KR102414489B1 - 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 - Google Patents

투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화하여 기판 손상에 의한 공정 불량을 방지할 수 있는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크는 상면 및 하면을 관통하는 적어도 하나의 마스크 패턴 홀이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트; 상기 마스크 시트의 상면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제1 에칭 홈; 상기 마스크 시트의 하면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제2 에칭 홈; 및 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 배치되되, 상기 마스크 패턴 홀의 외측에 배치된 적어도 하나의 하프 패턴;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법{METAL MASK FOR ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DEPOSITION WITH IMPROVED CELL END WARPAGE BY TWO-STEP PROCESSING AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF}
본 발명은 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화하여 기판 손상에 의한 공정 불량을 방지할 수 있는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 표시장치는 다양한 디바이스에 적용되어 사용되고 있다. 이러한 표시장치는 스마트폰, 태블릿 PC 등과 같은 소형 디바이스뿐만 아니라, TV, 모니터, 퍼블릭 디스플레이(PD, Public Display) 등과 같은 대형 디바이스에 적용되고 있다.
최근, 500 PPI(Pixel Per Inch) 이상의 초고해상도 UHD(UHD, Ultra High Definition)에 대한 수요가 증가하고 있으며, 고해상도 표시장치가 소형 디바이스 및 대형 디바이스에 적용되고 있다. 이에 따라, 저전력 및 고해상도 구현을 위한 기술에 대한 관심이 높아지고 있다.
일반적으로 사용되는 표시장치는 구동 방법에 따라 크게 LCD(Liquid Crystal Display) 및 OLED(Organic Light Emitting Diode) 등으로 구분될 수 있다. LCD는 액정(Liquid Crystal)을 이용하여 구동되는 표시장치로 액정의 하부에는 CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp) 또는 LED(Light Emitting Diode) 등을 포함하는 광원이 배치되는 구조이며, 광원 상에 배치되는 액정을 이용하여 광원으로부터 방출되는 빛의 양을 조절하여 구동되는 표시장치다.
반면, OLED는 유기물을 이용해 구동되는 표시장치로서, 별도의 광원이 요구되지 않고, 유기물 자체가 광원의 역할을 수행하여 저전력으로 구동될 수 있다. 또한, OLED는 무한한 명암비를 표현할 수 있고, LCD 보다 약 1,000배 이상의 빠른 응답속도를 가지며, 시야각이 우수하여 LCD를 대체할 수 있는 표시장치로 주목 받고 있다.
특히, OLED 표시장치에서 발광층에 포함된 유기물은 파인 메탈 마스크(FMM, Fine Metal Mask)라 불리는 OLED 증착용 메탈 마스크에 의해 기판 상에 증착될 수 있고, 증착된 유기물은 OLED 증착용 메탈 마스크에 형성된 마스크 패턴 홀과 대응되는 패턴으로 형성되어 화소의 역할을 수행할 수 있다.
또한, OLED 증착용 메탈 마스크는 철(Fe) 및 니켈(Ni)을 포함하는 인바(Invar) 합금 재질의 금속판으로 이루어질 수 있다. 이때, OLED 증착용 메탈 마스크의 일면 및 타면에는 마스크 패턴 홀이 형성되며, 마스크 패턴 홀은 화소패턴과 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 이에 따라, 적색(Red), 녹색(Green) 및 청색(Blue) 등의 유기물은 금속판의 마스크 패턴 홀을 통과하여 기판 상에 증착될 수 있고, 기판 상에는 화소 패턴이 형성될 수 있다.
이러한 OLED 증착용 메탈 마스크는 상부 에칭 및 하부 에칭을 통해 마스크 패턴 홀을 형성하여 마스크 패턴 홀을 형성하는 과정시, 마스크 시트 단면의 셀 끝단 부분에 날카로운 더미 패턴이 형성됨에 따라 유기물 증착시 기판에 스크래치 등의 손상을 야기하는 문제가 있었다.
관련 선행 문헌으로는 대한민국 등록특허공보 제10-1866382호(2018.06.12. 공고)가 있으며, 상기 문헌에는 유기발광다이오드 패널 제조용 파인 메탈 마스크가 기재되어 있다.
