KR20220057908A - 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트, 마스크 서포트 시트 조립체 및 파인 메탈 마스크 조립체, 및 이들의 제조 방법 - Google Patents

표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트, 마스크 서포트 시트 조립체 및 파인 메탈 마스크 조립체, 및 이들의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

개시된 실시예에 따른 마스크 서포트 시트는 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트로서, 일체형의 금속 시트이고, 단위 표시 장치의 표시 영역에 대응되는 복수의 표시 개구부들 및 가장자리에서 외곽 방향으로 돌출된 복수의 돌출단들을 포함하며, 상기 표시 영역 내의 세부 패턴들에 대응되는 복수의 미세 개구부들을 포함하는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 스틱을 지지하도록 구성된다. 상기 표시 개구부들 각각은, 파인 메탈 마스크 스틱과 인접하도록 구성된 쪽이 움푹 파인 형태의 분지형 리세스를 포함한다.

Description

표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트, 마스크 서포트 시트 조립체 및 파인 메탈 마스크 조립체, 및 이들의 제조 방법 {MASK SUPPORT SHEET, MASK SUPPORT SHEET ASSEMBLY AND FINE METAL MASK ASSEMBLY USED IN THIN FILM PROCESS FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 개시는 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트, 상기 마스크 서포트 시트를 포함하는 마스크 서포트 시트 조립체 및 상기 마스크 서포트 시트 조립체를 포함하는 파인 메탈 마스크 조립체에 관한 것이다.
본 개시는 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법에 관한 것이다.
근래 널리 제조되고 있는 유기 발광 표시 장치(OLED; Organic Light-Emitting Diodes)는 텔레비전, PC, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치, 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. OLED 제조시, 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하다. 박막 공정은 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등의 공정이 포함된다.
예를 들어, 도 1은 유기 발광 표시 장치의 표시 패널 상의 박막층들을 나타내는 도면이다. 구체적으로는, 도 1은 OLED의 표시 패널의 일부분을 확대하여 해당 부분에 적층된 박막들을 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, OLED의 표시 패널에는 2nd PASS, Organic, 1st PASS, Capping, Cathode, EIL, ETL, EML, R', G', HIL/HTL, Anode 등의 박막층들이 형성되어 있다.
이러한 박막층들을 형성하기 위한 박막 공정에 이용되는 마스크 조립체는, 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 마스크 시트, 서포트 스트립, 및/또는 스틱 등을 접합한 구조를 가진다. 마스크 프레임의 경우 약 5 ~ 80 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키기 위한 기능을 한다. 마스크 시트나 스틱은 약 0.01 ~ 5.00 mm 정도의 두께를 가지는 박막 금속 시트 또는 스트립 상에, 증착시 이용될 소정 패턴을 형성한 것이다.
마스크 조립체의 유형으로는, 오픈 메탈 마스크(OMM; Open Metal Mask) 조립체, 파인 메탈 마스크(FMM; Fine Metal Mask) 조립체 등이 있다.
OMM 조립체는 단위 표시 장치의 디스플레이 면적 전체에 동일한 재질의 박막을 적층하기 위해 사용되는 마스크 조립체이다. OMM 조립체는 마스크 프레임 상에 오픈 마스크 시트를 접합한 구조를 가진다. 오픈 마스크 시트는 기판 상의 디스플레이의 형상과 수에 각각 대응하는 형상과 수의 단위 개구부들을 포함한다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, Capping, Cathode, EIL, ETL, HIL/HTL 등 표시 패널 전체에 걸쳐 형성되는 박막층들은, OMM 조립체를 사용하는 박막 공정에 의해 형성된다.
FMM 조립체는 단위 표시 장치의 디스플레이 면적 내의 세부 영역에 대응하는 박막층을 적층하기 위해 사용되는 미세 패턴을 가진 마스크이다. FMM 조립체는 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 하나 이상의 파인 메탈 마스크(FMM) 스틱을 접합한 구조를 가진다. FMM 스틱은 박막의 금속 스트립 또는 스틱 상에, 증착시 이용될 미세 패턴을 형성한 것이다. FMM 스틱의 미세 패턴은, 기판 상의 단위 표시 장치의 디스플레이 내에 형성될 세밀한 패턴들의 형상과 수에 대응하는 단위 패턴들을 포함한다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, EML, R', G' 등의 컬러 픽셀과 같은 박막층들은 FMM 조립체를 사용하는 박막 공정에 의해 형성된다.
일반적으로, 마스크 조립체가 이용되는 박막 공정은 높은 온도에서 실시된다. 근래의 OLED 제조 공정에 따르면, 일반적으로 하나의 마스크 조립체에 대해 적어도 수십 내지 수백개 이상의 기판에 대한 박막 공정이 연속적으로 반복된다. 이렇게 박막 공정이 진행됨에 따라, 마스크 조립체는 지속적으로 높은 온도에 노출되며, 따라서 점차로 열에 의해 마스크 조립체의 패턴에 변형이 발생하게 된다. 이는 전체 공정의 수율에 악영향을 미치는 셰도우(Shadow) 현상의 주요 원인 중 하나이다. 또한 OLED 제조 공정에서 OLED 제조용 기판 각각에 대응하여 수십 개의 다양한 마스크 조립체가 사용되므로, 각 마스크 조립체에 발생하는 열변형에 따른 셰도우 현상은 수십번 중첩되어 더욱 수율을 저하시키게 된다.
