KR20220149015A - 정전척 및 이를 이용한 기판 검사장치 - Google Patents

Abstract

기판 언로딩이 용이하며, 기판 가공부의 결함 유무 검사가 용이한 정전척 및 기판 조사장치가 소개된다. 기판 흡착면을 갖는 척 플레이트(110)를 구비하며, 기판 흡착면에 놓인 기판(B)의 이면에 가스를 공급하기 위한 길쭉한 그루브(120)가 형성된 정전척이 소개된다. 정전척(100)의 기판 흡착 영역 아래에 투명 또는 반투명한 디퓨저(200)가 배치되고, 디퓨저(200)를 통해 광원의 빛이 상방향 조사된다.

Description

정전척 및 이를 이용한 기판 검사장치{Electrostatic Chuck And Substrate Inspection Apparatus Using The Same}

본 발명은 정전척(Electro Static Chuck: ESC)과, 이 정전척을 기판의 가공 및 가공 후 검사에 이용한 기판 검사장치에 관한 것이다.

정전척은 웨이퍼, 유리, 디스플레이 패널 등과 같은 기판을 정전적으로 척킹한다. 정전척은 물리적인 힘을 가하지 않고도 기판들을 고정할 수 있어 반도체나 디스플레이 제조공정들에서 널리 사용된다.

정전척들은 소재나 제조방법에 따라 세라믹 정전척, 폴리이미드 정전척, 용사코팅 정전척 등으로 구분될 수 있다. 정전척들은 클램핑력의 유도 특성에 따라 쿨롱 타입과 존슨-라벡 타입, 그리고 전극 개수 또는 구조에 따라 모노폴라 타입과 바이폴라 타입으로 구분될 수 있다.

바이폴라 정전척은 절연성 또는 유전성을 갖는 척 플레이트와 플레이트 내에 전기적으로 분리 매설된 2개의 전극을 구비한다. 전극들이 반대 극성의 전압이 인가되면 전극들과 마주하는 기판 부위들에 각각 반대되는 극성의 전하가 대전되고 유전분극에 의해 기판이 흡착된다. 전원으로 고전압의 직류 전원 또는 교류 전원이 사용될 수 있다.

바이폴라 정전척은 자체적으로 완성된 회로를 구성할 수 있기 때문에 플라즈마의 유무에 상관없이 기판을 클램핑할 수 있다. 정전척의 클램핑력은 전극의 면적에 비례하므로 전극은 넓은 면적을 커버하도록 다양한 형태의 패턴으로 형성된다. 단일 전극을 갖는 모노폴라 정전척은 정전기력의 유도를 위해 기판에 전기적인 접촉을 시키거나 플라즈마가 그러한 접촉을 제공한다.

OLED 디스플레이는 전계에 의해 자발광하는 유기물로 픽셀들을 형성하고 픽셀들을 컨트롤하여 화면을 표시한다. 픽셀들을 형성하는 것을 컬러 패터닝이라고 하며, 색의 3원색인 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 서브픽셀들이 정확하게 패터닝되어야 원하는 화면이 정확히 표시될 수 있다. 이러한 컬러 패터닝에 파인 메탈마스크라 불리는 섀도우 마스크가 사용되고, 섀도우 마스크에는 화소 형성용 유기물의 증착을 위해 다수의 미세홀이 가공되어 있다. 이 섀도우 마스크의 미세홀들은 디스플레이의 해상도가 높아질수록 더욱 작고 더 높은 밀도로 가공하기 위해 최근 레이저를 이용한 미세홀 패턴의 고정밀도 가공이 시도된다. 미세홀 패턴의 가공 품질은 검사장치를 이용하여 평가된다.

디스플레이 제조공정에서 기판에 대한 홀가공을 비롯하여 절단, 세정, 합착 등의 많은 공정이 수반되며, 공정들 후에는 품질 검사가 수행된다. 예로서 OLED가 증착된 디스플레이 패널에 카메라 렌즈나 센서용 홀을 가공할 경우, 가공된 홀의 크기나 형상이 정확한지, 절단면이 매끄러운지, 절단시 비산된 파티클이 기판의 표면에 붙었는지 등이 세밀하게 검사될 필요가 있다. 검사는 기판 위에서 빛을 조사하면서 기판에서 반사된 빛을 카메라가 촬영하고, 이 촬영된 이미지를 분석하여 결함 유무를 판단하는 방식으로 수행된다.

