JP2014102501A - 単位マスクおよびマスク組立体 - Google Patents
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Abstract
【課題】高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体を提供する。
【解決手段】開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクは、前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第1固定部と、前記第1固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第2固定部と、前記第1固定部と前記第2固定部との間で前記第1固定部および前記第2固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含む。
【選択図】図1
【解決手段】開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクは、前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第1固定部と、前記第1固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第2固定部と、前記第1固定部と前記第2固定部との間で前記第1固定部および前記第2固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、単位マスクおよびマスク組立体に関するものであって、より詳細には、フレームに支持される単位マスクおよびマスク組立体に関するものである。
平板表示装置の代表例として、有機発光表示装置(organic light emitting display)、液晶表示装置(liquid crystal display)およびプラズマディスプレイパネル(plasma display panel)などがある。
このうち、有機発光表示装置を製造するためには、特定のパターンを有する電極と発光層などを形成しなければならず、その形成法としてマスク組立体を用いた蒸着法が適用可能である。
従来のマスク組立体は、開口部を備えたフレームと、開口部に対応して両端が引っ張られてフレームに固定される帯状の複数の単位マスクとからなる。単位マスクは、有機発光表示装置が製造されるマザー基板に複数の有機発光表示装置が製造できるように、有機発光表示装置の画素(ピクセル)に対応して開口したパターン開口部を含むことができる。単位マスクのパターン開口部は、1つの有機発光表示装置に対応することができ、有機発光表示装置に形成する電極または発光層に対応する形態で形成される。
近年、高解像度の有機発光表示装置が要求されるにつれ、単位マスクに微細(fine)な大きさのパターン開口部が形成されるが、蒸着工程の特性上、単位マスクに微細な大きさのパターン開口部を形成するためには、意図せぬ蒸着エラーを防止するために単位マスクの厚さが非常に薄くなければならない(μm単位)。
しかし、単位マスクの厚さが非常に薄くなる場合、単位マスクの両端をフレームに溶接して固定しにくい問題があった。
さらに、単位マスクの厚さが非常に薄い場合、引っ張られた状態でフレームに両端が固定された単位マスクが開口部の下に垂れたり、単位マスクに加えられる引張力によって単位マスクが変形する問題があった。
本発明は、上記の問題を解決するためのものであって、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体を提供しようとするものである。
上記の技術的課題を達成するための本発明の第1態様は、開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクにおいて、前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第1固定部と、前記第1固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第2固定部と、前記第1固定部と前記第2固定部との間で前記第1固定部および前記第2固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含む単位マスクを提供する。
前記マスク部の厚さは、前記第1固定部および前記第2固定部それぞれの厚さに比べて薄くなり得る。
前記第1固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第1折曲延長部を含み、前記第2固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第2折曲延長部を含み、前記マスク部は、前記一方向に延長された本体部と、前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第1折曲延長部に対向する第1対向部と、前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第2折曲延長部に対向する第2対向部と、を含むことができる。
前記フレームと前記第1折曲延長部との間に位置し、前記第1折曲延長部と接触する第1ブロックと、前記第1折曲延長部および前記第1対向部を挟んで前記第1ブロックに対向し、前記第1対向部と接触する第2ブロックと、をさらに含むことができる。
