KR102036907B1 - 패턴 마스크 제작을 위한 금속 시트의 고정 장치 - Google Patents

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Abstract

평판 표시 장치의 제조 공정에 사용되는 패턴 마스크 제작을 위한 금속 시트의 고정 장치를 제공한다. 금속 시트의 고정 장치는 제1 고정부와 제2 고정부를 포함한다. 제1 고정부는 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 포함한다. 제2 고정부는 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하는 지지판과, 금속 시트의 중앙부와 지지판 사이에 위치하며 정전기력과 자기력 중 어느 하나를 발생시켜 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 포함한다.

Description

패턴 마스크 제작을 위한 금속 시트의 고정 장치 {METAL SHEET HOLDING DEVICE FOR MANUFACTURING FINE METAL MASK}
본 기재는 금속 시트의 고정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 표시 장치의 제조 공정에 사용되는 패턴 마스크 제작을 위한 금속 시트의 고정 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치로서 유기 발광 표시 장치가 알려져 있다. 유기 발광 표시 장치는 화소마다 화소 회로와 유기 발광 다이오드를 구비하며, 복수의 유기 발광 다이오드에서 방출되는 빛들을 조합하여 이미지를 표시한다. 유기 발광 다이오드는 화소 전극과 유기 발광층 및 공통 전극을 포함한다.
유기 발광층은 주로 패턴 마스크를 이용한 증착법으로 형성된다. 패턴 마스크는 유기 발광층에 대응하는 복수의 개구부를 형성하며, 인장력이 가해진 상태로 프레임에 고정된다. 프레임에 고정된 패턴 마스크는 증착원을 구비한 증착 챔버 내부에서 기판 상에 정렬되고, 증착원으로부터 증발된 유기 물질은 패턴 마스크의 개구부를 통과해 기판 상에 증착되어 유기 발광층을 형성한다.
패턴 마스크는 금속 시트로 형성된 미세 금속 마스크(fine metal mask, FMM)이며, 인바(invar, 철-니켈 합금) 또는 스테인리스 강(SUS) 등으로 제작된다. 최근 들어 레이저 마이크로 가공기술(laser micro-machining)이 발전함에 따라, 극초단 펄스 레이저인 피코초(ps) 레이저를 이용하여 금속 시트에 개구부를 형성하려는 연구가 진행되고 있다.
본 기재는 레이저 마이크로 가공기술로 금속 시트에 개구부를 형성하여 패턴 마스크를 제작하는 과정에서 금속 시트를 견고하게 고정할 수 있는 금속 시트의 고정 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 기재는 금속 시트를 평탄한 상태로 유지시켜 처짐을 방지하고, 개구부의 위치 정밀도를 높이며, 개구부 형성 이후 패턴 마스크를 분리시키지 않고도 세정과 검사가 가능한 금속 시트의 고정 장치를 제공하고자 한다.
본 기재의 일 실시예에 따른 금속 시트의 고정 장치는, ⅰ) 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부, ⅱ) 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하며 정전기력을 발생시켜 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비한 제2 고정부, 및 ⅲ) 밀착부의 하부에 위치하는 백라이트 유닛과, 백라이트 유닛을 지지하는 지지대를 구비한 제3 고정부를 포함한다.
금속 시트는 적어도 한 방향으로 인장된 상태에서 점착층에 의해 제1 프레임에 고정될 수 있다. 제2 고정부는, 밀착부의 하부에 위치하여 금속 시트의 중앙부와 밀착부를 지지하는 지지판을 더 포함할 수 있다.
밀착부는 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판과, 절연판의 하면에 위치하는 투명한 도전막과, 금속 시트와 도전막에 고전압을 인가하는 전원부를 포함할 수 있다.