한편 정전척은 종종 디척킹이 문제된다. 클램핑 전원의 오프 이후에도 정전척에 잔류하는 전하에 의해 기판이 정전척으로부터 쉽게 언로딩되지 않는 경우가 발생한다. 기판이 폴리이미드 필름과 같은 얇고 가벼운 소재인 경우, 면압에 의해 기판이 정전척으로부터 쉽게 언로딩되지 않기도 한다. 이러한 기판의 디척킹 문제는 공정 간 이송시간의 지연을 야기한다.

대한민국 등록특허 제10-0863341호(2008.10.15. 공고)

본 발명은 위와 같은 종래기술에 대한 인식에 기초한 것으로 기판 가공부의 품질이나 결함 여부를 검사할 수 있는 정전척 및 기판 검사장치를 제공하고자 한다.

또한 본 발명은 기판의 용이하게 언로딩할 수 있는 정전척 기판 검사장치를 제공하고자 한다.

상술된 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 정전척은 기판에 가공되는 홀에 상응하는 가공홀과, 블로우 홀이 정전척에 가공되고, 블로우 홀에 외부 가스를 안내하도록 가스채널이 성형된 가스채널이 정전척의 하면에 부착됨으로써, 기판에서 절단된 절단편이 가공홀을 통해 하방으로 배출되고, 정전척으로부터 기판이 분리될 때 가스채널 및 블로우 홀을 통해 토출된 가스가 잔류하는 정전기력을 극복하여 정전척으로부터 기판의 분리를 조력하도록 구성될 수 있다.

본 발명에 의하면 정전척은 외부 전원이 인가된 전극의 정전기력에 의해 기판이 흡착되는 척 플레이트를 구비할 수 있다.

척 플레이트는 전원이 단락된 후 잔류 정전기력에 의해 흡착 상태가 유지되는 기판을 분리하기 위해 외부 가스가 유입되어 기판을 향해 토출되도록 가공된 그루브를 구비할 수 있다.

또한, 그루브는 척 플레이트의 상하면을 관통하여 성형되는 경우, 척 플레이트의 하면에 부착되고, 외부 가스가 유입되면 그루브에 공급하도록 가스채널이 성형된 분배판을 더 구비할 수 있다.

가스채널은 적어도 1개의 가스 유동라인을 구비할 수 있다. 일례로, 3개의 라인인 경우, "ㄷ"자 형상이고, 외부 가스가 유입되는 흡기라인, 그루브와 통하는 배기라인과, 흡기라인과 배기라인을 연결하는 연결라인을 구비할 수 있다.

척 플레이트는 전극이 개재되도록 일체로 성형되거나 상호 부착된 상부플레이트와 하부플레이트로 성형되고, 기판에 가공되는 홀 위치에 상하면을 관통하여 성형된 가공흘을 더 구비한다.

한편, 본 발명에 따른 정전척을 이용한 기판 검사장치는 상술된 정전척; 이 정전척이 장착되는 상면에 성형된 적어도 1개의 수용홈과, 이동을 위해 하부에 장착된 무빙휠을 구비하는 캐리어; 수용홈에 수용되고, 상면이 정전척의 척 플레이트 하면에 밀착되게 배치된 디퓨저;와 수용홈의 바닥에 배치되어 디퓨저를 향해 빛을 조사하는 광원을 포함한다.

광원에서 조사된 빛이 투과되도록 정전척과 디퓨저가 투명 또는 반투명으로 제작된다.

디퓨저는 기판에서 절단된 절단편이 척 플레이트의 가공홀을 통과하면서 하방 낙하하여 외부로 배출되도록 성형된 집진구를 구비하고, 상면이 척 플레이트의 하면에 부착된 분배판을 통과하여 척 플레이트의 하면에 밀착되도록 설치된다.

캐리어는 집진구와 통하면서 절단판의 외부 배출을 위한 배출구를 더 구비하고, 기판의 가공 스테이지에서 검사 스테이지까지 이동하도록 설치되며, 검사 스테이지에 도착하면 배출구에 절단편 흡입을 위한 흡착관이 위치될 수 있다.

