CN104266475B - 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法 - Google Patents

风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104266475B
CN104266475B CN201410386787.XA CN201410386787A CN104266475B CN 104266475 B CN104266475 B CN 104266475B CN 201410386787 A CN201410386787 A CN 201410386787A CN 104266475 B CN104266475 B CN 104266475B
Authority
CN
China
Prior art keywords
air knife
clamping block
flat board
adjusting means
horizontal base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201410386787.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN104266475A (zh
Inventor
熊丹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201410386787.XA priority Critical patent/CN104266475B/zh
Publication of CN104266475A publication Critical patent/CN104266475A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104266475B publication Critical patent/CN104266475B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

本发明提供了一种对有机发光二极管生产工艺中的风刀与平板之间位置进行调节的风刀调节装置,包括水平底座、两侧板、两调节螺钉及与风刀固定连接的风刀夹紧块,侧板安装在水平底座上形成供风刀夹紧块上下滑动的滑动腔,侧板之间还固定有顶板,风刀夹紧块沿滑动方向成对设置并容于滑动腔内,风刀夹紧块位于顶板的正下方并与侧板滑动连接,靠近水平底座处的风刀夹紧块沿水平方向凸伸出固定座,一调节螺钉沿滑动方向呈可转动的穿过顶板且顶端与顶板抵触,底端呈螺纹啮合的伸入远离水平底座处的风刀夹紧块内,另一调节螺钉呈螺纹啮合的穿过固定座并与水平底座抵触。本发明能对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有结构简单、操作简便及成本低下的优点。

