JP6307221B2 - フレームおよびこれを含むマスク組立体 - Google Patents

Description

本発明は、フレームおよびこれを含むマスク組立体に関し、より詳しくは、有機発光層の蒸着時に利用される単位マスクを支持するフレームおよびこれを含むマスク組立体に関する。

表示装置はイメージを表示する装置であって、最近では有機発光表示装置（ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ ｄｉｓｐｌａｙ）が注目されていている。

有機発光表示装置は自発光の特性を有し、液晶表示装置（ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓｐｌａｙ ｄｅｖｉｃｅ）とは異なって別途の光源を必要としないため、厚さと重量を低減させることができる。また、有機発光表示装置は、低消費電力、高輝度、および高速の応答速度などの高品位の特性を示す。

有機発光表示装置を製造するためには、特定のパターンを有する電極及び有機発光層などを形成しなければならず、その形成法としてマスク組立体を利用した蒸着法が適用され得る。

より詳しくは、有機発光表示装置は、基板に画像表現の基本単位である画素（ｐｉｘｅｌ）がマトリックス状に配列され、それぞれの画素ごとに赤色（Ｒｅｄ）、緑色（Ｇｒｅｅｎ）、青色（Ｂｌｕｅ）、および白色（Ｗｈｉｔｅ）などの光を発光するそれぞれの有機発光層を間において陽極の第１電極と陰極の第２電極とが順次に形成された有機発光素子が配置される構成を有する。ここで、有機発光層をなす有機物質は、水分および酸素などに極めて弱く、有機発光層を形成する工程および有機発光層を形成した後にも水分から徹底的に隔離させなければならないため、通常のフォトリソグラフィ工程を利用してパターニングを行うことが難しい。したがって、有機発光層は、主に各パターンに対応する部分にのみ蒸着物質が貫通するための開口されたパターン部が形成されているマスクを利用して形成する。

最近、開口部を備えたフレーム、開口部に対応して両端部がフレームに固定されるバンド状の複数の単位マスクを含むマスク組立体が使用されている。

このような従来のマスク組立体では、単位マスクがその長さ方向に引張力が加えられた状態でフレームに支持されるため、単位マスクに加えられた長さ方向の引張力に起因する、意図しなかったフレームの変形が生じるという問題点がある。

本発明は、上述した問題点を解決するためのものであって、単位マスクに加えられた長さ方向の引張力に起因する変形が最小限に抑えられたフレームおよびこれを含むマスク組立体を提供することにその目的がある。

上述した技術的課題を達成するために、本発明は、第１方向に引張力が加えられた単位マスクの両端部を支持するフレームにおいて、前記単位マスクを露出させる開口部を形成するフレーム本体部、および前記フレーム本体部を貫通するように形成された第１貫通部を含むフレームを提供する。

前記フレーム本体部の上面には、前記第１方向と交差する第２方向に並べて配置された複数の前記単位マスクが固定されてもよい。

前記フレーム本体部は、前記開口部を間において互いに対向すると共に前記第２方向に延在する一対の長辺部と、前記開口部を間において互いに対向すると共に前記第１方向に延在する一対長の短辺部と、互いに隣接した前記長辺部と前記短辺部との間を連結する四隅のコーナー部と、を含んでもよい。

前記第１貫通部は、前記長辺部の長手方向の中央領域に形成されてもよい。

前記第１貫通部は、前記第２方向に長い長方形の形態であってもよい。

前記フレーム本体部の下面から陥没した第１グルーブであって、前記第２方向に沿って前記第１貫通部と前記コーナー部との間に亘って延在する第１グルーブをさらに含んでもよい。

