KR102186447B1 - 오픈 마스크 조립체의 제조 방법 - Google Patents

오픈 마스크 조립체의 제조 방법 Download PDF

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허동준
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Abstract

본 발명은 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형하되, 상기 개구의 내측에 이격되게 배치된 랜드부 및 상기 랜드부의 둘레면과 상기 개구의 내측면을 연결하는 연결부를 형성하는 개구 성형 단계; 상기 개구 성형 단계를 거쳐 개구가 성형된 마스크 시트를 인장 후 마스크 프레임에 접합하는 마스크 시트 접합 단계; 및 상기 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 개구에서 상기 랜드부 및 상기 연결부를 제거하는 랜드부 및 연결부 제거 단계를 포함하되, 상기 개구 성형 단계에서 상기 마스크 시트에 성형되는 복수개의 개구는 에칭공정에 의해 성형되고, 상기 랜드부는 상기 개구와 대응되는 형상을 가지며, 상기 연결부는 리브이고, 상기 리브의 일단은 상기 랜드부의 둘레면에 연결되며, 상기 리브의 타단은 상기 개구의 내측면에 연결되고 상기 랜드부의 둘레면에는 복수개의 리브가 외측으로 돌출되게 구비되며, 상기 랜드부 및 상기 연결부 제거 단계에서 상기 개구의 내측면에 연결되는 상기 연결부를 절단하여 상기 개구의 내측에 구비되는 랜드부와 랜드부와 연결된 연결부를 제거하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공한다.
따라서, 인장된 후 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에 개구를 성형 시 응력에 의해 개구가 변형되는 것을 방지하기 위해 개구의 내측면에 부착된 연결부 및 연결부와 연결된 랜드부를 제거함으로써 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구를 마스크 시트에 성형할 수 있어 응력으로 인해 성형되는 개구가 변형되는 것을 감소시킬 수 있다.

