KR102237428B1 - 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예는 프레임에 일방향으로 인장되어 결합되는 마스크를 포함하고, 이 마스크의 패턴영역을 둘러싸는 리브영역에 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하는 보조홀이 형성된 마스크 프레임 조립체를 개시한다.

Description

마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법{Mask frame assembly and the manufacturing method thereof}

본 발명은 박막의 증착에 사용되는 마스크 프레임 조립체 및 그것의 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 화상을 구현할 수 있는 디스플레이 장치로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 상기 두 전극 사이의 중간층으로서 상기 발광층과 함께 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등을 선택적으로 추가하여 이용하고 있다.

한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과 중간층은 여러 가지 방법으로 형성할 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 때에는, 형성하고자 하는 박막 패턴과 동일한 패턴을 가지는 마스크 프레임 조립체를 기판 위에 정렬하고, 그 마스크 프레임 조립체를 통해 기판에 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.

본 발명의 실시예들은 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시예는 프레임과, 상기 프레임에 일방향으로 인장되어 결합되는 마스크를 포함하고, 상기 마스크는 패턴홀이 형성된 패턴영역과, 상기 패턴영역을 둘러싸며 상대적으로 더 두꺼운 두께로 형성된 리브영역을 포함하며, 상기 리브영역에 상기 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하는 보조홀이 형성된 마스크 프레임 조립체를 제공한다.

상기 패턴영역은 증착용 패턴홀이 형성된 증착영역과, 더미용 패턴홀이 형성된 더미영역을 포함할 수 있다.

상기 증착영역과 상기 더미영역은 상기 마스크에 교대로 복수개가 형성될 수 있다.

상기 보조홀은 상기 증착영역과 상기 더미영역 사이마다 형성될 수 있다.

상기 보조홀은 상기 일방향을 따라 상기 증착영역과 상기 더미영역으로부터 멀어질수록 점차 크기가 작아질 수 있다.

상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀 사이에 아무 보조홀도 없는 무공부 간격이 마련될 수 있다.

상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀이 양측 사이에 간격 없이 연속으로 이어지도록 형성될 수 있다.

상기 보조홀은 상기 마스크의 양단부인 상기 패턴영역 외측에 형성될 수 있다.

상기 보조홀은 상기 일방향을 따라 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점차 크기가 작아질 수 있다.

상기 더미용 패턴홀도 상기 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예는 패턴홀이 있는 패턴영역과, 상기 패턴영역을 둘러싸며 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하는 보조홀이 있는 리브영역을 마스크에 형성하는 단계; 상기 마스크를 상기 일방향을 따라 인장시켜서 프레임에 결합시키는 단계;를 포함하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법을 제공한다.

상기 패턴영역 형성 시, 증착용 패턴홀이 형성된 증착영역과, 더미용 패턴홀이 형성된 더미영역을 형성할 수 있다.

상기 증착영역과 상기 더미영역을 상기 마스크에 교대로 복수개 형성할 수 있다.

상기 보조홀을 상기 증착영역과 상기 더미영역 사이마다 형성할 수 있다.

상기 보조홀을 상기 일방향을 따라 상기 증착영역과 상기 더미영역으로부터 멀어질수록 점차 크기가 작아지게 형성할 수 있다.

상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀 사이에 아무 보조홀도 없는 무공부 간격을 마련할 수 있다.

상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀이 양측 사이에 간격 없이 연속으로 이어지도록 형성할 수 있다.

상기 보조홀을 상기 마스크의 양단부인 상기 패턴영역 외측에 형성할 수 있다.

상기 보조홀을 상기 일방향을 따라 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점차 크기가 작아지게 형성할 수 있다.

상기 더미용 패턴홀도 상기 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하게 형성할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법에 의하면 마스크를 인장시켜 프레임에 용접할 때 마스크의 변형이 거의 생기지 않도록 할 수 있다. 따라서 이 마스크 프레임 조립체를 증착 작업에 사용하면 안정적인 제품 생산을 보장할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 분리사시도이다.
도 2는 도 1에 표시된 A부위를 확대한 평면도이다.
도 3은 도 2의 배면도이다.
도 4는 도 3의 B-B선 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 마스크 프레임 조립체를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 보인 도면이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 마스크 프레임 조립체를 예시한 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 전체적인 구조를 도시한 것이고, 도 2 내지 도 4는 도 1의 A부위를 확대한 평면도와 배면도 및 단면도이다.

도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체는 프레임(200)과, 프레임(200)에 양단부가 고정된 다수개의 마스크(100)를 구비하고 있다.

프레임(200)은 마스크 프레임 조립체의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구부(201)가 형성된 사각형 모양을 하고 있다. 이 프레임(200)의 서로 마주보는 한 쌍의 변에 마스크(100)의 양단부가 용접으로 고정된다.