前記第１グルーブは、複数形成されていてもよい。

前記第１グルーブは、少なくとも部分的に、前記コーナー部側に向かって漸次に前記第１方向へ拡幅されていてもよい。

前記第１貫通部は、前記長辺部の長手方向の中心を間において互いに離隔する複数の第１サブ貫通部を含んでもよい。

前記短辺部を貫通するように形成された第２貫通部をさらに含んでもよい。

前記第２貫通部は、前記短辺部の両端に配設された２つの前記コーナー部の間に亘って前記第１方向に沿って延在してもよい。

前記第２貫通部は、前記第１方向に長い長方形の形態であってもよい。

前記第２貫通部は、前記短辺部の長手方向の中心を間において互いに離隔する複数の第２サブ貫通部を含んでもよい。

前記第２貫通部と前記開口部との間に位置して前記第２貫通部内に面していると共に前記フレーム本体部の前記上面から前記開口部側に傾斜して前記フレーム本体部の下面まで延びた第１傾斜面と、前記第２貫通部と前記フレーム本体部の縁との間に位置して前記第２貫通部内に面していると共に前記フレーム本体部の前記上面から前記開口部側に傾斜して前記フレーム本体部の下面まで延びた第２傾斜面と、をさらに含んでもよい。

前記第１傾斜面および前記第２傾斜面のそれぞれは、前記第２貫通部と前記第１方向への長さが同一であってもよい。

前記第１傾斜面の前記上面側の縁部は前記開口部と離隔しており、前記第２傾斜面の前記上面側の縁部は前記フレーム本体部の前記縁に接続されていてもよい。

前記フレーム本体部の下面から陥没した第２グルーブであって、前記第２貫通部と前記開口部との間に位置して前記第２貫通部に連通された第２グルーブと、前記フレーム本体部の前記上面から陥没した第３グルーブであって、前記第２貫通部と前記フレーム本体部の縁との間に位置して前記第２貫通部に連通された第３グループと、をさらに含んでもよい。

前記第２グルーブおよび前記第３グルーブのそれぞれは、前記第２貫通部と前記第１方向への長さが同一であってもよい。

前記第２グルーブは前記開口部と離隔しており、前記第３グルーブは前記フレーム本体部の前記縁と離隔していてもよい。

また、本発明は、他の態様として、前記フレーム、および前記第１方向に引張力が加えられて前記両端部が前記フレームに支持された１つ以上の単位マスクを含むマスク組立体を提供する。

上述した本発明によれば、単位マスクに加えられた長さ方向の引張力に起因する変形が最小限に抑えられたフレームおよびこれを含むマスク組立体が提供される。

本発明の第１実施形態に係るマスク組立体を示す斜視図である。 図１に示されたフレームを示す図である。 図２に示されたフレームの効果を説明するための図である。 本発明の第２実施形態に係るフレームを示す図である。 本発明の第３実施形態に係るフレームを示す図である。 図５に示されたフレームの効果を説明するための図である。 本発明の第４実施形態に係るフレームを示す図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の多様な実施形態について本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は多様に異なる形態に実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されない。

本発明を明確に説明するために、説明上で不必要な部分は省略し、明細書全体を通して同一または類似する構成要素については同一の参照符号を付与する。

また、多くの実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を付与して代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。

また、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは、説明の便宜のために任意に示したため、本発明は必ずしも図示されたものに限定されるのではない。

また、明細書全体で、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、これは特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含むことを意味する。

以下、図１〜図３を参照しながら、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体を説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体を示す斜視図である。

図１に示されているように、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体は、複数の単位マスク１００およびフレーム２００を含む。本発明の第１実施形態に係るマスク組立体は複数の単位マスク１００を含むが、本発明の他の実施形態に係るマスク組立体は１つの単位マスクを含んでもよい。

単位マスク１００は、その長さ方向である第１方向に延在したバンド状の部材であり、第１方向に引張力が加えられた状態で両端部１００ａがフレーム２００に支持される。フレーム２００には、複数の単位マスク１００が設けられており、複数の単位マスク１００はそれぞれフレーム２００上に、その幅方向である第２方向、すなわち、第１方向と交差（直交）する方向に並べて互いに隣接して配置される。単位マスク１００の両端部１００ａは、平坦（ｆｌａｔ）な形状に形成される。本実施形態では、単位マスク１００全体が平坦になっているが、これに限定されず、単位マスク１００の中央領域が陥没した馬蹄のような形状など多様な形状に形成されてもよい。単位マスク１００の両端部１００ａは、フレーム２００のフレーム本体部２１０の上面２１０ａに固定されるが、一例として溶接を用いて固定されてもよい。