전술된 바와 같이 본 발명에 따르면, 정전척에 가공홀과 그루브가 가공됨으로써, 기판에서 절단되어 이탈된 절단편과 파티클이 가공홀을 통해 하방으로 배출되고, 그루브를 통해 토출되는 가스가 잔류 정전기에 의해 정전척에 흡착된 기판을 밀어 내어 기판의 분리가 손쉽게 이루어질 수 있는 효과가 있다.

또한, 정전척과 디퓨저가 투명으로 제작되고, 디퓨저 아래의 광원이 상방으로 빛을 조사하여 디퓨저와 정전척에 빛이 투과되도록 함으로써, 광원의 빛이 디퓨저를 투과하면서 빛이 고르게 되고, 디퓨저를 투과한 빛이 정전척 및 기판에 비스듬하게가 아닌 거의 수직으로 조사되어 기판에 가공된 홀이나 크랙, 스크래치 및 파티클에 의한 음영이 발생하지 않으므로 검사율의 정확도가 극대화될 수 있는 효과가 있다.

가공홀과 그루브가 가공된 정전척, 디퓨저 및 광원이 캐리어에 의해 기판의 가공 스테이지에서 기판의 검사 스테이지까지 이동함으로써, 정전척이 기판을 흡착한 상태에서 기판의 가공 및 검사까지 수행 가능하고, 작업 시간이 단축되며, 작업 공정이 단순해질 수 있는 효과가 있다.

본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 안 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 정전척이 포함된 검사장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 A-A선 단면도이다.
도 3a와 도 3b는 도 2에 도시된 디퓨저가 도시된 이미지와 사진이다.
도 4는 도 1의 검사장치가 도시된 평면도이다.
도 5는 도 1의 정전척 위에 기판이 높인 상태가 표현된 평면도이다.

이하 본 발명의 여러 특징적인 측면들을 이해할 수 있도록 실시예들을 들어 보다 구체적으로 살펴본다. 도면들에서 동일 또는 동등한 구성요소들은 동일한 참조부호로 표시될 수 있고, 도면들은 본 발명의 특징들에 대한 직관적인 이해를 위해 과장되거나 개략적으로 도시될 수 있다.

본 문서에서, 별도 한정이 없거나 본질적으로 허용될 수 없는 것이 아닌 한, 두 요소들 간의 관계를 설명하기 위한 표현들, 예로서 '상', '연결'과 같은 표현들은 두 요소가 서로 직접 접촉하는 것은 물론 제1 및 제2 요소의 요소 사이에 제3의 요소가 개재되는 것을 허용한다. 전후, 좌우 또는 상하 등의 방향 표시는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 본 발명의 권리범위를 한정하기 위한 것이 아니다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사장치에 대해 도 1 내지 도 4를 참조하여 자세히 설명한다.

도면들에 도시된 분배판(120)과 디퓨저(200)는 예로서 빛이 투과되는 투명 또는 반투명으로 제작된다. 기판(B)은 예로서 디스플레이 패널이다.

도 4는 정전척(100)의 평면도로서, 척 플레이트(110)를 통해 분배판(120) 및 가스채널(121)이 보이는 상태로 도시되어 있다. 도 4에서 척 플레이트(110)는 척 플레이트(110)와 그 아래에 놓인 구성품들에 대한 직관적인 이해를 돕기 위해 투명으로 처리하여 도시되었다. 척 플레이트(110)는 빛의 투과가 가능하도록 투명 또는 반투명한 재질로 제작된다.

도 5는 정전척(100) 위에 기판(B)이 놓인 것을 개략적으로 표현한 것이다.

실시예에 따른 검사장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 정전척(100), 디퓨저(200), 광원(300)과 캐리어(400)를 포함하여 이루어진다.

도 1 및 도 2에서 보듯이, 정전척(100)은 캐리어(400) 위에 장착된다. 클램핑 전원(미도시)이 인가되면 척 플레이트(110) 상면, 즉 기판흡착면에 기판(B)이 정전기적으로 클램핑된다. 캐리어(400)에는 기판(B)의 클램핑을 위한 전압을 제공하는 배터리가 장착될 수 있다.

