KR102411540B1 - 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 스테이지 상에서 인장 용접되는 마스크 프레임 조립체에 있어서, 제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임과, 양 단부가 제1 프레임 및 제2 프레임에 용접 결합되는 마스크를 포함하고, 제1 프레임 및 제2 프레임은, 제1 프레임 및 제2 프레임의 적어도 일부분이 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 스테이지 측에 홈을 포함하고, 제3 프레임 및 제4 프레임과 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법{Mask frame assembly for thin layer deposition, manufacturing method of the same and manufacturing method of display device there used}
본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평탄 디스플레이 중의 하나인 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 저전압으로 구동이 가능하며, 경량의 박형이면서 응답 속도가 바르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
이러한 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 발광 소자와 유기 발광 소자로 구분되는데, 유기 발광 소자는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.
유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 그러나 유기 발광 표시 장치가 점차 고해상화 됨에 때라 증착 공정 시 사용되는 마스크의 오픈 슬릿(open slit)의 폭이 점점 좁아지고 있으며, 그 산포 또한 점점 더 감소될 것이 요구되고 있다.
또한, 고해상도 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 쉐도우 현상(shadow effect)을 줄이거나 없애는 것이 필요하다. 그에 따라, 기판과 마스크를 밀착시킨 상태에서 증착 공정을 진행하고 있으며, 기판과 마스크의 밀착도를 향상시키기 위한 기술의 개발이 대두되고 있다.
마스크는 스틱 형태로 복수개가 제작되어 프레임에 나란히 용접될 수 있으며, 하나의 원장 형태로 제작되어 용접될 수도 있다. 프레임에 마스크를 용접하는 공정에서, 마스크의 자중으로 인한 처짐현상을 방지하기 위해 마스크는 길이 방향으로 인장된 상태로 프레임에 용접된다. 마스크에 가해지는 인장력에 의해, 마스크와 프레임이 용접된 이후 마스크에는 복원력이 인가되며, 이러한 복원력에 의해 마스크와 프레임의 형상이 변형될 수 있다.
이러한 마스크와 프레임의 용접 공정 시 프레임은 스테이지 상에 배치되며, 마스크에 인가되는 복원력을 상쇄하기 위해 프레임에는 소정의 인장력이 가해질 수 있다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 실시예들의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 실시예들의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
그러나, 마스크의 인장 용접 공정 시 스테이지와 프레임 사이에 발생하는 마찰력으로 인해, 마스크에 가해지는 복원력을 상쇄하기 위해 프레임에 가해지는 인장력의 크기를 정확하게 계산하기 어렵다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 상기 문제점을 해결하기 위한 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
발명의 일 실시예는 스테이지 상에서 인장 용접되는 마스크 프레임 조립체에 있어서, 제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임과, 양 단부가 제1 프레임 및 제2 프레임에 용접 결합되는 마스크를 포함하고, 제1 프레임 및 제2 프레임은, 제1 프레임 및 제2 프레임의 적어도 일부분이 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 스테이지 측에 홈을 포함하고, 제3 프레임 및 제4 프레임과 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 홈은 제1 프레임 및 제2 프레임 전체가 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향을 따라 제1 프레임 및 제2 프레임 전체에 걸쳐 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향으로의 홈의 단면은 아치(arch)형인 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 일부가 스테이지에 접촉하도록, 제1 프레임 및 제2 프레임은 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 방향을 따라 연장되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 돌출부는 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향을 따라 복수개가 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 돌출부는 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 방향을 따라 스테이지와 선 접촉(line contact)하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 일부가 스테이지에 접촉하도록, 제1 프레임 및 제2 프레임은 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 복수개 형성되는 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 돌출부는 스테이지와 점 접촉(point contact)하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 돌출부의 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 및 길이 방향을 따른 단면이 원형, 타원형 및 다각형 중 하나 이상의 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 스테이지 상에 마스크와, 제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임을 준비하는 단계와, 마스크의 양 단부를 클램핑하여 마스크를 인장하는 방향으로 마스크에 제1 인장력을 가하는 단계와, 마스크의 양 단부가 설치되는 제1 프레임과 제2 프레임에 제1 인장력과 반대 방향으로 제2 인장력을 가하는 단계와, 마스크의 양 단부를 제1 프레임 및 제2 프레임에 용접하는 단계를 포함하고, 제1 프레임 및 제2 프레임은, 제1 프레임 및 제2 프레임의 적어도 일부분이 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 스테이지 측에 홈을 포함하고, 제3 프레임 및 제4 프레임과 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 홈은 제1 프레임 및 제2 프레임 전체가 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향을 따라 제1 프레임 및 제2 프레임 전체에 걸쳐 