前記第2ブロックの厚さは、前記第1ブロックの厚さに比べて厚くなり得る。
前記第1折曲延長部と前記第1対向部との間に位置し、前記第1折曲延長部および前記第1対向部のそれぞれと接触する第3ブロックをさらに含むことができる。
前記第1折曲延長部、前記第1ブロック、前記第1対向部および前記第2ブロックを貫通し、前記第1折曲延長部、前記第1ブロック、前記第1対向部および前記第2ブロックのそれぞれを相互固定する第1締結部をさらに含むことができる。
前記第1折曲延長部と接触する前記第1ブロックの表面および前記第1対向部と接触する前記第2ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することができる。
前記第1折曲延長部と接触する前記第1ブロックの表面、前記第1対向部と接触する前記第2ブロックの表面、および前記第1折曲延長部と前記第1対向部のそれぞれと接触する前記第3ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することができる。
前記第2ブロックの表面の凹凸形状は、前記マスク部の前記本体部から離隔できる。
前記第1折曲延長部は、前記第1ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、前記第1対向部は、前記第2ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有することができる。
前記第1折曲延長部は、前記第1対向部と接触することができる。
前記フレームと前記第2折曲延長部との間に位置し、前記第2折曲延長部と接触する第4ブロックと、前記第2折曲延長部および前記第2対向部を挟んで前記第4ブロックに対向し、前記第2対向部と接触する第5ブロックと、をさらに含むことができる。
前記第2折曲延長部と前記第2対向部との間に位置し、前記第2折曲延長部および前記第2対向部のそれぞれと接触する第6ブロックをさらに含むことができる。
前記第2折曲延長部、前記第4ブロック、前記第2対向部および前記第5ブロックを貫通し、前記第2折曲延長部、前記第4ブロック、前記第2対向部および前記第5ブロックのそれぞれを相互固定する第2締結部をさらに含むことができる。
また、本発明の第2態様は、開口部を含むフレームと、前記フレームに一方向に引っ張られて支持される1つ以上の前記単位マスクとを含むマスク組立体を提供する。
このような本発明によれば、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上した単位マスクおよびマスク組立体が提供される。
以下、添付した図面を参考にして、本発明の様々な実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。
本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については同一の参照符号を付す。
また、様々な実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を用いて代表的に第1実施形態で説明し、その他の実施形態では第1実施形態と異なる構成についてのみ説明する。
さらに、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは説明の便宜のために任意に示したため、本発明は必ずしもこれに限定されない。
図面において、様々な層および領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして、図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるとする時、これは、他の部分の「直上に」ある場合だけでなく、その中間にさらに他の部分がある場合も含む。
また、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは、特に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに包含できることを意味する。さらに、明細書全体において、「〜上に」とは、対象部分の上または下に位置することを意味するもので、必ずしも重力方向を基準として上側に位置することを意味するものではない。
以下、図1を参照して、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体を示す断面図である。
図1に示されるように、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体1000は、フレーム100と、単位マスク200とを含む。
フレーム100は、単位マスク200の両端を固定および支持し、単位マスク200を露出させる開口部110を含む。フレーム100は、開口部110を挟んで単位マスク200の延長方向である一方向Xに沿って互いに向かい合う一対の一支持部120と、開口部110を挟んで一方向Xと交差する他の方向に沿って互いに向かい合う一対の他の支持部(図示せず)とを含む。一支持部120には単位マスク200の両端が固定される。本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体1000のフレーム100において、一支持部120が四角形状を有し得るフレーム100の長辺を構成し、他の支持部(図示せず)がフレーム100の短辺を構成することができる。