Description

风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法
技术领域
本发明涉及一种调节装置,尤其涉及一种有机发光二极管中对用于清洗平板的风刀和平板之间位置进行调节的风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法。
背景技术
OLED(英文全称为:OrganicLight-EmittingDiode,中文名称为:有机发光二极管)由于具备轻薄(面板厚度一般小于2毫米)、省电(操作电压一般为3伏至10伏之间)等特性,因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用,并且具有较大的市场潜力,目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上,因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术,且是目前所有显示技术中,唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术,可以做成和纸张一样的厚度。因此,OLED的显示技术是将来的显示技术的发展方向。
有机发光二极管器件的基本结构是:在平板(如玻璃基板)与封装盖板形成的密闭空间内设置有机发光单元,有机发光单元包括阳极、有机发光层及阴极等各层,阳极和阴极在非发光区位置通过引线引出并与驱动芯片进行连接。而在上述的有机发光二极管的制造过程中,平板的清洁度直接影响到有机发光二极管器件的良品率及寿命,因此,对平板进行清洗清洁以去除平板表面的水气、粉尘颗粒等杂质是有机发光二极管制造过程中必不可少的一道工序。其中,粘附于平板表面上的微粒多半来自于环境因素,如人员、机台作业所产生的碎屑或在空气中漂浮的粉尘等等,而微粒粘附于平板表面的成因主要有如下几种:(1)环境中的微粒因其本身的重量而沉积在平板表面;(2)在细小微粒的分子与平板表面的薄膜分子之间存在分子吸引力;(3)平板表面与带有电荷的微粒之间产生的静电吸引力。因此,在有机发光二极管的生产过程中,通常要减少平板暴露在周围环境中的时间以降低平板被微粒粘附的机会,并利用各种清洁洗净方法将微粒予以清除,而清洁洗净方法有利用超音波进行洗涤的湿式清洁及利用喷出洁净空气吹掉基板表面水汽微粒的干式清洁这两大类。其中,由于湿式清洗容易在平板表面产生水气,造成蚀刻区域无法被完全去除而形成残留现象,故在湿式清洗后还需配合具有喷出洁净空气吹掉基板表面水汽微粒的干式清浩,具体对平板清洗的步骤如下:
(1)预湿:使平板表面形成亲水性以达到清洗药剂能均匀分布在平板的表面上。(2)喷洒化学药液、震荡及摇匀:喷洒化学药液,利用超声波震荡,超声波的声子能量刺穿微粒表面的一层微气泡,使微粒浸湿化学药液中,而化学药液扩散至境界面形成溶解作用,之后才能加以起化学作用,而摇匀使得化学药液能完整的涂布在平板表面上。(3)冲洗和震荡:将化学药液冲洗干净,并利用超声波能量,有效的缩短平板表面的边界层,减少阻力,并达到除去微粒的目的。(4)吹干:利用科恩达效应原理,使风刀喷出高压干净的空气,将平板表面附着的水分去除,避免水痕产生,因此,风刀的利用在平板清洁方面占有十分重要的位置。
而现有的风刀与平板之间的距离一般都是不具有可调节的,这使得风刀与平板之间不能维持一个较佳的距离,从而影响到平板清洗的洁净度,进而影响到OLED器件的正常寿命。目前,虽然市场上还出现能对平板与风刀之间距离进行调节的装置,但由于该装置的结构复杂、操作不便及制造成本偏高等因素,从而限制了该装置的使用范围。
因此,急需要一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有结构简单、操作方便及成本低下的风刀调节装置。
发明内容
本发明的一目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有结构简单、操作简便及成本低下的风刀调节装置。
本发明的另一目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节以提高平板的清洁度且具有结构简单、操作简便及成本低下的风刀式平板清洗设备。
本发明的又目的在于提供一种对风刀与平板之间位置进行精准调节并具有操作简便的风刀调节方法。
为实现上述的目的,本发明提供了一种风刀调节装置,适用于有机发光二极管生产工艺中对用清洗平板的风刀与平板之间位置进行调节,其中,本发明风刀调节装置包括水平底座、两侧板、两调节螺钉及与风刀固定连接的风刀夹紧块,所述侧板呈相互平行的安装在所述水平底座上形成供所述风刀夹紧块上下滑动的滑动腔,所述侧板之间还固定有与所述水平底座平行的顶板,所述风刀夹紧块沿滑动方向成对设置并容置于所述滑动腔内,容置于所述滑动腔内的所述风刀夹紧块位于所述顶板的正下方并与所述侧板滑动连接,靠近所述水平底座处的所述风刀夹紧块沿水平方向凸伸出固定座,一所述调节螺钉沿滑动方向呈可转动的穿过所述顶板且顶端与所述顶板抵触,底端呈螺纹啮合的伸入远离所述水平底座处的所述风刀夹紧块内,另一所述调节螺钉呈螺纹啮合的穿过所述固定座并与所述水平底座抵触。
较佳地,本发明风刀调节装置还包括风刀角度调节件,所述风刀夹紧块开设有供所述风刀安装的安装孔,所述风刀夹紧块还开设有与所述安装孔连通并贯穿所述风刀夹紧块的顶端和/或底端的通槽,所述通槽分隔所述风刀夹紧块成两夹紧部,所述风刀角度调节件依次呈可转动的穿过一所述夹紧部和通槽并与另一所述夹紧部螺纹啮合,所述侧板对应地开设置有供所述风刀角度调节件调节用的调节操作槽。通过风刀角度调节件与两夹紧部的配合,在平板与刀风进行角度调节时,旋转风刀角度调节件使两夹紧部松开对风刀的夹紧,然后调整好平板与风刀的角度,最后再旋转风刀角度调节件使两夹紧部对风刀进行夹紧,实现风刀与平板之间的角度调整,从而使得本发明的风刀调节装置能对风刀相对于平板的位置和角度进行调节,为提高平板的清洁度创造良好的条件。具体地,所述风刀角度调节件为紧定螺钉,使得风刀角度调节件的结构更简单且实用。