도전막은 절연판의 하면 전체에 형성될 수 있다. 다른 한편으로, 도전막은 복수개로 분리 배치될 수 있다. 복수의 도전막은 절연판의 제1 방향을 따라 길게 형성되고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 일렬로 배열될 수 있다. 복수의 도전막은 절연판의 중앙에 위치하는 도전막부터 절연판의 가장자리에 위치하는 도전막에 이르기까지 순차적으로 전압을 인가받을 수 있다.
제1 고정부와 제2 고정부 및 제3 고정부는 일체로 조립된 상태로 금속 시트의 레이저 가공이 진행되며, 레이저 가공 이후 제1 고정부는 제2 고정부에서 분리되어 금속 시트의 세정이 진행될 수 있다. 금속 시트의 세정은 산성 세정액을 이용한 초음파 세정이고, 점착층과 제1 프레임은 각각 산성 세정액에 반응하지 않는 점착성 폴리머와 엔지니어링 플라스틱으로 형성될 수 있다. 금속 시트의 세정 이후 제1 고정부는 제2 고정부 및 제3 고정부에 조립되고, 백라이트 유닛이 켜져 금속 시트의 검사/수리가 진행될 수 있다.
본 기재의 다른 일 실시예에 따른 금속 시트의 고정 장치는, ⅰ) 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부, 및 ⅱ) 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하며 자기력을 발생시켜 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비한 제2 고정부를 포함한다.
금속 시트는 적어도 한 방향으로 인장된 상태에서 점착층에 의해 제1 프레임에 고정될 수 있다. 제2 고정부는, 밀착부의 하부에 위치하여 금속 시트의 중앙부와 밀착부를 지지하는 지지판을 더 포함할 수 있다.
밀착부는 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판과, 절연판의 하부에 위치하는 복수의 전자석과, 복수의 전자석 각각에 연결된 전원부를 포함할 수 있다. 다른 한편으로, 밀착부는 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판과, 절연판의 하부에 위치하는 영구자석을 포함할 수 있다.
제1 고정부와 제2 고정부는 일체로 조립된 상태로 금속 시트의 레이저 가공이 진행되며, 레이저 가공 이후 제1 고정부는 제2 고정부에서 분리되어 금속 시트의 세정이 진행될 수 있다. 금속 시트의 세정은 산성 세정액을 이용한 초음파 세정이고, 점착층과 제1 프레임은 각각 산성 세정액에 반응하지 않는 점착성 폴리머와 엔지니어링 플라스틱으로 형성될 수 있다.
본 기재의 또 다른 일 실시예에 따른 금속 시트의 고정 장치는, ⅰ) 적어도 한 방향으로 인장된 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부, 및 ⅱ) 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하는 지지판과, 금속 시트의 중앙부와 지지판 사이에 위치하며 정전기력과 자기력 중 어느 하나를 발생시켜 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비한 제2 고정부를 포함한다.
레이저 가공 단계 및 레이저 가공 이후의 단계에서 금속 시트의 개구부는 높은 위치 정밀도를 유지할 수 있다. 또한, 레이저 가공 단계에서 금속 시트에 열풍과 같은 외력이 가해지더라도 금속 시트가 움직이거나 변형되는 일이 발생하지 않으므로 개구부의 위치 정밀도를 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 고정 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 고정 장치의 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 고정 장치의 결합 상태 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 고정 장치 중 제2 고정부의 도전막을 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 고정 장치의 분해 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 고정 장치의 분해 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “상에” 또는 “위에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, “~ 상에” 또는 “~ 위에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 고정 장치의 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시한 고정 장치의 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시한 고정 장치의 결합 상태 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 제1 실시예의 고정 장치(100)는 상호 적층되는 제1 고정부(10)와 제2 고정부(20) 및 제3 고정부(30)를 포함한다.
금속 시트(40)는 제1 고정부(10) 상에 위치하며, 제1 고정부(10)의 아래로 제2 고정부(20)와 제3 고정부(30)가 위치한다. 제1 고정부(10)와 제2 고정부(20) 및 제3 고정부(30)는 일체로 조립되어 레이저 가공 장치(도시하지 않음)에 투입되고, 레이저 가공 이후 필요에 따라 상호 분리될 수 있다.