근래에는 휴대용 기기의 경우에도 기존 SD(Standard Definition), HD(High Definition)에서 FHD(Full HD) 및 UHD(Ultra HD) 등과 같이 고품질의 해상도를 제공하는 디스플레이 장치를 요구한다. 그러므로 종래보다 높은 정밀도의 마스크 조립체에 대한 요구는 점점 증가되고 있으며, 이에 따라 마스크 조립체의 열변형을 감소시켜 마스크 조립체의 정밀도를 높여야 한다는 절실한 기술적 요구가 있다. 특히, FMM 조립체에 대해서는 매우 높은 수준의 정밀도가 요구된다.
도 2a 및 2b는 종래기술에 따른 FMM 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 2a 및 2b를 참조하면, FMM 조립체는 마스크 프레임(200) 상에, 정렬 스틱(10), 장변 스틱(20), 틈새 스틱(30) 등의 지지용 스틱과 함께, 하나 이상의 FMM 스틱(300)을 접합하여 형성된다. 정렬 스틱(10), 장변 스틱(20), 틈새 스틱(30) 등의 지지용 스틱은 인장되어 마스크 프레임(200) 상에 결합되고, 그 위에 결합되는 FMM 스틱(300)을 지지하는 기능을 수행한다.
그러나 이와 같이, 정렬 스틱(10), 장변 스틱(20), 틈새 스틱(30) 등이 제각각 마스크 프레임(200)에 결합되는 구조로 인하여, 제조 공정이 복잡해지고 이들을 인장하는 과정이 복잡해지는 문제가 있다. 또한, 모든 지지용 스틱에 대하여 균일한 인장력을 가하는 것이 기술적으로 어렵다는 문제도 있다.
도 2c는 도 2b의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 2c를 참조하면, FMM 조립체의 구조상, 지지용 스틱(도 2c에서는 틈새 스틱(30))은 FMM 스틱과 바로 접하게 되어 있다. OLED 박막 공정에서, 하나의 FMM 조립체에 대해서 수많은 기판에 대한 박막 공정이 연속적으로 반복되는데, 이러한 과정에서 지지용 스틱과 FMM 스틱 사이에 이물질(D)이 위치하게 되는 경우가 많다. 이러한 경우, FMM 조립체와 기판의 반복적인 탈부착 과정에서 상대적으로 얇은 FMM 스틱이 손상되는 문제가 발생한다. FMM 스틱은 고가의 제품으로서 이러한 손상이 발생할 경우 제조 비용의 손실이 매우 크게 발생하게 된다.
본 개시의 실시예들은 전술한 종래기술의 문제점을 해결한다.
본 개시의 일 측면은 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 마스크 서포트 시트는 일체형의 금속 시트이고, 단위 표시 장치의 표시 영역에 대응되는 복수의 표시 개구부들 및 가장자리에서 외곽 방향으로 돌출된 복수의 돌출단들을 포함하며, 상기 표시 영역 내의 세부 패턴들에 대응되는 복수의 미세 개구부들을 포함하는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 스틱을 지지하도록 구성되고, 상기 표시 개구부들 각각은, 파인 메탈 마스크 스틱과 인접하도록 구성된 쪽이 움푹 파인 형태의 분지형 리세스(recess)를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상기 분지형 리세스는, 상기 파인 메탈 마스크 스틱과 인접하도록 구성된 쪽이 상대적으로 넓고 그 반대 쪽이 상대적으로 좁은 형상을 갖는다.
일 실시예에 있어서, 상기 분지형 리세스의 깊이는 상기 금속 시트 두께의 5 % 이상 70 % 이하이다.
일 실시예에 있어서, 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상하로 관통된 영역을 제외한 상기 분지형 리세스의 일측의 폭은 30 μm 이상 5 mm 이하이다.
일 실시예에 있어서, 마스크 서포트 시트의 일 단면도 상에서, 상기 분지형 리세스의 최상단 폭은 상기 파인 메탈 마스크 스틱의 폭보다 넓다.
일 실시예에 있어서, 상기 금속 시트 중, 서로 인접한 표시 개구부들 사이에 위치한 영역은, 상기 금속 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 제1 영역, 및 상기 제1 영역 내에 섬 형태로 형성되고 상기 제1 영역에 비해 두께가 두껍게 형성된 제2 영역을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 마스크 서포트 시트는 유기 발광 표시 장치(Organic Light-Emitting Diodes; OLED) 제조에 사용된다.
일 실시예에 있어서, 상기 세부 패턴들은 상기 표시 영역 내의 EML, R' 또는 G' 패턴이다.
일 실시예에 있어서, 마스크 서포트 시트 상에서 상기 표시 개구부들이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들이 정의되고, 상기 돌출단들은 상기 가상의 선들 양단에서 돌출되며, 마스크 서포트 시트는, 상기 돌출단들의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 더 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출단들과 상기 가드 스트립이 연결된 부분에는, 상기 금속 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인이 형성된다.
본 개시의 또 하나의 측면은 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트 조립체의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 마스크 서포트 시트 조립체는 마스크 프레임 및 상기 마스크 프레임 상에 접합되는 전술한 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트를 포함한다.
본 개시의 또 하나의 측면은 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 조립체의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 파인 메탈 마스크 조립체는 전술한 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트 조립체 및 상기 마스크 서포트 시트 조립체 상에 접합되는 파인 메탈 마스크 스틱을 포함한다.