単位マスク１００は、パターン部１１０を含む。

１つの単位マスク１００には、第１方向に並んだ複数のパターン部１１０が配置されている。パターン部１１０は、１つの有機発光表示装置に対応してもよく、この場合、単位マスク１００を通じて単一工程で多数の有機発光表示装置を構成するパターンを有機発光表示装置が製造されるマザー基板に同時に形成してもよい。つまり、パターン部１１０は、有機発光表示装置を構成するパターンの蒸着領域に対応して単位マスク１００に配置される。パターン部１１０は、有機発光表示装置を構成するパターンがパターン部１１０を通じてマザー基板に形成されるように単位マスク１００を貫通するオープンパターン形式となっている。パターン部１１０は、ストライプ（ｓｔｒｉｐｅ）型の複数のスリット（ｓｌｉｔ）を含んでもよい。

フレーム２００は、第１方向に引張力が加えられた複数の単位マスク１００のそれぞれの両端部１００ａを固定および支持する。フレーム２００に固定される単位マスク１００は、第１方向に引張力が印加された状態で単位マスク１００に支持される。これにより、単位マスク１００の弾性により、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に沿って圧縮力が作用するが、フレーム２００は、フレーム２００に固定された単位マスク１００の圧縮力による変形が起こらないように剛性が大きいステンレス鋼（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）などのような金属材料で形成されてもよい。

図２は、図１に示されたフレームを示す図である。図２（ａ）は、フレーム２００の上側を示す図であり、図２（ｂ）は、フレーム２００の下側を示す図である。

図２に示されているように、フレーム２００は、フレーム本体部２１０、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第１傾斜面２５０、第２傾斜面２６０を含む。

フレーム本体部２１０は、単位マスク１００のパターン部１１０を露出させる開口部ＯＡを形成し、開口部ＯＡに沿って閉ループ（ｃｌｏｓｅｄ ｌｏｏｐ）状に延在している。フレーム本体部２１０は四角形の形状を有し、一対の長辺部２１１、一対の短辺部２１２、および四隅のコーナー部２１３を含む。フレーム本体部２１０は四角形の形状を有しているが、本発明の他の実施形態に係るフレーム本体部は、三角形、多角形、または円形の形状を有してもよい。

一対（２つ）の長辺部２１１は、開口部ＯＡを間において互いに対向している。長辺部２１１は、第２方向に延在している。長辺部２１１の長さは、短辺部２１２の長さと対比して長い。長辺部２１１には、第１貫通部２２０および第１グルーブ２３０が形成されている。

一対（２つ）の短辺部２１２は、開口部ＯＡを間において互いに対向している。短辺部２１２は、第１方向に延在している。短辺部２１２の長さは、長辺部２１１の長さと対比して短い。短辺部２１２には、第２貫通部２４０、第１傾斜面２５０、および第２傾斜面２６０が形成されている。

四隅（４つ）のコーナー部２１３の各々は、隣接した長辺部２１１と短辺部２１２との間を連結している。

第１貫通部２２０は、長辺部２１１の長手方向の中央領域に形成されており、フレーム本体部２１０を貫通するように形成されている。第１貫通部２２０は、第２方向に長い長方形の形状を有している。第１貫通部２２０がフレーム本体部２１０を貫通するように形成されることにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。

第１貫通部２２０は、長辺部２１１の長手方向の中心を間において互いに離隔する複数の第１サブ貫通部２２１を含む。第１貫通部２２０が互いに離隔した複数の第１サブ貫通部２２１を含むことにより、第１貫通部２２０が形成されることによって生じ得るフレーム２００の強度低下が抑制される。

第１グルーブ２３０は、フレーム本体部２１０の下面２１０ｂから陥没した溝部であり、第２方向に沿って第１貫通部２２０とコーナー部２１３との間に亘って延在している。第１グルーブ２３０がフレーム本体部２１０の下面２１０ｂから陥没していることにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。