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향으로의 홈의 단면은 아치(arch)형인 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 일부가 스테이지에 접촉하도록, 제1 프레임 및 제2 프레임은 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 방향을 따라 연장되는 제1 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 돌출부는 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향을 따라 복수개가 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 돌출부는 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 방향을 따라 스테이지와 선 접촉(line contact)하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 프레임 및 제2 프레임의 일부가 스테이지에 접촉하도록, 제1 프레임 및 제2 프레임은 제1 프레임 및 제2 프레임의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 복수개 형성되는 제2 돌출부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 돌출부는 스테이지와 점 접촉(point contact)하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 제2 돌출부의 제1 프레임 및 제2 프레임의 폭 및 길이 방향을 따른 단면이 원형, 타원형 및 다각형 중 하나 이상의 형상을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는 기판 상에 서로 대향된 제1 전극과 제2 전극 및 제1 전극과 제2 전극 사이에 구비된 유기막을 포함하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 유기막 또는 제2 전극은, 제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임과, 양 단부가 제1 프레임 및 제2 프레임에 용접 결합되는 마스크를 포함하고, 제1 프레임 및 제2 프레임은, 제1 프레임 및 제2 프레임의 적어도 일부분이 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 스테이지 측에 홈을 포함하고, 제3 프레임 및 제4 프레임과 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 이용하여 증착되는 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스테이지와 프레임 사이에 발생하는 마찰력을 제거하여 마스크에 가해지는 복원력을 상쇄하기 위해 프레임에 가해지는 인장력의 크기를 정확하게 계산할 수 있는 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법을 구현할 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 프레임의 Y축 방향으로의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 마스크 프레임 조립체를 이용하여 기판 상에 증착층을 증착하는 모습을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 4는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 일 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 다른 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 또 다른 부분을 개략적으로 나타낸 분해 사시도이다.
도 7은 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 또 다른 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 도 2에 나타난 프레임의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 9는 도 2에 나타난 프레임의 또 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 10은 도 2에 나타난 프레임의 또 다른 실시예를 나타낸 평면도이다.
도 11은 도 3에 나타난 표시 장치 제조 장치를 이용하여 표시 기판 상에 발광층을 증착한 유기 발광 표시 장치의 일 서브 픽셀을 나타내는 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 프레임의 X축 방향으로의 단면을 나타낸 단면도이며, 도 3은 도 1의 마스크 프레임 조립체를 이용하여 기판 상에 증착층을 증착하는 모습을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(110) 및 복수개의 마스크(120)를 포함한다.
상기 프레임(110)은 개구(115)를 가지며, 개구(115)를 둘러싸는 복수개의 프레임(111 내지 114)를 포함한다. 상기 복수개의 프레임(111 내지 114)은 서로 연결될 수 있다.
상기 프레임(110)은 X축 방향으로 서로 마주보며, Y축 방향을 따라 연장되는 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)과, Y축 방향으로 서로 마주보며, X축 방향을 따라 연장되는 제3 프레임(113) 및 제4 프레임(114)을 포함한다.
제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)은 제1 길이를 가지며, 제3 프레임(113)과 제4 프레임(114)은 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 제1 프레임(111), 제2 프레임(112), 제3 프레임(113) 및 제4 프레임(114)은 서로 연결되어 사각틀 형상의 프레임을 구성할 수 있다. 프레임(110)은 마스크(120)의 용접 시 변형이 작은 소재, 이를테면, 강성이 큰 금속으로 형성될 수 있다.
상세히, 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)은 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)의 적어도 일부분이 후술할 마스크(120)의 인장 용접 공정에서 스테이지(도 6 참조부호 50)와 서로 접촉하지 않도록 스테이지(50) 측에 홈(116)을 포함할 수 있다. 한편, 제3 프레임(113)과 제4 프레임(114)은 스테이지(50)에 접촉한 상태에서 마스크(120)의 인장 용접 공정이 수행될 수 있다.
홈(116)은 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112) 전체가 스테이지(50)와 서로 접촉하지 않도록 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)의 길이 방향을 따라 스테이지(50) 측의 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112) 전체에 걸쳐 형성될 수 있다. 여기서, 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)의 길이 방향은 Y축 방향을 의미한다. 여기서, 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)이 홈(116)을 포함함으로써 얻을 수 있는 효과에 대해서는 도 4 내지 도 7을 참조하여 구체적으로 후술하기로 한다.