また、本発明の他の実施形態にかかるマスク組立体のフレームは、多角形または円形の形状に構成され得る。
フレーム100に固定される単位マスク200は、引張力が印加された状態でフレーム100に支持されるが、フレーム100は、単位マスク200に印加された引張力によって単位マスク200の延長方向に沿って圧縮力が作用するため、単位マスク200の圧縮力による変形が生じないように、剛性が大きいステンレス鋼(stainless steel)などのような金属材料で形成できる。
単位マスク200は、一方向Xに延長されて両端がフレーム100に固定され、蒸着工程時、1つの有機発光表示装置に対応して、有機発光表示装置が形成されるマザー基板を蒸着手段に対して露出するパターン開口部POを含む。パターン開口部POは、有機発光表示装置を構成する配線または発光層などに対応するオープンパターンである。単位マスク200は複数個であり得、複数の単位マスク200が一方向Xと交差する他の方向に沿って配置可能である。
単位マスク200は、一方向Xに引っ張られた状態で両端がフレーム100に固定され、第1固定部210と、第2固定部220と、マスク部230と、第1ブロック241と、第2ブロック242と、第3ブロック243と、第1締結部250と、第4ブロック244と、第5ブロック245と、第6ブロック246と、第2締結部260とを含む。
第1固定部210は、開口部110に位置し、一方向Xに配置されたフレーム100の一支持部120の一表面に固定される。第1固定部210は、溶接などの固定方法によってフレーム100の一支持部120の一表面に固定され、一支持部120の一表面から開口部110の下側方向に折曲延長された第1折曲延長部211を含む。
第2固定部220は、第1固定部210と離隔し、一方向Xに配置されたフレーム100の一支持部120の他の表面に固定される。第2固定部220は、溶接などの固定方法によってフレーム100の一支持部120の他の表面に固定され、一支持部120の他の表面から開口部110の下側方向に折曲延長された第2折曲延長部221を含む。
マスク部230は、第1固定部210と第2固定部220との間で第1固定部210および第2固定部220のそれぞれに支持されており、パターン開口部POが形成されて一方向Xに延長された本体部231と、本体部231の一端から開口部110の下側方向に折曲延長され、第1折曲延長部211に対向する第1対向部232と、本体部231の他端から開口部110の下側方向に折曲延長され、第2折曲延長部221に対向する第2対向部233とを含む。マスク部230の本体部231、第1固定部210および第2固定部220は平坦(フラット)な仮想の一直線上に配置され、蒸着工程時、マスク部230の本体部231上には被蒸着体のマザー基板が配置可能である。この時、マザー基板が本体部231、第1固定部210、第2固定部220と接触することができ、マスク部230の本体部231、第1固定部210および第2固定部220が平坦(フラット)な仮想の一直線上に配置されることにより、単位マスク100とマザー基板との間に段差が発生しない。これは、マスク組立体1000を用いた蒸着信頼性が向上する要因として作用する。
マスク部230は、第1固定部210および第2固定部220に比べて薄い厚さを有することができ、マスク部230が薄い厚さを有することにより、パターン開口部POを微細な大きさに形成することができる。これにより、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、シャドウ(shadow)などの意図せぬ蒸着エラーの発生が最小化される。
また、第1固定部210および第2固定部220のそれぞれは、マスク部230に比べて厚い厚さを有することができ、第1固定部210および第2固定部220のそれぞれが厚い厚さを有することにより、溶接工程を利用して第1固定部210および第2固定部220のそれぞれをフレーム100に固定することができる。これにより、パターン開口部POの大きさに応じたマスク部230の厚さとは関係なく、単位マスク200を溶接を利用してフレーム100に強固に固定することができる。
つまり、蒸着工程時に用いられる微細な大きさのパターン開口部POはマスク部230に形成され、フレーム100に対する単位マスク200の固定は、第1固定部210および第2固定部220をフレーム100に溶接して行うことにより、溶接を利用して単位マスク200をフレーム100に強固に固定すると共に、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上したマスク組立体1000が提供される。
第1ブロック241は、フレーム100と第1折曲延長部211との間に位置し、第1折曲延長部211と接触している。
第2ブロック242は、第1折曲延長部211および第1対向部232を挟んで第1ブロック241に対向し、第1対向部232と接触している。第2ブロック242の厚さD2は、第1ブロック241の厚さD1に比べて厚く形成されている。第2ブロック242の厚さD2が第1ブロック241の厚さD1に比べて厚く形成されることにより、マスク部230が第1固定部210に比べて薄い厚さを有しても、第1固定部210の上面とマスク部230の上面との間に段差が発生しないと共に、第1固定部210に比べて厚さの薄いマスク部230の強度が補強される。