フレーム本体部２１０には、複数の第１グルーブ２３０が設けられており、各第１グルーブ２３０は、フレーム本体部２１０の下面２１０ｂから陥没していると共に、第２方向に沿って第１サブ貫通部２２１と第１サブ貫通部２２１との間に亘って延在している。第１グルーブ２３０は、第１サブ貫通部２２１からコーナー部２１３側に向かって漸次に第１方向へ拡幅されている。つまり、第１グルーブ２３０がコーナー部２１３側から第１サブ貫通部２２１へ向かうに従って第１方向への幅が減少することにより、第１グルーブ２３０が形成されることによって生じ得るフレーム２００の強度低下が抑制される。

第２貫通部２４０は、短辺部２１２を貫通するように形成されている。第２貫通部２４０は、短辺部２１２の両端に位置する２つのコーナー部２１３の間に亘って、つまり前記２つのコーナー部２１３のうちの一方から他方まで延在している。つまり、第２貫通部２４０は、上記した２つのコーナー部２１３の間を接続している。第２貫通部２４０は、第１方向に長い長方形の形状を有している。第２貫通部２４０がフレーム本体部２１０を貫通するように形成されることにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。

第２貫通部２４０は、短辺部２１２の長手方向の中心を間において互いに離隔する複数の第２サブ貫通部２４１を含む。第２貫通部２４０が互いに離隔した複数の第２サブ貫通部２４１を含むことにより、第２貫通部２４０が形成されることによって生じ得るフレーム２００の強度低下が抑制される。

第１傾斜面２５０は、第２貫通部２４０と開口部ＯＡとの間に位置して第２貫通部２４０内に面している。第１傾斜面２５０は、フレーム本体部２１０の上面２１０ａからフレーム本体部２１０の下面２１０ｂまで延在した逆テーパを有する形状、つまりフレーム本体部２１０の上面２１０ａから開口部ＯＡ側に傾斜してフレーム本体部２１０の下面２１０ｂまで延びた形状を有しており、第１傾斜面２５０の上面２１０ａ側の縁部は、開口部ＯＡと離隔している。第１傾斜面２５０は、第２貫通部２４０と第１方向への長さが同一であるように第１方向に延在している。第１傾斜面２５０が第２貫通部２４０と対向して第１方向に延在した逆テーパを有する形状を有することにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。

第２傾斜面２６０は、第２貫通部２４０とフレーム本体部２１０の縁２１０ｃとの間に位置して第２貫通部２４０に面している。第２傾斜面２６０は、フレーム本体部２１０の上面２１０ａからフレーム本体部２１０の下面２１０ｂまで延在したテーパを有する形状、つまり、フレーム本体部２１０の上面２１０ａから開口部ＯＡ側に傾斜してフレーム本体部２１０の下面２１０ｂまで延びた形状を有しており、第２傾斜面２６０の上面２１０ａ側の縁部は、フレーム本体部２１０の縁２１０ｃに接続されている。つまり、第２傾斜面２６０の上面２１０ａ側の縁部は、フレーム本体部２１０の縁２１０ｃから屈曲されたような形状延在している。第２傾斜面２６０は、第２貫通部２４０と第１方向への長さが同一であるように第１方向に延長している。第２傾斜面２６０が第２貫通部２４０と対向して第１方向に延在したテーパを有する形状を有することにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。

以下、図３を参照しながら、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体のフレーム２００の変形が最小限に抑えられることを確認した実験を説明する。

図３は、図２に示されたフレームの効果を説明するための図である。図３（ａ）は、比較例に係るフレームを示す図であり、図３（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体のフレームの実験例を示す図である。

まず、図３（ａ）に示された比較例に係る比較フレーム２０を準備した。比較例に係る比較フレーム２０の外郭長辺の長さは９３０ｍｍであり、外郭短辺の長さは５５０ｍｍであり、開口部を形成する内郭長辺の長さは７３０ｍｍであり、開口部を形成する内郭短辺の長さは４００ｍｍであり、厚さは４０ｍｍである。このような比較フレーム２０に第１方向に０．０８％だけ引張された単位マスクを固定した場合をＤａｓｓａｕｌｔ Ｓｙｓｔｅｍｅｓ社のＳＩＭＵＬＩＡで販売する構造、電気および熱解析ツールであるＡＢＡＱＵＳを利用してシミュレーション（ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ）したところ、比較フレーム２０は、重力方向であるｇ方向に２７．２３ｕｍの変形が発生することを確認した。比較例に係る比較フレーム２０の質量は７０．７ｋｇに設定した。