보다 구체적으로, 제1 고정부(10)는 제1 프레임(11)과 점착층(12)을 포함한다. 제1 프레임(11)은 금속 시트(40)의 중앙부를 개방시키는 제1 개구부(111)를 형성하며, 점착층(12)은 제1 프레임(11)의 상면에 위치한다.
금속 시트(40)는 한 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 양측 단부가 점착층(12)에 의해 제1 프레임(11)에 고정될 수 있다. 또한, 금속 시트(40)는 두 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 가장자리 전체가 점착층(12)에 의해 제1 프레임(11)에 고정될 수 있다. 도 1 내지 도 3에서는 첫 번째 경우를 예로 들어 도시하였다.
제2 고정부(20)는 제1 프레임(11)의 하부에 위치하는 제2 프레임(21)과, 제2 프레임(21)의 중앙에 위치하는 지지판(22)과, 금속 시트(40)와 지지판(22) 사이에 위치하며 정전기력을 발생시켜 금속 시트(40)를 밀착 고정시키는 밀착부(23)를 포함한다.
제2 프레임(21)은 제1 개구부(111)에 대응하는 제2 개구부(211)를 형성하며, 제2 개구부(211)에 지지판(22)이 위치한다. 지지판(22)은 금속 시트(40)의 중앙부와 밀착부(23)를 지지하고, 금속 시트(40)를 향한 상면이 평탄하게 형성되어 밀착부(23)와 그 위의 금속 시트(40)가 평탄한 상태를 유지하도록 한다. 지지판(22)은 5mm 이상 두께의 유리판으로 형성될 수 있다.
밀착부(23)는 금속 시트(40)의 중앙부를 지지하는 절연판(24)과, 지지판(22)과 절연판(24) 사이에 위치하는 도전막(25)과, 금속 시트(40) 및 도전막(25)에 연결되는 전원부(26)를 포함한다. 절연판(24)은 지지판(22)보다 작은 두께의 유리판일 수 있으며, 도전막(25)은 절연판(24)의 하면 전체에 형성된다.
금속 시트(40)에 개구부를 형성하는 레이저 가공 단계에서 금속 시트(40)와 도전막(25)은 전원부(26)와 전기적으로 연결되어 고전압, 예를 들어 1kV 내지 5kV의 전압을 인가받는다. 그러면 금속 시트(40)와 도전막(25)은 각각 음(-)전극과 양(+)전극이 되면서 정전기력이 발생하며, 금속 시트(40)의 중앙부는 정전기력에 의해 절연판(24)에 강하게 밀착된다. 이때 금속 시트(40)와 도전막(25) 사이에 절연판(24)이 있으므로 금속 시트(40)와 도전막(25) 사이에는 전류가 흐르지 않는다.
제3 고정부(30)는 백라이트 유닛(31)과, 백라이트 유닛(31)을 지지하는 지지대(32)를 포함한다. 백라이트 유닛(31)은 지지판(22)에 대응하는 크기로 형성될 수 있고, 지지대(32)에 형성된 오목부에 안착될 수 있다. 지지대(32)는 레이저 가공 테이블(도시하지 않음)에 흡착 방식으로 고정될 수 있으며, 안정된 흡착을 위해 지지대(32)의 하면은 평탄면으로 형성된다.
백라이트 유닛(31)은 레이저 가공 단계 이후의 검사/수리 단계에서 켜져 복수의 개구부가 형성된 금속 시트(40)(패턴 마스크)를 향해 빛을 조사한다. 금속 시트(40)의 상부에서 빛을 조사하는 방식보다 금속 시트(40)의 하부에서 빛을 조사하는 후면 조명(백라이트) 방식이 금속 시트(40)의 결함을 검사하는데 보다 유리하다.