상기 마스크(100)는 길쭉한 스틱 형상의 부재들로서, 상기 개구부(301) 안에 위치되는 증착용 패턴(110)이 형성되어 있으며 그 양단부는 상기한 바와 같이 프레임(300)에 용접된다. 이 마스크(100)를 큰 부재 하나로 만들 수도 있지만, 그럴 경우 자중에 의한 처짐 현상이 심해질 수 있으므로, 도면과 같이 다수개의 스틱 형상으로 분할해서 만든다.

각 마스크(100)에는 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 및 클램핑영역(140)이 마련되어 있다.

먼저, 마스크(100)를 프레임(200)에 용접할 때에는 마스크(100)를 그 장변 방향(이하 일방향이라 함)으로 팽팽하게 당겨서 인장시킨 후 용접하게 되는데, 이렇게 마스크(100)를 잡아당길 때 파지하기 위해 양단부에 마련된 부위가 상기 클램핑영역(140)이 된다. 이 클램핑영역(140)은 용접이 완료된 후에는 제거된다.

상기 패턴영역(110)(120)은 다수의 패턴홀(111)(121)들이 형성된 영역으로, 증착용 패턴홀(111)이 형성된 증착영역(110)과, 더미용 패턴홀(121)이 형성된 더미영역(120)이 일방향을 따라 교대로 배치되어 있다. 상기 증착영역(110)은 마스크(100)를 통한 증착이 실제로 일어나는 영역으로, 증착 공정 시 증착 증기가 상기 증착용 패턴홀(111)을 통과하면서 이 마스크(100)에 밀착되어 있는 기판(미도시)에 박막층을 형성하게 된다.

더미영역(120)은 증착 작업 시 통상 가림판(미도시)으로 가려서 실제로 증착은 일어나지 않는 영역인데, 마스크(100) 상에서 증착영역(110)과 다른 영역 간의 강성 차이를 줄여주기 위해 형성된다. 즉, 증착영역(110)에는 많은 증착용 패턴홀(111) 들이 뚫려있기 때문에 상대적으로 주변 부위에 비해 강성이 약해질 수 있으므로 상기한 바와 같이 일방향으로 인장력을 가할 때 증착영역(110)에만 폭수축이 심하게 일어날 위험이 있다. 따라서, 증착영역(110) 사이마다 더미용 패턴홀(121)을 가진 더미영역(120)을 함께 만들어서 강성 편차를 줄이고 폭수축의 영향을 분산시킨다. 물론, 기판(미도시) 상의 더미영역(120) 대응 부위는 어차피 사용되지 않는 영역이므로, 증착 시 이 더미영역(120)을 가리지 않고 그대로 증착시키기도 한다.

그리고, 이러한 패턴영역(110)(120)을 둘러싸고 있는 상기 리브영역(130)은 마스크(100)의 전체적인 강성을 높이기 위해 상기 패턴영역(110)(120) 보다 상대적으로 두꺼운 두께로 형성된다.

그런데, 이 리브영역(130)이 전체적으로 같은 두께로 형성되면, 패턴영역(110)(120)과의 경계부에 단차가 크게 형성되며, 그렇게 되면 마스크(100) 인장 시 응력이 집중되고 웨이브가 생기기 쉬운 취약부가 될 수 있다. 따라서, 이러한 문제를 해소하기 위해 본 실시예에서는 각 패턴영역(110)(120) 사이의 리브영역(130)에도 보조홀(131)을 형성한다. 그리고, 이 보조홀(131)은 도 2 및 도 3에 잘 도시된 바와 같이, 모두 같은 크기가 아니라 각 패턴영역(110)(120)에서 멀어질수록 점차 작아지는 형태로 형성되어 있다. 이렇게 보조홀(131)을 크기가 점점 작아지는 모양으로 형성하면, 도 4에 도시된 바와 같이 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 사이의 경계부 두께가 점진적으로 증가하는 모양으로 형성된다. 즉, 상기와 같은 마스크(100)는 전기주조(electro forming) 공정이나 포토레지스트를 이용한 식각 공정을 통해 형성할 수 있는데, 두 경우 다 상기와 같이 패턴영역(110)(120)에서 멀어질수록 크기가 작아지는 보조홀(131)들을 리브영역(130)에 형성하면, 상대적으로 보조홀(131) 크기가 큰 패턴영역(110)(120) 인접부는 두께가 상대적으로 얇아지고 보조홀(131)이 작아질수록 두께가 점진적으로 커지며, 보조홀(131)이 없는 무공부 간격(132)에서 가장 두꺼운 두께로 형성된다. 보조홀(131)이 큰 부위에서는 전기주조의 경우 비증착 영역이 넓어지므로 아무래도 증착이 적게 일어나고, 또 식각으로 형성할 경우에는 큰 보조홀(131)을 형성하기 위해 해당 부위가 많이 제거되므로, 상대적으로 보조홀(131)이 작은 부위나 전혀 없는 부위에 비해 두께가 얇아지는 것이다.

