KR102024853B1 - 단위 마스크 및 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크는 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태의 단위 마스크 본체부, 상기 제1 방향을 따라 상기 단위 마스크 본체부에 형성된 복수개의 패턴 개구부, 및 상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하며, 상기 패턴 개구부와 다른 형태를 가지는 더미 개구부를 포함한다.

Description

단위 마스크 및 마스크 조립체{MASK AND MASK ASSEMBLY}
본 발명은 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기층을 증착할 때 이용되는 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 유기 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
보다 상세하게, 유기 발광 표시 장치는 기판에 화상 표현의 기본 단위인 화소(piXel)가 매트릭스 형태로 배열되고, 각각의 화소마다 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue), 백색(white) 등의 빛을 발광하는 각각의 유기 발광층을 사이에 두고 양극의 제1 전극과 음극의 제2 전극이 순차적으로 형성된 유기 발광 소자가 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 유기 발광층을 이루는 유기 물질은 수분 및 산소 등에 매우 취약하여 유기 발광층을 형성하는 공정 및 유기 발광층을 형성한 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하므로 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝을 수행하기가 어렵다. 따라서, 유기 발광층 등은 주로 각 패턴에 대응되는 부분으로만 증착 물질이 관통하기 위한 패턴 개구부가 형성되어 있는 마스크를 이용하여 형성한다.
최근, 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양 단부가 프레임에 고정되는 밴드 모양의 복수개의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체가 사용되고 있었다.
이러한 종래의 마스크 조립체는 단위 마스크에 인장력이 가해져 프레임에 지지되기 때문에, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서, 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태의 단위 마스크 본체부, 상기 제1 방향을 따라 상기 단위 마스크 본체부에 형성된 복수개의 패턴 개구부, 및 상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하며, 상기 패턴 개구부와 다른 형태를 가지는 더미 개구부를 포함하는 단위 마스크를 제공한다.
상기 더미 개구부는 복수개의 서브 더미 개구부를 가질 수 있다.
상기 더미 개구부는, 상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체의 단부 사이에 위치하는 제1 서브 더미 개구부, 및 상기 제1 서브 더미 개구부와 상기 패턴 개구부 사이에 위치하는 제2 서브 더미 개구부를 포함할 수 있다.
상기 제1 서브 더미 개구부 및 상기 제2 서브 더미 개구부 각각은 동일한 형태를 가지고 서로 이웃하고 있을 수 있다.
상기 제1 서브 더미 개구부 및 상기 제2 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변을 가지는 직사각형 형태일 수 있다.
상기 더미 개구부는, 상기 제1 서브 더미 개구부와 상기 제2 서브 더미 개구부 사이에 위치하는 제3 서브 더미 개구부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 서브 더미 개구부, 상기 제2 서브 더미 개구부 및 상기 제3 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태일 수 있다.
상기 더미 개구부는, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로의 상기 단위 마스크 본체부의 양 테두리 사이에 상호 이웃하여 배치된 제4 서브 더미 개구부 및 제5 서브 더미 개구부를 포함할 수 있다.
상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 동일한 형태를 가지고 서로 이웃하고 있을 수 있다.
상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향으로 연장된 장변을 가지는 직사각형 형태일 수 있다.
상기 더미 개구부는, 상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부와 상기 패턴 개구부 사이에 위치하는 제6 더미 개구부를 더 포함할 수 있다.
상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향으로 연장된 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태이며, 상기 제6 더미 개구부는 상기 제2 방향으로 연장된 장변을 가지는 직사각형 형태일 수 있다.
상기 패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 및 상기 개구부 상에 위치하며, 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 패턴 개구부의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임(100) 및 복수개의 단위 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 복수개의 단위 마스크(200) 각각의 양단을 고정 및 지지하고, 단위 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 제1 방향(x)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(130)를 더 포함한다. 제1 지지부(120)에는 단위 마스크(200)의 양 단부(200a)가 지지된다. 일례로, 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 용접 등의 고정 방법을 이용해 양 단부(200a)가 프레임(100)의 제1 지지부(120)에 지지된다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120)가 사각형 형상을 가진 프레임(100)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(130)가 프레임(100)의 단변을 구성하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120) 및 제2 지지부(130)는 실질적으로 동일한 길이로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
프레임(100)에 고정되는 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 인가된 상태로 프레임(100)에 지지되는데, 프레임(100)은 단위 마스크(200)에 인가된 제1 방향(x)으로의 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 연장 방향인 제1 방향(x)을 따라 압축력을 작용 받기 때문에, 단위 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성될 수 있다.