검사장치는 공정라인을 따라 이동 가능하다. 예로서 검사장치는 일본특허공개 제2011-050220호에 소개된 바와 같은 마그넷 무빙 타입의 리니어 모션 시스템을 이용하여 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 캐리어(400)는 무빙휠(410)을 가지며, 무빙휠(410)에는 마그넷이 장착되고 레일 따라서 마그넷에 대응하는 코일이 배열된다. 다른 예로서 검사장치의 이동을 위한 배터리가 캐리어(400)에 장착될 수 있다.

정전척(100)은 척 플레이트(110)와 분배판(120)을 구비한다.

척 플레이트(110)는 하부플레이트, 하부플레이트 상면에 부착된 상부플레이트와, 하부플레이트와 상부플레이트 사이에 개재된 클램핑용 전극을 구비한다. 척 플레이트(110), 특히 상부 플레이트는 폴리이미드 필름과 같은 유전성 재료로 구성될 수 있다. 다른 예로서 척 플레이트(110)는 매설 전극을 갖는 모노리딕한 일체의 플레이트로 구성될 수 있다. 척 플레이트(110)는 예로서 세라믹이나 수지 등을 이용하여 제작될 수 있다.

상부 플레이트 및 하부 플레이트는 절연성 또는 유전성을 갖는 투명 소재로 제작될 수 있다. 예로서 상부 플레이트, 하부 플레이트 중 적어도 어느 하나는 유리나 쿼츠, 또는 에폭시 등 빛 투과성을 갖는 수지로 구성될 수 있다.

클램핑용 전극은 구리, 은, 텅스텐 등과 같은 도전성 금속 재료를 하부 플레이트 상에 또는 상부 플레이트의 하면에 프린팅하여 얻어질 수 있다.

또한 클램핑용 전극은 빛 투과율이 높은 투명성 전도성 소재로 제작될 수 있다. 전도성 소재는 인듐주석산화물(ITO)를 포함한 금속산화물, 은나노 와이어/입자, 탄소나노튜브, 그래핀, 전도성 폴리머 또는 전도성 이온성 액체 등의 단독물 또는 혼합물일 수 있다. 일례로, 투명전극은 전도성 소재의 분산액 또는 페이스트를 스크린 인쇄하여 제작하거나, 인듐주석산화물을 스퍼터링 방법으로 패턴화하여 제작될 수 있다.

상부 플레이트는 하나의 예로서 그 하면에 캐비티가 형성되고 가장자리를 따라 돌출된 엣지부를 가질 수 있다. 캐비티 면에 클램핑용 전극이 인쇄되고, 절연성 접착제를 이용하여 하부 플레이트와 접착될 수 있다. 엣지부는 전극으로부터의 전류 누설을 방지한다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 척 플레이트(110)에는 가공홀(111)과 그루브(112)가 마련된다.

가공홀(111)은 척 플레이트(110) 위에 기판(B)이 흡착된 상태에서 기판(B)에 홀 가공을 할 수 있도록 하기 위해 마련된다. 가공홀(111)은 척 플레이트(110)를 관통하여 형성된다. 레이저 등을 이용한 홀가공 과정에 부스러기가 발생될 수 있고, 이 부스러기는 가공홀(111)과 디퓨저(200)의 집진구(210)를 거쳐 포집될 수 있다. 가공 스테이지에는 부스러기의 포집을 위한 흡입장치가 마련될 수 있고, 배출구(430)를 통해 부스러기가 흡입장치로 수집된다. 예로서 기판(B)은 모바일용 디스플레이 패널이고, 기판(B) 상에 가공되는 홀은 카메라 렌즈홀, 센서용 홀 등일 수있다.

검사장치는 가공 스테이지와 검사 스테이지 간을 이동할 수 있다. 가공 스테이지에서 기판 상에 홀 가공이 완료되면, 검사장치는 레일을 따라 검사 스템이지로 이동한다. 가공 스테이지나 검사 스테이지에 위치해 있을 때, 기판(B)의 흡착을 위한 전압은 검사장치 외부로부터 공급될 수 있다. 검사장치가 이동 시 외부 전원의 공급이 차단되며, 이동 중 척 플레이트(110) 상의 기판(B)은 척 플레이트(110)에 잔류하는 전하에 의해 흡착된다.