백라이트 유닛(31)에서 방출된 빛이 금속 시트(40)에 도달하기 위해서는 지지판(22)과 절연판(24) 및 도전막(25)이 투명해야 한다. 이를 위해 지지판(22)과 절연판(24)은 투명 유리로 형성되고, 도전막(25)은 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 및 인듐산화물(In2O3) 중 적어도 하나를 포함하는 투명 도전막으로 형성된다.
금속 시트(40)는 제1 고정부(10)로 이송되며, 한 방향 또는 두 방향으로 인장력이 가해진 상태에서 점착층(12)에 의해 제1 프레임(11)에 고정된다. 이때 점착층(12)은 밀착부(23)와 같은 큰 힘으로 금속 시트를 지지할 수 없으나, 인장력의 변화 없이 금속 시트(40)를 평탄한 상태로 유지시킬 정도의 힘은 보유하고 있다.
제1 고정부(10)와 제2 고정부(20) 및 제3 고정부(30)는 볼트/너트와 같은 통상의 결합 수단에 의해 일체로 조립되며, 조립된 상태로 레이저 가공 테이블에 안착된다. 그리고 금속 시트(40)와 도전막(25)은 전원부(26)와 전기적으로 연결되어 금속 시트(40)의 중앙부가 정전기력에 의해 절연판(24)에 강하게 밀착된다.
금속 시트(40)가 절연판(24)에 밀착된 상태에서 레이저 가공 장치가 가동하며, 피코초 레이저와 같은 극초단 펄스 레이저가 금속 시트(40)를 드릴링(drilling) 가공하여 복수의 개구부를 형성한다. 이러한 레이저 가공 과정에서 금속 시트(40)는 절연판(24)에 강하게 밀착되어 있으므로, 금속 시트(40) 전체는 구김 없이 평탄한 상태를 유지할 수 있다.
따라서 레이저 가공 단계 및 레이저 가공 이후의 단계에서 금속 시트(40)의 개구부는 높은 위치 정밀도를 유지할 수 있다. 또한, 레이저 가공 단계에서 금속 시트(40)에 열풍과 같은 외력이 가해지더라도 금속 시트(40)가 움직이거나 변형되는 일이 발생하지 않으므로 개구부의 위치 정밀도를 높일 수 있다.
레이저 가공 이후 제1 고정부(10)는 제2 고정부(20)에서 분리되고, 세정 장치(도시하지 않음)에 투입되어 금속 시트(40)가 세정되도록 한다. 금속 시트(40)의 세정은 산성 세정액(예를 들어 염산 용액)을 사용하는 초음파 세정일 수 있다. 이 경우 점착층(12)은 세정액에 반응하지 않는 점착성 폴리머로 형성되고, 제1 프레임(11)은 세정액에 반응하지 않으면서 강성이 높은 엔지니어링 플라스틱으로 형성된다.
이전의 레이저 가공 단계에서는 제1 고정부(10)와 제2 고정부(20) 및 제3 고정부(30)가 금속 시트(40)를 지지하였으나, 제2 고정부(20)와 제3 고정부(30)는 세정액에 잠기면 안되므로(즉 도전막(25)과 백라이트 유닛(31)이 파손되므로) 세정 단계에서는 제1 고정부(10)만이 금속 시트(40)를 지지한다.
금속 시트(40)의 세정 이후 제1 고정부(10)는 다시 제2 고정부(20)에 조립되고, 백라이트 유닛(31)을 이용한 금속 시트(40)의 검사/수리 과정이 이어진다. 백라이트 유닛(31)이 금속 시트(40)의 하부에서 빛을 조사함에 따라, 전면 조명 방식보다 금속 시트(40)에 발생한 결함이나 미가공 영역을 보다 쉽게 검출할 수 있다.
