JP6184890B2 - 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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まず、図示しない昇降機構により昇降カップ45を上昇位置に保持し、昇降機構68により中空部材60を上昇位置に保持する(図2参照)。次に、ウエハWが基板保持部20により保持され、回転駆動部28によりウエハWが回転する。この回転するウエハWには、処理液として、酸性薬液ノズル(処理液ノズル36)から酸性薬液例えばDHFが供給され、ウエハWに酸性薬液洗浄処理が施される。酸性薬液は遠心力によりウエハWから振り切られ、カップ体30に受け止められる。このとき、酸性薬液はカップ体30から排気・排液部31を介して処理ユニット16の外部へ排出される。
次に、ウエハWの回転を継続したまま、上記酸性薬液ノズル(処理液ノズル36)からの酸性薬液の吐出を停止し、代わりに、リンス液ノズル(別の処理液ノズル36)から、処理液として、リンス液例えばDIWをウエハWに供給する。これによりウエハW上に残留する酸性薬液及び残渣が洗い流される。このリンス処理は、上記の点のみが酸性薬液洗浄処理と異なり、その他の点(ガス、処理液等の流れ)は酸性薬液洗浄処理と略同じである。
次に、昇降機構68により、中空部材60を下降位置に移動する。一方、昇降カップ45は上昇位置にそのまま保持される(図3参照)。次に、ウエハWの回転を継続したまま、リンス液ノズル(処理液ノズル36)からのリンス液の吐出を停止する。その後直ちに、ガス供給口70から窒素ガスが中空部材60の内部空間64に向けて吐出される。なお、FFU50からは引き続き清浄エアが供給される。
20 基板保持部
22 ベース
30 カップ体
31 排気・排液部
35 排液誘導ガイド
36 処理液ノズル(処理液供給部)
40 ハウジング
45 昇降カップ
49 カップ開口
50 FFU(第1ガス供給装置)
55 整流板
56 開口
58 貫通孔
60 中空部材
61 天板
62 底板
63 側板
64 内部空間
65 開口
66 開口
67 乾燥促進流体ノズル
70 ガス供給口(第2ガス供給口)
Claims (15)
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部の上方に配置され、第1のガスを下方へ向けて供給する第1ガス供給装置と、
前記基板保持部と前記第1ガス供給装置との間に配置され、天板と底板と側板とによって囲まれた内部空間を有する中空部材と、を備え、
前記中空部材は、
第2のガスを供給する第2ガス供給口と、
前記天板および前記底板にそれぞれ設けられた複数の開口と、を有し、
前記天板の前記開口は、前記第1ガス供給装置の下方空間と前記中空部材の前記内部空間とを互いに連通するものであることを特徴とする基板液処理装置。 - 前記中空部材の前記底板の開口面積率は、前記中空部材の前記天板の開口面積率以上であることを特徴とする請求項1記載の基板液処理装置。
- 前記中空部材を、前記基板に近接する下降位置と、前記下降位置より上方に位置する上昇位置とをとるように昇降させる昇降機構を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の基板液処理装置。
- 前記基板保持部に保持された前記基板の周囲を囲むカップを更に備え、前記カップは、上部に開放されたカップ開口を有し、前記中空部材は、前記カップの前記カップ開口内を通過可能であることを特徴とする請求項3記載の基板液処理装置。
- 前記第1のガスが通過する複数の開口が形成された整流板が設けられ、前記整流板は、前記中空部材の周囲に設けられたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載の基板液処理装置。
- 前記整流板の開口面積率は、前記天板の開口面積率と等しいことを特徴とする請求項5記載の基板液処理装置。
- 前記第1のガスは、濾過されたクリーンルーム内の空気であり、前記第2のガスは、ドライエアまたは窒素ガスであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項記載の基板液処理装置。
- 前記第2ガス供給口は、前記側板に設けられたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項記載の基板液処理装置。
- 前記第2ガス供給口には、第2ガス供給源に接続されるとともに流体調整器が介設されたガス供給路が接続されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項記載の基板液処理装置。
- 前記中空部材を、前記基板に近接する下降位置と、前記下降位置より上方に位置する上昇位置とをとるように昇降させる昇降機構と、
前記中空部材が下降位置に位置されたときに第2のガスの供給を行い、前記中空部材が上方位置に位置されたときに第2のガスの供給を停止するように、前記流体調整器と前記昇降機構とを制御する制御装置と、をさらに備えたことを特徴とする請求項9記載の基板液処理装置。 - 前記制御装置は、前記流体調整器を制御して、前記内部空間の圧力を前記内部空間に第1のガスが侵入しない圧力に調整することを特徴とする請求項10記載の基板液処理装置。
- 前記中空部材の前記底板に、前記基板に対して乾燥促進流体を供給する乾燥促進流体ノズルが設けられていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項記載の基板液処理装置。
- 基板液処理装置を用いて基板を処理する基板液処理方法において、
前記基板液処理装置は、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部の上方に配置され、第1のガスを下方へ向けて供給する第1ガス供給装置と、
前記基板保持部と前記第1ガス供給装置との間に配置され、天板と底板と側板とによって囲まれた内部空間を有する中空部材と、を備え、
前記中空部材は、
第2のガスを供給する第2ガス供給口と、
前記天板および前記底板にそれぞれ設けられた複数の開口と、を有し、
前記天板の前記開口は、前記第1ガス供給装置の下方空間と前記中空部材の前記内部空間とを互いに連通するものであり、
前記基板液処理方法は、
前記第1ガス供給装置からの第1のガスを、前記中空部材の前記天板の前記開口および前記底板の前記開口を介して、前記基板側に供給する工程と、
前記第2ガス供給口からの第2のガスを、前記中空部材の前記底板の前記開口を介して、前記基板側に供給する工程と、を備えたことを特徴とする基板液処理方法。 - 前記中空部材を、前記基板に近接する下降位置とするとともに、前記第2ガス供給口から第2のガスを供給する工程と、
前記中空部材を、前記下降位置より上方に位置する上昇位置とするとともに、前記第2ガス供給口からの第2のガスの供給を停止する工程と、をさらに備えたことを特徴とする請求項13記載の基板液処理方法。 - 基板液処理装置を制御するためのプログラムが記憶された記憶媒体であって、当該記憶媒体に記憶されたプログラムをコンピュータからなる前記基板液処理装置のコントローラで実行することにより、前記コントローラが前記基板液処理装置を制御して請求項13又は14記載の基板液処理方法を実行することを特徴とする記憶媒体。
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JP2014045455A JP6184890B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 |
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JP2014045455A JP6184890B2 (ja) | 2014-03-07 | 2014-03-07 | 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 |
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