次に、図３（ｂ）に示された本発明の第１実施形態に係るマスク組立体のフレーム２００を準備した。第１実施形態に係るマスク組立体のフレーム２００の外郭長辺の長さは９３０ｍｍであり、外郭短辺の長さは５５０ｍｍであり、開口部を形成する内郭長辺の長さは７３０ｍｍであり、開口部を形成する内郭短辺の長さは４００ｍｍであり、厚さは４０ｍｍである。このようなフレーム２００に第１方向に０．０８％だけ引張された単位マスクを固定した場合をＡＢＡＱＵＳを利用してシミュレーションしたところ、フレーム２００は、重力方向であるｇ方向に１４．７４μｍの変形が発生することを確認した。また、フレーム２００の質量は４６．４ｋｇに軽量化されることを確認した。

以上の実験を通じて確認したように、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体のフレーム２００は、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第１傾斜面２５０、第２傾斜面２６０を含むことにより、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２００に加えられる応力（引張力）が分散されるため、フレーム２００の変形が最小限に抑えられる。これは、単位マスク１００を利用したときにフレーム２００の変形によって発生する蒸着エラーが抑制される要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の信頼性が向上する。

また、本発明の第１実施形態に係るマスク組立体のフレーム２００は、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第１傾斜面２５０、第２傾斜面２６０を含むことにより、フレーム２００自体が軽量化されるため、フレーム２００およびフレーム組立体の取り扱いが容易である。これは、全体的な蒸着工程の容易性が向上する要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の時間が短縮される。

以下、図４を参照しながら、本発明の第２実施形態に係るフレームを説明する。

以下では、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第１実施形態に従う。また、本発明の第２実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第１実施形態と同一の参照番号を付与して説明する。

図４は、本発明の第２実施形態に係るフレームを示す図である。図４（ａ）は、フレーム２０２の上側を示す図であり、図４（ｂ）は、フレーム２０２の下側を示す図である。

図４に示されているように、フレーム２０２は、フレーム本体部２１０、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第１傾斜面２５０、第２傾斜面２６０を含む。

第１貫通部２２０は、長辺部２１１の長手方向の中心を貫通している。

第２貫通部２４０は、短辺部２１２の長手方向の中心を貫通している。

以上のように、本発明の第２実施形態に係るフレーム２０２は、第１実施形態に係るフレーム２００と異なり、第１貫通部２２０および第２貫通部２４０のそれぞれが長辺部２１１および短辺部２１２のそれぞれの長手方向の中心を貫通していることにより、第１実施形態に係るフレーム２００と対比してフレーム２０２自体がより軽量化されるため、フレーム２０２およびフレーム組立体の取り扱いが極めて容易である。これは、全体的な蒸着工程の容易性がさらに向上する要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の時間がより短縮される。

以下、図５および図６を参照しながら、本発明の第３実施形態に係るフレームを説明する。

以下では、第１実施形態と区別される特徴的な部分のみ抜粋して説明し、説明が省略された部分は第１実施形態に従う。また、本発明の第３実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第１実施形態と同一の参照番号を付与して説明する。

図５は、本発明の第３実施形態に係るフレームを示す図である。図５（ａ）は、フレーム２０３の上側を示す図であり、図５（ｂ）は、フレーム２０３の下側を示す図である。

図５に示されているように、フレーム２０３は、フレーム本体部２１０、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第２グルーブ２８０、第３グルーブ２９０を含む。

第２グルーブ２８０は、第２貫通部２４０と開口部ＯＡとの間に位置して第２貫通部２４０に連通している。第２グルーブ２８０は、フレーム本体部２１０の下面２１０ｂから陥没するように形成されており、開口部ＯＡと離隔している。第２グルーブ２８０は、第２貫通部２４０と第１方向への長さが同一であるように第１方向に延在している。第２グルーブ２８０が第２貫通部２４０に連通してフレーム本体部２１０の下面２１０ｂから陥没するように形成されていることにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２０３に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２０３の変形が最小限に抑えられる。