그루브(112)는 척 플레이트(110)에 놓인 기판(B)의 디척킹을 용이하게 한다. 클램핑용 전극에 공급되는 전원이 오프 또는 차단된 이후에도 잔류 전하나 자중 또는 면압 등에 의해 기판(B)의 흡착 상태가 일시 유지될 수 있는데, 이러한 경우 그루브(112)를 통해 가스가 불어져 나가면 기판(B)의 언로딩이 용이해진다.

도 4 및 도 5에서 보듯이, 그루브(112)는 척 플레이트(110)의 기판 흡착면 상에 마련된다. 그루브(112)의 일단에 척 플레이트(110)를 관통하는 연통홀(130)이 마련되며, 기판(B)의 디척킹을 위한 가스는 연통홀(130)로부터 유입되어 그루브(112)의 타단 측으로 불어나가게 된다. 그루브(112)는 연통홀(130) 측에서 깊이가 깊고 타단 측으로 갈수록 깊이가 ?다. 그루브(112)는 평행하게 배치된 2개의 쌍으로 형성될 수 있다. 기판 흡착면과 기판(B) 간의 사이에서 기판 중심 측에서 가장자리 측으로 불어나가는 가스에 의해 기판(B)은 기판 흡착면으로부터 용이하게 분리되고 이송 장치에 의해 픽업될 수 있다.

척 플레이트(110)는 2개 이상의 기판(B)을 동시에 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 기판 흡착 영역 각각에 가공홀(111) 및 그루브(112)가 마련된다. 기판들(B)의 흡착을 위한 전극은 흡착 영역들에 걸쳐서 공용 가능하게 마련되거나, 각 영역에 별도 마련될 수 있다.

도 2 및 도 4에서 보듯이, 분배판(120)은 척 플레이트(110)의 하면에 밀착된다. 분배판(120)의 상면에는 척 플레이트(110)의 연통홀(113)로 기판(B)의 블로잉을 위한 가스가 공급되는 가스채널(121)이 마련된다. 외부로부터 공급된 가스는 분배판(120)의 가스채널(121)을 통해 공급되어 연통홀(113)을 거쳐 그루브(112)로 공급된다.

도 4를 참조하면, 가스채널(121)은 외부로부터 가스가 유입되는 흡기라인(122), 연결라인(123)과, 연통홀(113)을 통해 그루브(112)와 연결되는 배기라인(124)으로 구성된다. 화살표로 표시되어 있듯이, 가스는 흡기라인(122), 연결라인(123)과 배기라인(124)을 순차적으로 거쳐 그루브(112)를 통해 블로잉된다. 흡기라인(122)은 검사장치의 측부로부터 가스가 공급될 수 있도록 형성될 수 있다.

척 플레이트(110)가 2개의 기판(B)을 흡착 영역을 갖는 경우, 각 영역의 가스채널(121)은 연결라인(123)을 공통으로 사용하면서 흡기라인(122)과 배기라인(124)이 상호 대칭이 되도록 형성된다. 다른 예로서 가스채널(121)은 척 플레이트(110) 내에 마련될 수 있다. 다만 척 플레이트(110)의 제작 단가를 고려할 때, 별도의 분배판(120)을 이용하여 가스채널(121)을 형성하는 것이 좋을 것이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 디퓨저(200)는 정전척(100), 조금 더 구체적으로는 기판 흡착 영역의 직하부에 위치된다. 디퓨저(200)는 기판 홀가공 시 발생하는 부스러기의 포집 및 기판 가공부의 품질 검사에 이용된다.

도 2에서 보듯이, 디퓨저(200)는 캐리어(400) 상에 마련된 수용홈(420)에 안착된다. 분배판(120)에는 디퓨저(200)와 간섭 방지 및 디퓨저(200)의 장착을 위한 수용홀(130)이 마련된다.

