KR102633151B1 - 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법 - Google Patents

오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 중앙부에는 사각형상의 개구부가 형성되며, 상기 개구부의 둘레면 상측에는 탑재면이 구비되는 마스크 프레임과, 인장수단에 의해 인장된 상태로 상기 마스크 프레임의 탑재면에 탑재되는 마스크 시트를 포함하는 오픈마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치에 있어서, 상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 상기 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형 시 탑재된 상기 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하는 처짐방지부; 및 상기 마스크 시트의 상측에 배치되어 상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트에 개구를 형성하는 개구형성수단을 포함하고, 상기 처짐방지부는 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 복수개의 사각형상을 가지는 개별블록을 포함하는 처짐방지블록과, 상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 이동시키는 이동수단을 포함하며, 상기 이동수단은 상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 상하로 이동시키는 제1이동부재와, 상기 제1이동부재와 연결되며 상기 제1이동부재를 전후 및 좌우로 이동시키는 제2이동부재를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치를 제공한다.
따라서, 오픈 마스크 조립체의 원자재인 박막의 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합 후 접합된 마스크 시트에 개구를 형성 시 마스크 시트의 하부에 처짐방지부를 밀착시켜 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하여 개구를 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구를 마스크 시트에 보다 정확하게 형성할 수 있다.

Description

오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법{Open mask assembly manufacturing apparatus and manufacturing method of open mask assembly using the same}
본 발명은 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상게하게는 마스크 프레임에 박막의 마스크 시트가 접합된 후 박막 공정으로 적층된 입자가 통과하는 개구를 박막의 마스크 시트에 형성하는 오픈 마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평편 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD, Liquid-Crystal Display)와 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)가 알려져 있으며, OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. OLED 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 박막층 제조시 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용한 증착(evaporation) 공정을 이용하게 된다.
증착 공정에 이용되는 마스크 조립체는, 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 박막의 마스크 시트를 접착한 구조를 가진다. 마스크 프레임이나 마스크 시트는 예컨데 인바합금(Invar-36Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 금속을 이용하여 제조된다. 마스크 프레임의 경우 약 15 ~ 35mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키기 위한 기능을 한다.
마스크 시트는 약 0.02 ~ 0.2mm 정도의 두께를 가지는 금속 시트 상에, 증착시 이용될 소정 패턴 및 증착시 기판과 마스크를 정렬시키는 기준이 되는 정렬 마크(aline marks) 등을, 습식 식각 또는 레이저 식각 등의 방식으로 형성한 것이다.
통상적으로 마스크 조립체 제조 시, 예컨데 한국 공개특허 제10-2012-0079725호에 기재된 바와 같이, 박판인 마스크 시트가 쳐지는 현상을 방지하기 위해 마스크 시트를 인장시켜 마스크 프레임 상에 레이저 스폿 용접 방식으로 접합시킨다. 마스크 시트에 인장력을 가하면, 마스크 시트가 전체적으로 늘어나기 때문에, 마스크 시트 상에 형성되어 있는 증착 패턴이나 정렬 마크도 늘어나 설계 시의 위치에서 벗어나게 되는 문제가 있었다.
이를 방지하기 위해 박판의 마스크 시트를 마스크 프레임 상에 접합시킨 후 마스크 시트 상에 레이저를 이용하여 증착 패턴을 형성하는 방법이 제안되고 있으나, 박판인 마스크 시트의 중앙부가 하부로 처짐에 따라 레이저로 박판인 마스크 시트에 증착 패턴을 형성 시 증착 패턴이 정확하게 형성되지 않아 불량이 발생되는 문제점이 발생하며, 후속공정에서 정확하게 가공되지 않은 부분을 보정해야 함으로써 공정수가 추가되어 비용이 증대되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 인장 후 마스크 프레임에 접합하고, 마스크 시트에 복수개의 개구를 형성 시 마스크 시트의 하부에 밀착되는 처짐방지부가 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하여 복수개의 개구를 보다 정확하게 형성할 수 있도록 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 중앙부에는 사각형상의 개구부가 형성되며, 상기 개구부의 둘레면 상측에는 탑재면이 구비되는 마스크 프레임과, 인장수단에 의해 인장된 상태로 상기 마스크 프레임의 탑재면에 탑재되는 마스크 시트를 포함하는 오픈마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치에 있어서, 상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 상기 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형 시 탑재된 상기 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하는 처짐방지부; 및 상기 마스크 시트의 상측에 배치되어 상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트에 개구를 형성하는 개구형성수단을 포함하고, 상기 처짐방지부는 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 복수개의 사각형상을 가지는 개별블록을 포함하는 처짐방지블록과, 상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 이동시키는 이동수단을 포함하며, 상기 이동수단은 상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 상하로 이동시키는 제1이동부재와, 상기 제1이동부재와 연결되며 상기 제1이동부재를 전후 및 좌우로 이동시키는 제2이동부재를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 장치에 있어서, 상기 개별블록의 우측단과 하부단의 중앙부에는 끼움돌기가 외측으로 돌출될 수 있으며, 상기 개별블록의 좌측단과 상부단에는 인접하게 위치하는 개별돌기의 끼움돌기가 삽입되는 끼움홈이 내측으로 삽입되게 형성될 수 있다.