Description

오픈 마스크 조립체의 제조 방법{Manufacturing method of open mask assembly}
본 발명은 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크 프레임에 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 복수개의 개구가 형성된 박막의 마스크 시트가 접합된 오픈 마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것이다.
한국 등록특허 제10-1869889호에 기재된 배경기술을 참조하면, 근래 널리 제조되고 있는 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는, 텔레비젼, 퍼스털 컴퓨터(PC), 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치 및 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. OLED 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하다. 박막 공정은 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등이 포함된다.
특히 OLED 제조 공정에서 사용되는 마스크 조립체 중 오픈 마스크 조립체는, 제조하고 있는 기판 상에서 개별 디스플레이 전체에 동일한 재질의 박막층을 적층하기 위해 사용되는 마스크이다. 이러한 오픈 마스크 조립체는 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 박막의 금속시트를 인장한 상태로 접합한 구조를 가진다. 마스크 프레임의 경우 약 5 ~ 80 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키는 기능을 한다. 금속시트는 약 0.01 ~ 5.00 mm 정도의 두께를 가지는 박막 시트이며, 증착시 이용될 오픈 마스크 패턴이 형성된다.
실제 제조 과정에서, 하나의 오픈 마스크 패턴은 다수의 디스플레이를 한꺼번에 제조하는 공정에서 사용된다. 이 때문에, 하나의 오픈 마스크 패턴은 제조될 디스플레이 레이아웃 형상과 수에 대응하는 형상과 수의 단위 개구부들을 복수로 포함한다. 이들 단위 개구부들은 일반적으로 에칭 공정에 의해 형성된다. 금속시트 한 장에 형성되는 개구부의 개수는 예컨대 스마트폰 제품 제조 공정에 사용되는 오픈 마스크 조립체의 경우 약 100 ~ 200개일 수 있다. 일반적으로 금속시트 및 마스크 프레임은 예컨대 인바합금(Invar-36 Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 금속을 이용하여 제조된다.
OLED 제조 공정에서, 일반적으로 하나의 오픈 마스크 조립체에 대해 적어도 수 천개 이상의 기판에 대한 박막 공정이 연속적으로 반복되기 때문에, 높은 정밀도의 오픈 마스크 조립체가 요구되고 있다. 나아가 근래에는 생산 효율을 높이기 위해서 그리고 보다 다양한 디자인을 가지는 디스플레이의 생산을 위해서, 오픈 마스크 조립체에 대해 요구되고 있는 정밀도의 수준이 점점 높아지고 있어, 예컨대 허용오차 40~50㎛ 수준까지의 정밀도를 요구한다. 하지만, 오픈 마스크 패턴을 형성하기 위해 사용하는 기존의 에칭 공정으로는 이러한 점점 높아지는 요구에 부응하는 정밀도를 구현하는데 한계가 있었다.
그러므로 종래에 마스크 패턴 제조시, 에칭 공정을 대체하여, 레이저를 이용하여 마스크용 개구부 패턴을 형성하려는 시도가 있었다. 예컨대 대한민국 공개특허 제10-2015-0029414호 (2015.03.18 공개)는 박판을 편평하게 배치하는 제1단계, 레이저를 이용하여 박판에 복수 개의 패턴을 형성하는 제2단계를 포함하고, 제2단계는 박판의 패턴 영역에, 예컨대 피코초 레이저(pico-second laser) 또는 펨토초 레이저(femto-second laser)와 같은, 극초단파레이저(ultra short pulsed laser)를 조사하여 단계적으로 홈을 형성하면서 박판을 관통시키는, 메탈 마스크 제작 방법 및 이를 이용한 메탈 마스크를 기재하고 있다. 메탈 마스크는 일반적으로 디스플레이 내에 형성될 세밀한 RGB 픽셀을 형성하기 위해 사용하는 마스크이다. 이를 위해메탈 마스크의 경우, 상대적으로 작은 치수의 박막 금속 스트립 상에 각 OLED 디스플레이 내에 형성될 세밀한 RGB 픽셀의 형상과 수에 대응하는 개구부들을 포함하도록 제조된다.
종래에는 박판을 편평하게 인장한 후 인장된 박판을 프레임에 접합 후 레이저를 이용하여 박판에 복수개의 패턴을 가공하였으나, 인장된 박판에 레이저로 패턴을 가공 시 인장된 박판의 응력으로 인해 레이저로 가공되는 패턴이 원하는 패턴으로 가공되지 않고 변형되는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형 시 개구의 내측에 랜드부 및 개구의 내측면과 연결되는 연결부를 형성한 후 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합하고, 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에서 개구의 내측면에 연결된 연결부를 절단함으로써 마스크 시트에 개구를 성형할 수 있어 개구를 성형 시 응력으로 인해 개구가 변형되는 것을 감소시킬 수 있는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형하되, 상기 개구의 내측에 이격되게 배치된 랜드부 및 상기 랜드부의 둘레면과 상기 개구의 내측면을 연결하는 연결부를 형성하는 개구 성형 단계; 상기 개구 성형 단계를 거쳐 개구가 성형된 마스크 시트를 인장 후 마스크 프레임에 접합하는 마스크 시트 접합 단계; 및 상기 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 개구에서 상기 랜드부 및 상기 연결부를 제거하는 랜드부 및 연결부 제거 단계를 포함하되, 상기 개구 성형 단계에서 상기 마스크 시트에 성형되는 복수개의 개구는 에칭공정에 의해 성형되고, 상기 랜드부는 상기 개구와 대응되는 형상을 가지며, 상기 연결부는 리브이고, 상기 리브의 일단은 상기 랜드부의 둘레면에 연결되며, 상기 리브의 타단은 상기 개구의 내측면에 연결되고 상기 랜드부의 둘레면에는 복수개의 리브가 외측으로 돌출되게 구비되며, 상기 랜드부 및 상기 연결부 제거 단계에서 상기 개구의 내측면에 연결되는 상기 연결부를 절단하여 상기 개구의 내측에 구비되는 랜드부와 랜드부와 연결된 연결부를 제거하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 있어서, 상기 리브는 막대형상을 가질 수 있다.
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또한, 상기 리브는 상기 랜드부의 둘레면에 연결된 부위가 상기 개구의 내측면에 연결된 부위보다 큰 폭을 가지는 사다리꼴 형상일 수 있다.
상기 마스크 시트 접합 단계는 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트를 인장시키는 인장 단계와, 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 접합 단계를 포함할 수 있으며, 상기 인장 단계에서는 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트의 모서리 부분이 외측으로 인장될 수 있고, 상기 접합 단계에서 인장된 마스크 시트는 가장자리가 용접에 의해 마스크 프레임에 접합될 수 있다.
상기 개구 성형 단계에서 상기 개구의 내측면에 연결된 상기 복수개의 연결부의 절단은 레이저를 이용할 수 있다.