较佳地,所述侧板与所述水平底座呈垂直的设置,确保风刀夹紧块能沿竖直方向滑动,从而使得风刀夹紧块在侧板上的滑动更容易。
较佳地,所述侧板沿滑动方向开设有与所述滑动腔连通的滑动槽,所述风刀夹紧块对应地凸伸出伸入所述滑动槽内的滑动部。通过滑动部与滑动槽的配合,为风刀夹紧块在侧板上的滑动提供精准的导向,且便于风刀夹紧块在侧板上滑动。具体地,所述滑动部内还枢接有滚轮,所述滚轮的一端伸出所述滑动部并与所述滑动槽的内壁相接触,使得风刀夹紧块在侧板上的滑动更容易和更精准。
本发明的风刀式平板清洗设备包括本发明的风刀调节装置及与外界高压气体输送器连通的上风刀和下风刀。所述上风刀和下风刀呈平行的设置形成供平板输送的输送通道,所述风刀调节装置分别设置于所述上风刀和下风刀的两端并与所述上风刀和下风刀固定连接。
本发明的风刀调节方法,包括如下步骤:(1)旋转调节螺钉,驱使风刀朝平板处滑动到所要的位置;(2)旋转风刀角度调节件,松开对风刀固定并调节风刀相对于平板的角度,得到所要的角度并固定;(3)重复上述步骤(1)和(2),直到得到风刀与平板所要的理想位置及角度。
与现有技术相比,由于本发明的两调节螺钉及两风刀夹紧块,使得两个与风刀固定连接的风刀夹紧块能在侧板上做相互独立的滑动,从而使得本发明的风刀调节装置能对每一风刀与平板之间的距离进行单独调节,因而使得本发明风刀调节装置能精准地控制每一风刀与平板之间的距离而为提高平板的清洗洁净度创造良好的条件。同时,本发明的风刀调节装置仅通过两风刀夹紧块及两调节螺钉即可以精准控制风刀与平板之间距离,因而使得本发明的风刀调节装置的结构更简单、操作更简便且成本更低。
附图说明
图1是本发明风刀调节装置的结构示意图。
图2是本发明风刀式平板清洗设备的结构示意图。
图3是本发明风刀式平板清洗设备对平板进行清洗的状态示意图。
图4是本发明风刀调节方法的流程图。
具体实施方式
为了详细说明本发明的技术内容、构造特征,以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
请参阅图1,本发明的风刀调节装置100用于有机发光二极管生产工艺中对用清洗平板的风刀200与平板300之间位置进行调节(见图3),其包括水平底座10、两侧板20、两调节螺钉30及与风刀200固定连接的风刀夹紧块40。所述侧板20呈相互平行的安装在所述水平底座10上形成供所述风刀夹紧块40上下滑动的滑动腔50,具体是,所述侧板20与水平底座10呈垂直的设置并安装在水平底座10上以确保风刀夹紧块40能沿竖直方向滑动,从而使得风刀夹紧块40在侧板20上的滑动更容易,而侧板20安装在水平底座10上的方式是:先用固定螺钉80和底板90将两侧板20固定在一起,然后,再通过固定螺钉80把固定在一起的底板90和水平底座10固定以使得侧板20、底板90及水平底座10之间具有可拆性,当然,也可以通过焊接工艺直接的将两侧板20焊接在水平底座10上,因此不能因上述的举例而限定了侧板20与水平底座10之间的安装方式。同时,所述侧板20之间还固定有与所述水平底座10平行的顶板60,该顶板60的两端是通过固定螺钉80与两侧板20固定在一起的,所述风刀夹紧块40沿滑动方向成对设置并容置于所述滑动腔50内,容置于所述滑动腔50内的所述风刀夹紧块40位于所述顶板60的正下方并与所述侧板20滑动连接,具体是,沿滑动方向(即是图1中竖直方向)在侧板20开设有与所述滑动腔50连通的滑动槽22,而风刀夹紧块40对应地凸伸出伸入滑动槽22内的滑动部45以实现风刀夹紧块40与侧板20之间的滑动连接,目的在于能为风刀夹紧块40在侧板20上的滑动提供精准的导向,且便于风刀夹紧块40在侧板20上滑动;为了使得风刀夹紧块40在侧板20上的滑动更容易和更精准,故还在滑动部45内还枢接有滚轮(图中未示),该滚轮的一端伸出所述滑动部45并与所述滑动槽22的内壁相接触;当然,实现风刀夹紧块40与侧板20的滑动连接方式还可以导轨和滑块的配合,以及齿条与齿轮的配合等等,因此不能因上述的举例而对本发明的风刀夹紧块40与侧板20的滑动方式进行限定。而靠近所述水平底座10处的所述风刀夹紧块40沿水平方向凸伸出固定座41。顶端的所述调节螺钉30沿滑动方向呈可转动的穿过所述顶板60且其顶端与所述顶板60抵触,其底端呈螺纹啮合的伸入远离所述水平底座10处的所述风刀夹紧块40内,底端的所述调节螺钉30呈螺纹啮合的穿过所述固定座41并与所述水平底座10抵触。更具体地,如下:
本发明风刀调节装置100还包括风刀角度调节件70,所述风刀夹紧块40开设有供所述风刀200安装的安装孔42,上述提到的风刀夹紧块40还开设有与所述安装孔42连通并贯穿上述提到的风刀夹紧块40的顶端和/或底端的通槽43,在本实施例中,该通槽43只贯穿上述提到的风刀夹紧块40的顶端以减少风刀角度调节件70的使用数量,所述通槽43分隔上述提到的风刀夹紧块40成两夹紧部44,所述风刀角度调节件70依次呈可转动的穿过右侧的夹紧部44和通槽43并与左侧的夹紧部44螺纹啮合,上述提到的侧板20对应地开设置有供所述风刀角度调节件70调节用的调节操作槽21,具体地,所述风刀角度调节件70为紧定螺钉以使得风刀角度调节件70的结构更简单且实用。其中,通过风刀角度调节件70与两夹紧部44的配合,在平板300与刀风200进行角度调节时,旋转风刀角度调节件70使两夹紧部44松开对风刀200的夹紧,然后调整好平板300与风刀200的角度,最后再旋转风刀角度调节件70使两夹紧部44对风刀200的夹紧,实现风刀200与平板300之间的角度调整,从而使得本发明的风刀调节装置100能对风刀相对于平板300的位置和角度进行调节,为提高平板300的清洁度创造良好的条件。