한편, 상기 프레임(110) 상에는 마스크(120)가 설치될 수 있다. 정밀한 증착 패턴을 위해서는 마스크(120)와, 마스크(120) 상에 설치되는 기판(미도시)과의 밀착성을 향상시키고, 또한 쉐도우를 줄여야 한다. 마스크(120)는 박판(thin plate)을 이용하여 제조될 수 있다. 이러한 마스크(120)의 소재로는 스테인리스 스틸, 인바(invat), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등이 사용될 수 있다.
마스크(120)는 자중에 의하여 처지는 것을 방지하기 위하여 Y축 방향으로 서로 분리되어 복수개로 구성될 수 있다. 이러한 마스크(120)는 스틱일 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 마스크(120)의 폭이 마스크(120)의 인장 방향인 길이보다 작다면, 어느 하나의 구조에 한정되는 것은 아니다.
마스크(120)는 인장 방향(X축 방향)과 교차하는 방향(Y축 방향)으로 분리될 수 있다. 구체적으로, 복수개의 마스크(120)는 제3 프레임(113) 및 제4 프레임(114) 사이에 연속적으로 배열되며, 각 마스크(120)의 양 단부는 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)에 용접 고정될 수 있다. 마스크(120)는 개구(115)를 덮을 수 있다.
마스크(120)는 복수개로 분할된 스틱형 마스크로써, 복수개의 패턴홀(121)과 패턴홀(121) 사이를 연결하는 리브부(122) 및 마스크(120)의 인장을 위해 구비되어 마스크(120)의 인장 용접 이후 제거되는 클램핑부(123)를 포함한다. 복수개의 패턴홀(212)을 통과한 증착 물질은 기판(미도시)에 증착되어, 기판에 증착 영역이 정의될 수 있다.
이러한 마스크(120)는 자성을 띤 박판(Thin film)으로서, 니켈 또는 니켈 합금으로 형성될 수 있다. 바람직하게는 미세 패턴의 형성이 용이하고, 표면 거칠기가 우수한 니켈-코발트 합금으로 형성될 수 있다.
또한, 마스크(120)는 에칭법에 의하여 제조될 수 있는데, 포토레지스트(photoresist)를 이용하여 각 패턴홀(121)과 동일한 패턴을 갖는 포토레지스트층을 박판에 형성하거나, 패턴홀(121)의 패턴을 갖는 필름을 박판에 부착한 이후에 박판을 에칭함으로써 제조할 수 있다. 또한, 마스크(120)는 전기 주조법(eletro-forming) 또는 무전해 도금법(Electroless plating)으로 제조될 수도 있다.
한편, 도면에 나타난 패턴홀(121)의 개수나 배치 위치, 형상은 일 예시로써, 예를들어 패턴홀(121)에는 전면 개방된 상태를 유지하는 마스킹 패턴이 구비되거나, 스프라이프(stripe) 형상의 마스크 패턴이 형성될 수도 있다.
도 3을 참조하면, 마스크 프레임 조립체(100)를 이용하여 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층이나 전극을 증착하기 위하여, 진공 챔버(201)가 마련될 수 있다.
진공 챔버(201)의 하부에는 증착원(202)이 위치하며, 증착원(202)의 상부에는 마스크 프레임 조립체(100)가 설치될 수 있다.
마스크 프레임 조립체(100)는 도 1에 나타난 복수개의 마스크(120)를 포함할 수 있다. 마스크(120)는 프레임(110) 상에 배치될 수 있다. 마스크(120)의 상부에는 기판(140)이 배치될 수 있다. 마스크 프레임 조립체(100)의 가장자리에는 이들을 고정하기 위한 별도의 지지부재(203)가 더 포함될 수 있다.
기판(140) 상에 증착 물질이 증착되는 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 마스크 프레임 조립체(100)를 지지부재(203)에 고정하고, 마스크(120)의 상부에 증착용 기판(140)을 위치시킨다. 이어서, 진공 챔버(201)의 하부에 위치하는 증착원(202)으로부터 증착 물질을 마스크 프레임 조립체(100)를 향하여 분사하게 되면, 마스크(120)를 통과한 증착 물질은 기판(140)의 일면에 증착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 기판(140) 상의 소망하는 위치에 증착 패턴을 형성하기 위하여, 프레임(110)에 대하여 마스크(120)의 용접이 정밀하게 이루어질 필요성이 있다. 즉, 프레임(110)과 마스크(120)가 용접되는 영역에서 프레임(110)과 마스크(120) 사이에 빈 공간을 최대한 줄여 서로의 밀착력을 증가시켜야 한다. 또한, 프레임(110)에 마스크(120)가 용접된 이후에도, 증착 물질이 기판(140)에 정밀하게 증착될 수 있도록 프레임(110) 또는 마스크(120)의 변형을 최소화할 필요성이 있다. 이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 마스크 프레임 조립체(100)의 변형을 최소화하기 위한 구성을 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 도 1의 마스크 프레임 조립체를 제조하는 마스크 인장 용접 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 프레임(310)은 사각형 형상의 액자와 같이 구성될 수 있다. 프레임(310)은 X축 방향으로 서로 마주보며, Y축 방향을 따라 연장되는 제1 프레임(311) 및 제2 프레임(312)과, Y축 방향으로 서로 마주보며, X축 방향을 따라 연장되는 제3 프레임(313) 및 제4 프레임(314)을 포함한다.