본 개시의 또 다른 측면은 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 조립체 제조 방법의 실시예들을 제공한다. 대표적 실시예에 따른 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 파인 메탈 마스크 스틱을 지지하기 위한 마스크 서포트 시트 제조 단계를 포함하고, 상기 마스크 서포트 시트 제조 단계는, 일체형의 금속 시트 상에, 복수의 분지형 리세스들을 형성하기 위한 제1 패턴으로 제1 보호막을 형성하는 제1 패턴 형성 단계, 상기 제1 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 상기 금속 시트 상에 복수의 분지형 리세스들을 형성하는 제1 에칭 단계, 상기 금속 시트 상에, 상기 분지형 리세스들 각각의 최대 폭보다 좁은 폭을 갖는 복수의 표시 개구부들을 형성하기 위한 제2 패턴으로 제2 보호막을 형성하는 제2 패턴 형성 단계 및 상기 제2 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 상기 금속 시트 상에 복수의 표시 개구부들을 형성하는 제2 에칭 단계를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2 패턴에서 상기 표시 개구부들 각각에 대응되는 영역은, 상기 제1 패턴에서 상기 분지형 리세스들 각각에 대응되는 영역 안에 포함된다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 에칭 단계는, 에칭 시간에 따라 상기 분지형 리세스들의 깊이를 조절하는 단계를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계를 더 포함하고, 마스크 서포트 시트 상에서 상기 표시 개구부들이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들이 정의되고, 상기 마스크 서포트 시트는, 상기 가상의 선들 양단에서 외곽 방향으로 돌출된 복수의 돌출단들 및 상기 돌출단들의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 포함하고, 상기 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계는, 상기 가드 스트립을 통하여 상기 마스크 서포트 시트를 인장하는 인장 단계, 상기 인장된 마스크 서포트 시트의 돌출단들을 마스크 프레임의 홈에 접합하는 접합 단계 및 상기 가드 스트립을 절단하여 분리해 내는 가드 스트립 분리 단계를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 돌출단들과 상기 가드 스트립이 연결된 부분에는, 상기 마스크 서포트 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인이 형성되고, 상기 가드 스트립 분리 단계에서는, 상기 절단 라인을 따라 상기 가드 스트립을 절단하는 것을 특징으로 한다.
일 실시예에 있어서, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 상기 마스크 서포트 시트 조립체에 파인 메탈 마스크 스틱을 접합하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 실시예들에 의하면, 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 스틱을 지지하기 위한 용도로서 마스크 서포트 시트를 일체형의 금속 시트로 구성하고, 그 가장자리에 복수의 돌출단들 및/또는 가드 스트립을 형성함으로써, 마스크 서포트 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합함에 있어서, 낱개의 지지용 스틱들을 이용하는 것에 비해 용이할 뿐만 아니라, 인장력이 마스크 서포트 시트에 고르게 분배될 수 있도록 하여 기존보다 더 적은 인장력으로도 박막 공정시의 열변형을 최소화할 수 있게 된다.
또한, 본 개시의 실시예들에 의하면, 이러한 마스크 서포트 시트의 개구부의 가장자리 영역에, 움푹 파인 형태의 분지형 리세스(recess)를 형성함으로써, 박막 공정시 기판과의 반복적인 탈부착 과정에서 발생할 수 있는 이물질에 의한 파인 메탈 마스크 스틱의 손상을 방지할 수 있다.
도 1은 유기 발광 표시 장치(OLED)의 표시 패널 상의 박막층들을 나타내는 도면이다.
도 2a 및 2b는 종래기술에 따른 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 2c는 도 2b의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 상면도들이다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 5a 및 5b는 본 발명의 실시예들에 따른 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 5c는 도 5b의 100A 영역의 확대도이다.
도 5d는 도 5c의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 6a 내지 6c는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부에 형성된 분지형 리세스의 깊이를 나타내는 도면들이다.
도 7a 내지 7c는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부에 형성된 분지형 리세스의 폭을 나타내는 도면들이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부의 형태를 나타내는 상면도이다.
도 8b는 도 8a의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 9a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부의 형태를 나타내는 상면도이다.
도 9b는 도 9a의 A-A' 및 B-B' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 10a 내지 10c는 본 발명의 실시예들에 따른 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체 제조 방법을 나타내는 순서도들이다.
도 11a 내지 11c는 도 10c의 각 단계별 공정을 나타내는 도면들이다.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기재되는 치수와 수치는 기재된 치수와 수치 만으로 한정되는 것은 아니다. 달리 특정되지 않는 한, 이러한 치수와 수치는 기재된 값 및 이것을 포함하는 동등한 범위를 의미하는 것으로 이해될 수 있다. 예를 들어, 본 개시에 기재된 '** mm'라는 치수는 '약 ** mm'를 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 개시의 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
도 3a 및 3b는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 상면도들이다.
도 3a를 참조하면, 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트(100)는 일체형의 금속 시트(110)로 이루어져 있다. 예를 들어, 금속 시트(110)는 인바 합금 재질일 수 있다. 예를 들어, 금속 시트(110)의 두께는 100 μm 이상 200 μm 이하일 수 있다. 도 5a 등을 참조하여 후술할 바와 같이, 마스크 서포트 시트(100)는 파인 메탈 마스크(FMM; Fine Metal Mask) 조립체에서 파인 메탈 마스크(FMM) 스틱을 지지하는 용도이다.