본 발명의 목적은 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화하여 기판 손상에 의한 공정 불량을 방지할 수 있는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크는 상면 및 하면을 관통하는 적어도 하나의 마스크 패턴 홀이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트; 상기 마스크 시트의 상면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제1 에칭 홈; 상기 마스크 시트의 하면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제2 에칭 홈; 및 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 배치되되, 상기 마스크 패턴 홀의 외측에 배치된 적어도 하나의 하프 패턴;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 에칭 홈은 제1 두께 및 제1 폭을 갖고, 상기 제2 에칭 홈은 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는다.
상기 하프톤 패턴은 상기 제1 두께와 동일한 제3 두께를 갖는다.
상기 하프 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성된다.
상기 하프 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역 중 제2 에칭 홈을 제외한 부분 전체에 배치되어 일체로 연결되도록 형성된다.
상기 마스크 시트 하면의 더미 영역에 부착된 접착 부재; 및 상기 접착 부재 하면에 부착된 응력 완화 패턴;을 더 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법은 (a) 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트의 상면 및 하면에 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 제1 및 제2 마스크 패턴을 이용한 1차 에칭으로 상기 마스크 시트의 상면과 마스크 시트의 하면을 가공하여, 제1 에칭 홈 및 하프 패턴을 형성하는 단계; (c) 상기 제1 에칭 홈 및 하프 패턴이 형성된 마스크 시트로부터 제1 및 제2 마스크 패턴을 제거한 후, 상기 마스크 시트의 상면 및 하면에 제3 마스크 패턴 및 제4 마스크 패턴을 형성하는 단계; (d) 상기 제3 및 제4 마스크 패턴을 이용한 2차 에칭으로 상기 마스크 시트의 상면 및 하면을 가공하여, 제2 에칭 홈과 마스크 패턴 홀을 형성하는 단계; 및 (e) 상기 제2 에칭 홈과 마스크 패턴 홀이 형성된 마스크 시트로부터 제3 및 제4 마스크 패턴을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 (a) 단계에서, 상기 제1 마스크 패턴은 상기 마스크 시트 상면의 마스크 셀 영역 중앙 부분을 제외한 전 부분을 덮도록 형성하고, 상기 제2 마스크 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 더미 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 일 부분을 제외한 전체를 덮도록 형성한다.
상기 (b) 단계에서, 상기 하프 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성하거나, 또는 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역 전체에 하나가 일체로 연결되는 형태로 형성한다.
상기 제1 에칭 홈은 제1 두께 및 제1 폭을 갖고, 상기 제2 에칭 홈은 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는다.
본 발명에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법은 마스크 시트의 하면에 형성된 하프 패턴을 통하여 마스크 시트 단면의 셀 끝단으로 집중되는 응력을 분산시키는 것이 가능해질 수 있으므로, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화할 수 있게 된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법은 기판에 유기물을 증착하는 공정을 수행할 시, 마스크 시트 단면의 셀 끝단 부분에 배치되는 날카로운 더미 패턴이 기판 방향으로 휘는 것을 미연에 방지할 수 있으므로, 기판에 스크래치 등의 손상을 발생시킬 염려가 없게 되므로, 기판 손상에 의한 공정 불량을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
도 1은 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도.
도 4는 도 3의 B 부분을 확대하여 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도.
도 8 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법을 나타낸 공정 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크(1)는 마스크 시트(20), 제1 에칭 홈(42) 및 제2 에칭 홈(44)을 포함한다.
이때, 마스크 시트(20)는 상면(20a) 및 상면(20a)에 반대되는 하면(20b)을 갖는다. 이러한 마스크 시트(20)는 적어도 하나의 마스크 패턴 홀(25)이 배치된 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.
제1 에칭 홈(42)은 마스크 시트(20)의 상면(20a)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(25)과 대응되는 위치에 배치된다. 아울러, 제2 에칭 홈(44)은 마스크 시트(20)의 하면(20b)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(25)과 대응되는 위치에 배치된다. 이에 따라, 마스크 패턴 홀(25)은 제1 에칭 홈(42) 및 제2 에칭 홈(44)과 중첩된 위치에 배치되어 마스크 시트(20)의 상면(20a) 및 하면(20b)을 관통하도록 형성된다.