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또한, 본 발명은 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 인장시키는 마스크 시트 인장 단계; 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 탑재한 후 접합시키는 마스크 시트 접합 단계; 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 하부에 처짐방지부를 밀착시키는 처짐방지부 밀착 단계; 및 상기 처짐방지부가 밀착된 마스크 시트에 상기 마스크 시트를 관통하는 복수개의 개구를 성형하는 개구 성형 단계를 포함하고, 상기 처짐방지부 밀착 단계에서 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되는 상기 처짐방지부는 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 복수개의 사각형상을 가지는 개별블록을 포함하는 처짐방지블록과, 상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 이동시키는 이동수단을 더 포함하며, 상기 이동수단은 상기 처짐방지블록과 연결되며 처짐방지블록을 상하로 이동시키는 제1이동부재와, 상기 제1이동부재와 연결되며 상기 제1이동부재를 전후 및 좌우로 이동시키는 제2이동부재를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공한다.
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본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 및 이를 이용한 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 오픈 마스크 조립체의 원자재인 박막의 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합 후 접합된 마스크 시트에 개구를 형성 시 마스크 시트의 하부에 처짐방지부를 밀착시켜 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하여 개구를 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구를 마스크 시트에 보다 정확하게 형성할 수 있으며, 처짐방지부에 버닝테이프가 부착되어 개구를 형성하는 개구형성수단에서 마스크 시트로 조사되는 레이저소스의 크기 및 성질을 간편하게 확인할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 오픈마스크 조립체의 마스크 프레임을 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 a-a 선에 따른 선단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 처짐방지부의 처짐방지판이 이동수단에 의해 상하 및 좌우로 이동된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 처짐방지부의 처짐방지블록을 구성하는 개별블록이 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 개별블록이 결합된 다른 형상을 가지는 처짐방지블록을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 장치(100)는 마스크 프레임(210)과, 마스크 시트(220)를 포함하는 오픈 마스크 조립체(200)를 제조하기 위한 것으로, 처짐방지부(1100)와, 개구형성수단(1200)를 포함한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 마스크 프레임(210)의 중앙부에는 사각형상의 개구부(212)가 형성되며, 상기 개구부(212)의 둘레면 상측에는 탑재면(214)이 구비된다. 상기 탑재면(214)에는 별도의 인장수단(미도시)에 의해 인장된 사각형상을 가지는 박막인 마스크 시트(220)가 탑재된 후 접합되며, 박막인 마스크 시트(220)에 오픈 마스크 패턴, 즉 복수개의 개구(미도시)를 형성하면 오픈 마스크 조립체(200)가 제조된다. 이러한 오픈 마스크 조립체(200)는 스마트폰 또는 스마트 워치 등에 구비되는 디스플레이를 제조하기 위한 웨이퍼 기판상에 절연층과 같이 개별 디스플레이 면적 전체에 동일한 재료의 박막을 적층하고 패턴화하기 위한 공정에서 사용된다. 박막 공정에서 적층될 입자는 오픈 마스크 조립체(200)의 오픈 마스크 패턴, 즉 개구들을 통과한 후 오픈 마스크 조립체(200)와 접해 있는 기판상에 적층될 수 있다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 마스크 프레임(210)에 탑재된 상기 마스크 시트(220)의 하부면에는 처짐방지부(1100)가 밀착되며, 상기 처짐방지부(1100)는 상기 마스크 시트(220)에 오픈 마스크 패턴인 복수개의 개구를 성형 시 상기 마스크 프레임(210)에 탑재된 마스크 시트(220)가 하부로 처지는 것을 방지하는 역할을 한다.