마스크 서포트 시트(100)는 복수의 표시 개구부들(120)을 포함한다. 즉, 금속 시트(110)에는 복수의 표시 개구부들(120)이 형성되어 있다. 표시 개구부들(120) 각각은 단위 표시 장치의 표시 영역에 대응된다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 표시 개구부들(120) 각각은 스마트폰의 표시 영역 전체에 대응될 수 있다. 도시하지는 않았으나, 표시 개구부들(120)의 형태는 표시 장치의 표시 영역의 형태에 따라 다양하게 구성될 수 있다. 예를 들어, 표시 개구부들(120)은 직사각형, 원형 또는 그 외의 다양한 형태를 가질 수 있다.
마스크 서포트 시트(100)는 복수의 돌출단들(111)을 포함한다. 즉, 금속 시트(110)에는 복수의 돌출단들(111)이 형성되어 있다. 돌출단들(111)은 마스크 서포트 시트(100)의 가장자리에서 외곽 방향으로 돌출되어 있다. 예를 들어, 마스크 서포트 시트(100) 상에서 표시 개구부들(120)이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들을 정의하면, 돌출단들(111)은 상기 가상의 선들 양단에서 마스크 서포트 시트(100)의 외곽 방향으로 돌출될 수 있다.
이와 같이, 파인 메탈 마스크 스틱을 지지하기 위한 용도로서 마스크 서포트 시트를 일체형의 금속 시트로 구성하고, 그 가장자리에 복수의 돌출단들을 형성함으로써, 마스크 서포트 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합함에 있어서, 낱개의 지지용 스틱들을 이용하는 것에 비해 용이할 뿐만 아니라, 인장력이 마스크 서포트 시트에 고르게 분배될 수 있도록 하여 기존보다 더 적은 인장력으로도 박막 공정시의 열변형을 최소화할 수 있게 된다.
도 3b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 서포트 시트(100')는, 돌출단들(111)의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립(112)을 추가로 포함할 수 있다. 돌출단들(111)과 가드 스트립(112)이 연결되는 부분에는 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인(113)이 형성될 수 있다. 도 10c 및 11a 내지 11c를 참조하여 후술할 바와 같이, 가드 스트립(112)을 통하여 마스크 서포트 시트(100')를 인장하여, 이를 마스크 프레임에 접합할 수 있다.
이와 같이, 돌출단들의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 추가로 형성함으로써, 마스크 서포트 시트의 인장 과정이 더욱 용이해질 수 있다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 4a 및 4b를 참조하면, 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트 조립체(2)는 마스크 서포트 시트(100) 및 마스크 프레임(200)을 포함한다. 마스크 서포트 시트 조립체(2)는 마스크 프레임(200) 상에 마스크 서포트 시트(100)를 접합하여 형성된다. 마스크 프레임(200) 상에 마스크 서포트 시트(100)가 인장되어 접합되는 과정에 대해서는 도 10c 및 11a 내지 11c를 참조하여 상세히 후술한다.
도 5a 및 5b는 본 발명의 실시예들에 따른 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체의 적층도 및 상면도이다.
도 5a 및 5b를 참조하면, 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 마스크 서포트 시트(100), 마스크 프레임(200), 및 하나 이상의 파인 메탈 마스크 스틱(300)을 포함한다. 즉, 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 마스크 서포트 시트 조립체(2) 및 하나 이상의 파인 메탈 마스크 스틱(300)을 포함한다. 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 마스크 서포트 시트 조립체(2) 상에 하나 이상의 파인 메탈 마스크 스틱(300)을 접합하여 형성된다. 마스크 서포트 시트(100)는 하나 이상의 파인 메탈 마스크 스틱(300)을 지지하도록 구성된다. 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 유기 발광 표시 장치(Organic Light-Emitting Diodes; OLED) 제조에 사용될 수 있다. 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 표시 장치 제조 공정 중 박막 공정에 사용될 수 있다. 특히, 파인 메탈 마스크 조립체(1)는 단위 표시 장치의 표시 영역 내에 세부 패턴을 형성하기 위한 박막 공정에 사용될 수 있다.
도 5b에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 서포트 시트(100) 상의 일부에는 파인 메탈 마스크 스틱(300)을 도시하지 않았으나, 일반적인 파인 메탈 마스크 조립체(1)에서는 마스크 서포트 시트(100) 상의 대부분의 영역에 파인 메탈 마스크 스틱(300)이 형성된다.
도 5c는 도 5b의 100A 영역의 확대도이다.
도 5b 및 5c를 참조하면, 파인 메탈 마스크 스틱(300)은 박막의 금속 시트(310)에 형성된 복수의 미세 개구부들(320)을 포함한다. 미세 개구부들(320)은 단위 표시 장치의 표시 영역 내의 세부 패턴들에 대응된다. 예를 들어, 도 1을 참조하면, 미세 개구부들(320)은 스마트폰의 표시 영역 내의 EML, R', G' 패턴 또는 그 외의 다양한 세부 패턴들에 대응될 수 있다.