단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 연장된 밴드 형태이며, 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부(200a)가 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크(200)는 복수개이며, 복수개의 단위 마스크(200)가 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 프레임(100)에 배치되어 지지된다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220) 및 더미 개구부(230)를 포함한다.
단위 마스크 본체부(210)는 제1 방향(x)을 따라 연장된 밴드 형태이며, 프레임(100)의 개구부(110) 상에 위치하여, 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크 본체부(210)에는 제1 방향(x)을 따라 배치된 복수개의 패턴 개구부(220)가 형성되어 있다.
패턴 개구부(220)는 하나의 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 복수개가 배치되어 있다. 패턴 개구부(220)는 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응될 수 있으며, 이 경우 단위 마스크(200)를 통해 단일 공정으로 여러 개의 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들을 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 동시에 형성할 수 있다. 즉, 패턴 개구부(220)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들의 증착 영역에 대응하여 단위 마스크(200)에 배치된다. 패턴 개구부(220)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 패턴들이 패턴 개구부(220)를 통하여 마더 기판에 형성될 수 있도록 단위 마스크(200)를 관통하는 오픈 패턴 형태를 가진다. 패턴 개구부(220)의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태 등을 가질 수 있다.
한편, 본 발명의 제1 실시예 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 패턴 개구부(220)는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태를 가지나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크는 다양한 형태를 가질 수 있다.
제1 방향(x)으로 배치된 복수의 패턴 개구부(220) 중 최외곽에 배치된 패턴 개구부(220)와 이웃하여 더미 개구부(230)가 위치하고 있다.
더미 개구부(230)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(200a) 사이에 위치하며, 패턴 개구부(220)와는 다른 형태를 가지고 있다. 더미 개구부(230)는 제1 서브 더미 개구부(231) 및 제2 서브 더미 개구부(232)를 포함한다. 즉, 더미 개구부(230)는 복수개의 서브 더미 개구부를 포함한다.
제1 서브 더미 개구부(231)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(200a) 사이에 위치하고 있으며, 제2 서브 더미 개구부(232)는 제1 서브 더미 개구부(231)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치하고 있다. 제1 서브 더미 개구부(231) 및 제2 서브 더미 개구부(232) 각각은 단위 마스크 본체부(210)를 관통하여 형성되어 있다.
제1 서브 더미 개구부(231) 및 제2 서브 더미 개구부(232)는 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태를 가지고 있다.
제1 서브 더미 개구부(231)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 단위 마스크 본체부(210)의 단부(200a)와 이웃하여 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(200a) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제1 서브 더미 개구부(231)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
나아가, 제2 서브 더미 개구부(232)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 패턴 개구부(220)와 이웃하여 제1 서브 더미 개구부(231)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제2 서브 더미 개구부(232)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 우선적으로 제1 서브 더미 개구부(231)가 인장력에 의해 변형되고, 다음으로 제1 서브 더미 개구부(231)에 의해 분산된 인장력에 의해 제2 서브 더미 개구부(232)가 변형되어 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 다시 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체의 단위 마스크(200)는 제1 서브 더미 개구부(231) 및 제2 서브 더미 개구부(232)를 포함하는 더미 개구부(230)를 포함함으로써, 프레임(100)에 단위 마스크(200)를 고정할 때 단위 마스크(200)에 가해지는 인장력이 제1 서브 더미 개구부(231) 및 제2 서브 더미 개구부(232)에 의해 연속으로 분산되기 때문에, 패턴 개구부(220)가 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(200)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(200)에 형성된 패턴 개구부(220)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(200) 및 이를 포함하는 마스크 조립체가 제공된다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제2 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크(202)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220) 및 더미 개구부(230)를 포함한다.