이와 같이 제1 실시예의 고정 장치(100)는 백라이트 기능을 포함하고 있으므로 금속 시트(40)의 레이저 가공과 더불어 검사/수리가 가능해진다. 만일 백라이트 유닛(31)이 별도의 검사 설비에 장착된 경우를 가정하면, 레이저 가공 후 금속 시트(40)를 고정 장치(100)에서 분리시키고, 검사 설비에 다시 고정해야 하는 번거로움이 있으며, 이 과정에서 금속 시트(40)의 변형이 발생할 수 있다.
그러나 제1 실시예의 고정 장치(100)에서는 전술한 번거로움이 없으며, 금속 시트(40)의 변형도 방지할 수 있다. 또한, 제1 실시예의 고정 장치(100)는 제1 고정부(10)를 따로 분리할 수 있으므로 금속 시트(40)를 쉽게 세정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 고정 장치 중 제2 고정부의 도전막을 나타낸 평면도이다.
도 4를 참고하면, 제2 실시예의 고정 장치는 제2 고정부의 도전막(251)이 복수개로 분리 배치되는 것을 제외하고 전술한 제1 실시예와 같은 구성으로 이루어진다.
제1 실시예에서 도전막(25)은 절연판(24)의 하면 전체에 형성된다. 이 경우 금속 시트(40)와 도전막(25)에 전원을 연결하여 금속 시트(40)를 절연판(24)에 밀착시키는 과정에서 금속 시트(40)의 내측에 공기가 포집될 수 있다.
제2 실시예에서 복수의 도전막(251)은 절연판(24)의 제1 방향을 따라 길게 형성되고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 일렬로 배열된다. 도 4에서는 가로 방향으로 길게 형성된 복수의 도전막(251)이 세로 방향을 따라 일렬로 배열된 경우를 예로 들어 도시하였다.
각각의 도전막(251)은 전원부(도시하지 않음)에 연결되며, 순차적으로 전압을 인가받는다. 즉 복수의 도전막(251) 중 절연판(24)의 중앙에 위치하는 도전막(251)부터 절연판(24)의 가장자리에 위치하는 도전막(251)에 이르기까지 순차적으로 전압을 인가받는다. 그러면 금속 시트(40)는 그 중앙부에서 가장 먼저 절연판(24)에 밀착되고, 가장자리에 이르기까지 순차적으로 절연판(24)에 밀착되면서 공기를 바깥으로 밀어낸다.
따라서 제2 실시예의 고정 장치는 금속 시트(40)와 절연판(24) 사이로 공기가 포집되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 고정 장치의 분해 단면도이다.
도 5를 참고하면, 제3 실시예의 고정 장치(300)는 제1 고정부(10)와 제2 고정부(201)를 포함하며, 제1 실시예의 제3 고정부를 포함하지 않는다. 제1 고정부(10)는 제1 실시예와 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
제2 고정부(201)는 제1 프레임(11)의 하부에 위치하는 제2 프레임(21)과, 제2 프레임(21)의 중앙에 위치하는 지지판(22)과, 금속 시트(40)와 지지판(22) 사이에 위치하며 자기력을 발생시켜 금속 시트(40)를 밀착 고정시키는 밀착부(231)를 포함한다.
제2 프레임(21)은 제1 개구부(111)에 대응하는 제2 개구부(211)를 형성하고, 제2 개구부(211)에 지지판(22)이 위치한다. 지지판(22)은 금속 시트(40)의 중앙부와 밀착부(231)를 지지하며, 금속 시트(40)를 향한 상면이 평탄하게 형성되어 밀착부(231)와 그 위의 금속 시트(40)가 평탄한 상태를 유지하도록 한다. 지지판(22)은 5mm 이상 두께의 유리판으로 형성될 수 있다.