도 2 내지 도 3b에서 보듯이, 디퓨저(200)는 그 상부에 사각의 테두리(220)와 하부로 갈수록 점차 좁아지는 경사면(230)을 갖는다. 디퓨저(200)의 하부 중앙에는 집진구(210)가 마련된다. 사각의 테두리(220)는 캐리어(400)에 걸쳐 올려지며, 디퓨저(200)의 하면은 수용홈(420)의 바닥면으로부터 이격된다. 수용홈(420)의 바닥면에는 광원(300)이 배치된다.

디퓨저(200)는 상부 테두리(220)에는 디퓨저(200)를 캐리어(400)에 고정하기 위한 볼트가 체결되는 볼트홀(221)이 마련된다. 기판(B)에 홀 가공 시 집진구(210)의 하부에는 공기 흡입관이 위치되고, 홀 가공과정에 발생하는 파티클은 집진구(210)를 통해 흡입관을 포집된다. 이에 의해 기판(B) 가공 중 발생하는 파티클로 인한 기판(B) 오염을 방지할 수 있다.

디퓨저(200)는 반투명 또는 투명하다. 바람직하게는 디퓨저(200)는 광원(300)으로부터의 빛 확산시키는 확산판 기능을 할 수 있도록 구성된다.

검사장치가 가공 스테이지에서 검사 스테이지로 이동해 오면, 기판 가공부의 결함 및 품질 검사가 수행된다. 검사를 위해 광원(300)이 온(on) 되면, 디퓨저(200)에서 빛이 확산되어 투명 또는 반투명한 정전척(100)을 거쳐 기판(B)의 이면에 조사된다.

도 2에서 보듯이, 광원(300)은 디퓨저(200)의 하부에 위치되고, 디퓨저(200)를 향해 상방으로 빛을 조사하도록 설치된다. 광원(300)은 캐리어(400)의 수용홈(420) 바닥에 고정된다.

광원(300)은 파티클이 포집되는 집진구(210)와 배출구(430)를 회피하여 배치되거나, 또는 집진구(210)와 배출구(430)의 영역에 상당하는 정도의 홀을 가질 수 있다. 광원(300)으로는 LED가 사용되고, LED가 설치된 기판에 홀이 마련될 수 있다.

광원(300)에서 조사된 빛은 디퓨저(200), 분배판(120) 및 척 플ㄹ이트(110)을 투과하여 기판(B)의 이면을 비추며, 기판(B) 상측에서 카메라로 촬영한 이미지를 통해 기판 가공부의 결함이나 품질을 검사하고, 나아가 기판에 손상이 있거나 파티클이 묻어 있는지 여부 등을 검사할 수 있다.

캐리어(400)는 얹혀진 정전척(100)을 이동시키기 위한 장치이다. 이 캐리어(400)는 일례로, 하부에 장착된 무빙휠(410)을 통해 레일을 따라 이동하도록 설치될 수 있다. 이러한 캐리어(400)는 디퓨저(200)가 수용되는 수용홈(420), 디퓨저(200)의 집진구(210)에 위치하는 배출구(430)를 구비할 수 있다.

배출구(430)는 디퓨저(200)의 집진구(210)와 통하도록 가공된다. 집진구(210)를 통과한 절단편과 파티클이 배출구(430)를 통해 외부로 배출될 수 있다. 파티클의 흡입을 위한 흡입관이 배출구(430)의 아래에 위치될 수 있다. 흡입관의 흡기 압력에 의해 기판(B) 가공 시 발생하는 파티클이 배출구(430) 및 집진구(210)를 통과하여, 흡입관을 통해 외부로 포집될 수 있다.

기판(B)의 가공이 완료되면, 캐리어(400)가 기판(B)의 검사 스테이지로 이동한다. 캐리어가 검사 스테이지에 위치되면, 광원(300)에 전기를 인가하여 빛을 조사하고, 이 빛이 디퓨저(200)와 정전척(100)을 통과하여 기판(B)의 이면을 비추며, 기판(B)의 상부에 위치한 카메라가 기판(B)을 촬영하게 된다. 이렇게 획득한 촬영 이미지를 분석하여 기판(B)에 크랙이나 스크래치가 있는지, 파티클이 기판(B)에 붙어 있는지를 확인할 수 있다.