도 5d는 도 5c의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 5c 및 5d를 참조하면, 마스크 서포트 시트(100)의 표시 개구부들(120) 각각은 분지형 리세스(recess)(121)를 포함한다. 분지형 리세스(121)는 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 인접하도록 구성된 쪽이 움푹 파인 형태를 갖는다. 즉, 마스크 서포트 시트의 단면도(도 5d) 상에서, 분지형 리세스(121)는 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 인접하도록 구성된 쪽이 상대적으로 넓고 그 반대 쪽이 상대적으로 좁은 형상을 가질 수 있다. 분지형 리세스(121)가 형성된 영역에서, 금속 시트(110)의 두께는 표시 개구부(120)의 중심부로 갈수록 좁아질 수 있다. 분지형 리세스(121)가 없는 경우(도 2c)에 비해, 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 금속 시트(110)가 접촉하는 면적이 작다. 예를 들어, 도 7a 내지 7c를 참조하여 후술하겠지만, 분지형 리세스(121)의 폭에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 단면도(도 7b) 상에서는, 분지형 리세스(121)의 최상단 폭이 파인 메탈 마스크 스틱(300)의 폭보다 좁아서, 금속 시트(110)가 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 접촉하도록 구성될 수 있고, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 단면도(도 7c) 상에서는, 분지형 리세스(121)의 최상단 폭이 파인 메탈 마스크 스틱(300)의 폭보다 넓어서, 금속 시트(110)가 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 접촉하지 않도록 구성될 수 있다.
이와 같이, 마스크 서포트 시트의 개구부의 가장자리 영역에, 움푹 파인 형태의 분지형 리세스를 형성함으로써, 박막 공정시 기판과의 반복적인 탈부착 과정에서 마스크 서포트 시트와 파인 메탈 마스크 스틱 사이에 끼일 수 있는 이물질에 의한 파인 메탈 마스크 스틱의 손상을 방지할 수 있다. 구체적으로, 종래기술인 도 2c와 비교하였을 때, 도 5d에서는 분지형 리세스(121) 영역에 이물질이 발생하더라도 이로 인하여 파인 메탈 마스크 스틱이 손상되지는 않는다.
도 6a 내지 6c는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부에 형성된 분지형 리세스의 깊이를 나타내는 도면들이다.
도 6a 내지 6c를 참조하면, 분지형 리세스(121)의 깊이는 다양하게 구현될 수 있다. 예를 들어, 분지형 리세스(121)의 깊이는 금속 시트(110) 두께의 5 % 이상 70 % 이하일 수 있다. 예를 들어, 분지형 리세스(121)의 깊이(t1)는 금속 시트(110) 두께(T)의 약 5 %일 수 있다(도 6a). 예를 들어, 분지형 리세스(121)의 깊이(t2)는 금속 시트(110) 두께(T)의 약 50 %일 수 있다(도 6b). 예를 들어, 분지형 리세스(121)의 깊이(t3)는 금속 시트(110) 두께(T)의 약 70 %일 수 있다(도 6a).
도 7a 내지 7c는 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부에 형성된 분지형 리세스의 폭을 나타내는 도면들이다.
도 7a를 참조하면, 분지형 리세스(121)의 폭은 다양하게 구현될 수 있다. 구체적으로, 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상하로 관통된 영역을 제외한 분지형 리세스(121)의 일측의 폭(W)은 다양하게 구현될 수 있다. 예를 들어, 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상하로 관통된 영역을 제외한 분지형 리세스(121)의 일측의 폭(W)은 30 μm 이상 5 mm 이하일 수 있다.
도 7b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른, 상하로 관통된 영역을 제외한 분지형 리세스(121)의 일측의 폭은 제1 폭(W1)일 수 있다. 이 경우, 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서의 분지형 리세스(121)의 최상단 폭은 파인 메탈 마스크 스틱(300)의 폭보다 좁을 수 있다.
도 7c를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른, 상하로 관통된 영역을 제외한 분지형 리세스(121)의 일측의 폭은 제2 폭(W2)일 수 있다. 제2 폭(W2)은 제1 폭(W1)보다 넓을 수 있다. 이 경우, 마스크 서포트 시트의 일 단면도(도 7c) 상에서의 분지형 리세스(121)의 최상단 폭은 파인 메탈 마스크 스틱(300)의 폭보다 넓을 수 있다. 이 경우, 마스크 서포트 시트의 일 단면도(도 7c) 상에서는, 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 금속 시트(110)가 접촉하지 않을 수 있다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부의 형태를 나타내는 상면도이다. 도 8b는 도 8a의 A-A' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다. 도 9a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 서포트 시트의 개구부의 형태를 나타내는 상면도이다. 도 9b는 도 9a의 A-A' 및 B-B' 라인을 따라 절단한 면을 나타내는 단면도이다.
도 8a, 8b, 9a 및 9b를 참조하면, 분지형 리세스(121)는 다양한 형태로 구현될 수 있다.
도 8a 및 8b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 분지형 리세스(121)는, 표시 개구부(120)의 가장자리 영역 전체에 걸쳐, 파인 메탈 마스크 스틱(300)과 인접하도록 구성된 쪽이 움푹 파인 형태를 가질 수 있다.
도 9a 및 9b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 분지형 리세스(121)는, 표시 개구부(120)의 가장자리 영역 중 제1 영역(R1)에서는 금속 시트(110)의 두께가 상대적으로 얇게 형성되고, 제2 영역(R2)에서는 제1 영역(R1)에 비해 금속 시트(110)의 두께가 상대적으로 두껍게 형성될 수 있다. 제2 영역(R2)은 제1 영역(R1) 내에 섬 형태로 형성될 수 있다.