본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 인장된 후 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에 개구를 성형 시 응력으로 인해 개구가 변형되는 것을 방지하기 위해 개구의 내측면에 부착된 연결부 및 연결부와 연결된 랜드부를 제거함으로써 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구를 마스크 시트에 성형할 수 있어 응력으로 인해 성형되는 개구가 변형되는 것을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 2는 도 1의 마스크 시트 접합 단계의 세부적인 순서를 도시한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1의 개구 성형 단계를 거친 마스크 시트 및 마스크 시트가 인장되는 방향을 도시한 평면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 연결부의 변형 예를 도시한 도면이다.
도 6은 도 3의 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 개구에서 연결부 및 랜드부가 절단되는 상태를 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 개구 성형 단계(S10)와, 마스크 시트 접합 단계(S20)와, 랜드부 및 연결부 제거 단계(S30)를 포함한다.
도 2를 참조하면, 마스크 프레임(120)에 오픈 마스크 패턴, 즉 복수의 개구(112)를 구비한 마스크 시트(110)를 접합하면 오픈 마스크 조립체(100)가 제조된다. 이러한 오픈 마스크 조립체(100)는 스마트폰 또는 스마트 워치 등에 구비되는 디스플레이를 제조하기 위한 웨이퍼 기판 상에 절연층과 같이 개별 디스플레이 면적 전체에 동일한 재료의 박막을 적층하고 패턴화하기 위한 공정에서 사용된다. 박막 공정에서, 적층될 입자는 오픈 마스크 조립체(100)의 오픈 마스크 패턴 즉 개구(112)들을 통과한 후, 오픈 마스크 조립체(100)와 접해 있는 기판 상에 적층될 수 있다.
도 1을 참조하면, 상기 개구 성형 단계(S10)는 오픈 마스크 조립체(100)의 원자재인 마스크 시트(110)에 복수개의 개구(112)를 성형하는 단계이며, 성형되는 복수개의 개구(112)의 내측에는 랜드부(114)가 배치되고 상기 개구(112)의 내측면(112a)과 이격되게 배치되는 랜드부(114)는 연결부(116)에 상기 개구(112)의 내측면(112a)과 연결된다.
상기 개구 성형 단계(S10)에서 상기 마스크 시트(110)에 성형되는 복수개의 개구(112)는 에칭 공정에 의해 형성될 수 있다. 여기서, 상기 마스크 시트(110)에 상기 개구(112)는 습식 식각을 이용하여 형성되는 것이 일반적이지만, 건식 식각 또는 레이저 가공 방식 등으로 형성될 수도 있다.
상기 개구 성형 단계(S10)에서 상기 마스크 시트(110)에 성형되는 개구(112)는 사각형상을 가지는 것으로 도 3 및 도 4에서 도시하였으나, 사각형상을 가지는 것으로 한정하는 것은 아니며 원형상 또는 다각형상 등 상기 개구(112)의 형상이 다양하다는 점은 해당 기술 분야이 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
상기 개구(112)의 내측에 상기 개구(112)의 내측면과 이격되게 배치되는 상기 랜드부(114)는 상기 개구(112)의 형상과 대응되는 형상을 가지는 것이 바람직하며, 상기 랜드부(114)의 둘레면과 상기 개구(112)의 내측면을 연결하는 상기 연결부(116)는 리브인 것이 바람직하다.
상기 연결부(116)인 리브의 일단이 상기 랜드부(114)의 둘레면에 연결되고, 상기 리브의 타단이 상기 개구(112)의 내측면에 연결됨으로써 상기 개구(112)의 내측에 상기 랜드부(114)가 이격되게 배치되며, 상기 랜드부(114)의 둘레면에는 복수개의 리브가 외측으로 돌출되어 상기 개구(112)의 내측면에 연결되고, 상기 리브의 일단은 상기 랜드부(114)의 둘레면과 일체로 형성될 수 있다.
상기 연결부(116)인 리브는 막대형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 5에 도시된 바와 같이 상기 랜드부(114')의 둘레면에 연결된 부위가 상기 개구(112')의 내측면에 연결된 부위보다 큰 폭을 가지는 사다리꼴형상 등 다양한 형상을 가지도록 상기 연결부(116')가 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 연결부는 상기 랜드부와 상대적으로 큰 폭으로 연결되므로, 안정된 상태로 적정 위치에 배치될 수 있고, 또한, 개구의 내측면과는 상대적으로 작은 폭으로 연결되어, 추후 레이저 등을 이용하여 절개하는 경우, 절개가 용이하다는 장점을 가진다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 개구 성형 단계(S10)를 거쳐 복수개의 개구(112)가 성형된 마스크 시트(110)는 마스크 프레임(120)에 접합하는 마스크 시트 접합 단계(S20)를 수행하게 된다.
상기 마스크 시트 접합 단계(S20)는 사각형상을 가지는 마스크 시트(110)를 인장시키는 인장 단계(S22)와, 인장된 마스크 시트(110)를 상기 마스크 프레임(120)에 접합시키는 접합 단계(S24)를 포함한다.
상기 인장 단계(S22)는 사각형상을 가지는 마스크 시트(110)를 인장시키는 단계이며, 상기 인장 단계(S22)에서는 사각형상의 마스크 시트(110)는 별도의 인장장치(미도시)에 의해 인장되고, 인장장치(미도시)가 사각형상의 모시리 부분을 외측으로 당김으로 인해 상기 마스크 시트(110)가 인장되게 된다.
상기 인장 단계(S22)를 거친 후 사각형상의 모서리 부분이 외측으로 인장된 상기 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(120) 상에 접합하는 접합 단계(S24)를 수행한다. 상기 마스크 프레임(120)에 상기 마스크 시트(110)의 가장자리가 접합됨으로써 상기 마스크 프레임(120)은 상기 마스크 시트(110)의 가장자리만 지지하며, 상기 마스크 시트(110)가 인장된 후 상기 마스크 프레임(120)에 접합됨으로써 상기 마스크 시트(110)의 중심부가 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 방지되게 된다. 상기 마스크 시트(110)는 모서리를 도 4에 도시된 화살표 방향으로 각각 인장하여 팽팽하게 된 상태로 상기 마스크 프레임(120) 상에 레이저 스폿 용접 방식으로 접합 고정되는 것이 바람직하다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 상기 마스크 시트 접합 단계(S20)를 거친 후 상기 마스크 프레임(120)에 접합된 상기 마스크 시트(110)의 개구(112)에서 상기 랜드부(114) 및 상기 연결부(116)를 제거하는 랜드부 및 연결부 제거 단계(S30)를 수행하게 된다.
상기 마스크 시트(110)의 개구(112)에서 상기 랜드부(114) 및 상기 연결부(116)의 제거는 레이저를 이용하며, 레이저를 이용하여 상기 개구(112)의 내측면(112a)에 연결된 상기 연결부(116)인 리브의 일단을 절단함으로써 상기 연결부(116) 및 상기 연결부(116)와 연결되는 상기 랜드부(114)를 상기 마스크 시트(110)의 개구(112)에서 제거하여 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구(112)를 상기 마스크 시트(110)에 형성하게 된다.
따라서, 인장된 후 마스크 프레임(120)에 접합된 마스크 시트(110)에 개구(112)를 성형 시 응력에 의해 개구(112)가 변형되는 것을 방지하기 위해 개구(112)의 내측면(112a)에 부착된 연결부(116) 및 연결부(116)와 연결된 랜드부(114)를 제거함으로써 박막 공정에서 적층될 입자가 통과하는 개구(112)를 마스크 시트(110)에 성형할 수 있어 응력으로 인해 성형되는 개구(112)가 변형되는 것을 감소시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100 : 오픈 마스크 조립체 110 : 마스크 시트
112 : 개구 114 : 랜드부
116 : 연결부 120 : 마스크 프레임