请参阅图2和图3,本发明的风刀式平板清洗设备包括本发明的风刀调节装置100及与外界高压气体输送器连通的上风刀200a和下风刀200b。所述上风刀200a和下风刀200b呈平行的设置形成供平板300输送的输送通道220,所述风刀调节装置100分别设置于所述上风刀200a和下风刀200b的左端和右端并与所述上风刀200a和下风刀200b固定连接,具体是,上风刀200a的左端通过安装轴210插在左侧的风刀调节装置100的顶端的风刀夹紧块40的安装孔42内并与左侧的风刀调节装置100的顶端的风刀夹紧块40固定,上风刀200a的右端通过安装轴210插在右侧的风刀调节装置100的顶端的风刀夹紧块40的安装孔42内并与右侧的风刀调节装置100的顶端的风刀夹紧块40固定;而下风刀200b的左端通过安装轴210插在左侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40的安装孔42内并与左侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40固定,下风刀200b的右端通过安装轴210插在右侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40的安装孔42内并与右侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40固定。
请参图1至图3,对本发明风刀调节装置对风刀和平板之间的位置和角度的调节进行详细的描述:首先,当下风刀200b需往平板300的下表面处靠近时,此时需同时调节左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的调节螺钉30,使调节螺钉30驱使左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40在侧板20上滑动,从而驱使下风刀200b往靠近平板300的下表面处滑动,直到得到所要的位置;接着,旋转左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的风刀角度调节件70,使左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40松开对下风刀200b的夹紧,此时旋转下风刀200b相对于平板300的下表面的角度,直到得到所需的角度后,再旋转左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的风刀角度调节件70,驱使左侧和右侧的风刀调节装置100的底端的风刀夹紧块40再次夹紧下风刀200b,从而完成本发明的风刀调节装置100对下风刀200b相对于平板300下表面的位置和角度的一次调节,当下风刀200b相对于平板300下表面的实际位置和角度与理论的位置和角度不吻合时,不断重复上述的操作过程,直到使下风刀200b相对于平板300下表面的实际位置和角度与理论的位置和角度相吻合为止。而上风刀200a与平板300上表面之间的位置和角度的调节与下风刀200b与平板300下表面之间的位置和角度的调节是实质相同的,故在此不再赘述。当完成上风刀200a和下风刀200b的调节后,此时往上风刀200a和下风刀200b处输入高压气体,高压气体从上风刀200a和下风刀200b的0.05毫米的窄缝沿图3中箭头b和c所指的方向高速吹出,而形成气幕薄片,对沿图3中箭头a所指的方向输送来的平板300的上下表面进行清洗,从而完成本发明风刀式平板清洗设备对平板300的清洗工作。其中,为了防止调节好的上风刀200a和下风刀200b出现滑动,故还借助固定螺钉80对本发明的风刀调节装置100的顶端和底端的风刀夹紧块40进行固定;对于上述的上风刀200a的调节和下风刀200b的调节是没有顺序要求的,它们可以同时进行,也可以分别进行;同时,本发明的风刀调节装置100的调节螺钉30对顶端的风刀夹紧块40驱动和对底端的风刀夹紧块40的驱动方式有一些区别:顶端的调节螺钉30驱使顶端的风刀夹紧块40在侧板20上滑动是借助顶端的调节螺钉30与顶端的风刀夹紧块40之间的螺纹啮合;而底端的调节螺钉30驱使底端的风刀夹紧块40在侧板20上滑动是借助底端的调节螺钉30与底端的风刀夹紧块40之间的螺纹啮合的同时,还借助底端的调节螺钉30与水平底座10的抵触。
请参阅图4,本发明的风刀调节方法包括如下步骤:S100,旋转调节螺钉,驱使风刀朝平板处滑动到所要的位置;S101,旋转风刀角度调节件,松开对风刀固定并调节风刀相对于平板的角度,得到所要的角度并固定,判断所要的角度和位置与理想的位置和角度是否吻合,若吻合,执行步骤S102;若不吻合,重复执行步骤S100和S101,直到吻合为止,吻合合,执行步骤S102。
本发明的两调节螺钉30及两风刀夹紧块40,使得两个与风刀200固定连接的风刀夹紧块40能在侧板20上做相互独立的滑动,从而使得本发明的风刀调节装置100能对每一风刀200与平板300之间的距离进行单独调节,因而使得本发明风刀调节装置100能精准地控制每一风刀200与平板300之间的距离而为提高平板300的清洗洁净度创造良好的条件。同时,本发明的风刀调节装置100仅通过两风刀夹紧块40及两调节螺钉30即可以精准控制风刀200与平板300之间距离,因而使得本发明的风刀调节装置100的结构更简单、操作更简便且成本更低。
值得注意者,上述提到的左端与右端、顶端与底端以及左侧和右侧的建立是以图1为基准的。
以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,因此依本发明权利要求所作的等同变化,仍属于本发明所涵盖的范围。