더미 개구부(230)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(202a) 사이에 위치하며, 패턴 개구부(220)와는 다른 형태를 가지고 있다. 더미 개구부(230)는 제1 서브 더미 개구부(231), 제2 서브 더미 개구부(232) 및 제3 서브 더미 개구부(233)를 포함한다. 즉, 더미 개구부(230)는 복수개의 서브 더미 개구부를 포함한다.
제1 서브 더미 개구부(231)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(202a) 사이에 위치하고 있고, 제2 서브 더미 개구부(232)는 제1 서브 더미 개구부(231)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치하고 있으며, 제3 서브 더미 개구부(233)는 제1 서브 더미 개구부(231)와 제2 서브 더미 개구부(232) 사이에 위치하고 있다. 제1 서브 더미 개구부(231), 제2 서브 더미 개구부(232) 및 제3 서브 더미 개구부(233) 각각은 단위 마스크 본체부(210)를 관통하여 형성되어 있다.
제1 서브 더미 개구부(231), 제2 서브 더미 개구부(232) 및 제3 서브 더미 개구부(233) 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태를 가지고 있다.
제1 서브 더미 개구부(231)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 단위 마스크 본체부(210)의 단부(202a)와 이웃하여 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(202a) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제1 서브 더미 개구부(231)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
또한, 제2 서브 더미 개구부(232)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 패턴 개구부(220)와 이웃하여 제1 서브 더미 개구부(231)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제2 서브 더미 개구부(232)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
또한, 제3 서브 더미 개구부(233)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 제1 서브 더미 개구부(231)와 제2 서브 더미 개구부(232) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제3 서브 더미 개구부(233)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 우선적으로 제1 서브 더미 개구부(231)가 인장력에 의해 변형되고, 다음으로 제1 서브 더미 개구부(231)에 의해 분산된 인장력에 의해 제3 서브 더미 개구부(233)가 변형되고, 다음으로 제3 서브 더미 개구부(233)에 의해 분산된 인장력에 의해 제2 서브 더미 개구부(232)가 변형되어 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 또 다시 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크(202)는 제1 서브 더미 개구부(231), 제2 서브 더미 개구부(232) 및 제3 서브 더미 개구부(233)를 포함하는 더미 개구부(230)를 포함함으로써, 프레임(100)에 단위 마스크(202)를 고정할 때 단위 마스크(202)에 가해지는 인장력이 제1 서브 더미 개구부(231), 제3 서브 더미 개구부(233) 및 제2 서브 더미 개구부(232)에 의해 3 연속으로 분산되기 때문에, 패턴 개구부(220)가 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(202)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(202)에 형성된 패턴 개구부(220)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(202)가 제공된다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제3 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크(203)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220) 및 더미 개구부(230)를 포함한다.
더미 개구부(230)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(203a) 사이에 위치하며, 패턴 개구부(220)와는 다른 형태를 가지고 있다. 더미 개구부(230)는 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 포함한다. 즉, 더미 개구부(230)는 복수개의 서브 더미 개구부를 포함한다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)는 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 단위 마스크 본체부(210)의 양 테두리(200b) 사이에 상호 이웃하여 배치되어 있다. 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각은 단위 마스크 본체부(210)를 관통하여 형성되어 있다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각은 제1 방향(x)으로 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태를 가지고 있다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)가 제1 방향(x)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 단위 마스크 본체부(210)의 양 테두리(200b) 사이에 배치되어 단위 마스크 본체부(210)의 단부(203a)와 이웃하여 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(203a) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(203)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각이 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(203)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 우선적으로 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)가 인장력에 의해 변형되어 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크(203)는 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)를 포함하는 더미 개구부(230)를 포함함으로써, 단위 마스크(203)에 가해지는 인장력이 더미 개구부(230)에 의해 분산되어 패턴 개구부(220)가 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(203)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(203)에 형성된 패턴 개구부(220)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(203)가 제공된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제4 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제3 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크(204)는 단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220) 및 더미 개구부(230)를 포함한다.