이와 같은 구조를 통해, 마스크 서포트 시트와 파인 메탈 마스크 스틱의 접촉 면적을 최소화할 수 있으므로, 마스크 서포트 시트의 변형 및 파인 메탈 마스크 스틱의 손상을 최소화할 수 있다.
도 10a 내지 10c는 본 발명의 실시예들에 따른 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체 제조 방법을 나타내는 순서도들이다. 도 11a 내지 11c는 도 10c의 각 단계별 공정을 나타내는 도면들이다.
도 10a를 참조하면, 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 서포트 시트 제조 단계(S100), 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계(S200) 및 파인 메탈 마스크 스틱 접합 단계(S300)을 포함한다. 본 발명의 실시예들에 따른 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법은 상술한 단계들 외에도 다양한 단계를 더 포함할 수 있다.
도 10b를 참조하면, 마스크 서포트 시트 제조 단계(S100)는 파인 메탈 마스크 스틱을 지지하기 위한 마스크 서포트 시트를 제조하는 단계로서, 제1 패턴 형성 단계(S110), 제1 에칭 단계(S120), 제2 패턴 형성 단계(S130) 및 제2 에칭 단계(S140)를 포함한다. 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트 제조 단계(S100)는 상술한 단계들 외에도 다양한 단계를 더 포함할 수 있다.
제1 패턴 형성 단계(S110)에서는 일체형의 금속 시트 상에 제1 패턴으로 제1 보호막을 형성한다. 상기 제1 패턴은 복수의 분지형 리세스들을 형성하기 위한 패턴이다. 예를 들어, 상기 제1 패턴은, 형성하고자 하는 분지형 리세스들 각각에 대응되는 단위 패턴들을 포함할 수 있다.
제1 에칭 단계(S120)에서는 상기 제1 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 금속 시트 상에 복수의 분지형 리세스들을 형성한다. 제1 에칭 단계(S120)에서는 에칭 시간에 따라 분지형 리세스들의 깊이를 조절할 수 있다. 예를 들어, 에칭 시간을 제1 시간으로 하면, 분지형 리세스들의 깊이가 금속 시트 두께의 약 5 %가 되도록 할 수 있고, 에칭 시간을 제1 시간보다 긴 제2 시간으로 하면, 분지형 리세스들의 깊이가 금속 시트 두께의 약 50 %가 되도록 할 수 있고, 에칭 시간을 제2 시간보다 긴 제3 시간으로 하면, 분지형 리세스들의 깊이가 금속 시트 두께의 약 70 %가 되도록 할 수 있다.
제2 패턴 형성 단계(S130)에서는 금속 시트 상에 제2 패턴으로 제2 보호막을 형성한다. 제2 패턴 형성 단계(S130) 이전에, 제1 패턴 형성 단계(S110)에서 형성된 상기 제1 보호막을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제2 패턴은 복수의 표시 개구부들을 형성하기 위한 패턴이다. 구체적으로, 상기 제2 패턴은 표시 개구부들의 관통 구멍을 형성하기 위한 패턴이다. 마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 표시 개구부의 관통 구멍은 표시 개구부 중 가장 좁은 폭을 가진 영역일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 패턴은, 형성하고자 하는 표시 개구부들 각각에 대응되는 단위 패턴들을 포함할 수 있다. 상기 제2 패턴에서 표시 개구부들 각각에 대응되는 영역의 폭은 상기 제1 패턴에서 분지형 리세스들 각각에 대응되는 영역의 폭보다 좁다. 상기 제2 패턴에서 표시 개구부들 각각에 대응되는 영역은 상기 제1 패턴에서 분지형 리세스들 각각에 대응되는 영역 안에 포함될 수 있다.
제2 에칭 단계(S140)에서는 상기 제2 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 금속 시트 상에 복수의 표시 개구부들을 형성한다. 제2 에칭 단계(S140)를 통해 마스크 서포트 시트가 완성될 수 있다.
도 10c를 참조하면, 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계(S200)는 인장 단계(S210), 접합 단계(S220) 및 가드 스트립 분리 단계(S230)를 포함한다. 본 발명의 실시예들에 따른 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계(S200)는 상술한 단계들 외에도 다양한 단계를 더 포함할 수 있다.
여기서는, 도 11a 내지 11c를 참조하여, 마스크 서포트 시트(100')가 복수의 돌출단들(111) 및 가드 스트립(112)을 포함하는 실시예에 관하여 설명한다. 구체적으로, 마스크 서포트 시트(100') 상에서 표시 개구부들이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들을 정의하면, 돌출단들(111)은 상기 가상의 선들 양단에서 외곽 방향으로 돌출된다. 가드 스트립(112)은 돌출단들(111)의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트(100')를 둘러싸는 형태를 갖는다.
도 10c 및 11a를 참조하면, 인장 단계(S210)에서는 가드 스트립(112)을 통하여 마스크 서포트 시트(100')를 인장한다. 도시하지는 않았으나, 가드 스트립(112)이 존재하지 않는 실시예에서는, 돌출단들(111) 각각의 단부를 통해 마스크 서포트 시트(100')를 인장할 수 있다.