기판 가공부는 기판(B)의 이면에서 빛을 비춤으로써 기판 상부에서 잘 관찰된다. 특히 홀의 경우 기판(B) 이면에서 비추어진 빛에 의해 홀 윤곽이 명확하게 명암대비로 나타나게 되어 기판의 가공 여부나 가공 불량의 유무를 보다 정확하고 빠르게 진단할 수 있다.

실시예에 따른 정전척 및 기판 검사장치는 가공 스테이지와 검사 스테이지 간을 이동할 수 있고, 각 스테이지에서 필요한 프로세스가 수행될 수 있다. 가공 스테이지와 검사 스테이지 각각 별도로 정전척을 사용하지 않고 하나의 정전척을 공용할 수 있으므로 공정 비용의 절감이 가능하고, 연속적인 공정 수행이 가능하다. 단순히 가공 스테이지와 검사 스테이지를 정전척이 왕복 이동하는 것이 아니라, 정전척이 공정들을 순환하여 연속적으로 수행될 수 있도록 공정라인이 설계될 수 있다.

이상 본 발명의 실시예들이 설명되었고, 이들 실시예는 본 발명의 다양한 측면들과 특징들을 이해하는데 도움이 될 것이다. 이 실시예들에서 제시된 요소들은 서로들 간에 선택적으로 조합될 수 있고, 이러한 조합에 의해 본 문서에서는 미처 설명되지 못한 또 다른 실시예가 제시될 수 있다.

이하 본 발명의 권리범위를 정하기 위한 청구항들이 기재된다. 청구항에 기재된 요소(들)은, 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않으면서, 다양하게 변경 및 수정되고 등가물로 대체될 수 있다. 청구항들에 기재된 도면부호들은, 만일 기재되어 있다면, 청구된 발명들이나 그 요소들에 대한 쉽고 그리고 직관적인 이해를 돕기 위한 것일 뿐 청구된 발명들의 권리범위를 한정하지 않는다.

100:정전척
110:척 플레이트 111:가공홀
112:그루브 120:분배판
121:가스채널 122:흡기라인
123:연결라인 124:배기라인
200:디퓨저
210:집진구 220:볼트홀
300:광원
400:캐리어
410:무빙휠 420:수용홈.
430:배출구.

Claims (5)

1. 기판 흡착면을 갖는 척 플레이트(110)를 구비하며,
   상기 기판 흡착면에 놓인 기판(B)의 이면에 가스를 공급하기 위한 길쭉한 그루브(120)가 형성되고, 그루브(120)의 일단에 척 플레이트(110)를 관통하는 연통홀(113)이 마련된 것을 특징으로 하는 정전척.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 척 플레이트(110)의 하부에 밀착 또는 부착된 분배판(120)을 구비하며,
   분배판(120)의 상면에는 외부로부터 가스가 유입되어 연통홀(113)을 통해 그루브(120)로 공급될 수 있도록 하기 위한 가스채널(121)이 형성된 것을 특징으로 하는 정전척.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 따른 정전척으로서 적어도 일부 영역에서 빛의 투과가 가능한 정전척(100);
   상기 정전척(100)의 기판 흡착 영역 아래에 배치된 투명 또는 반투명한 디퓨저(200);
   상기 정전척(100)이 그 위에 장착되며, 디퓨저(200)를 수용하는 캐리어(400); 및
   상기 캐리어(400)에 마련되며, 디퓨저(200)에서 빛이 확산되어 정전척 상에 놓인 기판 이면에 빛이 조사될 수 있도록 디퓨저(200) 아래에서 상방향 빛을 조사하도록 배치된 광원(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
4. 청구항 3에 있어서, 상기 디퓨저(200)는 상부의 테두리(220) 및 하부로 갈수록 좁아지는 경사면(230)을 구비하며, 디퓨저(200)의 하부 중앙에는 집진구(210)가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
5. 청구항 3에 있어서, 상기 척 플레이트(110)는 가공홀(111)이 마련되며, 이 가공홀(111)은 기판(B)에 가공되는 홀에 대응하는 위치에 형성되고,
   상기 디퓨저(200)는 가공홀(111)로부터 떨어지는 파티클을 집진구(210)를 통해 수집할 수 있도록 가공홀(111)의 하부에 놓인 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.

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