JP5783971B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Description
図1ないし図3は、第1実施形態を示す。図1は、本実施形態のコーター装置(塗布装置)の概略構成を示す縦断側面図である。図2は、本実施形態のコーター装置(塗布装置)の概略構成を示す上面図である。図1に示すように、コーター装置1は、コーターカップ2を備え、このコーターカップ2内には、ウエハ(半導体基板)Wを載置支持するスピンチャック3が回転可能に配設されている。ウエハWはスピンチャック3上に載置されて真空吸着により固定される。上記コーターカップ2内には、いずれも図示しないエッジカットノズルおよびバックサイドリンスノズルが配設され、これらノズルからリンス液がウエハ3の所定の領域に供給される。
図4は、第2実施形態を示すものである。尚、第1実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第2実施形態では、図4に示すように、軟X線照射型イオナイザ11によって、ダミーディスペンスポート5周辺の他に、コーターカップ2、ウエハWおよびスピンチャック3等周辺にも軟X線を照射するように構成した。
図5は、第3実施形態を示すものである。尚、第2実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第3実施形態では、図5に示すように、複数の軟X線照射型イオナイザ11を設け、これら複数の軟X線照射型イオナイザ11によって、ダミーディスペンスポート5、コーターカップ2、ウエハWおよびスピンチャック3等周辺に軟X線を照射するように構成した。
図6は、第4実施形態を示すものである。尚、第1実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第4実施形態では、図6に示すように、軟X線照射型イオナイザ11に代えてコロナ放電型イオナイザ12を設け、このコロナ放電型イオナイザ12は送風機12aを内蔵する。この構成においては、コロナ放電型イオナイザ12の放電電極(図示しない)によってコロナ放電を発生させ、このコロナ放電により放電電極周辺の空気をイオン化する。そして、コロナ放電型イオナイザ12の送風機12aによって上記イオン化した空気をダミーディスペンスポート5周辺に吹き付けるように構成した。上述した以外の第4実施形態の構成は、第1実施形態と同じ構成となっている。従って、第4実施形態においても、第1実施形態とほぼ同じ作用効果を得ることができる。
図7は、第5実施形態を示すものである。尚、第4実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第5実施形態では、図7に示すように、コロナ放電型イオナイザ12によって、ダミーディスペンスポート5周辺の他に、コーターカップ2、ウエハWおよびスピンチャック3等周辺にもイオン化した空気を吹き付けるように構成した。
図8は、第6実施形態を示すものである。尚、第5実施形態と同一構成には、同一符号を付している。この第6実施形態では、図8に示すように、複数のコロナ放電型イオナイザ12を設け、これら複数のコロナ放電型イオナイザ12によって、ダミーディスペンスポート5、コーターカップ2、ウエハWおよびスピンチャック3等周辺にイオン化した空気を吹き付けるように構成した。
以上説明した複数の実施形態に加えて以下のような構成を採用しても良い。
上記した各実施形態では、レジストノズル6からレジスト13をダミーディスペンスする際に、軟X線照射型イオナイザ11またはコロナ放電型イオナイザ12を駆動して上記レジスト13等に帯電した静電気を除去する構成に適用したが、これに限られるものではなく、他の薬液ノズル10から他の薬液(例えばSOG(Spin On Glass)膜形成用の薬液(液状のシリカ系化合物)や、ポリシラザン溶液等)をダミーディスペンスする際に、軟X線照射型イオナイザ11またはコロナ放電型イオナイザ12を駆動して上記薬液等に帯電した静電気を除去する構成に適用しても良い。
Claims (5)
- 基板上に薬液を塗布する塗布装置であって、
前記基板上に薬液を吐出する薬液ノズルと、
前記基板上に溶剤を吐出する溶剤ノズルと、
溶剤が収容されるものであって、前記薬液ノズルの待機時に前記薬液ノズルの先端が前記溶剤蒸気中に保持されるソルベントバスと、
前記薬液ノズルのダミーディスペンス時に前記薬液を廃棄するためのものであって、前記溶剤ノズルの待機時に前記溶剤ノズルが収容されるダミーディスペンスポートと、
前記ダミーディスペンスポート周辺および前記基板周辺の雰囲気をイオン化するイオン化装置とを備えた塗布装置。 - 基板上に薬液を塗布する塗布装置であって、
前記基板上に薬液を吐出する薬液ノズルと、
前記基板上に溶剤を吐出する溶剤ノズルと、
溶剤が収容されるものであって、前記薬液ノズルの待機時に前記薬液ノズルの先端が前記溶剤蒸気中に保持されるソルベントバスと、
前記薬液ノズルのダミーディスペンス時に前記薬液を廃棄するためのものであって、前記溶剤ノズルの待機時に前記溶剤ノズルが収容されるダミーディスペンスポートと、
前記ダミーディスペンスポート周辺の雰囲気をイオン化するイオン化装置とを備えた塗布装置。 - 前記イオン化装置は、軟X線照射型イオナイザで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の塗布装置。
- 前記イオン化装置は、コロナ放電型イオナイザで構成されていることを特徴とする請求項1または2記載の塗布装置。
- 基板上に薬液を吐出する薬液ノズルと、前記基板上に溶剤を吐出する溶剤ノズルと、溶剤が収容されるものであって、前記薬液ノズルの待機時に前記薬液ノズルの先端が前記溶剤蒸気中に保持されるソルベントバスと、前記溶剤ノズルの待機時に前記溶剤ノズルが収容されるダミーディスペンスポートとを備えた塗布装置によって前記基板上に薬液を塗布する塗布方法であって、
前記薬液ノズルを前記ダミーディスペンスポート上に移動させて前記薬液ノズルから前記ダミーディスペンスポートに薬液を廃棄するダミーディスペンスを実行する際、ダミーディスペンスの実行前までに前記ダミーディスペンスポート周辺の雰囲気をイオン化しておくようにしたことを特徴とする塗布方法。
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