Claims (6)

1.一种风刀调节装置,适用于有机发光二极管生产工艺中对用清洗平板的风刀与平板之前位置进行调节,其特征在于,所述风刀调节装置包括水平底座,两侧板、两调节螺钉及与风刀固定连接的风刀夹紧块,所述侧板呈相互平行的安装在所述水平底座上形成供所述风刀夹紧块上下滑动的滑动腔,且所述侧板与所述水平底座呈垂直的设置,所述侧板之间还固定有所述水平底座平行的顶板,所述风刀夹紧块沿滑动方向成对设置并容置于所述滑动腔内,容置于所述滑动腔内的所述风刀夹紧块位于所述顶板的正下方并与所述侧板滑动连接,靠近所述水平底座处的所述风刀夹紧块沿水平方向凸伸出固定座,一所述调节螺钉沿滑动方向呈可转动的穿过所述项顶板且顶端与所述顶板抵触,底端呈螺蚊啮合的伸入远离所述水平底座处的所述风刀夹紧块内,另一所述调节螺钉呈螺纹啮合的穿过所述固定座并与所述水平底座抵触;还包括风刀角度调节件,所述风刀夹紧块开设有供所述风刀安装的安装孔,所述风刀夹紧块还开设有与所述安装孔连通并贯穿所述风刀夹紧块的顶端和/或底端的通槽,所述通槽分隔所述风刀夹紧块成两平紧部,所述风刀角度调节件依次呈可转动的穿过一所述夹紧部和通槽并与另一所述夹紧部螺纹啮合,所述侧板对应地开设置有供所述风刀角度调节用的调节操作槽。
2.根据权利要求1所述的风刀调节装置,其特征在于,所述风刀角度调节件为紧定螺钉。
3.根据权利要求1所述风刀调节装置,其特征在于,所述侧板沿滑动方向开设有与所述滑动腔连通的滑动槽,所述风刀夹紧块对应地凸伸出伸入所述滑动槽内的滑动部。
4.根据权利要求3所述的风刀调节装置,其特征在于,所述滑动部内还枢接有滚轮,所述滚轮的一端伸出所述滑动部并与所述滑动槽的内壁相接触。
5.一种风刀式平板清洗设备,包括与外界高压气体输送器连通的上风刀和下风刀,所述上风刀和下风刀的设置形成供平板输送的输送通道,其特征在于,还包括如权利要求1至4任一项所述的风刀调节装置,所述风刀调节装置分别设置于所述上风刀和下风刀的两端并与所述上风刀和下风刀固定连接。
6.一种使用权利要求1所述的风刀调节装置对用于清洗有机发光二极中的平板的风刀与平板之间的位置和角度进行调节的风刀调节方法,其特征在于,包括如下步骤:
⑴旋转调节螺钉,驱使风刀朝平板处滑动到所要的位置;
⑵旋转风刀角度调节件,松开对风刀固定并调节风刀相对于平板的角度,得到所要的角度并固定;以及
⑶重复上述步骤⑴和⑵,直到得到风刀与平板所要的理想位置及角度。
CN201410386787.XA 2014-08-07 2014-08-07 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法 Expired - Fee Related CN104266475B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410386787.XA CN104266475B (zh) 2014-08-07 2014-08-07 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410386787.XA CN104266475B (zh) 2014-08-07 2014-08-07 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104266475A CN104266475A (zh) 2015-01-07
CN104266475B true CN104266475B (zh) 2016-08-03