상기 처짐방지부(1100)는 처짐방지판(1110)과, 제1버닝테이프(1120)와, 이동수단(1150)을 포함한다. 상기 처짐방지판(1110)은 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되며, 처짐방지판(1110)의 상부면에는 제1버닝테이프(1120)가 부착된다. 상기 처짐방지판(1110)은 상기 마스크 시트(220)와 동일한 형상인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 마스크 프레임(210)에서 형성되는 개구부(212) 내에서 이동되면서 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착될 수 있는 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 처짐방지부(1100)는 처짐방지블록(1130)과, 제2버닝테이프(1140)와, 이동수단(1150)을 포함한다. 상기 처짐방지블록(1130)은 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되며, 상기 처짐방지블록(1130)은 사각형상을 가지는 복수개의 개별블록(1132)으로 이루어지며, 상기 복수개의 개별블록(1132)의 상부면에는 제2버닝테이프(1140)가 부착된다.
상기 처짐방지블록(1130)을 구성하는 상기 복수개의 개별블록(1132)에는 끼움돌기(1132a)와 끼움홈(1132b)이 형성됨으로써 복수개의 개별블록(1132)이 결합되어 처짐방지블록(1130)이 제작되며, 제작된 처짐방지블록(1130)이 상기 이동수단(1150)에 의해 이동되어 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되게 되고, 상기 이동수단(1150)의 일단은 상기 개별블록(1132)의 하부면에 연결된다.
상기 끼움돌기(1132a)는 상기 개별블록(1132)의 우측단과 하부단의 중앙부에서 외측으로 돌출되며, 상기 끼움돌기(1132a)가 삽입되어 결합되는 상기 끼움홈(1132b)은 상기 개별블록(1132)의 좌측단과 상부단에서 내측으로 삽입되게 형성된다. 상기 끼움돌기(1132a)와 상기 끼움홈(1132b)이 삼각형상을 가지는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 결합이 용이하며 결합이 간단하게 해제되지 않도록 하는 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 처짐방지판(1110)과 상기 개별블록(1132)을 이동시키는 상기 이동수단(1150)은 제1이동부재(1152)와 제2이동부재(1154)를 포함한다.
상기 제1이동부재(1152)의 일단은 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)의 하부면과 연결되어 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)을 상하로 이동시키며, 상기 제1이동부재(1152)는 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)의 하부면과 연결되는 제1연결단(1152a)과, 상기 제1연결단(1152a)을 상하로 이동시키는 동력을 제공하는 제1액추에이터(1152b)를 포함한다.
상기 제1이동부재(1152)는 상기 제2이동부재(1154)와 연결되며, 상기 제2이동부재(1154)는 상기 제1이동부재(1152)를 전후 및 좌우로 이동시키는 역할을 한다. 상기 제2이동부재(1154)는 상기 제1액추에이터(1152b)와 연결되는 제2연결단(1154a)과, 상기 제2연결단(1154a)를 전후 및 좌우로 이동시키는 동력을 제공하는 제2액추에이터(1154b)를 포함하며, 상기 제1액추에이터(1152b)와 상기 제2액추에이터(1154b)는 일반적인 것인 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 마스크 프레임(210)에 탑재된 후 접합된 상기 마스크 시트(220)의 상측에는 개구형성수단(1200)이 구비되며, 상기 개구형성수단(1200)은 상기 마스크 시트(220)의 상측에서 이동하면서 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하는 역할을 한다. 상기 개구형성수단(1200)는 상기 마스크 시트(220)의 상측에서 상기 마스크 시트(220)에 레이저를 조사하여 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하며, 레이저를 조사하여 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하는 개구형성수단(1200)은 일반적인 것인 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 마스크 프레임(210)에 접합 된 마스크 시트(220)에 상기 개구형성수단(1200)를 이용하여 복수개의 개구를 형성 시 상기 처짐방지부(1100)가 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착됨으로써 상기 마스크 시트(220)가 하부로 처지는 것을 방지하여 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 보다 정확하게 가공할 수 있고, 상기 처짐방지부(1100)의 상부면에 부착되는 제1버닝테이프(1120) 및 제2버닝테이프(1140)에 의해 상기 개구형성수단(1200)에서 마스크 시트(220)로 조사되는 레이저소스의 크기 및 성질을 간편하게 확인할 수 있게 된다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 마스크 시트 인장 단계(S10)와, 마스크 시트 접합 단계(S20)와, 처짐방지부 밀착 단계(S30)와, 개구 성형 단계(S40)를 포함한다.
