JP2021161522A - 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、有機el表示装置の製造方法及び蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施の形態による蒸着マスクの構成について、図1及び図2を用いて説明する。
次に、本実施の形態による蒸着マスクの製造方法について、図3乃至図10を用いて説明する。図3乃至図10は、本実施の形態による蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
次に、上述した蒸着マスク10を用いて蒸着対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着装置について、図12を参照して説明する。
次に、本実施の形態による有機EL表示装置の製造方法について、図14(a)−(c)を参照して説明する。本実施の形態による有機EL表示装置の製造方法は、上述した蒸着マスク10を用いた蒸着方法により蒸着対象物である被蒸着基板91に蒸着材料92を蒸着し、蒸着パターンを形成するものである。
次に、本実施の形態による有機半導体素子の製造方法について説明する。本実施の形態による有機半導体素子の製造方法は、上述した蒸着マスク10を用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程、あるいは上述した蒸着マスク10の製造方法によって製造された蒸着マスク10を用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を有する。蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程についていかなる限定もされることはなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法(Physical Vapor Deposition)、熱CVD、プラズマCVD、光CVD法等の化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition)等を挙げることができる。
次に、本実施の形態の各種変形例について説明する。
図15(a)(b)は、本変形例による補強フィルム60Aを樹脂層30A上に貼り付けた状態を示す平面図である。図15(a)(b)に示すように、本変形例による補強フィルム60Aは、枠状の外周部分61Aを有している。この外周部分61Aは、樹脂層30Aを構成する長方形の4辺の内側に沿って配置されている。外周部分61Aのうち内側を向く部分には、平面視で切り欠け部65(図15(a))又はスリット66(図15(b))が形成され、具体的には切り欠け部65又はスリット66が櫛歯状に形成されている。すなわち外周部分61Aは、周縁部63と、周縁部63から平面方向内側に突出する複数の突出部64とを有している。複数の突出部64は、互いに間隔を空けて配置されているか(図15(a))、又は実質的に幅を持たない隙間を介して配置されている(図15(b))。
次に、蒸着マスクの製造方法の各変形例について説明する。
30 樹脂マスク
30A 樹脂層
31 開口部
32 有効領域
33 周囲領域
35 接着層
40 支持体
51 基板
60 補強フィルム
61 外周部分
62 中央部分
Claims (20)
- 基板を準備する工程と、
前記基板上に樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層から前記基板を除去する工程と、
前記樹脂層を支持体に固定する工程と、
前記樹脂層に、蒸着作製するパターンに対応した複数の開口部を形成する工程と、を備えた、蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂層のうち、前記支持体よりも外周に位置する部分を除去する工程を更に備えた、請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記樹脂層上に補強フィルムを貼り付ける工程、を更に備え、
前記基板を除去する工程では、前記補強フィルムが貼り付けられた前記樹脂層から前記基板を除去する、請求項1又は2に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記補強フィルムは、前記樹脂層を前記支持体に固定する際に把持される領域にある外周部分を含む、請求項3に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記補強フィルムは、前記外周部分よりも内側に位置する中央部分を含み、前記中央部分と前記外周部分とが互いに離間している、請求項4に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記外周部分のうち内側を向く部分は、平面視で櫛歯状に形成される、請求項4又は5に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記樹脂層の厚みは、1μm以上5μm以下である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 蒸着作製するパターンに対応した複数の開口部が設けられた樹脂マスクと、
前記樹脂マスクに接合された支持体と、を備えた、蒸着マスク。 - 前記支持体は、前記樹脂マスクに金属材料を介在させることなく接合されている、請求項8に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂マスクは、複数の前記開口部が規則的な配列で配置された有効領域と、前記有効領域を取り囲む周囲領域とを有し、
前記有効領域内には前記樹脂マスクのみが存在する、請求項8又は9に記載の蒸着マスク。 - 前記支持体は枠状であり、
平面視において前記樹脂マスクの複数の前記開口部が前記支持体の内側に位置し、
前記支持体の内側の前記樹脂マスクは自立薄膜である、請求項8乃至10のいずれか一項に記載の蒸着マスク。 - 有機EL表示装置の製造方法であって、
請求項8乃至11のいずれか一項に記載の蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を備えた、有機EL表示装置の製造方法。 - 請求項8乃至11のいずれか一項に記載の蒸着マスクを準備する工程と、
蒸着対象物を準備する工程と、
前記蒸着対象物を前記蒸着マスク上に設置する工程と、
前記蒸着マスク上に設置された前記蒸着対象物に蒸着材料を蒸着させる工程と、を備えた、蒸着方法。 - 有機EL表示装置の製造方法であって、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法によって製造された蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を備えた、有機EL表示装置の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法によって製造された蒸着マスクを準備する工程と、
蒸着対象物を準備する工程と、
前記蒸着対象物を前記蒸着マスク上に設置する工程と、
前記蒸着マスク上に設置された前記蒸着対象物に蒸着材料を蒸着させる工程と、を備えた、蒸着方法。 - 有機半導体素子の製造方法であって、
請求項8乃至11のいずれか一項に記載の蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を備えた、有機半導体素子の製造方法。 - 有機半導体素子の製造方法であって、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法によって製造された蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を備えた、有機半導体素子の製造方法。 - 補強フィルムが配置された樹脂層を準備する工程と、
前記補強フィルムが配置された前記樹脂層を支持体に固定する工程と、
前記樹脂層に、蒸着作製するパターンに対応した複数の開口部を形成することにより、樹脂マスクを作製する工程と、を備えた、蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂マスクは、複数の前記開口部が規則的な配列で配置された有効領域と、前記有効領域を取り囲む周囲領域とを有し、
前記有効領域内には前記樹脂マスクのみが存在する、請求項18に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記支持体は枠状であり、
平面視において前記樹脂マスクの複数の前記開口部が前記支持体の内側に位置し、
前記支持体の内側の前記樹脂マスクは自立薄膜である、請求項18又は19に記載の蒸着マスクの製造方法。
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