KR101995500B1 - 단위 마스크 및 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

개구부를 포함하는 프레임에 일 방향으로 인장되어 지지되는 단위 마스크는 상기 개구부에 위치하며, 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 일 표면에 고정되는 제1 고정부, 상기 제1 고정부와 이격되어 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 타 표면에 고정되는 제2 고정부, 및 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이에서 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각에 지지된 마스크부를 포함한다.

Description

단위 마스크 및 마스크 조립체{MASK AND MASK ASSEMBLY}
본 발명은 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프레임에 지지되는 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것이다.
평판 표시장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
종래의 마스크 조립체는 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양단이 인장되어 프레임에 고정되는 띠 모양의 복수개의 단위 마스크로 이루어진다. 단위 마스크는 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 복수의 유기 발광 표시 장치가 제조될 수 있도록 유기 발광 표시 장치의 픽셀(pixel)에 대응하여 개구된 패턴 개구부를 포함할 수 있다. 단위 마스크의 패턴 개구부는 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응할 수 있으며, 유기 발광 표시 장치에 형성할 전극 또는 발광층과 대응하는 형태로 형성된다.
최근, 고해상도의 유기 발광 표시 장치가 요구됨에 따라 단위 마스크에 미세(fine)한 크기의 패턴 개구부가 형성되는데, 증착 공정의 특성 상 단위 마스크에 미세한 크기의 패턴 개구부를 형성하기 위해서는 의도치 않은 증착 오류를 방지하기 위해 단위 마스크의 두께가 매우 얇아져야 한다(um 단위).
그런데, 단위 마스크의 두께가 매우 얇아질 경우 단위 마스크의 양단을 프레임에 용접하여 고정하기 어려운 문제점이 있었다.
나아가, 단위 마스크의 두께가 매우 얇을 경우, 인장된 상태로 프레임에 양단이 고정된 단위 마스크가 개구부 아래로 쳐지거나, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크가 변형되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때, 증착 신뢰성이 향상된 단위 마스크 및 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 개구부를 포함하는 프레임에 일 방향으로 인장되어 지지되는 단위 마스크에 있어서, 상기 개구부에 위치하며, 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 일 표면에 고정되는 제1 고정부, 상기 제1 고정부와 이격되어 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 타 표면에 고정되는 제2 고정부, 및 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이에서 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각에 지지된 마스크부를 포함하는 단위 마스크를 제공한다.
상기 마스크부의 두께는 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각의 두께 대비 얇을 수 있다.
상기 제1 고정부는 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장된 제1 절곡 연장부를 포함하며, 상기 제2 고정부는 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장된 제2 절곡 연장부를 포함하며, 상기 마스크부는, 상기 일 방향으로 연장된 본체부, 상기 본체부로부터 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장되어 상기 제1 절곡 연장부와 대향하는 제1 대향부, 및 상기 본체부로부터 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장되어 상기 제2 절곡 연장부와 대향하는 제2 대향부를 포함할 수 있다.
상기 프레임과 상기 제1 절곡 연장부 사이에 위치하며, 상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 제1 블록, 및 상기 제1 절곡 연장부 및 상기 제1 대향부를 사이에 두고 상기 제1 블록과 대향하며, 상기 제1 대향부와 접촉하는 제2 블록을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 블록의 두께는 상기 제1 블록의 두께 대비 두꺼울 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부와 상기 제1 대향부 사이에 위치하며, 상기 제1 절곡 연장부 및 상기 제1 대향부 각각과 접촉하는 제3 블록을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부, 상기 제1 블록, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 블록을 관통하여 상기 제1 절곡 연장부, 상기 제1 블록, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 블록 각각을 상호 고정하는 제1 체결부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 상기 제1 블록의 표면 및 상기 제1 대향부와 접촉하는 상기 제2 블록의 표면 각각은 요철 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 상기 제1 블록의 표면, 상기 제1 대향부와 접촉하는 상기 제2 블록의 표면 및 상기 제1 절곡 연장부와 상기 제1 대향부 각각과 접촉하는 상기 제3 블록의 표면 각각은 요철 형상을 가질 수 있다.
상기 제2 블록의 표면의 요철 형상은 상기 마스크부의 상기 본체부로부터 이격될 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부는 상기 제1 블록의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가지며, 상기 제1 대향부는 상기 제2 블록의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가질 수 있다.