프레임(310) 상에는 Y축 방향으로 서로 분리된 복수개의 마스크(320)가 설치된다. 마스크(320)의 폭은 마스크(320)의 인장 방향인 마스크(320)의 길이보다 작을 수 있다.
마스크(320) 상에는 소정 간격 이격되는 복수개의 패턴홀(321)이 배열될 수 있다. 패턴홀(321)은 증착시키고자 하는 기판 상의 증착층과 동일한 패턴일 수 있다. 또한, 이웃하는 패턴홀(321) 사이에는 리브(322)가 형성될 수 있다. 리브(322)는 마스크(320)의 길이 방향으로 이웃하게 배열된 패턴홀(321)을 서로 연결할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 프레임(310)과 마스크(320)가 서로 용접되는 영역은 최외곽 증착 패턴부(325)와 마스크(320)의 클램핑부(323) 사이에 형성될 수 있다.
마스크(320)는 양 단부가 인장 방향(X축 방향)으로 인장되어 프레임(310)에 용접될 수 있다. 구체적으로, 마스크(320)는 마스크(320)의 양 단부 측의 클램핑부(323)를 인장하여, 양 단부를 제1 프레임(311) 및 제2 프레임(312)에 용접할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 프레임(310)에 대한 마스크(320)의 용접을 용이하게 수행하기 위하여 마스크 인장 용접 장치(300)를 이용할 수 있다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
마스크 인장 용접 장치(300)는 인장부(330), 가압부(미도시), 및 레이저 용접부(340)를 포함한다.
마스크(320)는 길이 방향(X축 방향)으로 인장될 수 있다. 마스크(320)는 인장부(330)에 의하여 인장될 수 있다. 구체적으로, 마스크(320)의 클램핑부(323)는 인장된 상태로 제1 프레임(311) 및 제2 프레임(312) 상에 위치할 수 있다.
인장부(330)는 마스크(320)를 길이 방향으로 인장하여 프레임(310) 상에 고정시킬 수 있다. 이때, 인장부(330)에 의해 인장되는 마스크(320)의 클램핑부(323)에는 마스크(320)의 자중으로 인한 처짐 현상을 방지하기 위해 소정의 제1 인장력(TF_1) 이 가해질 수 있다. 이렇게 제1 인장력(TF_1)이 가해진 상태로 마스크(120)가 프레임(110)에 용접되면, 마스크(120)의 주름이나 처짐을 방지하여 마스크(120)를 통해 기판(140)에 증착되는 증착 물질이 원하지 않았던 영역에 증착되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 인장부(330)는 마스크 인장 클램프일 수 있다. 즉, 인장부(330)는 마스크(320)의 클램핑부(323)를 클램핑하여 마스크(320)를 인장시킬 수 있다.
가압부(미도시)는 프레임(310)에 마스크(320)를 밀착시킬 수 있다. 가압부는 마스크(320)의 클램핑부(323)의 인접한 위치에 각각 설치될 수 있다. 구체적으로, 가압부(400)는 최외곽에 위치한 패턴홀(321)과 마스크(320)의 클램핑부(323) 사이에 형성될 수 있다.
상세히, 가압부는 프레임(310) 상에 위치하는 마스크(320)를 상부로부터 가압할 수 있다. 이에 따라, 프레임(310)과 마스크(320)가 서로 마주보는 면이 밀착될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 레이저 용접부(340)는 가압부와 마스크(320)의 클램핑부(323)가 서로 접촉하는 면을 기준으로 내측 또는 외측 방향의 마스크(320)의 일면에 레이저를 조사할 수 있다.
