버 윈도우(C)의 중앙 부분에 배치된 제1 거리조절부(141)는 커버 윈도우(C)의 하중, 척킹부(130)의 점착력의 크기, 제1 거리조절부(141) 입구의 크기 등에 따라서 제1 압력으로 커버 윈도우(C)에 기체를 분사할 수 있다. 또한, 비점착부(120)와 척킹부(130)에 걸치도록 형성된 제2 거리조절부(142)는 커버 윈도우(C)의 하중, 척킹부(130)의 점착력의 크기, 비점착부(120)의 크기 및 제2 거리조절부(142) 입구의 크기 등에 따라서 제2 압력으로 커버 윈도우(C)에 기체를 분사할 수 있다. 뿐만 아니라 제3 거리조절부(143)는 커버 윈도우(C)의 하중, 척킹부(130)의 점착력의 크기 및 제3 거리조절부(143) 입구의 크기 등에 따라서 제3 압력으로 커버 윈도우(C)에 기체를 분사할 수 있다. 이때, 제1 압력 내지 제3 압력은 미리 설정될 수 있으며, 이를 위하여 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)는 각각 별도의 압력조절부를 구비하여 이를 조절할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)가 서로 동일한 압력조절부에 연결된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 제1 거리조절부(141) 내지 제3 거리조절부(143)가 작동하는 경우 커버 윈도우(C)에는 균일한 압력이 가해질 수 있다. 이때, 커버 윈도우(C)는 상기 압력에 의하여 척킹부(130)로부터 분리될 수 있으며, 상기 디스플레이 패널도 커버 윈도우(C)와 함께 분리될 수 있다.
한편, 상기와 같이 커버 윈도우(C)를 척킹부(130)에 척킹하거나 디척킹 하는 경우 척킹부(130)의 최외곽이 커버 윈도우(C)의 최외곽과 서로 대응되지 않는 경우 커버 윈도우(C)는 진동하거나 초기 위치로부터 벗어날 수 있다.
예를 들면 척킹부(130)의 테두리와 커버 윈도우(C)의 테두리가 서로 상이한 경우, 특히 커버 윈도우(C)의 테두리가 척킹부(130)의 테두리보다 외곽에 위치하는 경우에는 커버 윈도우(C)가 부착되거나 떨어질 때 커버 윈도우(C)와 바디부(110) 사이에 공간이 발생하므로 커버 윈도우(C)가 떨릴 수 있다. 이때, 커버 윈도우(C)는 외력에 의하여 위치 등이 초기 위치와 상이해 질 수 있으며, 커버 윈도우(C)와 상기 디스플레이 패널의 합착 시 위치 오류로 인한 불량을 발생시킬 수 있다.
또한, 척킹부(130)의 테두리와 커버 윈도우(C)의 테두리가 서로 상이한 경우 커버 윈도우(C)의 진동이나 위치 벗어남으로 인하여 커버 윈도우(C)와 상기 디스플레이 패널의 합착 후 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)로부터 분리 시 외력에 의하여 커버 윈도우(C)와 상기 디스플레이 패널이 진동함으로써 커버 윈도우(C)의 파손을 야기시킬 수 있다.
따라서 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 상기 시트부재의 합착 시 상기 시트부재를 균일한 힘으로 부착시킴으로써 시트부재의 파손이나 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.
또한, 시트부재 척킹 및 디척킹 장치(100)는 상기 시트부재의 부착이나 분리 시 상기 시트부재에 균일한 힘을 가함으로써 상기 시트부재의 변형을 최소화활 수 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
100: 시트부재 척킹 및 디척킹 장치
110: 바디부
110a: 연결부
120: 비점착부
121: 제1 비점착부
122: 제2 비점착부
130: 척킹부
140: 거리조절부
141: 제1 거리조절부
142: 제2 거리조절부
143: 제3 거리조절부

Claims (9)

  1. 바디부;
    상기 바디부의 적어도 일부분에 설치되는 비점착부;
    상기 비점착부를 제외한 상기 바디부 상면에 설치되며, 시트부재를 점착력으로 선택적으로 착탈하는 척킹부; 및
    상기 척킹부 및 상기 비점착부 중 적어도 하나에 배치되어 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착시키거나 상기 시트부재를 상기 척킹부에 흡착된 상기 시트부재를 상기 척킹부로부터 분리시키는 거리조절부;를 포함하는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 비점착부의 두께와 상기 척킹부의 두께는 동일한 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 비점착부는,
    상기 바디부의 일측에 배치되는 제1 비점착부; 및
    상기 제1 비점착부로부터 이격되어 설치되는 제2 비점착부;를 구비하는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 비점착부와 상기 제2 비점착부는 상기 바디부의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 형성되는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 거리조절부는 상기 제1 비점착부와 상기 제2 비점착부 사이에 배치되는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 거리조절부는,
    상기 바디부의 내부로부터 상기 척킹부의 외면 또는 상기 비척킹부의 외면으로 관통되도록 형성되는 유로부; 및
    상기 유로부와 연결되어 상기 유로부의 공기를 흡입하거나 상기 유로부로 공기를 공급하는 압력조절부;를 구비하는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 유로부의 입구는 슬롯 형태의 홀 또는 원형 형태의 홀인 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 비점착부는 우레탄, 고무 및 실리콘 중 적어도 하나를 포함하는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 척킹부 테두리는 상기 시트부재의 테두리와 대응되는 시트부재 척킹 및 디척킹 장치.
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KR20220149015A (ko) * 2021-04-30 2022-11-08 주식회사 바이텍시스템 정전척 및 이를 이용한 기판 검사장치

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