도 1 및 도 8을 참조하면, 상기 마스크 시트 인장 단계(S10)는 오픈 마스크 조립체(200)의 원자재인 마스크 시트(220)를 소정의 압력으로 인장시키는 단계이다. 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트(220)를 별도의 인장수단(미도시)을 이용하여 상기 마스크 시트(220)의 모서리 부분을 외측으로 당김으로써 상기 마스크 시트(220)를 인장시키며, 상기 마스크 시트(220)를 인장함으로 인해 상기 마스크 시트(220)에 굴곡진 부위가 생기지 않고 상기 마스크 시트(220)가 편평하게 펼쳐지게 된다.
상기 마스크 시트 인장 단계(S10)를 거친 후 마스크 시트 접합 단계(S20)를 수행하며, 상기 마스크 시트 접합 단계(S20)는 인장된 마스크 시트(220)를 마스크 프레임(210)에 탑재한 후 접합시키는 단계이다. 상기 마스크 시트 접합 단계(S20)에서 상기 마스크 프레임(210)의 접합면(214)에 상기 마스크 시트(220)의 가장자리가 접합됨으로써 상기 마스크 프레임(210)은 상기 마스크 시트(220)의 가장자리만 지지하며, 인장된 마스크 시트(220)가 상기 마스크 프레임(210)에 접합됨으로써 상기 마스크 시트(220)의 중심부가 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 방지되게 된다.
상기 마스크 시트 접합 단계(S20)를 거친 후 마스크 시트(220)의 하부에 처짐방지부(1100)를 밀착시키는 처짐방지부 밀착 단계(S30)를 수행하며, 상기 처짐방지부 밀착 단계(S30)를 수행함으로써 상기 처짐방지부(1100)가 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되어 마스크 프레임(210)에 접합됨으로써 상기 마스크 시트(220)의 중심부가 하중에 의해 하부로 처지는 것을 이중으로 방지하게 된다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 처짐방지부(1100)는 처짐방지판(1110)과, 제1버닝테이프(1120)와, 이동수단(1150)을 포함한다. 상기 처짐방지판(1110)은 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되며, 처짐방지판(1110)의 상부면에는 제1버닝테이프(1120)가 부착된다. 상기 처짐방지판(1110)은 상기 마스크 시트(220)와 동일한 형상인 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 마스크 프레임(210)에서 형성되는 개구부(212) 내에서 이동되면서 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착될 수 있는 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 처짐방지부(1100)는 처짐방지블록(1130)과, 제2버닝테이프(1140)와, 이동수단(1150)을 포함한다. 상기 처짐방지블록(1130)은 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착되며, 상기 처짐방지블록(1130)은 사각형상을 가지는 복수개의 개별블록(1132)으로 이루어지며, 상기 복수개의 개별블록(1132)의 상부면에는 제2버닝테이프(1140)가 부착된다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 처짐방지판(1110)과 상기 개별블록(1132)을 이동시키는 상기 이동수단(1150)은 제1이동부재(1152)와 제2이동부재(1154)를 포함한다.
상기 제1이동부재(1152)의 일단은 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)의 하부면과 연결되어 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)을 상하로 이동시키며, 상기 제1이동부재(1152)는 상기 처짐방지판(1110) 및 상기 개별블록(1132)의 하부면과 연결되는 제1연결단(1152a)과, 상기 제1연결단(1152a)을 상하로 이동시키는 동력을 제공하는 제1액추에이터(1152b)를 포함한다.
상기 제1이동부재(1152)는 상기 제2이동부재(1154)와 연결되며, 상기 제2이동부재(1154)는 상기 제1이동부재(1152)를 전후 및 좌우로 이동시키는 역할을 한다. 상기 제2이동부재(1154)는 상기 제1액추에이터(1152b)와 연결되는 제2연결단(1154a)과, 상기 제2연결단(1154a)를 전후 및 좌우로 이동시키는 동력을 제공하는 제2액추에이터(1154b)를 포함한다.