도 5는 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 다른 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 마스크(120)가 프레임(110)에 용접된 모습을 나타낸다. 즉, 마스크(120)는 각각 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)에 용접부(124)를 통해 용접될 수 있다. 도면에 나타나지는 않았으나, 용접부(124)는 도 4에 나타난 레이저 용접부(340)로부터 조사된 레이저에 의해, 프레임(110)과 마스크(120)의 일부가 함께 용융되어 서로 연결될 수 있다. 도 5에는 각 마스크(120) 마다 일단 측에 각각 세개의 용접부(124)가 형성되어 있으나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않고 복수개의 용접부(124)를 가질 수도 있다.
전술한 바와 같이, 마스크(120)는 프레임(110)에 인장된 채로 용접될 수 있다. 이에 따라, 도 5에 나타난 바와 같이 용접부(124)를 통해 프레임(110)과 마스크(120)가 결합된 이후, 마스크(120)에는 도 4에 나타난 제1 인장력(TF_1) 과 반대 방향으로 제1 복원력(CF_1) 이 인가될 수 있다.
이러한 제1 복원력(CF_1)이 생성되는 이유는, 마스크(120)의 인장 용접을 위해 마스크(120)에 가해지는 제1 인장력(TF_1)이 용접 이후 마스크(120)가 원래의 상태로 돌아가려는 복원력으로 작용하기 때문이다. 이러한 제1 복원력(CF_1)은 마스크(120) 뿐만 아니라 마스크(120)가 용접되어 있는 프레임(110)의 형상에도 영향을 미칠 수 있다. 이하, 도 6 및 도 7을 참조하여 이러한 제1 복원력(CF_1)을 보상하는 방법에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
도 6은 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 또 다른 부분을 개략적으로 나타낸 분해 사시도이고, 도 7은 도 1의 마스크 프레임 조립체의 제조 공정의 또 다른 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 6을 참조하면, 프레임(110)과 마스크(120)의 용접 공정을 수행하기 위해 프레임(110)은 스테이지(50) 상에 배치될 수 있다. 이때, 마스크(120)의 양 단부가 용접되는 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)에는 제1 복원력(CF_1)을 보상하기 위해 제2 인장력(TF_2)이 가해질 수 있다. 이 제2 인장력(TF_2)은 도 5에 나타난 마스크(120)에 가해지는 제1 복원력(CF_1)과 대응하는 방향으로 가해질 수 있다.
다음으로, 도 7을 참조하면, 마스크(120)에는 도 5에 나타난 바와 같이 프레임(110)에 용접된 이후 제1 복원력(CF_1)이 가해질 수 있다. 이러한 제1 복원력(CF_1)과 반대 방향으로, 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)에는 제2 복원력(CF_2)이 가해질 수 있다. 여기서, 제2 복원력(CF_2)은 제1 인장력(TF_1)과 제1 복원력(CF_1)의 관계와 마찬가지로, 프레임(110)과 마스크(120)의 용접 공정에서 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)에 가해지는 제2 인장력(TF_2)에 대한 복원력일 수 있다.
이렇게 마스크(120)에 인가되는 제1 복원력(CF_1)을 보상하기 위해 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112)에 제2 인장력(TF_2)을 인가하게 되면, 제2 인장력(TF_2)에 대한 복원력인 제2 복원력(CF_2)이 제1 복원력(CF_1)에 대해 반대 방향으로 형성되어 제1 복원력(CF_1)에 의한 프레임(110)과 마스크(120)의 변형을 방지할 수 있다.
한편, 이러한 제1 복원력(CF_1)과 제2 복원력(CF_2)이 서로 상쇄되지 못하도록 하는 요인에는 여러가지가 있다. 예를 들어, 마스크(120) 제작 공정 산포(distribution), 물성값 산포, 용접 상태 등이 변수로 작용함으로써, 프레임(110)과 마스크(120)의 용접 시뮬레이션값에 오차를 발생시킬 수 있다. 이러한 원인들 중에서 가장 크게 시뮬레이션값 오차에 영향을 미치는 요인은 스테이지(50)와 프레임(110) 사이의 마찰력이다.
스테이지(50)와 프레임(110) 사이에 발생하는 마찰력을 저감하기 위해, 실질적으로 인장력과 복원력으로 인해 변형에 가장 취약한 제1 프레임(111)과 제2 프레임(113)에 홈(116)을 구비할 수 있다.
상세히, 홈(116)은 제1 프레임(111)과 제2 프레임(112)과 스테이지(50)가 인접하는 측에 형성될 수 있다. 즉, 홈(116)으로 인해, 제1 프레임(113) 및 제2 프레임(112)과 스테이지(50)가 서로 접촉하지 않은 상태에서 마스크(120)의 인장 용접 공정이 수행될 수 있다.