第3ブロック243は、第1折曲延長部211と第1対向部232との間に位置し、第1折曲延長部211および第1対向部232のそれぞれと接触している。
第1ブロック241、第2ブロック242および第3ブロック243のそれぞれは、弾性を有することができる。
第1締結部250は、第1ブロック241、第1折曲延長部211、第3ブロック243、第1対向部232および第2ブロック242を貫通し、第1ブロック241、第1折曲延長部211、第3ブロック243、第1対向部232および第2ブロック242のそれぞれを相互固定する。第1締結部250は、スクリュー(screw)の形態を有することができ、第1ブロック241、第1折曲延長部211、第3ブロック243、第1対向部232および第2ブロック242のそれぞれには、第1締結部250と貫通する螺旋が形成できる。
第1ブロック241、第2ブロック242、第3ブロック243および第1締結部250によって第1固定部210にマスク部230が支持されることにより、第1固定部210およびマスク部230の強度が補強されると共に、第1固定部210にマスク部230が強固に支持される。
第4ブロック244は、フレーム100と第2折曲延長部221との間に位置し、第2折曲延長部221と接触している。
第5ブロック245は、第2折曲延長部221および第2対向部233を挟んで第4ブロック244に対向し、第2対向部233と接触している。第5ブロック245は、第4ブロック244に比べて厚い厚さを有し、第5ブロック245が第4ブロック244に比べて厚い厚さを有することにより、マスク部230が第2固定部220に比べて薄い厚さを有しても、第2固定部220の上面とマスク部230の上面との間に段差が発生しないと共に、第2固定部220に比べて厚さの薄いマスク部230の強度が補強される。
第6ブロック246は、第2折曲延長部221と第2対向部233との間に位置し、第2折曲延長部221および第2対向部233のそれぞれと接触している。
第4ブロック244、第5ブロック245および第6ブロック246のそれぞれは、弾性を有することができる。
第2締結部260は、第4ブロック244、第2折曲延長部221、第6ブロック246、第2対向部233および第5ブロック245を貫通し、第4ブロック244、第2折曲延長部221、第6ブロック246、第2対向部233および第5ブロック245のそれぞれを相互固定する。第2締結部260は、スクリュー(screw)の形態を有することができ、第4ブロック244、第2折曲延長部221、第6ブロック246、第2対向部233および第5ブロック245のそれぞれには、第2締結部260と貫通する螺旋が形成できる。
第4ブロック244、第5ブロック245、第6ブロック246および第2締結部260によって第2固定部220にマスク部230が支持されることにより、第2固定部220およびマスク部230の強度が補強されると共に、第2固定部220にマスク部230が強固に支持される。
以上のように、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体1000は、第1固定部210、第2固定部220、マスク部230、第1ブロック241、第2ブロック242、第3ブロック243、第1締結部250、第4ブロック244、第5ブロック245、第6ブロック246、第2締結部260を含む単位マスク200が一方向Xに引っ張られた状態で両端の第1固定部210および第2固定部220がフレーム100に固定されることにより、溶接を利用して単位マスク200がフレーム100に強固に固定されると共に、高解像度の有機発光表示装置を製造する時、蒸着信頼性が向上する。
また、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体1000は、実質的に引張力が加えられる単位マスク200のマスク部230の全長が単位マスク200の全長に比べて短いため、マスク部230の厚さが薄くても、マスク部230が引っ張られた状態で開口部110の下に垂れることが抑制される。つまり、蒸着工程時、蒸着信頼性が向上したマスク組立体1000が提供される。
さらに、本発明の第1実施形態にかかるマスク組立体1000は、実質的にパターン開口部POが形成されたマスク部230が弾性を有し得る第1ブロック241、第2ブロック242、第3ブロック243、第4ブロック244、第5ブロック245および第6ブロック246によって第1固定部210および第2固定部220それぞれの間に支持されることにより、マスク部230に加えられる引張力が第1ブロック241、第2ブロック242、第3ブロック243、第4ブロック244、第5ブロック245および第6ブロック246のそれぞれによって分散するため、単位マスク200全体に加えられる引張力によってマスク部230が変形することが抑制される。つまり、引張力によって単位マスク200の全体的な変形が最小化される。
以下、図2を参照して、本発明の第2実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
以下、第1実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第1実施形態に従う。そして、本発明の第2実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第1実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
図2は、本発明の第2実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
図2に示されるように、本発明の第2実施形態にかかるマスク組立体1002の単位マスク200は、一方向Xに引っ張られた状態で両端がフレーム100に固定され、第1固定部210と、第2固定部220と、マスク部230と、第1ブロック241と、第2ブロック242と、第3ブロック243と、第1締結部250と、第4ブロック244と、第5ブロック245と、第6ブロック246と、第2締結部260とを含む。
第1折曲延長部211と接触する第1ブロック241の表面、第1対向部232と接触する第2ブロック242の表面、および第1折曲延長部211と前記第1対向部232のそれぞれと接触する前記第3ブロック243の表面それぞれは、凹凸形状を有している。第4ブロック244、第5ブロック245、および第6ブロック246それぞれの表面も、凹凸形状を有することができる。
第1ブロック241の表面、第2ブロック242の表面および第3ブロック243の表面それぞれの凹凸形状は、第1折曲延長部211および第1対向部232を挟んで歯車のような形状で互いに噛み合っている。
第1ブロック241の表面、第2ブロック242の表面および第3ブロック243の表面それぞれが凹凸形状を有することにより、第1折曲延長部211は、第1ブロック241の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、第1対向部232は、第2ブロック242の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有する。
第2ブロック242の表面の凹凸形状はマスク部230の本体部231から離隔しており、第1ブロック241の表面の凹凸形状も第1固定部210の上面から離隔している。第2ブロック242の表面の凹凸形状がマスク部230の本体部231から離隔することにより、第2ブロック242の表面の凹凸形状によってマスク部230の本体部231にシワが発生することが防止される。
第1ブロック241、第2ブロック242および第3ブロック243それぞれの表面が凹凸形状を有し、第1折曲延長部211および第1対向部232のそれぞれが第1ブロック241、第2ブロック242および第3ブロック243のそれぞれと接触した状態で凹凸形状を有することにより、単位マスク200に加えられる引張力によって第1ブロック241および第2ブロック242のそれぞれから第1固定部210およびマスク部230のそれぞれが離脱することが抑制される。
つまり、蒸着信頼性が向上したマスク組立体1002が提供される。
以下、図3を参照して、本発明の第3実施形態にかかるマスク組立体を説明する。
以下、第1実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第1実施形態に従う。そして、本発明の第3実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第1実施形態と同一の参照番号を用いて説明する。
図3は、本発明の第3実施形態にかかるマスク組立体の一部分を示す断面図である。
図3に示されるように、本発明の第3実施形態にかかるマスク組立体1003の単位マスク200は、一方向Xに引っ張られた状態で両端がフレーム100に固定され、第1固定部210と、第2固定部220と、マスク部230と、第1ブロック241と、第2ブロック242と、第1締結部250と、第4ブロック244と、第5ブロック245と、第2締結部260とを含む。
第1折曲延長部211と接触する第1ブロック241の表面および第1対向部232と接触する第2ブロック242の表面それぞれは、凹凸形状を有している。
第1折曲延長部211は第1対向部232と接触しており、第2折曲延長部221および第2対向部233も相互接触していてもよい。
第1ブロック241の表面、第2ブロック242の表面それぞれの凹凸形状は、第1折曲延長部211および第1対向部232を挟んで歯車のような形状で互いに噛み合っている。
第1ブロック241の表面、第2ブロック242の表面それぞれが凹凸形状を有することにより、第1折曲延長部211は、第1ブロック241の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、第1対向部232は、第2ブロック242の表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有する。
第2ブロック242の表面の凹凸形状はマスク部230の本体部231から離隔しており、第1ブロック241の表面の凹凸形状も第1固定部210の上面から離隔している。第2ブロック242の表面の凹凸形状がマスク部230の本体部231から離隔することにより、第2ブロック242の表面の凹凸形状によってマスク部230の本体部231にシワが発生することが防止される。
第1ブロック241および第2ブロック242それぞれの表面が凹凸形状を有し、第1折曲延長部211および第1対向部232のそれぞれが相互接触した状態で凹凸形状を有することにより、単位マスク200に加えられる引張力が第1固定部210および第2固定部220のそれぞれからマスク部230に容易に伝達される。
つまり、蒸着信頼性が向上したマスク組立体1003が提供される。