상기 제1 절곡 연장부는 상기 제1 대향부와 접촉할 수 있다.
상기 프레임과 상기 제2 절곡 연장부 사이에 위치하며, 상기 제2 절곡 연장부와 접촉하는 제4 블록, 및 상기 제2 절곡 연장부 및 상기 제2 대향부를 사이에 두고 상기 제4 블록과 대향하며, 상기 제2 대향부와 접촉하는 제5 블록을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 절곡 연장부와 상기 제2 대향부 사이에 위치하며, 상기 제2 절곡 연장부 및 상기 제2 대향부 각각과 접촉하는 제6 블록을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 절곡 연장부, 상기 제4 블록, 상기 제2 대향부 및 상기 제5 블록을 관통하여 상기 제2 절곡 연장부, 상기 제4 블록, 상기 제2 대향부 및 상기 제5 블록 각각을 상호 고정하는 제2 체결부를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 및 상기 프레임에 일 방향으로 인장되어 지지되는 하나 이상의 상기 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때, 증착 신뢰성이 향상된 단위 마스크 및 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)는 프레임(100) 및 단위 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 단위 마스크(200)의 양단을 고정 및 지지하고, 단위 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 두고 단위 마스크(200)의 연장 방향인 일 방향(X)을 따라 서로 마주하는 한쌍의 일 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 일 방향(X)과 교차하는 타 방향을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 타 지지부(미도시)를 포함한다. 일 지지부(120)에는 단위 마스크(200)의 양단이 고정된다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)의 프레임(100)에서 일 지지부(120)가 사각형 형상을 가질 수 있는 프레임(100)의 장변을 구성하고, 타 지지부(미도시)가 프레임(100)의 단변을 구성할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
프레임(100)에 고정되는 단위 마스크(200)는 인장력이 인가된 상태로 단위 마스크(200)에 지지되는데, 프레임(100)은 단위 마스크(200)에 인가된 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 연장 방향을 따라 압축력이 작용하기 때문에, 단위 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성될 수 있다.
단위 마스크(200)는 일 방향(X)으로 연장되어 양단이 프레임(100)에 고정되며, 증착 공정 시 하나의 유기 발광 표시 장치와 대응하여 유기 발광 표시 장치가 형성될 마더 기판을 증착 수단에 대해 노출하는 패턴 개구부(PO)를 포함한다. 패턴 개구부(PO)는 유기 발광 표시 장치를 구성하는 배선 또는 발광층 등과 대응하는 오픈 패턴이다. 단위 마스크(200)는 복수개일 수 있으며, 복수개의 단위 마스크(200)가 일 방향(X)과 교차하는 타 방향을 따라 배치될 수 있다.
단위 마스크(200)는 일 방향(X)으로 인장된 상태로 양단이 프레임(100)에 고정되며, 제1 고정부(210), 제2 고정부(220), 마스크부(230), 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243), 제1 체결부(250), 제4 블록(244), 제5 블록(245), 제6 블록(246), 제2 체결부(260)를 포함한다.
제1 고정부(210)는 개구부(110)에 위치하며, 일 방향(X)으로 배치된 프레임(100)의 일 지지부(120)의 일 표면에 고정된다. 제1 고정부(210)는 용접 등의 고정 방법에 의해 프레임(100)의 일 지지부(120)의 일 표면에 고정되며, 일 지지부(120)의 일 표면으로부터 개구부(110)의 하측 방향으로 절곡 연장된 제1 절곡 연장부(211)를 포함한다.
제2 고정부(220)는 제1 고정부(210)와 이격되며, 일 방향(X)으로 배치된 프레임(100)의 일 지지부(120)의 타 표면에 고정된다. 제2 고정부(220)는 용접 등의 고정 방법에 의해 프레임(100)의 일 지지부(120)의 타 표면에 고정되며, 일 지지부(120)의 타 표면으로부터 개구부(110)의 하측 방향으로 절곡 연장된 제2 절곡 연장부(221)를 포함한다.