도 1 및 도 8을 참조하면, 상기 처짐방지부 밀착 단계(S30)를 거친 후 개구 성형 단계(S40)를 수행하며, 상기 개구 성형 단계(S40)는 상기 처짐방지부(1100)가 밀착된 마스크 시트(220)에 상기 마스크 시트(220)를 관통하는 복수개의 개구(미도시)를 성형하는 단계이다. 상기 처짐방지부(1100)가 하부면에 밀착된 상기 마스크 시트(220)에는 개구형성수단(1200)에 의해 복수개의 개구(미도시)가 성형되며, 상기 개구형성수단(1200)은 상기 마스크 시트(220)의 상측에 구비되는 것이 바람직하다.
상기 개구형성수단(1200)은 상기 마스크 시트(220)의 상측에서 이동하면서 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하는 역할을 한다. 상기 개구형성수단(1200)는 상기 마스크 시트(220)의 상측에서 상기 마스크 시트(220)에 레이저를 조사하여 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하며, 레이저를 조사하여 상기 마스크 시트(220)에 복수개의 개구를 형성하는 개구형성수단(1200)은 일반적인 것인 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서, 상기 마스크 프레임(210)에 접합 된 마스크 시트(220)에 상기 개구형성수단(1200)를 이용하여 복수개의 개구를 형성 시 상기 처짐방지부(1100)가 상기 마스크 시트(220)의 하부면에 밀착됨으로써 상기 마스크 시트(220)가 하부로 처지는 것을 방지할 수 있고, 상기 처짐방지부(1100)의 상부면에 부착되는 제1버닝테이프(1120) 및 제2버닝테이프(1140)에 의해 상기 개구형성수단(1200)에서 마스크 시트(220)로 조사되는 레이저소스의 크기 및 성질을 간편하게 확인할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100 : 오픈 마스크 조립체의 제조 장치 1100 : 처짐방지부
1110 : 처짐방지판 1120 : 제1버닝테이프
1130 : 처짐방지블록 1140 : 제2버닝테이프
1150 : 이동수단 1200 : 개구성형장치
200 : 오픈 마스크 조립체 210 : 마스크 프레임
220 : 마스크 시트

Claims (11)

  1. 중앙부에는 사각형상의 개구부가 형성되며, 상기 개구부의 둘레면 상측에는 탑재면이 구비되는 마스크 프레임과, 인장수단에 의해 인장된 상태로 상기 마스크 프레임의 탑재면에 탑재되는 마스크 시트를 포함하는 오픈마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치에 있어서,
    상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 상기 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형 시 탑재된 상기 마스크 시트가 하부로 처지는 것을 방지하는 처짐방지부; 및
    상기 마스크 시트의 상측에 배치되어 상기 마스크 프레임에 탑재된 상기 마스크 시트에 개구를 형성하는 개구형성수단을 포함하고,
    상기 처짐방지부는,
    상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 복수개의 사각형상을 가지는 개별블록을 포함하는 처짐방지블록과,
    상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 이동시키는 이동수단을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 상하로 이동시키는 제1이동부재와,
    상기 제1이동부재와 연결되며 상기 제1이동부재를 전후 및 좌우로 이동시키는 제2이동부재를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1항에 있어서,
    상기 개별블록의 우측단과 하부단의 중앙부에는 끼움돌기가 외측으로 돌출되며,
    상기 개별블록의 좌측단과 상부단에는 인접하게 위치하는 개별돌기의 끼움돌기가 삽입되는 끼움홈이 내측으로 삽입되게 형성되는 오픈 마스크 조립체의 제조 장치.
  7. 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 인장시키는 마스크 시트 인장 단계;
    인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 탑재한 후 접합시키는 마스크 시트 접합 단계;
    마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 하부에 처짐방지부를 밀착시키는 처짐방지부 밀착 단계; 및
    상기 처짐방지부가 밀착된 마스크 시트에 상기 마스크 시트를 관통하는 복수개의 개구를 성형하는 개구 성형 단계를 포함하고,
    상기 처짐방지부 밀착 단계에서 상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되는 상기 처짐방지부는,
    상기 마스크 시트의 하부면에 밀착되며 복수개의 사각형상을 가지는 개별블록을 포함하는 처짐방지블록과,
    상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 이동시키는 이동수단을 더 포함하며,
    상기 이동수단은,
    상기 처짐방지블록과 연결되며 상기 처짐방지블록을 상하로 이동시키는 제1이동부재와,
    상기 제1이동부재와 연결되며 상기 제1이동부재를 전후 및 좌우로 이동시키는 제2이동부재를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
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