전술한 구성을 갖는 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크(1)는 마스크 시트(20)의 상면(20a)을 1차적으로 가공하여 제1 에칭 홈(42)을 형성하고, 마스크 시트(20)의 하면(20b)을 2차적으로 가공하여 제2 에칭 홈(44)을 형성하는 투스텝(tow step) 가공에 의해 형성된다. 이때, 마스크 패턴 홀(25)은 제1 에칭 홈(42) 및 제2 에칭 홈(44)과 중첩된 위치에 배치되어 마스크 시트(20)의 상면(20a) 및 하면(20b)을 관통하도록 형성된다.
그러나, 일반적인 OLED 증착용 메탈 마스크(1)는 투스텝 가공으로 마스크 패턴 홀(25)을 형성하기 위해 습식 식각으로 제1 에칭 홈(42) 및 제2 에칭 홈(44)을 형성하는 과정시, 불가피하게 마스크 시트(20) 단면의 셀 끝단 부분에 날카로운 더미 패턴(27)이 존재하게 된다. 이러한 날카로운 더미 패턴(27)은 유기물 증착 공정시, OLED 증착용 메탈 마스크(1)와 밀착되는 글래스 재질의 기판(미도시) 방향으로 휘어져 글래스 재질의 기판에 스크래치 등의 손상을 야기하며, 이는 결국 공정 수율을 저하시키는 문제로 작용한다.
이를 해결하기 위해, 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크는 마스크 시트의 하면에 하프 패턴을 설계하여 응력을 완화시키는 것에 의해, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화하여 기판 손상에 의한 공정 불량을 방지할 수 있게 된다.
이에 대해서는, 이하 첨부된 도면들을 참조하여 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도이고, 도 4는 도 3의 B 부분을 확대하여 나타낸 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144) 및 하프 패턴(160)을 포함한다.
마스크 시트(120)는 상면(120a) 및 상면(120a)에 반대되는 하면(120b)을 갖는다. 이러한 마스크 시트(120)는 상면(120a) 및 하면(120b)을 관통하는 적어도 하나의 마스크 패턴 홀(125)이 배치된 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는다.
이때, 마스크 시트(120)는 SUS 300계열, SUS 400계열, 인바(Invar), Ni 합금 등의 재질이 이용될 수 있는데, 이는 유기물을 증착하는 공정의 고온 환경에서 메탈 마스크(100)의 변형을 최소화할 수 있는 효과가 있기 때문이다.
마스크 패턴 홀(126)은 마스크 셀 영역(MA)에 배치되며, 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)을 관통한다. 즉, 마스크 패턴 홀(125)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)을 관통하도록 배치되어 있을 수 있다. 아울러, 마스크 패턴 홀(125)은 각 셀 별로 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)의 일부만을 관통하도록 배치되어 있을 수도 있다.
제1 에칭 홈(142)은 마스크 시트(120)의 상면(120a)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(125)과 대응되는 위치에 배치된다. 여기서, 제1 에칭 홈(142)은 제1 두께 및 제1 폭을 갖는다. 이러한 제1 에칭 홈(142)은 습식 식각에 의해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 에칭 홈(142)은 마스크 시트(120)의 상면(120a)으로부터 하면(120b) 방향으로 갈수록 두께가 증가하는 테이퍼 단면을 가질 수 있다.
제2 에칭 홈(144)은 마스크 시트(120)의 하면(120b)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(125)과 대응되는 위치에 배치된다. 여기서, 제2 에칭 홈(144)은 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는다. 이러한 제2 에칭 홈(144)은, 제1 에칭 홈(142)과 마찬가지로, 습식 식각에 의해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제2 에칭 홈(144)은 마스크 시트(120)의 하면(120b)으로부터 상면(120a) 방향으로 갈수록 두께가 증가하는 테이퍼 단면을 가질 수 있다.
이와 같이, 제1 에칭 홈(142)은 마스크 시트(120)의 상면(120a)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(125)과 대응되는 위치에 배치된다. 아울러, 제2 에칭 홈(144)은 마스크 시트(120)의 하면(120b)에 배치되며, 마스크 패턴 홀(125)과 대응되는 위치에 배치된다. 이에 따라, 마스크 패턴 홀(125)은 제1 에칭 홈(142) 및 제2 에칭 홈(144)과 중첩된 위치에 배치되어 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)을 관통하도록 형성된다.
하프 패턴(160)은 적어도 하나가 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 배치되되, 마스크 패턴 홀(125)의 외측에 배치된다. 보다 바람직하게, 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA) 중 제2 에칭 홈(144)과는 멀리 이격되고, 더미 영역(DA)과는 인접한 위치에 배치시키는 것이 보다 바람직하다.
이러한 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120)의 상면(120a)을 1차적으로 가공하여 제1 에칭 홈(142)을 형성하는 과정시, 마스크 시트(120)의 하면(120b)을 함께 가공하는 것에 의해 형성된다. 이에 따라, 하프 패턴(160)은 추가적인 공정을 적용하는 것 없이 제1 에칭 홈(142)과 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 하프 패턴(160)은 제1 에칭 홈(142)의 두께인 제1 두께와 동일 또는 유사한 제3 두께를 갖는다.
이러한 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성된다. 이와 같이, 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 복수의 하프 패턴(160)이 등 간격으로 이격되도록 배치시키게 되면, 마스크 시트(120) 단면의 셀 끝단에 배치된 날카로운 더미 패턴(127)으로 집중되는 응력을 복수의 하프 패턴(160)을 통하여 마스크 시트(120)의 하면(120b) 가장자리로 분산시켜 응력을 상쇄시킬 수 있게 된다. 이로 인하여, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화할 수 있게 된다.
이에 따라, 기판에 유기물을 증착하는 공정을 수행할 시, 마스크 시트(120) 단면의 셀 끝단 부분에 배치되는 날카로운 더미 패턴(127)이 기판 방향으로 휘는 것을 미연에 방지할 수 있으므로, 기판에 스크래치 등의 손상을 발생시킬 염려가 없게 되므로, 기판 손상에 의한 공정 불량을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크는 마스크 시트의 하면에 형성된 하프 패턴을 통하여 마스크 시트 단면의 셀 끝단으로 집중되는 응력을 분산시키는 것이 가능해질 수 있으므로, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크는 기판에 유기물을 증착하는 공정을 수행할 시, 마스크 시트 단면의 셀 끝단 부분에 배치되는 날카로운 더미 패턴이 기판 방향으로 휘는 것을 미연에 방지할 수 있으므로, 기판에 스크래치 등의 손상을 발생시킬 염려가 없게 되므로, 기판 손상에 의한 공정 불량을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
한편, 도 5는 본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144) 및 하프 패턴(160)을 포함한다. 이때, 본 발명의 일 변형예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142) 및 제2 에칭 홈(144)은 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142) 및 제2 에칭 홈(144)과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 하프 패턴(160)이 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA) 중 제2 에칭 홈(144)을 제외한 부분 전체에 배치되어 일체로 연결되도록 형성된다.
이 결과, 본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는, 본 발명의 실시예에 비하여, 하프 패턴(160)의 설계 면적 증가로 마스크 시트(120)의 하면(120b) 방향으로 응력을 보다 더 완화시키는 것이 가능해질 수 있게 된다.
이에 따라, 본 발명의 일 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120)의 하면(120b)에서 마스크 셀 영역(MA) 중 제2 에칭 홈(144)을 제외한 전 부분에 대응하여 일체로 연결되도록 형성된 하프 패턴(160)을 통하여 마스크 시트(120) 단면의 셀 끝단으로 집중되는 응력을 보다 더 효율적으로 분산시키는 것이 가능해질 수 있으므로, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144), 하프 패턴(160), 접착 부재(170) 및 응력 완화 패턴(180)을 포함한다.
이때, 본 발명의 다른 변형예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142) 및 제2 에칭 홈(144)은 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142) 및 제2 에칭 홈(144)과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
본 발명의 다른 변형예에 따른 하프 패턴(160)은 복수개가 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 배치되되, 마스크 패턴 홀(125)의 외측에 배치된다. 이때, 본 발명의 다른 변형예에 따른 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 제2 에칭 홈(144)을 제외한 마스크 셀 영역(MA) 전체에 배치되는데, 이는 응력 완화 패턴(180)에 의해 가장자리로 응력이 집중되는 것을 분산시키기 위함이다.
접착 부재(170)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 부착되고, 응력 완화 패턴(180)은 접착 부재(170) 하면에 부착된다.
이와 같이, 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 접착 부재(170)를 매개로 응력 완화 패턴(180)이 더 부착되는 것에 의해, 마스크 시트(120)의 가장자리에 배치되는 더미 영역(DA)으로 응력이 보다 더 집중되도록 분산시킬 수 있으므로 투스텝 가공에 의해 셀 끝단이 위로 휘는 것을 아래 방향으로 휘도록 조절할 수 있게 된다.
이를 위해, 응력 완화 패턴(180)은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ti, W 및 Co 중 선택된 1종 이상의 금속 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도면으로 상세히 나타내지는 않았지만, 응력 완화 패턴(180)은 1층 및 2층이 차례로 적층된 적층 구조로 형성될 수도 있다. 이때, 응력 완화 패턴(180)의 1층은 접착 부재(170)에 부착되도록 배치될 수 있다. 이러한 응력 완화 패턴(180)의 1층은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ti, W 및 Co 중 선택된 1종 이상의 금속 재질로 형성되고, 2층은 PI(polyimide), PET(polyethylene terephthalate), PES(polyether sulfone), PTFE(polytetrafluoroethylene) 및 PC(polycarbonate) 중 선택된 1종 이상의 고분자 재질로 형성될 수 있다. 이와 같이, 응력 완화 패턴(180)의 2층을 고분자 재질로 형성하게 되면, 응력 완화 패턴(180)이 마스크 시트(120)의 가장자리 부분을 안정적으로 보호하는 보호층의 역할을 수행하는 구조적인 이점을 발휘할 수 있게 된다.
이러한 응력 완화 패턴(180)은 1 ~ 50㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직한 두께 범위로는 20 ~ 40㎛를 제시할 수 있다. 응력 완화 패턴(180)의 두께가 1㎛ 미만일 경우에는 그 두께가 너무 얇아 마스크 시트(120)의 가장자리 부분으로의 응력 집중이 제대로 이루어지지 못할 우려가 크다. 반대로, 응력 완화 패턴(180)의 두께가 50㎛를 초과할 경우에는 마스크 시트(120)의 가장자리로 과도한 응력이 집중되어 뒤틀림의 발생으로 치수 변형이 일어날 수 있으므로, 바람직하지 못하다.
전술한 본 발명의 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 접착 부재(170)를 매개로 응력 완화 패턴(180)이 더 부착되는 것에 의해, 마스크 시트(120)의 가장자리에 배치되는 더미 영역(DA)으로 응력이 보다 더 집중되도록 분산시킬 수 있으므로 투스텝 가공에 의한 셀 끝단이 위로 휘는 것을 아래 방향으로 휘도록 조절할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명의 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 기판에 유기물을 증착하는 공정을 수행할 시, 마스크 시트(120) 단면의 셀 끝단 부분에 배치되는 날카로운 더미 패턴(127)이 기판 방향으로 휘는 것을 아래 방향으로 휘도록 제어할 있으므로, 기판에 스크래치 등의 손상을 발생시킬 염려가 없게 되므로, 기판 손상에 의한 공정 불량을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
또한, 도 7은 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크를 나타낸 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144), 하프 패턴(160), 제1 접착 부재(170), 응력 완화 패턴(180), 제2 접착 부재(175) 및 강도 보강 패턴(185)을 포함한다.
이때, 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144) 및 하프 패턴(160)은 도 5를 참조하여 설명한 일 변형예에 따른 마스크 시트(120), 제1 에칭 홈(142), 제2 에칭 홈(144) 및 하프 패턴(160)과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명은 생략하고 차이점 위주로 설명하도록 한다.
제1 접착 부재(17\0)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 부착되고, 응력 완화 패턴(180)은 제1 접착 부재(170) 하면에 부착된다. 여기서, 제1 접착 부재(170) 및 응력 완화 패턴(180)은, 도 6을 참조하여 설명한 본 발명의 다른 변형예에 따른 접착 부재(170) 및 응력 완화 패턴(180)과 실질적으로 동일하므로,. 중복 설명은 생략하도록 한다.
아울러, 제2 접착 부재(175)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 부착되고, 강도 보강 패턴(185)은 제2 접착 부재(175) 하면에 부착된다.
여기서, 강도 보강 패턴(185)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 제1 접착 부재(170)를 매개로 부착되는 응력 완화 패턴(180)에 의해 마스크 시트(120)의 가장자리 부분으로의 응력 집중을 상쇄시키면서 마스크 셀 영역의 강도를 보강하기 위해 배치된다.
이를 위해, 강도 보강 패턴(185)은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ti, W 및 Co 중 선택된 1종 이상의 금속 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 도면으로 상세히 나타내지는 않았지만, 강도 보강 패턴(185)은 1층 및 2층이 차례로 적층된 적층 구조로 형성될 수도 있다. 이때, 강도 보강 패턴(185)의 1층은 제2 접착 부재(185)에 부착되도록 배치될 수 있다. 이러한 강도 보강 패턴(185)의 1층은 Cu, Ag, Al, Ni, Cr, Ti, W 및 Co 중 선택된 1종 이상의 금속 재질로 형성되고, 2층은 PI(polyimide), PET(polyethylene terephthalate), PES(polyether sulfone), PTFE(polytetrafluoroethylene) 및 PC(polycarbonate) 중 선택된 1종 이상의 고분자 재질로 형성될 수 있다. 이와 같이, 강도 보강 패턴(185)의 2층을 고분자 재질로 형성하게 되면, 강도 보강 패턴(185)이 마스크 시트(120)의 중앙 부분을 안정적으로 보호하는 보호층의 역할을 수행하는 구조적인 이점을 발휘할 수 있게 된다.
이러한 강도 보강 패턴(185)은, 응력 완화 패턴(180)과 마찬가지로, 1 ~ 50㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직한 두께 범위로는 20 ~ 40㎛를 제시할 수 있다.
전술한 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)에 제1 접착 부재(170)를 매개로 부착된 응력 완화 패턴(180)과 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 제2 접착 부재(175)를 매개로 부착된 강도 보강 패턴(185)을 더 포함한다.
이 결과, 본 발명의 또 다른 변형예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크(100)는 응력 완화 패턴(180)에 의해 마스크 시트(120)의 가장자리 부분으로 응력이 필요 이상으로 집중되는 것을 강도 보강 패턴(185)으로 상쇄시켜 투스텝 가공에 의해 셀 끝단이 위로 휘는 것을 아래 방향으로 휘도록 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 마스크 셀 영역(MA)의 강도를 보강으로 마스크 시트(120)의 뒤틀림을 미연에 방지하면서 마스크 시트(120)의 마스크 셀 영역(MA) 및 더미 영역(DA)을 안정적으로 보호하는 것이 가능해질 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법에 대하여 설명하도록 한다.
도 8 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 마스크 셀 영역(MA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 외측에 배치된 더미 영역(DA)을 갖는 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)에 제1 마스크 패턴(M1) 및 제2 마스크 패턴(M2)을 형성한다.
여기서, 제1 마스크 패턴(M1)은 마스크 시트(120) 상면(120a)의 마스크 셀 영역(MA) 중앙 부분을 제외한 전 부분을 덮도록 형성한다. 아울러, 제2 마스크 패턴(M2)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 더미 영역(DA)과, 마스크 셀 영역(MA)의 일 부분을 제외한 전체를 덮도록 형성한다.
이러한 제1 및 제2 마스크 패턴(M1, M2)은 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b) 전체를 덮도록 형성되는 제1 및 제2 마스크층을 선택적인 노광 및 현상 공정을 실시하는 것에 의해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1 마스크 패턴(M1)은 제1 에칭 홈 형성 영역을 노출시키는 제1 개구(G1)를 구비하고, 제2 마스크 패턴(M2)은 하프 패턴 형성 영역을 노출시키는 제2 개구(G2)를 구비한다.
여기서, 제2 개구(G2)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 배치시켜 마스크 시트(120) 하면(120b)의 일 부분을 노출시키도록 형성한다. 또한, 도면으로 상세히 나타내지는 않았지만, 제2 개구(G2)는 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA) 중 제2 에칭 홈 형성 영역을 제외한 전체를 노출시키도록 형성할 수도 있다.
다음으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 개구를 구비하는 제1 및 제2 마스크 패턴(M1, M2)을 이용한 1차 에칭으로 마스크 시트(120)의 상면(120a)과 마스크 시트(120)의 하면(120b)을 가공하여, 제1 에칭 홈(142) 및 하프 패턴(160)을 형성한다.
본 단계에서, 1차 에칭은 습식 식각이나 건식 식각이 이용될 수 있으나. 이 중 습식 식각을 이용하는 것이 보다 바람직하다.
여기서, 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA)에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성한다. 또한, 도면으로 도시하지는 않았지만, 하프 패턴(160)은 마스크 시트(120) 하면(120b)의 마스크 셀 영역(MA) 중 제2 에칭 홈 형성 영역을 제외한 부분 전체에 배치되어 일체로 연결되도록 형성할 수도 있다.
여기서, 제1 에칭 홈(142)은 제1 두께 및 제1 폭을 갖는다. 이러한 제1 에칭 홈(142)은 마스크 시트(120)의 상면(120a)으로부터 하면(120b) 방향으로 갈수록 두께가 증가하는 테이퍼 단면을 가질 수 있다.
다음으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 에칭 홈(142) 및 하프 패턴(160)이 형성된 마스크 시트(120)로부터 제1 및 제2 마스크 패턴(도 9의 M1, M2)을 제거한다.
여기서, 제1 및 제2 마스크 패턴은 스트립 액을 분사하는 스트립 공정에 의해 제거될 수 있다.
도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)에 제3 마스크 패턴(M3) 및 제4 마스크 패턴(M4)을 형성한다.
본 단계에서, 2차 에칭은 습식 식각이나 건식 식각이 이용될 수 있으나. 이 중 습식 식각을 이용하는 것이 보다 바람직하다.
여기서, 제3 및 제4 마스크 패턴(M3, M4)은 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b) 전체를 덮도록 형성되는 제3 및 제4 마스크층을 선택적인 노광 및 현상 공정을 실시하는 것에 의해 형성될 수 있다. 이에 따라, 제3 마스크 패턴(M3)은 제1 에칭 홈(142)의 일부를 노출시키는 제3 개구(G3)를 구비하고, 제4 마스크 패턴(M4)은 제2 에칭 홈 형성 영역을 노출시키는 제4 개구(G4)를 구비한다.
다음으로, 제3 및 제4 개구(G3, G4)를 구비하는 제3 및 제4 마스크 패턴(M3, M4)을 이용한 2차 에칭으로 마스크 시트(120)의 상면(120a) 및 하면(120b)을 가공하여, 제2 에칭 홈(144)과 마스크 패턴 홀(125)을 형성한다.
여기서, 제2 에칭 홈(144)은 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는다. 이러한 제2 에칭 홈(144)은 마스크 시트(120)의 하면(120b)으로부터 상면(120a) 방향으로 갈수록 두께가 증가하는 테이퍼 단면을 가질 수 있다.
다음으로, 도 13에 도시된 바와 같이, 제2 에칭 홈(144)과 마스크 패턴 홀(125)이 형성된 마스크 시트(120)로부터 제3 및 제4 마스크 패턴(도 12의 M3, M4)을 제거한다.
여기서, 제3 및 제4 마스크 패턴은 스트립 액을 분사하는 스트립 공정에 의해 제거될 수 있다.
이상으로, 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법이 종료될 수 있다.
전술한 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법은 마스크 시트의 하면에 형성된 하프 패턴을 통하여 마스크 시트 단면의 셀 끝단으로 집중되는 응력을 분산시키는 것이 가능해질 수 있으므로, 투스텝 가공에 의해 발생하는 셀 끝단의 휨 현상을 최소화할 수 있게 된다.
이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법은 기판에 유기물을 증착하는 공정을 수행할 시, 마스크 시트 단면의 셀 끝단 부분에 배치되는 날카로운 더미 패턴이 기판 방향으로 휘는 것을 미연에 방지할 수 있으므로, 기판에 스크래치 등의 손상을 발생시킬 염려가 없게 되므로, 기판 손상에 의한 공정 불량을 최소화하여 공정 수율을 향상시킬 수 있게 된다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
100 : 메탈 마스크 120 : 마스크 시트
120a : 마스크 시트의 상면 120b : 마스크 시트의 하면
125 : 마스크 패턴 홀 127 : 더미 패턴
142 : 제1 에칭 홈 144 : 제2 에칭 홈
160 : 하프 패턴 MA : 마스크 셀 영역
DA : 더미 영역

Claims (10)

  1. 상면 및 하면을 관통하는 적어도 하나의 마스크 패턴 홀이 배치된 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트;
    상기 마스크 시트의 상면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제1 에칭 홈;
    상기 마스크 시트의 하면에 배치되며, 상기 마스크 패턴 홀과 대응되는 위치에 배치된 제2 에칭 홈; 및
    상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 배치되되, 상기 마스크 패턴 홀의 외측에 배치된 적어도 하나의 하프 패턴;을 포함하며,
    상기 제1 에칭 홈은 제1 두께 및 제1 폭을 갖고, 상기 제2 에칭 홈은 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖고,
    상기 하프 패턴은 마스크 시트의 상면을 1차적으로 가공하여 제1 에칭 홈을 형성할 시, 상기 마스크 시트의 하면을 함께 가공하는 것에 의해 형성되어, 상기 제1 두께와 동일한 제3 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하프 패턴은
    상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성된 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하프 패턴은
    상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역 중 제2 에칭 홈을 제외한 부분 전체에 배치되어 일체로 연결되도록 형성된 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 시트 하면의 더미 영역에 부착된 접착 부재; 및
    상기 접착 부재 하면에 부착된 응력 완화 패턴;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크.
  7. (a) 마스크 셀 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 외측에 배치된 더미 영역을 갖는 마스크 시트의 상면 및 하면에 제1 마스크 패턴 및 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계;
    (b) 상기 제1 및 제2 마스크 패턴을 이용한 1차 에칭으로 상기 마스크 시트의 상면과 마스크 시트의 하면을 가공하여, 제1 에칭 홈 및 하프 패턴을 형성하는 단계;
    (c) 상기 제1 에칭 홈 및 하프 패턴이 형성된 마스크 시트로부터 제1 및 제2 마스크 패턴을 제거한 후, 상기 마스크 시트의 상면 및 하면에 제3 마스크 패턴 및 제4 마스크 패턴을 형성하는 단계;
    (d) 상기 제3 및 제4 마스크 패턴을 이용한 2차 에칭으로 상기 마스크 시트의 상면 및 하면을 가공하여, 제2 에칭 홈과 마스크 패턴 홀을 형성하는 단계; 및
    (e) 상기 제2 에칭 홈과 마스크 패턴 홀이 형성된 마스크 시트로부터 제3 및 제4 마스크 패턴을 제거하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 제1 마스크 패턴은 상기 마스크 시트 상면의 마스크 셀 영역 중앙 부분을 제외한 전 부분을 덮도록 형성하고,
    상기 제2 마스크 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 더미 영역과, 상기 마스크 셀 영역의 일 부분을 제외한 전체를 덮도록 형성하는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서,
    상기 하프 패턴은 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역에 복수개가 등 간격으로 상호 이격되도록 형성하거나, 또는 상기 마스크 시트 하면의 마스크 셀 영역 전체에 하나가 일체로 연결되는 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제1 에칭 홈은 제1 두께 및 제1 폭을 갖고,
    상기 제2 에칭 홈은 상기 제1 두께보다 두꺼운 제2 두께와, 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 OLED 증착용 메탈 마스크 제조 방법.
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CN115305439A (zh) * 2022-07-21 2022-11-08 浙江众凌科技有限公司 一种高强度金属遮罩

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