밀착부(231)는 금속 시트(40)의 중앙부를 지지하는 절연판(24)과, 지지판(22)과 절연판(24) 사이에 위치하는 복수의 전자석(27)과, 복수의 전자석(27) 각각에 연결된 전원부(26)를 포함한다. 절연판(24)은 지지판(22)보다 작은 두께의 유리판일 수 있으며, 복수의 전자석(27)은 서로간 거리를 두고 절연판(24)의 수평 방향 및 수직 방향을 따라 일정한 간격으로 배치된다.
금속 시트(40)에 개구부를 형성하는 레이저 가공 단계에서 복수의 전자석(27)에 전원이 연결되어 전류가 인가된다. 그러면 전자석(27)에서 자기력이 발생하고, 금속 시트(40)는 자기력에 의해 절연판(24)에 강하게 밀착된다. 따라서 금속 시트(40) 전체는 구김 없이 평탄한 상태를 유지하며, 열풍과 같은 외력이 가해지더라도 금속 시트(40)가 움직이거나 변형되지 않으므로 개구부의 위치 정밀도를 높일 수 있다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 고정 장치의 분해 단면도이다.
도 6을 참고하면, 제4 실시예의 고정 장치(400)는 복수의 전자석 대신 영구자석(28)이 설치되는 것을 제외하고 전술한 제3 실시예와 같은 구성으로 이루어진다. 제3 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 도면 부호를 사용한다.
제4 실시예에서 제2 고정부(202)의 밀착부(232)는 금속 시트(40)의 중앙부를 지지하는 절연판(24)과, 지지판(22)과 절연판(24) 사이에 위치하는 영구자석(28)을 포함한다. 이로써 레이저 가공 단계에서 금속 시트(40)는 영구자석(28)의 자기력에 의해 절연판(24)에 강하게 밀착되며, 구김 없이 평탄한 상태를 유지한다.
전자석(27)을 구비한 제3 실시예와 영구자석(28)을 구비한 제4 실시예의 경우 정전기력을 이용하는 제1 실시예 및 제2 실시예보다 강한 힘으로 금속 시트(40)의 중앙부를 절연판(24)에 밀착 고정시킬 수 있다. 제3 실시예와 제4 실시예에서 레이저 가공 단계 이후 제1 고정부(10)는 제2 고정부(201, 202)에서 분리되며, 세정 장치에 투입되어 금속 시트(40)가 세정되도록 한다.
제3 실시예와 제4 실시예의 고정 장치(300, 400)는 백라이트 기능을 적용할 수 없으므로(전자석(27)과 영구자석(28)이 빛을 투과시킬 수 없으므로), 세정 단계 이후 고정 장치(300, 400)는 전면 조명이 설치된 검사 설비로 이동하여 금속 시트(40)의 검사/수리가 이루어지도록 한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100, 300, 400: 고정 장치 10: 제1 고정부
11: 제1 프레임 12: 점착층
20, 201, 202: 제2 고정부 21: 제2 프레임
22: 지지판 23, 231, 232: 밀착부
24: 절연판 25, 251: 도전막
26: 전원부 30: 제3 고정부
31: 백라이트 유닛 32: 지지대

Claims (19)

  1. 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부;
    상기 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하며 정전기력을 발생시켜 상기 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비하고, 상기 제1 고정부와 분리 가능한 제2 고정부; 및
    상기 밀착부의 하부에 위치하는 백라이트 유닛과, 백라이트 유닛을 지지하는 지지대를 구비한 제3 고정부
    를 포함하고,
    상기 제1 프레임은 상기 금속시트의 중앙부를 개방시키는 제1 개구부를 포함하고, 상기 밀착부는 상기 제1 개구부 내에 수용되는 금속 시트의 고정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 금속 시트는 적어도 한 방향으로 인장된 상태에서 상기 점착층에 의해 상기 제1 프레임에 고정되는 금속 시트의 고정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 고정부는,
    상기 밀착부의 하부에 위치하여 상기 금속 시트의 중앙부와 상기 밀착부를 지지하는 지지판을 더 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 밀착부는,
    상기 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판;
    상기 절연판의 하면에 위치하는 투명한 도전막; 및
    상기 금속 시트와 상기 도전막에 고전압을 인가하는 전원부