이렇게 스테이지(50)와 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112) 사이의 접촉 면적을 제거함으로 인해, 스테이지(50)와 제1 프레임(111) 및 제2 프레임(112) 사이의 마찰력을 제거할 수 있으며, 나아가 프레임(110) 및 마스크(120)에 가해지는 인장력(TF_1)(TF_2)과 복원력(CF_1)(CF_2)을 정밀하게 제어할 수 있다.
도 8은 도 2에 나타난 프레임의 다른 실시예를 나타낸 단면도이고, 도 9는 도 2에 나타난 프레임의 또 다른 실시예를 나타낸 단면도이고, 도 10은 도 2에 나타난 프레임의 또 다른 실시예를 나타낸 평면도이다.
도 8을 참조하면, 제1 프레임(311) 및 제2 프레임(312)의 길이 방향(Y축 방향)으로의 홈(316)의 단면은 아치(arch)형으로 형성될 수 있다. 이렇게 아치형으로 홈(316)을 구성하게 되면, 제1 프레임(311)과 제2 프레임(312)의 자중으로 인한 처짐 현상을 방지할 수 있다.
도 9를 참조하면, 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)의 일부가 스테이지(50)에 접촉하도록, 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)은 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)의 폭 방향(X축 방향)을 따라 연장되는 제1 돌출부(417)를 포함할 수 있다.
도 9에 나타난 제1 돌출부(417)는 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 복수개가 설치될 수 있다. 도 9는 제1 프레임(411)의 길이 방향을 따라 세개의 제1 돌출부(417)가 설치되어 있는 모습을 나타내나, 본 발명의 실시예들은 이에 한정되지 않으며, 제1 돌출부(417)는 하나 이상 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)에 설치될 수 있다. 이러한 제1 돌출부(417)는 제1 프레임(411) 및 제2 프레임(412)의 폭 방향(X축 방향)을 따라 스테이지(50)와 선 접촉(line contact) 할 수 있다.
도 10을 참조하면, 제1 프레임(511) 및 제2 프레임(512)의 일부가 스테이지(50)에 접촉하도록, 제1 프레임(511) 및 제2 프레임(512)은 제1 프레임(511) 및 제2 프레임(512)의 길이 방향(Y축 방향) 및 폭 방향(X축 방향)을 따라 복수개 형성되는 제2 돌출부(517)를 포함할 수 있다. 이러한 제2 돌출부(517)는 스테이지(50)와 점 접촉(point contact) 할 수 있다.
도 10은 원형의 제2 돌출부(517)를 나타내나, 제2 돌출부(517)의 형상은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 돌출부(517)는 원형 뿐만 아니라, 타원형 및 다각형 중 하나 이상의 형상을 가질 수 있다. 즉, 도 10에 나타난 바와 같이 제2 돌출부(517)는 모두 원형 형상으로 구성될 수도 있으나, 원형, 타원형 및 다각형 형상의 제2 돌출부(517)가 섞여서 제1 프레임(511) 및 제2 프레임(512)에 설치될 수도 있다.
도 11은 도 3에 나타난 표시 장치 제조 장치를 이용하여 표시 기판 상에 발광층을 증착한 유기 발광 표시 장치의 일 서브 픽셀을 나타내는 단면도이다.
도 11을 참조하면, 유기 발광 표시 장치는 표시 기판(1101)을 포함한다. 상기 표시 기판(1101)은 유연성을 가지는 절연성 소재나, 강성을 가지는 절연성 소재로 제조될 수 있다. 상기 표시 기판(1101)은 투명하거나, 반투명하거나, 불투명할 수 있다.
상기 표시 기판(1101) 상에는 배리어막(1102)이 형성될 수 있다. 상기 배리어막(1102)은 상기 표시 기판(1101)의 상부면을 전체적으로 커버할 수 있다. 상기 배리어막(1102)은 무기막이나, 유기막을 포함한다.
상기 배리어막(1102) 상에는 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)가 형성될 수 있다. 상기 배리어막(1102) 상에는 반도체 활성층(1103)이 형성될 수 있다. 상기 반도체 활성층(1103)에는 N형 불순물 이온이나, P형 불순물 이온을 도핑하는 것에 의하여 소스 영역(1104)과, 드레인 영역(1105)이 형성될 수 있다. 상기 소스 영역(1104)과, 드레인 영역(1105) 사이의 영역은 불순물이 도핑되지 않는 채널 영역(1106)이다.