이와 같이, 파인 메탈 마스크 스틱을 지지하기 위한 용도로서 마스크 서포트 시트를 일체형의 금속 시트로 구성하고, 그 가장자리에 복수의 돌출단들 및/또는 가드 스트립을 형성함으로써, 마스크 서포트 시트를 인장하여 마스크 프레임에 접합함에 있어서, 낱개의 지지용 스틱들을 이용하는 것에 비해 용이할 뿐만 아니라, 인장력이 마스크 서포트 시트에 고르게 분배될 수 있도록 하여 기존보다 더 적은 인장력으로도 박막 공정시의 열변형을 최소화할 수 있게 된다.
도 10c 및 11b를 참조하면, 접합 단계(S220)에서는 인장 단계(S210)에서 인장된 마스크 서포트 시트(100')를 마스크 프레임(200)에 접합한다. 구체적으로, 접합 단계(S220)에서는 인장 단계(S210)에서 인장된 마스크 서포트 시트(100')의 돌출단들(111)을 마스크 프레임(200)의 홈에 접합할 수 있다. 마스크 프레임(200)에는 마스크 서포트 시트(100')의 돌출단(111)이 접합될 수 있도록 홈이 파여 있을 수 있다. 마스크 서포트 시트(100')는 용접 공정(P)을 통해 마스크 프레임(200)에 접합될 수 있다.
도 10c 및 11c를 참조하면, 가드 스트립 분리 단계(S230)에서는 접합 단계(S220)를 통해 마스크 서포트 시트(100')가 마스크 프레임(200)에 접합된 상태에서 가드 스트립(112)을 절단하여 분리해 낸다. 도 3b를 참조하면, 돌출단들(111)과 가드 스트립(112)이 연결된 부분에는 마스크 서포트 시트(100')의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인(113)이 형성될 수 있고, 가드 스트립 분리 단계(S230)에서는, 절단 라인(113)을 따라 가드 스트립(112)을 절단하여 분리해 낼 수 있다. 절단 라인은 마스크 서포트 시트 제조 단계(S100)에서 형성될 수 있다. 예를 들어, 절단 라인은 마스크 서포트 시트 제조 단계(S100) 중 제1 패턴 형성 단계(S110)에서 형성될 수 있다. 가드 스트립 분리 단계(S230)를 통해 마스크 서포트 시트 조립체가 완성될 수 있다.
이와 같이, 돌출단들과 가드 스트립이 연결되는 부분에 마스크 서포트 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인을 형성함으로써, 상대적으로 적은 힘만으로도 가드 스트립을 절단하여 분리해 내는 것이 가능하다.
다시 도 10a를 참조하면, 파인 메탈 마스크 스틱 접합 단계(S300)에서는 마스크 서포트 시트 조립체에 파인 메탈 마스크 스틱을 접합한다. 파인 메탈 마스크 스틱 접합 단계(S300)에서는 파인 메탈 마스크 스틱을 인장하여 마스크 서포트 시트 조립체에 접합할 수 있다. 예를 들면, 파인 메탈 마스크 스틱 접합 단계(S300)에서는 용접을 통해 파인 메탈 마스크 스틱을 마스크 서포트 시트 조립체에 접합할 수 있다.
도 10a 내지 10c에 도시된 순서도에서 프로세스 단계들, 방법 단계들, 알고리즘들 등이 순차적인 순서로 설명되었지만, 그러한 프로세스들, 방법들 및 알고리즘들은 임의의 적합한 순서로 작동하도록 구성될 수 있다. 다시 말하면, 본 개시의 다양한 실시예들에서 설명되는 프로세스들, 방법들 및 알고리즘들의 단계들이 본 개시에서 기술된 순서로 수행될 필요는 없다. 또한, 일부 단계들이 비동시적으로 수행되는 것으로서 설명되더라도, 다른 실시예에서는 이러한 일부 단계들이 동시에 수행될 수 있다. 또한, 도면에서의 묘사에 의한 프로세스의 예시는 예시된 프로세스가 그에 대한 다른 변화들 및 수정들을 제외하는 것을 의미하지 않으며, 예시된 프로세스 또는 그의 단계들 중 임의의 것이 본 개시의 다양한 실시예들 중 하나 이상에 필수적임을 의미하지 않으며, 예시된 프로세스가 바람직하다는 것을 의미하지 않는다.
이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.
1: 파인 메탈 마스크(FMM) 조립체
2: 마스크 서포트 시트 조립체
10: 정렬 스틱 / 20: 장변 스틱 / 30: 틈새 스틱
100, 100': 마스크 서포트 시트
110: 금속 시트
111: 돌출단 / 112: 가드 스트립 / 113: 절단 라인
120: 표시 개구부
121: 분지형 리세스
200: 마스크 프레임
300: 파인 메탈 마스크(FMM) 스틱
310: 금속 시트
320: 미세 개구부

Claims (18)

  1. 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트로서,
    일체형의 금속 시트이고,
    단위 표시 장치의 표시 영역에 대응되는 복수의 표시 개구부들, 및 가장자리에서 외곽 방향으로 돌출된 복수의 돌출단들을 포함하며,
    상기 표시 영역 내의 세부 패턴들에 대응되는 복수의 미세 개구부들을 포함하는 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 스틱을 지지하도록 구성되고,
    상기 표시 개구부들 각각은, 파인 메탈 마스크 스틱과 인접하도록 구성된 쪽이 움푹 파인 형태의 분지형 리세스(recess)를 포함하는, 마스크 서포트 시트.
