JP5824225B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
請求項5に係る発明は、基板を保持する基板保持機構と、前記基板保持機構に保持される基板の上部に配置可能とされ、内側に上下方向に貫通した開口を有する環状をなし、その外側面に気体吐出口が形成されて、放射状に気体を吐出する気体吐出ノズルと、前記気体吐出ノズルとは別体であって、前記気体吐出ノズルの前記開口に臨む位置に配置可能とされ、前記開口を介して前記基板に処理液を供給する複数の液供給ノズルと、前記複数の液供給ノズルの各々を、前記基板の上部に配置された前記気体吐出ノズルの前記開口に臨む位置と、前記基板の上方から退避した位置との間を移動させる移動機構と、を備えたことを特徴とする基板処理装置である。
請求項6に係る発明は、前記気体吐出ノズルの前記開口の内面にも気体吐出口を形成したことを特徴とする請求項5記載の基板処理装置である。
請求項5に係る発明によれば、処理液による基板の処理中に、気体吐出ノズルの外側面の気体吐出口から気体が放射状に気体が吐出されて基板表面をほぼ覆うように流れるので、処理室内の処理液の飛沫などが存在していても基板への付着を阻止または抑制できて、基板を清浄に保つことができる。基板への処理液の供給は、気体吐出ノズルとは別体の複数の液供給ノズルを気体吐出ノズルの開口に臨む位置に移動させて、当該開口を介してなされる。
請求項6に係る発明によれば、気体吐出ノズルの開口にも気体が吐出されるので、この開口を処理液の飛沫などが通過して基板に付着するのを阻止または抑制でき、さらに基板を清浄に保つことができる。
6 処理ユニット
7 処理室
8 スピンチャック
9 第1液ノズル
10 第2液ノズル
11 気体吐出ノズル
11c 外側気体吐出穴
11e 内側気体吐出穴
11g 開口
17 第3液ノズル
21a,21b,21c 支持アーム
26 ノズル揺動機構
W 基板
Claims (8)
- 基板を保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に保持される基板の上部に配置可能とされ、内側に上下方向に貫通した開口を有する環状をなし、その外側面に気体吐出口が形成されて、放射状に気体を吐出する気体吐出ノズルと、
前記気体吐出ノズルとは別体であって、前記気体吐出ノズルの前記開口に臨む位置に配置可能とされ、前記開口を介して前記基板に処理液を供給する液供給ノズルと、
前記気体吐出ノズルと液供給ノズルの各々を、前記基板保持機構に保持される基板の上方と、前記基板の上方から退避した位置との間を移動させ、また前記気体吐出ノズルと前記液供給ノズルとの位置関係を保ちながらそれらを前記基板に対して前記基板の表面に沿う方向に相対移動させる移動機構と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記気体吐出ノズルの前記開口の内面にも気体吐出口を形成したことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記液供給ノズルを複数設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記移動機構は、前記複数の液供給ノズルのうちいずれか1つを選択的に前記気体吐出ノズルの前記開口に臨ませるように移動させることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。
- 基板を保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に保持される基板の上部に配置可能とされ、内側に上下方向に貫通した開口を有する環状をなし、その外側面に気体吐出口が形成されて、放射状に気体を吐出する気体吐出ノズルと、
前記気体吐出ノズルとは別体であって、前記気体吐出ノズルの前記開口に臨む位置に配置可能とされ、前記開口を介して前記基板に処理液を供給する複数の液供給ノズルと、
前記複数の液供給ノズルの各々を、前記基板の上部に配置された前記気体吐出ノズルの前記開口に臨む位置と、前記基板の上方から退避した位置との間を移動させる移動機構と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記気体吐出ノズルの前記開口の内面にも気体吐出口を形成したことを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
- 前記基板保持機構を収容している処理室には、当該処理室内に下降気流を形成する機構が付設されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記気体吐出ノズルと前記液供給ノズルの相対距離を調整する昇降機構をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の基板処理装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011079937A JP5824225B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | 基板処理装置 |
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JP2012216624A JP2012216624A (ja) | 2012-11-08 |
JP5824225B2 true JP5824225B2 (ja) | 2015-11-25 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2011079937A Active JP5824225B2 (ja) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | 基板処理装置 |
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2011
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