本発明を上述のように好ましい実施形態を通じて説明したが、本発明は、これに限定されず、以下に記載する特許請求の範囲の概念と範囲を逸脱しない限り、多様な修正および変形が可能であることを、本発明の属する技術分野に従事する者は容易に理解するはずである。
100:フレーム
110:開口部
200:単位マスク
210:第1固定部
220:第2固定部
230:マスク部
110:開口部
200:単位マスク
210:第1固定部
220:第2固定部
230:マスク部
Claims (16)
- 開口部を含むフレームに一方向に引っ張られて支持される単位マスクにおいて、
前記開口部に位置し、前記一方向に配置された前記フレームの一表面に固定される第1固定部と、
前記第1固定部と離隔し、前記一方向に配置された前記フレームの他の表面に固定される第2固定部と、
前記第1固定部と前記第2固定部との間で前記第1固定部および前記第2固定部のそれぞれに支持されたマスク部と、を含むことを特徴とする単位マスク。 - 前記マスク部の厚さは、前記第1固定部および前記第2固定部それぞれの厚さに比べて薄いことを特徴とする請求項1に記載の単位マスク。
- 前記第1固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第1折曲延長部を含み、
前記第2固定部は、前記開口部の下側方向に折曲延長された第2折曲延長部を含み、
前記マスク部は、
前記一方向に延長された本体部と、
前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第1折曲延長部に対向する第1対向部と、
前記本体部から前記開口部の下側方向に折曲延長され、前記第2折曲延長部に対向する第2対向部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の単位マスク。 - 前記フレームと前記第1折曲延長部との間に位置し、前記第1折曲延長部と接触する第1ブロックと、
前記第1折曲延長部および前記第1対向部を挟んで前記第1ブロックに対向し、前記第1対向部と接触する第2ブロックと、をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の単位マスク。 - 前記第2ブロックの厚さは、前記第1ブロックの厚さに比べて厚いことを特徴とする請求項4に記載の単位マスク。
- 前記第1折曲延長部と前記第1対向部との間に位置し、前記第1折曲延長部および前記第1対向部のそれぞれと接触する第3ブロックをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の単位マスク。
- 前記第1折曲延長部、前記第1ブロック、前記第1対向部および前記第2ブロックを貫通し、前記第1折曲延長部、前記第1ブロック、前記第1対向部および前記第2ブロックのそれぞれを相互固定する第1締結部をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の単位マスク。
- 前記第1折曲延長部と接触する前記第1ブロックの表面および前記第1対向部と接触する前記第2ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することを特徴とする請求項4に記載の単位マスク。
- 前記第1折曲延長部と接触する前記第1ブロックの表面、前記第1対向部と接触する前記第2ブロックの表面、および前記第1折曲延長部と前記第1対向部のそれぞれと接触する前記第3ブロックの表面それぞれは、凹凸形状を有することを特徴とする請求項6に記載の単位マスク。
- 前記第2ブロックの表面の凹凸形状は、前記マスク部の前記本体部から離隔することを特徴とする請求項8に記載の単位マスク。
- 前記第1折曲延長部は、前記第1ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有し、
前記第1対向部は、前記第2ブロックの表面の凹凸形状に沿って凹凸形状を有することを特徴とする請求項8に記載の単位マスク。 - 前記第1折曲延長部は、前記第1対向部と接触することを特徴とする請求項8に記載の単位マスク。
- 前記フレームと前記第2折曲延長部との間に位置し、前記第2折曲延長部と接触する第4ブロックと、
前記第2折曲延長部および前記第2対向部を挟んで前記第4ブロックに対向し、前記第2対向部と接触する第5ブロックと、をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の単位マスク。 - 前記第2折曲延長部と前記第2対向部との間に位置し、前記第2折曲延長部および前記第2対向部のそれぞれと接触する第6ブロックをさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の単位マスク。
- 前記第2折曲延長部、前記第4ブロック、前記第2対向部および前記第5ブロックを貫通し、前記第2折曲延長部、前記第4ブロック、前記第2対向部および前記第5ブロックのそれぞれを相互固定する第2締結部をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の単位マスク。
- 開口部を含むフレームと、
前記フレームに一方向に引っ張られて支持される1つ以上の請求項1から15のいずれか1項に記載の単位マスクと、を含むことを特徴とするマスク組立体。
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