Claims (7)

  1. 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트에 복수개의 개구를 성형하되, 상기 개구의 내측에 이격되게 배치된 랜드부 및 상기 랜드부의 둘레면과 상기 개구의 내측면을 연결하는 연결부를 형성하는 개구 성형 단계;
    상기 개구 성형 단계를 거쳐 개구가 성형된 마스크 시트를 인장 후 마스크 프레임에 접합하는 마스크 시트 접합 단계; 및
    상기 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트의 개구에서 상기 랜드부 및 상기 연결부를 제거하는 랜드부 및 연결부 제거 단계를 포함하되,
    상기 개구 성형 단계에서 상기 마스크 시트에 성형되는 복수개의 개구는 에칭공정에 의해 성형되고, 상기 랜드부는 상기 개구와 대응되는 형상을 가지며, 상기 연결부는 리브이고,
    상기 리브의 일단은 상기 랜드부의 둘레면에 연결되며, 상기 리브의 타단은 상기 개구의 내측면에 연결되고 상기 랜드부의 둘레면에는 복수개의 리브가 외측으로 돌출되게 구비되며,
    상기 랜드부 및 상기 연결부 제거 단계에서 상기 개구의 내측면에 연결되는 상기 연결부를 절단하여 상기 개구의 내측에 구비되는 랜드부와 랜드부와 연결된 연결부를 제거하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 리브는,
    막대형상을 가지는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 리브는,
    상기 랜드부의 둘레면에 연결된 부위가 상기 개구의 내측면에 연결된 부위보다 큰 폭을 가지는 사다리꼴 형상인 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스크 시트 접합 단계는,
    사각형상을 가지는 상기 마스크 시트를 인장시키는 인장 단계와,
    인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 접합 단계를 포함하며,
    상기 인장 단계에서는 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트의 모서리 부분이 외측으로 인장되고, 상기 접합 단계에서 인장된 마스크 시트는 가장자리가 용접에 의해 마스크 프레임에 접합되는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 개구 성형 단계에서 상기 개구의 내측면에 연결된 상기 복수개의 연결부의 절단은 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101659961B1 (ko) * 2016-07-25 2016-09-29 주식회사 엠더블유와이 살대형 패턴 시트, 이를 이용한 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 마스크 조립체

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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