Family

ID=52158017

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410386787.XA Expired - Fee Related CN104266475B (zh) 2014-08-07 2014-08-07 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104266475B (zh)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107008695A (zh) * 2016-01-28 2017-08-04 深圳长城开发科技股份有限公司 除尘装置
CN108097689B (zh) * 2018-01-31 2024-03-19 苏州立讯技术有限公司 滤波器用调试盖板的清洗烘干设备
CN108613540B (zh) * 2018-04-08 2020-01-03 杭州娃哈哈精密机械有限公司 一种易于安装调整的风刀除水装置
CN108435621A (zh) * 2018-04-19 2018-08-24 陈子群 一种新型薄膜制造技术设备
CN109108035A (zh) * 2018-11-02 2019-01-01 深圳市宝盛自动化设备有限公司 一种清洗机的热风风干机构
CN109590265A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 苏州晶洲装备科技有限公司 一种可调节的双流体平板清洗结构
CN109631562A (zh) * 2018-12-26 2019-04-16 苏州晶洲装备科技有限公司 一种可调节的风刀固定结构
CN109823836A (zh) * 2019-03-04 2019-05-31 郑州旭飞光电科技有限公司 辅助气浮传送装置
CN110701897A (zh) * 2019-10-17 2020-01-17 北京泰拓精密清洗设备有限公司 一种送风装置及带有该装置的清洗机
CN111674063A (zh) * 2020-07-02 2020-09-18 镇江新成复合材料有限公司 小型半自动薄膜加工装置及小型化薄膜加工方法
CN112944858B (zh) * 2021-03-31 2023-12-22 深圳市新嘉拓自动化技术有限公司 一种高效除清洁剂的干燥装置及方法
CN117960693A (zh) * 2024-03-28 2024-05-03 中国航天三江集团有限公司 光学元件在线清洁风刀吹扫装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6018842A (en) * 1997-08-13 2000-02-01 Billco Manufacturing, Inc. Glass washing machine
CN201913090U (zh) * 2010-11-29 2011-08-03 深圳市和科达液晶设备有限公司 一种风刀调整装置
CN202316386U (zh) * 2011-11-15 2012-07-11 深圳市凯尔迪光电科技有限公司 一种上下移动式喷淋清洗干燥机构
CN103322786A (zh) * 2013-06-01 2013-09-25 金坛昌凯兴光电科技有限公司 一种玻璃清洗机可调风刀
CN204007044U (zh) * 2014-08-07 2014-12-10 熊丹 风刀调节装置及风刀式平板清洗设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN104266475A (zh) 2015-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104266475B (zh) 风刀调节装置、风刀式平板清洗设备及风刀调节方法
CN204007044U (zh) 风刀调节装置及风刀式平板清洗设备
KR102407609B1 (ko) 적층체의 기판 분리 장치
KR101345587B1 (ko) 유리 모서리 가공 방법 및 장치
JP6650663B2 (ja) 樹脂シートの分断方法及び分断装置
CN104851889A (zh) 可折叠基板及其制作方法、柔性显示装置
KR102036907B1 (ko) 패턴 마스크 제작을 위한 금속 시트의 고정 장치
JP5523436B2 (ja) 半導体清浄装置および半導体清浄方法
CN104515875B (zh) 半导体试验夹具和其搬运夹具及使用这些夹具的异物去除方法
CN108140605A (zh) 层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法
EP3556511A3 (en) Substrate processing apparatus and substrate holding apparatus
JP5783971B2 (ja) 塗布装置および塗布方法
CN1991525A (zh) 液晶显示装置
CN106842811A (zh) 一种光罩及清洁装置
JP2015034731A (ja) 試験装置、試験方法
CN105044990B (zh) 光配向设备与光配向方法
CN103235481B (zh) 一种匀胶铬版制造工艺
CN204331231U (zh) 液晶面板的除电装置
KR20180049855A (ko) 정전 척 및 정전 흡착 장치
CN205201452U (zh) 防异物贴片平台
CN104022125A (zh) 一种柔性显示面板及其制作方法、显示装置
CN103972131B (zh) 结合装置和结合方法
JP2017177257A (ja) 保持装置の分離方法および製造方法
CN109300773A (zh) 晶圆的表面处理方法
CN105080859A (zh) 倒装led芯片测试设备及其测试方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160803

Termination date: 20170807

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee