KR100676175B1 - 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 - Google Patents
유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100676175B1 KR100676175B1 KR1020050022691A KR20050022691A KR100676175B1 KR 100676175 B1 KR100676175 B1 KR 100676175B1 KR 1020050022691 A KR1020050022691 A KR 1020050022691A KR 20050022691 A KR20050022691 A KR 20050022691A KR 100676175 B1 KR100676175 B1 KR 100676175B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- mask
- grille
- grill
- base member
- grills
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0332—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their composition, e.g. multilayer masks, materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
Abstract
Description
Claims (3)
- 마스크 기본 부재로 이루어진 마스크에 있어서,상기 마스크 기본 부재의 절단 예정선 내측 영역에 형성되며, 상기 마스크 기본 부재를 관통하는 그릴들로 이루어진 그릴부들; 및상기 그릴의 폭 방향으로 배치된 그릴부들 중 최외곽 그릴부와 대응되도록 상기 마스크 기본 부재의 절단 예정선 외측 영역에 형성되며, 상기 최외곽 그릴부의 그릴들과 동일한 방향으로 형성된 오목부 형태의 그릴을 포함하는 더미 그릴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제 1 항에 있어서, 상기 더미 그릴부의 그릴은 상기 마스크 기본 부재의 상부면 또는 하부면에 형성된 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제 1 항에 있어서, 상기 더미 그릴부는 상기 마스크 기본 부재의 절단 예정선에 위치하는 그릴을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050022691A KR100676175B1 (ko) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050022691A KR100676175B1 (ko) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060100842A KR20060100842A (ko) | 2006-09-21 |
KR100676175B1 true KR100676175B1 (ko) | 2007-02-01 |
Family
ID=37632279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050022691A KR100676175B1 (ko) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100676175B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102413444B1 (ko) * | 2022-04-01 | 2022-06-27 | 풍원정밀(주) | 투스텝 가공에 의한 셀 에지 솟음을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 |
KR102414489B1 (ko) * | 2021-12-30 | 2022-06-29 | 풍원정밀(주) | 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102413445B1 (ko) * | 2022-04-01 | 2022-06-27 | 풍원정밀(주) | 투스텝 가공에 의한 에칭 품질 편차를 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040047556A (ko) * | 2002-11-29 | 2004-06-05 | 삼성오엘이디 주식회사 | 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조방법 및 유기 전계 발광 소자 |
-
2005
- 2005-03-18 KR KR1020050022691A patent/KR100676175B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040047556A (ko) * | 2002-11-29 | 2004-06-05 | 삼성오엘이디 주식회사 | 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조방법 및 유기 전계 발광 소자 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1020040047556 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102414489B1 (ko) * | 2021-12-30 | 2022-06-29 | 풍원정밀(주) | 투스텝 가공에 의한 셀 끝단의 휨을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 |
KR102413444B1 (ko) * | 2022-04-01 | 2022-06-27 | 풍원정밀(주) | 투스텝 가공에 의한 셀 에지 솟음을 개선한 oled 증착용 메탈 마스크 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060100842A (ko) | 2006-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102237428B1 (ko) | 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 | |
JP5816519B2 (ja) | マスクフレーム組立体、マスクフレーム組立体の製造方法、および有機発光表示装置の製造方法 | |
TWI536092B (zh) | 用於薄膜沉積之光罩以及使用此光罩製造oled的方法 | |
JP4925566B2 (ja) | シャドーマスク | |
KR102014479B1 (ko) | 단위 마스크 스트립 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 | |
JP6594859B2 (ja) | 有機発光デバイスおよびその製造方法 | |
US9953828B2 (en) | Frame and mask assembly having the same | |
KR102411540B1 (ko) | 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 | |
CN105720213B (zh) | 掩模框架组件和制造该掩模框架组件的方法 | |
KR20140127688A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 | |
KR101097305B1 (ko) | 더미 슬릿부를 차단하는 차단부를 구비한 고정세 증착 마스크, 상기 고정세 증착 마스크를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법, 및 상기 제조 방법에 의해 제조된 유기 발광 소자 | |
JP2018110109A (ja) | 電界発光表示装置及びその製造方法 | |
KR100676175B1 (ko) | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 | |
JP2011096378A (ja) | 有機el表示装置 | |
JPWO2019171432A1 (ja) | 蒸着マスク、その製造方法及び有機el表示装置の製造方法 | |
KR20060100173A (ko) | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 | |
KR101102037B1 (ko) | 유기전계발광표시소자용 마스크 장치 및 그 제조방법 | |
KR20060102838A (ko) | 마스크 프레임 | |
KR20060100537A (ko) | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 | |
KR20060100170A (ko) | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 | |
KR101154294B1 (ko) | 유기 전계발광 표시소자의 유기 발광층 형성방법 | |
JP2008108680A (ja) | 有機el素子の製造方法 | |
KR20070052376A (ko) | 유기 전계 발광 소자 제조용 마스크 | |
KR20060118849A (ko) | 조립 가능한 마스크 프레임 | |
JP2007503686A (ja) | 有機電子デバイスの製造方法および有機電子デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121228 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131227 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151228 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161214 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171218 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181226 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191212 Year of fee payment: 14 |