마스크부(230)는 제1 고정부(210)와 제2 고정부(220) 사이에서 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각에 지지되어 있으며, 패턴 개구부(PO)가 형성되어 일 방향(X)으로 연장된 본체부(231) 및 본체부(231)의 일단으로부터 개구부(110)의 하측 방향으로 절곡 연장되어 제1 절곡 연장부(211)와 대향하는 제1 대향부(232), 및 본체부(231)의 타단으로부터 개구부(110)의 하측 방향으로 절곡 연장되어 제2 절곡 연장부(221)와 대향하는 제2 대향부(233)를 포함한다. 마스크부(230)의 본체부(231), 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220)는 플랫(flat)한 가상의 일 직선 상에 배치되며, 증착 공정 시 마스크부(230)의 본체부(231) 상에는 피증착체인 마더 기판이 배치될 수 있다. 이때, 마더 기판이 본체부(231), 제1 고정부(210), 제2 고정부(220)와 접촉할 수 있으며, 마스크부(230)의 본체부(231), 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220)가 플랫(flat)한 가상의 일 직선 상에 배치됨으로써, 단위 마스크(100)와 마더 기판 사이에 단차가 발생되지 않는다. 이는 마스크 조립체(1000)를 이용한 증착 신뢰성이 향상되는 요인으로서 작용된다.
마스크부(230)는 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 대비 얇은 두께를 가질 수 있으며, 마스크부(230)가 얇은 두께를 가짐으로써 패턴 개구부(PO)를 미세한 크기로 형성할 수 있다. 이로 인해 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때, 쉐도우(shadow) 등의 의도치 않은 증착 오류 발생이 최소화된다.
또한, 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각은 마스크부(230) 대비 두꺼운 두께를 가질 수 있으며, 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각이 두꺼운 두께를 가짐으로써 용접 공정을 이용해 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각을 프레임(100)에 고정할 수 있다. 이로 인해, 패턴 개구부(PO)의 크기에 따른 마스크부(230)의 두께와는 상관없이 단위 마스크(200)를 용접을 이용해 프레임(100)에 단단히 고정할 수 있다.
즉, 증착 공정 시 이용되는 미세한 크기의 패턴 개구부(PO)는 마스크부(230)에 형성되고, 프레임(100)에 대한 단위 마스크(200)의 고정은 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220)를 프레임(100)에 용접하여 수행함으로써, 용접을 이용해 단위 마스크(200)를 프레임(100)에 단단히 고정하는 동시에 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때 증착 신뢰성이 향상된 마스크 조립체(1000)가 제공된다.
제1 블록(241)은 프레임(100)과 제1 절곡 연장부(211) 사이에 위치하며, 제1 절곡 연장부(211)와 접촉하고 있다.
제2 블록(242)은 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(232)를 사이에 두고 제1 블록(241)과 대향하며, 제1 대향부(232)와 접촉하고 있다. 제2 블록(242)의 두께(D2)는 제1 블록(241)의 두께(D1) 대비 두껍게 형성되어 있다. 제2 블록(242)의 두께(D2)가 제1 블록(241)의 두께(D1) 대비 두껍게 형성됨으로써, 마스크부(230)가 제1 고정부(210) 대비 얇은 두께를 가지더라도, 제1 고정부(210)의 상면과 마스크부(230)의 상면 사이에 단차가 발생되지 않는 동시에 제1 고정부(210) 대비 두께가 얇은 마스크부(230)의 강도가 보강된다.
제3 블록(243)은 제1 절곡 연장부(211)와 제1 대향부(232) 사이에 위치하며, 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(232) 각각과 접촉하고 있다.
제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243) 각각은 탄성을 가질 수 있다.
제1 체결부(250)는 제1 블록(241), 제1 절곡 연장부(211), 제3 블록(243), 제1 대향부(232) 및 제2 블록(242)을 관통하여 제1 블록(241), 제1 절곡 연장부(211), 제3 블록(243), 제2 절곡 연장부(221) 및 제2 블록(242) 각각을 상호 고정한다. 제1 체결부(250)는 스크류(screw)의 형태를 가질 수 있으며, 제1 블록(241), 제1 절곡 연장부(211), 제3 블록(243), 제2 절곡 연장부(221) 및 제2 블록(242) 각각에는 제1 체결부(250)과 관통하는 나사선이 형성될 수 있다.
제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243) 및 제1 체결부(250)에 의해 제1 고정부(210)에 마스크부(230)가 지지됨으로써, 제1 고정부(210) 및 마스크부(230)의 강도가 보강되는 동시에 제1 고정부(210)에 마스크부(230)가 단단히 지지된다.
제4 블록(244)은 프레임(100)과 제2 절곡 연장부(221) 사이에 위치하며, 제2 절곡 연장부(221)와 접촉하고 있다.
제5 블록(245)은 제2 절곡 연장부(221) 및 제2 대향부(233)를 사이에 두고 제4 블록(244)과 대향하며, 제2 대향부(233)와 접촉하고 있다. 제5 블록(245)은 제4 블록(244) 대비 두꺼운 두께를 가지고 있으며, 제5 블록(245)이 제4 블록(244) 대비 두꺼운 두께를 가짐으로써, 마스크부(230)가 제2 고정부(220) 대비 얇은 두께를 가지더라도, 제2 고정부(220)의 상면과 마스크부(230)의 상면 사이에 단차가 발생되지 않는 동시에 제2 고정부(220) 대비 두께가 얇은 마스크부(230)의 강도가 보강된다.
제6 블록(246)은 제2 절곡 연장부(221)와 제2 대향부(233) 사이에 위치하며, 제2 절곡 연장부(221) 및 제2 대향부(233) 각각과 접촉하고 있다.
제4 블록(244), 제5 블록(245), 제6 블록(246) 각각은 탄성을 가질 수 있다.
제2 체결부(260)는 제4 블록(244), 제2 절곡 연장부(221), 제6 블록(246), 제2 대향부(233) 및 제5 블록(245)을 관통하여 제4 블록(244), 제2 절곡 연장부(221), 제6 블록(246), 제2 대향부(233) 및 제5 블록(245) 각각을 상호 고정한다. 제2 체결부(260)는 스크류(screw)의 형태를 가질 수 있으며, 제4 블록(244), 제2 절곡 연장부(221), 제6 블록(246), 제2 대향부(233) 및 제5 블록(245) 각각에는 제2 체결부(260)과 관통하는 나사선이 형성될 수 있다.
제4 블록(244), 제5 블록(245), 제6 블록(246) 및 제2 체결부(260)에 의해 제2 고정부(220)에 마스크부(230)가 지지됨으로써, 제2 고정부(220) 및 마스크부(230)의 강도가 보강되는 동시에 제2 고정부(220)에 마스크부(230)가 단단히 지지된다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)는 제1 고정부(210), 제2 고정부(220), 마스크부(230), 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243), 제1 체결부(250), 제4 블록(244), 제5 블록(245), 제6 블록(246), 제2 체결부(260)를 포함하는 단위 마스크(200)가 일 방향(X)으로 인장된 상태로 양단인 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220)가 프레임(100)에 고정됨으로써, 용접을 이용해 단위 마스크(200)가 프레임(100)에 단단히 고정되는 동시에 고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때 증착 신뢰성이 향상된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)는 실질적으로 인장력이 가해지는 단위 마스크(200)의 마스크부(230)의 전체 길이가 단위 마스크(200)의 전체 길이 대비 짧기 때문에, 마스크부(230)의 두께가 얇더라도, 마스크부(230)가 인장된 상태로 개구부(110) 아래로 쳐지는 것이 억제된다. 즉, 증착 공정 시 증착 신뢰성이 향상된 마스크 조립체(1000)가 제공된다.
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체(1000)는 실질적으로 패턴 개구부(PO)가 형성된 마스크부(230)가 탄성을 가질 수 있는 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243), 제4 블록(244), 제5 블록(245) 및 제6 블록(246)에 의해 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각의 사이에 지지됨으로써, 마스크부(230)에 가해지는 인장력이 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243), 제4 블록(244), 제5 블록(245) 및 제6 블록(246) 각각에 의해 분산되기 때문에, 단위 마스크(200) 전체에 가해지는 인장력에 의해 마스크부(230)가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 전체적인 변형이 최소화된다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제2 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 조립체(1002)의 단위 마스크(200)는 일 방향(X)으로 인장된 상태로 양단이 프레임(100)에 고정되며, 제1 고정부(210), 제2 고정부(220), 마스크부(230), 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제3 블록(243), 제1 체결부(250), 제4 블록(244), 제5 블록(245), 제6 블록(246), 제2 체결부(260)를 포함한다.
제1 절곡 연장부(211)와 접촉하는 제1 블록(241)의 표면, 제1 대향부(232)와 접촉하는 제2 블록(242)의 표면 및 제1 절곡 연장부(211)와 상기 제1 대향부(232) 각각과 접촉하는 상기 제3 블록(243)의 표면 각각은 요철 형상을 가지고 있다. 제4 블록(244), 제5 블록(245), 및 제6 블록(246) 각각의 표면도 요철 형상을 가질 수 있다.
제1 블록(241)의 표면, 제2 블록(242)의 표면, 제3 블록(243)의 표면 각각의 요철 형상은 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(231)를 사이에 두고 톱니 바퀴와 같은 형상으로 서로 맞물려 있다.
제1 블록(241)의 표면, 제2 블록(242)의 표면, 제3 블록(243)의 표면 각각이 요철 형상을 가짐으로써, 제1 절곡 연장부(211)는 제1 블록(241)의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가지며, 제1 대향부(231)는 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가진다.
제2 블록(242)의 표면의 요철 형상은 마스크부(230)의 본체부(231)로부터 이격되어 있으며, 제1 블록(241)의 표면의 요철 형상도 제1 고정부(210)의 상면으로부터 이격되어 있다. 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상이 마스크부(230)의 본체부(231)로부터 이격됨으로써, 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상으로 인해 마스크부(230)의 본체부(231)에 주름이 발생되는 것이 방지된다.
제1 블록(241), 제2 블록(242) 및 제3 블록(243) 각각의 표면이 요철 형상을 가져 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(231) 각각이 제1 블록(241), 제2 블록(242) 및 제3 블록(243) 각각과 접촉한 상태로 요철 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(200)에 가해지는 인장력에 의해 제1 블록(241) 및 제2 블록(242) 각각으로부터 제1 고정부(210) 및 마스크부(230) 각각이 이탈되는 것이 억제된다.
즉, 증착 신뢰성이 향상된 마스크 조립체(1002)가 제공된다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제3 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 조립체(1003)의 단위 마스크(200)는 일 방향(X)으로 인장된 상태로 양단이 프레임(100)에 고정되며, 제1 고정부(210), 제2 고정부(220), 마스크부(230), 제1 블록(241), 제2 블록(242), 제1 체결부(250), 제4 블록(244), 제5 블록(245), 제2 체결부(260)를 포함한다.
제1 절곡 연장부(211)와 접촉하는 제1 블록(241)의 표면 및 제1 대향부(232)와 접촉하는 제2 블록(242)의 표면 각각은 요철 형상을 가지고 있다.
제1 절곡 연장부(211)는 제1 대향부(232)와 접촉하고 있으며, 제2 절곡 연장부(221) 및 제2 대향부(233)도 상호 접촉하고 있을 수 있다.
제1 블록(241)의 표면, 제2 블록(242)의 표면 각각의 요철 형상은 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(231)를 사이에 두고 톱니 바퀴와 같은 형상으로 서로 맞물려 있다.
제1 블록(241)의 표면, 제2 블록(242)의 표면 각각이 요철 형상을 가짐으로써, 제1 절곡 연장부(211)는 제1 블록(241)의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가지며, 제1 대향부(231)는 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가진다.
제2 블록(242)의 표면의 요철 형상은 마스크부(230)의 본체부(231)로부터 이격되어 있으며, 제1 블록(241)의 표면의 요철 형상도 제1 고정부(210)의 상면으로부터 이격되어 있다. 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상이 마스크부(230)의 본체부(231)로부터 이격됨으로써, 제2 블록(242)의 표면의 요철 형상으로 인해 마스크부(230)의 본체부(231)에 주름이 발생되는 것이 방지된다.
제1 블록(241), 제2 블록(242) 각각의 표면이 요철 형상을 가져 제1 절곡 연장부(211) 및 제1 대향부(231) 각각이 상호 접촉한 상태로 요철 형상을 가짐으로써, 단위 마스크(200)에 가해지는 인장력이 제1 고정부(210) 및 제2 고정부(220) 각각으로부터 마스크부(230)로 용이하게 전달된다.
즉, 증착 신뢰성이 향상된 마스크 조립체(1003)가 제공된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
개구부(110), 프레임(100), 단위 마스크(200), 제1 고정부(210), 제2 고정부(220), 마스크부(230)

Claims (16)

  1. 개구부를 포함하는 프레임에 일 방향으로 인장되어 지지되는 단위 마스크에 있어서,
    상기 개구부에 위치하며, 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 일 표면에 고정되는 제1 고정부;
    상기 제1 고정부와 이격되어 상기 일 방향으로 배치된 상기 프레임의 타 표면에 고정되는 제2 고정부; 및
    상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이에서 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각에 지지된 마스크부
    를 포함하며,
    상기 제1 고정부는 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장된 제1 절곡 연장부를 포함하며,
    상기 제2 고정부는 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장된 제2 절곡 연장부를 포함하며,
    상기 마스크부는,
    상기 일 방향으로 연장된 본체부;
    상기 본체부로부터 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장되어 상기 제1 절곡 연장부와 대향하는 제1 대향부; 및
    상기 본체부로부터 상기 개구부의 하측 방향으로 절곡 연장되어 상기 제2 절곡 연장부와 대향하는 제2 대향부
    를 포함하는 단위 마스크.
  2. 제1항에서,
    상기 마스크부의 두께는 상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부 각각의 두께 대비 얇은 단위 마스크.
  3. 삭제
  4. 제1항에서,
    상기 프레임과 상기 제1 절곡 연장부 사이에 위치하며, 상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 제1 블록; 및
    상기 제1 절곡 연장부 및 상기 제1 대향부를 사이에 두고 상기 제1 블록과 대향하며, 상기 제1 대향부와 접촉하는 제2 블록
    을 더 포함하는 단위 마스크.
  5. 제4항에서,
    상기 제2 블록의 두께는 상기 제1 블록의 두께 대비 두꺼운 단위 마스크.
  6. 제4항에서,
    상기 제1 절곡 연장부와 상기 제1 대향부 사이에 위치하며, 상기 제1 절곡 연장부 및 상기 제1 대향부 각각과 접촉하는 제3 블록을 더 포함하는 단위 마스크.
  7. 제4항에서,
    상기 제1 절곡 연장부, 상기 제1 블록, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 블록을 관통하여 상기 제1 절곡 연장부, 상기 제1 블록, 상기 제1 대향부 및 상기 제2 블록 각각을 상호 고정하는 제1 체결부를 더 포함하는 단위 마스크.
  8. 제4항에서,
    상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 상기 제1 블록의 표면 및 상기 제1 대향부와 접촉하는 상기 제2 블록의 표면 각각은 요철 형상을 가지는 단위 마스크.
  9. 제6항에서,
    상기 제1 절곡 연장부와 접촉하는 상기 제1 블록의 표면, 상기 제1 대향부와 접촉하는 상기 제2 블록의 표면 및 상기 제1 절곡 연장부와 상기 제1 대향부 각각과 접촉하는 상기 제3 블록의 표면 각각은 요철 형상을 가지는 단위 마스크.
  10. 제8항에서,
    상기 제2 블록의 표면의 요철 형상은 상기 마스크부의 상기 본체부로부터 이격되는 단위 마스크.
  11. 제8항에서,
    상기 제1 절곡 연장부는 상기 제1 블록의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가지며,
    상기 제1 대향부는 상기 제2 블록의 표면의 요철 형상을 따라 요철 형상을 가지는 단위 마스크.
  12. 제8항에서,
    상기 제1 절곡 연장부는 상기 제1 대향부와 접촉하는 단위 마스크.
  13. 제4항에서,
    상기 프레임과 상기 제2 절곡 연장부 사이에 위치하며, 상기 제2 절곡 연장부와 접촉하는 제4 블록; 및
    상기 제2 절곡 연장부 및 상기 제2 대향부를 사이에 두고 상기 제4 블록과 대향하며, 상기 제2 대향부와 접촉하는 제5 블록
    을 더 포함하는 단위 마스크.
  14. 제13항에서,
    상기 제2 절곡 연장부와 상기 제2 대향부 사이에 위치하며, 상기 제2 절곡 연장부 및 상기 제2 대향부 각각과 접촉하는 제6 블록을 더 포함하는 단위 마스크.
  15. 제13항에서,
    상기 제2 절곡 연장부, 상기 제4 블록, 상기 제2 대향부 및 상기 제5 블록을 관통하여 상기 제2 절곡 연장부, 상기 제4 블록, 상기 제2 대향부 및 상기 제5 블록 각각을 상호 고정하는 제2 체결부를 더 포함하는 단위 마스크.
  16. 개구부를 포함하는 프레임; 및
    상기 프레임에 일 방향으로 인장되어 지지되는 하나 이상의 제1항 내지 제2항, 제4항 내지 제15항 중 어느 한 항에 따른 단위 마스크
    를 포함하는 마스크 조립체.
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