상기 반도체 활성층(1103) 상에는 게이트 절연막(1107)이 증착될 수 있다. 상기 게이트 절연막(1107)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드나, 금속 산화물과 같은 무기막을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(1107)은 단일층, 또는, 복층의 구조일 수 있다.
상기 게이트 절연막(1107) 상의 소정 영역에는 게이트 전극(1108)이 형성될 수 있다. 상기 게이트 전극(1108)은 Au, Ag, Cu, Ni, Pt, Pd, Al, Mo, Cr 등의 단일막, 또는, 다층막을 포함할 수 있다. 상기 게이트 전극(1108)은 Al:Nd, Mo:W 와 같은 합금을 포함할 수 있다.
상기 게이트 전극(1108) 상에는 층간 절연막(1109)이 형성될 수 있다. 상기 층간 절연막(1109)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드 등과 같은 무기막, 또는, 유기막을 포함할 수 있다.
상기 층간 절연막(1109) 상에는 소스 전극(1110)과, 드레인 전극(1111)이 형성되어 있다. 구체적으로, 상기 게이트 절연막(1107) 및 층간 절연막(1109)에는 이들을 선택적으로 제거하는 것에 의하여 콘택 홀이 형성되고, 콘택 홀을 통하여 소스 영역(1104)에 대하여 소스 전극(1110)이 전기적으로 연결되고, 드레인 영역(1105)에 대하여 드레인 전극(1111)이 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 소스 전극(1110)과, 드레인 전극(1111) 상에는 보호막(1112, 패시베이션막 및/또는 평탄화막)이 형성될 수 있다. 상기 보호막(1112)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드와 같은 무기막, 또는, 아크릴(acryl), 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기막을 포함할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터의 상부에는 유기 발광 소자(OLED)가 형성될 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)는 상기 보호막(1112) 상에 형성된다. 상기 유기 발광 소자(OLED)는 제 1 전극(1113), 유기 발광층을 포함하는 중간층(1122), 및 제 2 전극(1115)을 포함한다.
제 1 전극(1113)은 애노우드로 기능하는 것으로서, 다양한 도전성 소재로 형성될 수 있다. 상기 제 1 전극(1113)은 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성될 수 있다. 이를테면, 상기 제 1 전극(1113)이 투명 전극으로 사용시, 상기 제 1 전극(1113)은 투명 도전막을 포함한다. 상기 제 1 전극(1113)이 반사형 전극으로 사용시, 상기 제 1 전극(1113)은 반사막과, 상기 반사막 상에 형성된 투명 도전막을 포함한다.
픽셀 정의막(1114)은 상기 보호막(1112) 및 상기 제 1 전극(1113)의 일부를 커버한다. 상기 픽셀 정의막(1114)은 상기 제 1 전극(1113)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 한정한다. 상기 제 1 전극(1113)은 서브 픽셀마다 패터닝될 수있다. 상기 픽셀 정의막(1114)은 유기막, 또는, 무기막으로 형성할 수 있다. 상기 픽셀 정의막(1114)은 단일막, 또는, 다중막으로 구성될 수 있다.
상기 제 1 전극(1113) 상에는 상기 픽셀 정의막(1114)의 일부를 에칭하여 노출되는 영역에 중간층(1122)이 형성될 수 있다. 상기 중간층(1122)은 증착 공정에 의하여 형성될 수 있다. 상기 중간층(1122)은 도 3의 마스크 인장 용접 장치(300)에 의하여 제조된 분할 마스크(320)의 패턴홀(321)을 통하여 증착된 증착 물질에 의하여 패턴화될 수 있다.
상기 중간층(1122)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 상기 중간층(1122)은 유기 발광층(emissive layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL)중 적어도 어느 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 상기 중간층(1122)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
상기 제 2 전극(1115)은 상기 중간층(1122) 상에 형성될 수 있다.
상기 제 2 전극(1115)은 캐소우드로 기능할 수 있다. 상기 제 2 전극(1115)은 투명 전극, 또는, 반사형 전극을 포함한다. 예컨대, 상기 제 2 전극(1115)이 투명 전극으로 사용시, 상기 제 2 전극(1115)은 금속막과, 상기 금속막 상에 형성된 투명 도전막을 포함한다. 상기 제 2 전극(1115)이 반사형 전극으로 사용시, 상기 제 2 전극(1115)은 금속막을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 기판(1101) 상에는 복수의 서브 픽셀을 형성할 수 있으며, 각 서브 픽셀별로 적색, 녹색, 청색, 또는, 백색의 색을 구현할 수 있다. 그러나, 본 개시는 이에 한정되지 않는다.