    를 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 도전막은 상기 절연판의 하면 전체에 형성되는 금속 시트의 고정 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 도전막은 복수개로 분리 배치되는 금속 시트의 고정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 도전막은 상기 절연판의 제1 방향을 따라 길게 형성되고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 일렬로 배열되는 금속 시트의 고정 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 도전막은 상기 절연판의 중앙에 위치하는 도전막부터 상기 절연판의 가장자리에 위치하는 도전막에 이르기까지 순차적으로 전압을 인가받는 금속 시트의 고정 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 및 상기 제3 고정부는 일체로 조립된 상태로 상기 금속 시트의 레이저 가공이 진행되며,
    레이저 가공 이후 상기 제1 고정부는 상기 제2 고정부에서 분리되어 상기 금속 시트의 세정이 진행되는 금속 시트의 고정 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 금속 시트의 세정은 산성 세정액을 이용한 초음파 세정이고,
    상기 점착층과 상기 제1 프레임은 각각 상기 산성 세정액에 반응하지 않는 점착성 폴리머와 엔지니어링 플라스틱으로 형성되는 금속 시트의 고정 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 금속 시트의 세정 이후 상기 제1 고정부는 상기 제2 고정부 및 상기 제3 고정부에 조립되고, 상기 백라이트 유닛이 켜져 상기 금속 시트의 검사/수리가 진행되는 금속 시트의 고정 장치.
  12. 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부; 및
    상기 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하며 자기력을 발생시켜 상기 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비한 제2 고정부
    를 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 금속 시트는 적어도 한 방향으로 인장된 상태에서 상기 점착층에 의해 상기 제1 프레임에 고정되는 금속 시트의 고정 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 제2 고정부는,
    상기 밀착부의 하부에 위치하여 상기 금속 시트의 중앙부와 상기 밀착부를 지지하는 지지판을 더 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 밀착부는,
    상기 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판;
    상기 절연판의 하부에 위치하는 복수의 전자석; 및
    상기 복수의 전자석 각각에 연결된 전원부
    를 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 밀착부는,
    상기 금속 시트의 중앙부와 접하는 절연판; 및
    상기 절연판의 하부에 위치하는 영구자석
    을 포함하는 금속 시트의 고정 장치.
  17. 제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부는 일체로 조립된 상태로 상기 금속 시트의 레이저 가공이 진행되며,
    레이저 가공 이후 상기 제1 고정부는 상기 제2 고정부에서 분리되어 상기 금속 시트의 세정이 진행되는 금속 시트의 고정 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 금속 시트의 세정은 산성 세정액을 이용한 초음파 세정이고,
    상기 점착층과 상기 제1 프레임은 각각 상기 산성 세정액에 반응하지 않는 점착성 폴리머와 엔지니어링 플라스틱으로 형성되는 금속 시트의 고정 장치.
  19. 적어도 한 방향으로 인장된 금속 시트의 가장자리와 접하는 점착층과, 점착층을 이용하여 금속 시트를 지지하는 제1 프레임을 구비한 제1 고정부; 및
    상기 제1 프레임의 하부에 위치하는 제2 프레임과, 제2 프레임의 중앙에 위치하는 지지판과, 상기 금속 시트의 중앙부와 지지판 사이에 위치하며 정전기력과 자기력 중 어느 하나를 발생시켜 상기 금속 시트의 중앙부를 밀착 고정시키는 밀착부를 구비하고, 상기 제1 고정부와 분리 가능한 제2 고정부
    를 포함하고,
    상기 제1 프레임은 상기 금속시트의 중앙부를 개방시키는 제1 개구부를 포함하고, 상기 밀착부는 상기 제1 개구부 내에 수용되는 금속 시트의 고정 장치.
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