第３グルーブ２９０は、第２貫通部２４０とフレーム本体部２１０の縁２１０ｃとの間に位置して第２貫通部２４０に連通している。第３グルーブ２９０は、フレーム本体部２１０の上面２１０ａから陥没するように形成されており、フレーム本体部２１０の縁２１０ｃと離隔している。第３グルーブ２９０は、第２貫通部２４０と第１方向への長さが同一であるように第１方向に延在している。第３グルーブ２９０が第２貫通部２４０に連通してフレーム本体部２１０の上面２１０ａから陥没するように形成されていることにより、フレーム本体部２１０自体が軽量化されると同時に、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２０３に加えられる応力（引張力）が分散され、フレーム２０３の変形が最小限に抑えられる。

以下、図６を参照しながら、本発明の第３実施形態に係るマスク組立体のフレーム２０３の変形が最小限に抑えられることを確認した実験を説明する。

図６は、図５に示されたフレームの効果を説明するための図である。図６（ａ）は、比較例によるフレームを示す図であり、図６（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係るフレームの実験例を示す図である。

まず、図６（ａ）に示された比較例に係る比較フレーム２０を準備した。比較例に係る比較フレーム２０の外郭長辺の長さは９３０ｍｍであり、外郭短辺の長さは５５０ｍｍであり、開口部を形成する内郭長辺の長さは７３０ｍｍであり、開口部を形成する内郭短辺の長さは４００ｍｍであり、厚さは４０ｍｍである。このような比較フレーム２０に１方向に０．０８％だけ引張された単位マスクを固定した場合をＤａｓｓａｕｌｔ Ｓｙｓｔｅｍｅｓ社のＳＩＭＵＬＩＡで販売する構造、電気、および熱解析ツールであるＡＢＡＱＵＳを利用してシミュレーション（ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ）したところ、比較フレーム２０は、重力方向であるｇ方向に２７．２３μｍの変形が発生することを確認した。比較例に係る比較フレーム２０３の質量は７０．７ｋｇに設定した。

次に、図６（ｂ）に示された本発明の第３実施形態に係るフレーム２０３を準備した。第３実施形態に係るフレーム２０３の外郭長辺の長さは９３０ｍｍであり、外郭短辺の長さは５５０ｍｍであり、開口部を形成する内郭長辺の長さは７３０ｍｍであり、開口部を形成する内郭短辺の長さは４００ｍｍであり、厚さは４０ｍｍである。このようなフレーム２０３に１方向に０．０８％だけ引張された単位マスクを固定した場合をＡＢＡＱＵＳを利用してシミュレーションしたところ、フレーム２０３は、重力方向であるｇ方向に７．５７μｍの変形が発生することを確認した。また、フレーム２０３の質量は４６．６ｋｇに軽量化されることを確認した。

以上の実験を通じて確認したように、本発明の第３実施形態に係るマスク組立体のフレーム２０３は、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第２グルーブ２８０、第３グルーブ２９０を含むことにより、単位マスク１００の長さ方向である第１方向に加えられる引張力に起因する圧縮力によってフレーム２０３に加えられる応力（引張力）が分散されるため、フレーム２０３の変形が最小限に抑えられる。これは、単位マスク１００を利用した際にフレーム２０３の変形によって発生する蒸着エラーが抑制される要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の信頼性が向上する。

また、本発明の第３実施形態に係るマスク組立体のフレーム２０３は、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第２グルーブ２８０、第３グルーブ２９０を含むことにより、フレーム２０３自体が軽量化されるため、フレーム２０３およびフレーム組立体の取り扱いが容易である。これは、全体的な蒸着工程の容易性が向上する要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の時間が短縮される。

以下、図７を参照しながら、本発明の第４実施形態に係るフレームを説明する。

以下では、第３実施形態と区別される特徴的な部分のみを抜粋して説明し、説明が省略された部分は第３実施形態に従う。また、本発明の第４実施形態では、説明の便宜のために、同一の構成要素については本発明の第１実施形態と同一の参照番号を付与して説明する。