상기 유기 발광 소자의 상부에는 밀봉 기판(1116)이 형성될 수 있다. 상기 밀봉 기판(1116)은 외부의 수분이나 산소 등으로부터 중간층(1122) 및 다른 박막을 보호하기 위하여 형성된다. 상기 밀봉 기판(1116)은 강성을 가지는 글래스나, 고분자 수지나, 유연성을 가지는 필름일 수 있다. 상기 밀봉부(1116)는 유기 발광 소자 상에 유기막(1117)(1119)과 무기막(1118)이 교대로 적층하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 유기막(1117)(1119)과 무기막(1118)은 각각 적어도 하나를 포함한다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 마스크 프레임 조립체 116: 홈
110: 프레임 120: 마스크
111: 제1 프레임 121: 패턴홀
112: 제2 프레임 122: 리브
113: 제3 프레임 123: 클램핑부
114: 제4 프레임 124: 용접부
115: 개구

Claims (19)

  1. 스테이지 상에서 인장 용접되는 마스크 프레임 조립체에 있어서,
    제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 상기 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임; 및
    양 단부가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임에 용접 결합되는 마스크;를 포함하고,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은, 상기 스테이지와 마주보는 부분에 상기 스테이지에 접촉하지 않도록 형성된 홈을 포함하며,
    상기 홈은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향을 따라서 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 전체에 걸쳐 형성되며,
    상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임과 상기 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향으로의 상기 홈의 단면은 아치(arch)형인 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 일부가 상기 스테이지에 접촉하도록, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 폭 방향을 따라 연장되는 제1 돌출부를 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향을 따라 하나 이상 설치되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 상기 제1 프레임의 폭 및 상기 제2 프레임의 폭에 대응되는 상기 스테이지의 영역에 선 접촉(line contact)하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 일부가 상기 스테이지에 접촉하도록, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 복수개 형성되는 제2 돌출부를 포함하는, 마스크 프레임 조립체.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부는 상기 스테이지와 점 접촉(point contact)하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부의 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 폭 및 길이 방향을 따른 단면이 원형, 타원형 및 다각형 중 하나 이상의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체.
  10. 스테이지 상에, 마스크와, 제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 상기 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임을 준비하는 단계;
    상기 마스크의 양 단부를 클램핑하여 상기 마스크를 인장하는 방향으로 상기 마스크에 제1 인장력을 가하는 단계;
    상기 마스크의 양 단부가 설치되는 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임에 상기 제1 인장력과 반대 방향으로 제2 인장력을 가하는 단계; 및
    상기 마스크의 양 단부를 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임에 용접하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 적어도 일부분이 상기 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 상기 스테이지 측에 홈을 포함하고,
    상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임과 상기 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 홈은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 전체가 상기 스테이지와 서로 접촉하지 않도록 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향을 따라 상기 스테이지 측의 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 전체에 걸쳐 형성되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향으로의 상기 홈의 단면은 아치(arch)형인 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  13. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 일부가 상기 스테이지에 접촉하도록, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 폭 방향을 따라 연장되는 제1 돌출부를 포함하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향을 따라 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  15. 제13 항에 있어서,
    상기 제1 돌출부는 상기 제1 프레임의 폭 및 상기 제2 프레임의 폭에 대응되는 상기 스테이지의 영역에 선 접촉(line contact)하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  16. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 일부가 상기 스테이지에 접촉하도록, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 복수개 형성되는 제2 돌출부를 포함하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부는 상기 스테이지와 점 접촉(point contact)하는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 제2 돌출부의 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 폭 및 길이 방향을 따른 단면이 원형, 타원형 및 다각형 중 하나 이상의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는, 마스크 프레임 조립체 제조 방법.
  19. 기판 상에 서로 대향된 제1 전극과 제2 전극 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 구비된 유기막을 포함하는 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 유기막 또는 상기 제2 전극은,
    제1 길이를 갖는 제1 프레임 및 제2 프레임과, 상기 제1 길이보다 짧은 제2 길이를 갖는 제3 프레임 및 제4 프레임을 포함하는 프레임과, 양 단부가 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임에 용접 결합되는 마스크를 포함하고, 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임은, 스테이지에 마주보는 부분에 상기 스테이지에 접촉하지 않도록 형성된 홈을 포함하며, 상기 홈은 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임의 길이 방향을 따라서 상기 제1 프레임 및 상기 제2 프레임 전체에 걸쳐 형성되며, 상기 제3 프레임 및 상기 제4 프레임과 상기 스테이지는 서로 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체를 이용하여 증착되는, 표시 장치의 제조 방법.
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