따라서, 보조홀(131)을 크기가 점진적으로 변하는 형태로 만들면, 도 4와 같이 해당 부위의 두께도 그에 따라 점진적으로 변하는 형태로 만들어진다. 이렇게 되면 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 간의 경계부에 단차가 완만한 형태로 형성되므로, 마스크(100) 인장 시 경계부 단차에 응력이 집중되어 웨이브가 심하게 생기는 등의 문제가 해소될 수 있다.

한편, 상기 마스크(100)의 소재로는 니켈(Ni), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등이 사용될 수 있으며, 패턴홀(111)(121)이나 보조홀(131)의 모양은 도면에 도시된 바와 같은 사각 형상 뿐 아니라 슬릿 형상이나 도트 형상과 같은 다른 형상으로 변형될 수도 있음은 물론이다..

이와 같은 구조의 마스크 프레임 조립체를 제조할 때에는, 상기 프레임(200)과 복수의 스틱형 마스크(100)를 각각 준비한다.

프레임(200)은 중앙에 개구(201)가 형성된 사각 형상의 틀이며, 마스크(100)는 상기와 같이 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 및 클램핑영역(140)이 구비된 스틱 형태로 준비된다. 상기 마스크(100)는 전술한 바와 같이 전기주조나 식각 공정을 통해 제조될 수 있다.

그리고, 준비된 마스크(100)의 양단부에 있는 클램핑영역(140)을 인장기(미도시)로 파지하여 마스크(100) 장변 방향인 일방향으로 잡아당겨서 팽팽하게 만든 다음 프레임(200)에 용접하여 고정시킨다. 고정 후에는 클램핑영역(140)을 커팅하여 제거한다. 같은 방식으로 여러 개의 마스크(100)를 차례로 프레임(200)에 용접해 나가면서 개구부(102)를 다 메운다. 이때, 마스크(100)의 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 사이의 경계부는 두께가 급격히 변하는 단차 형태가 아니라 완만한 경사로 형성이 되어 있으므로, 인장력이 경계부에 집중되어 울룩불룩한 웨이브가 생기는 등의 문제는 생기지 않게 된다.

이와 같이 보조홀(131)에 의해 마스크(100)의 패턴영역(110)(120)과 리브영역(130) 사이의 경계부에 급격한 단차가 사라지면, 마스크(100)에 웨이브가 거의 생기지 않게 되므로 기판(미도시)과의 밀착성이 매우 좋아지게 되며, 따라서 이를 이용하면 안정적인 증착 작업이 가능해진다.

본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있는데, 예컨대 유기 발광 표시 장치의 유기막이나 대향전극의 패턴을 형성하는 데 사용될 수 있다.

도 5는 본 발명의 마스크 프레임 조립체를 이용하여 제조할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 예를 도시한 도면이다.

도 5를 참조하면, 기판(320)상에 버퍼층(330)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(330) 상부로 TFT가 구비된다.

TFT는 반도체 활성층(331)과, 이 활성층(331)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(332)과, 게이트 절연막(332) 상부의 게이트 전극(333)을 갖는다.

게이트 전극(333)을 덮도록 층간 절연막(334)이 형성되며, 층간 절연막(334)의 상부에 소스 및 드레인 전극(335)이 형성된다.

소스 및 드레인 전극(335)은 게이트 절연막(332) 및 층간 절연막(334)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(331)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.

그리고, 소스 및 드레인 전극(335)에 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극(321)이 연결된다. 화소전극(321)은 평탄화막(337) 상부에 형성되어 있으며, 이 화소전극(321)을 덮도록 화소정의막(Pixel defining layer: 338)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(338)에 소정의 개구부를 형성한 후, 유기 발광 소자(OLED)의 유기층(326)이 형성되고, 이들 상부에 대향전극(327)이 증착된다.

상기 유기 발광 소자(OLED)의 유기층(326) 중 유기 발광층이 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)으로 구비되어 풀칼라(full color)를 구현할 수 있는데, 증착영역(110)의 증착용 패턴홀(111)이 이 유기층(326)에 대응하도록 상기한 마스크 프레임 조립체를 준비해서 사용하면, 전술한 바와 같이 기판(320)과 마스크(100) 간의 밀착성이 높아져서 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.

또한, 대향전극(327)의 경우에도 마찬가지로 그 패턴에 대응하도록 상기한 마스크 프레임 조립체를 준비해서 사용하면, 기판(320)과 마스크(100)의 밀착성이 높아져서 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.