  2. 제1항에 있어서,
    마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상기 분지형 리세스는, 상기 파인 메탈 마스크 스틱과 인접하도록 구성된 쪽이 상대적으로 넓고 그 반대 쪽이 상대적으로 좁은 형상을 갖는, 마스크 서포트 시트.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 분지형 리세스의 깊이는 상기 금속 시트 두께의 5 % 이상 70 % 이하인, 마스크 서포트 시트.
  4. 제1항에 있어서,
    마스크 서포트 시트의 단면도 상에서, 상하로 관통된 영역을 제외한 상기 분지형 리세스의 일측의 폭은 30 μm 이상 5 mm 이하인, 마스크 서포트 시트.
  5. 제1항에 있어서,
    마스크 서포트 시트의 일 단면도 상에서, 상기 분지형 리세스의 최상단 폭은 상기 파인 메탈 마스크 스틱의 폭보다 넓은, 마스크 서포트 시트.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 금속 시트 중, 서로 인접한 표시 개구부들 사이에 위치한 영역은,
    상기 금속 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 제1 영역; 및
    상기 제1 영역 내에 섬 형태로 형성되고 상기 제1 영역에 비해 두께가 두껍게 형성된 제2 영역을 포함하는, 마스크 서포트 시트.
  7. 제1항에 있어서,
    유기 발광 표시 장치(Organic Light-Emitting Diodes; OLED) 제조에 사용되는, 마스크 서포트 시트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 세부 패턴들은 상기 표시 영역 내의 EML, R' 또는 G' 패턴인, 마스크 서포트 시트.
  9. 제1항에 있어서,
    마스크 서포트 시트 상에서 상기 표시 개구부들이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들이 정의되고,
    상기 돌출단들은 상기 가상의 선들 양단에서 돌출되며,
    마스크 서포트 시트는, 상기 돌출단들의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 더 포함하는, 마스크 서포트 시트.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 돌출단들과 상기 가드 스트립이 연결된 부분에는, 상기 금속 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인이 형성되는, 마스크 서포트 시트.
  11. 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 마스크 서포트 시트 조립체로서,
    마스크 프레임; 및
    상기 마스크 프레임 상에 접합되는, 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 마스크 서포트 시트를 포함하는, 마스크 서포트 시트 조립체.
  12. 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask) 조립체로서,
    제11항에 따른 마스크 서포트 시트 조립체; 및
    상기 마스크 서포트 시트 조립체 상에 접합되는 파인 메탈 마스크 스틱을 포함하는, 파인 메탈 마스크 조립체.
  13. 표시 장치 제조에 사용되는 박막 공정용 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask)조립체 제조 방법으로서,
    파인 메탈 마스크 스틱을 지지하기 위한 마스크 서포트 시트 제조 단계를 포함하고, 상기 마스크 서포트 시트 제조 단계는:
    일체형의 금속 시트 상에, 복수의 분지형 리세스들을 형성하기 위한 제1 패턴으로 제1 보호막을 형성하는 제1 패턴 형성 단계;
    상기 제1 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 상기 금속 시트 상에 복수의 분지형 리세스들을 형성하는 제1 에칭 단계;
    상기 금속 시트 상에, 상기 분지형 리세스들 각각의 최대 폭보다 좁은 폭을 갖는 복수의 표시 개구부들을 형성하기 위한 제2 패턴으로 제2 보호막을 형성하는 제2 패턴 형성 단계; 및
    상기 제2 보호막이 형성된 금속 시트를 에칭하여 상기 금속 시트 상에 복수의 표시 개구부들을 형성하는 제2 에칭 단계를 포함하는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제2 패턴에서 상기 표시 개구부들 각각에 대응되는 영역은, 상기 제1 패턴에서 상기 분지형 리세스들 각각에 대응되는 영역 안에 포함되는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제1 에칭 단계는, 에칭 시간에 따라 상기 분지형 리세스들의 깊이를 조절하는 단계를 포함하는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
  16. 제13항에 있어서,
    마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계를 더 포함하고,
    마스크 서포트 시트 상에서 상기 표시 개구부들이 형성되지 않은 영역을 따라 서로 교차하는 2개의 방향으로 연장되는 복수의 가상의 선들이 정의되고, 상기 마스크 서포트 시트는, 상기 가상의 선들 양단에서 외곽 방향으로 돌출된 복수의 돌출단들, 및 상기 돌출단들의 단부에 연결되고 마스크 서포트 시트를 둘러싸는 형태의 가드 스트립을 포함하고,
    상기 마스크 서포트 시트 조립체 제조 단계는:
    상기 가드 스트립을 통하여 상기 마스크 서포트 시트를 인장하는 인장 단계;
    상기 인장된 마스크 서포트 시트의 돌출단들을 마스크 프레임의 홈에 접합하는 접합 단계; 및
    상기 가드 스트립을 절단하여 분리해 내는 가드 스트립 분리 단계를 포함하는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 돌출단들과 상기 가드 스트립이 연결된 부분에는, 상기 마스크 서포트 시트의 다른 부분에 비해 두께가 얇게 형성된 절단 라인이 형성되고,
    상기 가드 스트립 분리 단계에서는, 상기 절단 라인을 따라 상기 가드 스트립을 절단하는 것을 특징으로 하는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 마스크 서포트 시트 조립체에 파인 메탈 마스크 스틱을 접합하는 단계를 더 포함하는, 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법.
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