JP4341382B2 - 蒸着マスクの製造方法 - Google Patents
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- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title claims description 50
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 138
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 138
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
)は、例えば、アルミニウムなどの金属製の枠である。この紗貼り枠(21)の上面に紗(22)が貼り付けるられる。
置の保持ベース(63)に取り付け、また、本枠(11)をステージ(61)上に載置する。本枠(11)の上面の(l)部には、予め、接着剤を与えておく。
1)紗貼り枠の上面に、テンションをかけて紗を貼り付ける工程、
2)予め、フォトエッチング法にて、蒸着によりパターン状の膜を形成する部分を孔あけしたメタルマスク原反を、メタルマスク原反の余白部にて紗に貼り付ける工程、
3)メタルマスク原反の中央のメタルマスクに接する紗の部分を除去し、メタルマスク原反にテンションをかける工程、
4)位置合わせマークを描画したガラス描画板に、上記紗貼り枠に紗を介して貼り付けたメタルマスク原反を重ね、ガラス描画板の位置合わせマークと、メタルマスクの位置合わせマークとが合致するように、紗貼り枠に水平方向の荷重を加える工程、
5)メタルマスクの位置合わせマークが合致した状態で、上記メタルマスク原反のメタルマスクの周縁部を蒸着マスクの本枠の上面に貼り付ける工程、
6)メタルマスク原反の周囲の紗を切断し、メタルマスク原反の余白部を除去し、メタルマスクを蒸着マスクの本枠に転写する工程、
を少なくとも具備することを特徴とする蒸着マスクの製造方法である。
。
11・・・蒸着マスクの本枠
12・・・メタルマスク
13・・・メタルマスクのパターン部
14・・・メタルマスクの余白部
17・・・メタルマスクの位置合わせマーク
21・・・紗貼り枠
22・・・紗
61、71・・・転写装置のステージ
62、72・・・ガイドレール
63、73・・・保持ベース
76・・・位置合わせする微調整機構
74・・・押し機構
75・・・引き機構
80・・・ガラス描画板
87・・・ガラス描画板の位置合わせマーク
C・・・CCDカメラ
L・・・照明
a・・・本枠の横
b・・・本枠の縦
c・・・本枠の高さ
d・・・本枠の巾
e・・・紗貼り枠の横
f・・・紗貼り枠の縦
g・・・紗貼り枠の高さ
h・・・紗貼り枠の巾
Claims (1)
- 基板上に蒸着によりパターン状に膜を形成する際に用いる蒸着マスクの製造方法において、
1)紗貼り枠の上面に、テンションをかけて紗を貼り付ける工程、
2)予め、フォトエッチング法にて、蒸着によりパターン状の膜を形成する部分を孔あけしたメタルマスク原反を、メタルマスク原反の余白部にて紗に貼り付ける工程、
3)メタルマスク原反の中央のメタルマスクに接する紗の部分を除去し、メタルマスク原反にテンションをかける工程、
4)位置合わせマークを描画したガラス描画板に、上記紗貼り枠に紗を介して貼り付けたメタルマスク原反を重ね、ガラス描画板の位置合わせマークと、メタルマスクの位置合わせマークとが合致するように、紗貼り枠に水平方向の荷重を加える工程、
5)メタルマスクの位置合わせマークが合致した状態で、上記メタルマスク原反のメタルマスクの周縁部を蒸着マスクの本枠の上面に貼り付ける工程、
6)メタルマスク原反の周囲の紗を切断し、メタルマスク原反の余白部を除去し、メタルマスクを蒸着マスクの本枠に転写する工程、
を少なくとも具備することを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003391874A JP4341382B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 蒸着マスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003391874A JP4341382B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 蒸着マスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005158319A JP2005158319A (ja) | 2005-06-16 |
JP4341382B2 true JP4341382B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=34718761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003391874A Expired - Fee Related JP4341382B2 (ja) | 2003-11-21 | 2003-11-21 | 蒸着マスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4341382B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102879997A (zh) * | 2012-09-06 | 2013-01-16 | 友达光电股份有限公司 | 可调式固定装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4380326B2 (ja) * | 2004-01-06 | 2009-12-09 | 凸版印刷株式会社 | 有機el用蒸着マスク |
CN103206979B (zh) * | 2012-01-11 | 2017-01-25 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 掩模板承载架 |
CN104372289B (zh) * | 2013-08-15 | 2018-08-07 | 昆山思拓机器有限公司 | 一种用于oled金属掩模板绷网用的位置调整机构 |
CN105437182B (zh) * | 2015-11-06 | 2017-06-16 | 宁波方太厨具有限公司 | 将玻璃面板粘接到集烟罩上的粘接工装 |
JP6237972B1 (ja) | 2016-04-14 | 2017-11-29 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法 |
WO2019012585A1 (ja) * | 2017-07-10 | 2019-01-17 | シャープ株式会社 | マスクシート枠体接合装置及び蒸着マスクの製造方法 |
JP6319505B1 (ja) | 2017-09-08 | 2018-05-09 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法 |
JP6299921B1 (ja) | 2017-10-13 | 2018-03-28 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法 |
CN112962055B (zh) * | 2021-01-29 | 2023-06-20 | 合肥维信诺科技有限公司 | 掩膜板、显示基板蒸镀组件及显示基板 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4147610B2 (ja) * | 1997-03-28 | 2008-09-10 | 凸版印刷株式会社 | スクリーン印刷版の製造方法 |
JP2001185350A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 被着用マスク、その製造方法、エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
JP2003332057A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機el素子製造に用いる真空蒸着用多面付けマスク装置 |
JP2004006257A (ja) * | 2002-04-26 | 2004-01-08 | Tohoku Pioneer Corp | 真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機elディスプレイパネル |
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-
2003
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN102879997A (zh) * | 2012-09-06 | 2013-01-16 | 友达光电股份有限公司 | 可调式固定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005158319A (ja) | 2005-06-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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