한편, 전술한 실시예에서는 리브영역(130)의 보조홀(131) 사이에 무공부 간격(132)이 형성된 경우를 예시하였는데, 변형 가능한 예로서 도 6에 도시된 바와 같이 서로 인접한 증착영역(110)과 더미영역(120) 사이의 보조홀(131)들이 무공부 간격 없이 연속적으로 이어지도록 형성할 수도 있다.

또, 전술한 실시예에서는 보조홀(131)이 증착영역(110)과 더미영역(120) 사이마다 형성된 경우를 예시하였는데, 도 7에 도시된 바와 같이 마스크(100)의 양단측 더미영역(120)의 외측 즉, 클램핑영역(140) 바로 안쪽에 형성할 수도 있다.

또한, 도 8에 도시된 바와 같이 더미영역(120)의 더미용 패턴홀(121)도 보조홀(131) 처럼 점진적으로 크기가 변하는 형태로 형성할 수도 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

100: 마스크 110: 증착영역
111: 증착용 패턴홀 120: 더미영역
121: 더미용 패턴홀 130: 리브영역
131: 보조홀 140: 클램핑영역

Claims (20)

1. 프레임과, 상기 프레임에 일방향으로 인장되어 결합되는 마스크를 포함하고,
   상기 마스크는,
   패턴홀이 형성된 패턴영역; 및
   상기 패턴영역을 둘러싸며, 상기 패턴영역보다 더 두껍고, 보조홀이 형성된 리브영역;을 포함하되,
   상기 보조홀 크기는 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점진적으로 작아지며, 상기 리브영역의 두께는 점진적으로 두꺼워지는 마스크 프레임 조립체.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 패턴영역은 증착용 패턴홀이 형성된 증착영역과, 더미용 패턴홀이 형성된 더미영역을 포함하는 마스크 프레임 조립체.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 증착영역과 상기 더미영역은 상기 마스크에 교대로 복수개가 형성된 마스크 프레임 조립체.
   
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 보조홀은 상기 증착영역과 상기 더미영역 사이마다 형성된 마스크 프레임 조립체.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 보조홀은 상기 일방향을 따라 상기 증착영역과 상기 더미영역으로부터 멀어질수록 점차 크기가 작아지는 마스크 프레임 조립체.
   
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀 사이에 아무 보조홀도 없는 무공부 간격이 마련된 마스크 프레임 조립체.
   
7. 제 5 항에 있어서,
   상기 증착영역과 더미영역 사이에는 상기 보조홀이 없는 무공부 간격없이 복수의 보조홀이 이격되게 배치된 마스크 프레임 조립체.
   
8. 제 3 항에 있어서,
   상기 보조홀은 상기 마스크의 양단부인 상기 패턴영역 외측에 형성된 마스크 프레임 조립체.
   
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 보조홀은 상기 일방향을 따라 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점차 크기가 작아지는 마스크 프레임 조립체.
   
10. 제 2 항에 있어서,
    상기 더미용 패턴홀은 상기 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하는 마스크 프레임 조립체.
    
11. 패턴홀이 있는 패턴영역과, 상기 패턴영역을 둘러싸며, 상기 패턴영역보다 더 두껍고, 보조홀이 형성된 리브영역을 마스크에 형성하는 단계; 및
    상기 마스크를 일방향을 따라 인장시켜서 프레임에 결합시키는 단계;를 포함하되,
    상기 보조홀의 크기는 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점진적으로 작아지며, 상기 리브영역의 두께는 점진적으로 두꺼워지는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴영역 형성 시, 증착용 패턴홀이 형성된 증착영역과, 더미용 패턴홀이 형성된 더미영역을 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 증착영역과 상기 더미영역을 상기 마스크에 교대로 복수개 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
14. 제 13 항에 있어서,
    상기 보조홀을 상기 증착영역과 상기 더미영역 사이마다 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 보조홀을 상기 일방향을 따라 상기 증착영역과 상기 더미영역으로부터 멀어질수록 점차 크기가 작아지게 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
16. 제 15 항에 있어서,
    상기 증착영역에 인접한 보조홀과 상기 더미영역에 인접한 보조홀 사이에 아무 보조홀도 없는 무공부 간격을 마련하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
17. 제 15 항에 있어서,
    상기 증착영역과 더미영역 사이에는 상기 보조홀이 없는 무공부 간격없이 복수의 보조홀이 이격되게 형성되는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
18. 제 13 항에 있어서,
    상기 보조홀을 상기 마스크의 양단부인 상기 패턴영역 외측에 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
19. 제 18 항에 있어서,
    상기 보조홀을 상기 일방향을 따라 상기 패턴영역에서 멀어질수록 점차 크기가 작아지게 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.
    
20. 제 12 항에 있어서,
    상기 더미용 패턴홀은 상기 일방향을 따라 점진적으로 크기가 변하게 형성하는 마스크 프레임 조립체의 제조방법.

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