더미 개구부(230)는 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(204a) 사이에 위치하며, 패턴 개구부(220)와는 다른 형태를 가지고 있다. 더미 개구부(230)는 제4 서브 더미 개구부(234), 제5 서브 더미 개구부(235) 및 제6 서브 더미 개구부(236)를 포함한다. 즉, 더미 개구부(230)는 복수개의 서브 더미 개구부를 포함한다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)는 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 단위 마스크 본체부(210)의 양 테두리(200b) 사이에 상호 이웃하여 배치되어 있다. 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각은 단위 마스크 본체부(210)를 관통하여 형성되어 있다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각은 제1 방향(x)으로 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태를 가지고 있다.
제6 서브 더미 개구부(236)는 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치하고 있으며, 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 있다. 제6 서브 더미 개구부(236)는 단위 마스크 본체부(210)를 관통하여 형성되어 있다.
제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)가 제1 방향(x)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 단위 마스크 본체부(210)의 양 테두리(200b) 사이에 배치되어 단위 마스크 본체부(210)의 단부(204a)와 이웃하여 패턴 개구부(220)와 단위 마스크 본체부(210)의 단부(204a) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(204)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235) 각각이 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
또한, 제6 서브 더미 개구부(236)가 제2 방향(y)으로 장변을 가지는 직사각형 형태를 가지고 패턴 개구부(220)와 이웃하여 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)와 패턴 개구부(220) 사이에 위치함으로써, 단위 마스크(204)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면 제6 서브 더미 개구부(236)가 인장력에 의해 변형되기 때문에, 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 분산되어 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(204)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 우선적으로 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)가 인장력에 의해 변형되고, 다음으로 제4 서브 더미 개구부(234) 및 제5 서브 더미 개구부(235)에 의해 분산된 인장력에 의해 제6 서브 더미 개구부(236)가 변형되어 패턴 개구부(220)로 가해지는 인장력이 다시 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 패턴 개구부(220)가 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
이상과 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크(204)는 제4 서브 더미 개구부(234), 제5 서브 더미 개구부(235) 및 제6 서브 더미 개구부(236)를 포함하는 더미 개구부(230)를 포함함으로써, 단위 마스크(204)에 가해지는 인장력이 더미 개구부(230)에 의해 분산되어 패턴 개구부(220)가 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(204)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(204)에 형성된 패턴 개구부(220)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(204)가 제공된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
단위 마스크 본체부(210), 패턴 개구부(220), 더미 개구부(230)

Claims (14)

  1. 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서,
    상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태의 단위 마스크 본체부;
    상기 제1 방향을 따라 상기 단위 마스크 본체부에 형성된 복수개의 패턴 개구부; 및
    상기 패턴 개구부와 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하며, 상기 패턴 개구부와 다른 형태를 가지는 더미 개구부
    를 포함하고,
    상기 더미 개구부는 복수개의 서브 더미 개구부를 가지고,
    상기 더미 개구부는,
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로의 상기 단위 마스크 본체부의 양 테두리 사이에 상호 이웃하여 배치된 제4 서브 더미 개구부 및 제5 서브 더미 개구부를 포함하는 단위 마스크.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에서,
    상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 동일한 형태를 가지고 서로 이웃하는 단위 마스크.
  10. 제9항에서,
    상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향으로 연장된 장변을 가지는 직사각형 형태인 단위 마스크.
  11. 제1항에서,
    상기 더미 개구부는,
    상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부와 상기 패턴 개구부 사이에 위치하는 제6 더미 개구부를 더 포함하는 단위 마스크.
  12. 제11항에서,
    상기 제4 서브 더미 개구부 및 상기 제5 서브 더미 개구부 각각은 상기 제1 방향으로 연장된 장변을 가지는 동일한 직사각형 형태이며,
    상기 제6 더미 개구부는 상기 제2 방향으로 연장된 장변을 가지는 직사각형 형태인 단위 마스크.
  13. 제1항에서,
    상기 패턴 개구부의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태인 단위 마스크.
  14. 개구부를 포함하는 프레임; 및
    상기 개구부 상에 위치하며, 제1항, 제9항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 단위 마스크
    를 포함하는 마스크 조립체.
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