図７は、本発明の第４実施形態に係るフレームを示す図である。図７（ａ）は、フレーム２０４の上側を示す図であり、図４（ｂ）は、フレーム２０４の下側を示す図である。

図７に示されているように、フレーム２０４は、フレーム本体部２１０、第１貫通部２２０、第１グルーブ２３０、第２貫通部２４０、第２グルーブ２８０、第３グルーブ２９０を含む。

第１貫通部２２０は、長辺部２１１の長手方向の中心を貫通している。

第２貫通部２４０は、短辺部２１２の長手方向の中心を貫通している。

以上のように、本発明の第４実施形態に係るフレーム２０４は、第３実施形態に係るフレーム２０３と異なり、第１貫通部２２０および第２貫通部２４０のそれぞれが長辺部２１１および短辺部２１２のそれぞれの長手方向の中心を貫通していることにより、第３実施形態に係るフレーム２０３と対比して、フレーム２０４自体がより軽量化されるため、フレーム２０４およびフレーム組立体の取り扱いが極めて容易である。これは、全体的な蒸着工程の容易性がさらに向上する要因として作用し、これにより、フレーム組立体を利用した蒸着工程の時間がより短縮される。

以上、本発明の好適な実施形態を通じて説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲の概念と範囲を逸脱しない限り、多様な修正および変形が可能であるということを本発明が属する技術分野に従事する者は容易に理解することができる。

１００…単位マスク
２００…フレーム
２１０…フレーム本体部
２２０…第１貫通部

Claims (16)

1. 第１方向に引張力が加えられた単位マスクの両端部を支持するフレームにおいて、
   前記単位マスクを露出させる開口部を形成するフレーム本体部と、
   前記フレーム本体部を貫通するように形成された第１貫通部と、
   を含み、
   前記フレーム本体部の上面に、前記第１方向と交差する第２方向に並べて配置された複数の前記単位マスクが固定され、
   前記フレーム本体部は、
   前記開口部を間において互いに対向すると共に前記第２方向に延在する一対の長辺部と、
   前記開口部を間において互いに対向すると共に前記第１方向に延在する一対の短辺部と、
   互いに隣接した前記長辺部と前記短辺部との間を連結する四隅のコーナー部と、
   を含み、
   前記第１貫通部は、前記第２方向に長い長方形の形態で前記長辺部の長手方向の中央領域に形成されていることを特徴とするフレーム。
2. 前記フレーム本体部の下面から陥没して延長した第１グルーブであって、前記第２方向に沿って前記第１貫通部と前記コーナー部との間に亘って延在する第１グルーブをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフレーム。
3. 前記第１グルーブは、複数形成されていることを特徴とする請求項２に記載のフレーム。
4. 前記第１グルーブは、少なくとも部分的に、前記コーナー部側に向かって漸次に前記第１方向へ拡幅されていることを特徴とする請求項２に記載のフレーム。
5. 前記第１貫通部は、前記長辺部の中心を間において互いに離隔する複数の第１サブ貫通部を含むことを特徴とする請求項１に記載のフレーム。
6. 前記短辺部を貫通するように形成された第２貫通部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフレーム。
7. 前記第２貫通部は、前記短辺部の両端に配設された２つの前記コーナー部の間に亘って前記第１方向に沿って延在することを特徴とする請求項６に記載のフレーム。
8. 前記第２貫通部は、前記第１方向に長い長方形の形態であることを特徴とする請求項７に記載のフレーム。
9. 前記第２貫通部は、前記短辺部の長手方向の中心を間において互いに離隔する複数の第２サブ貫通部を含むことを特徴とする請求項７に記載のフレーム。
10. 前記第２貫通部と前記開口部との間に位置して前記第２貫通部内に面していると共に前記フレーム本体部の前記上面から前記開口部側に傾斜して前記フレーム本体部の下面まで延びた第１傾斜面と、
    前記第２貫通部と前記フレーム本体部の縁との間に位置して前記第２貫通部内に面していると共に前記フレーム本体部の前記上面から前記開口部側に傾斜して前記フレーム本体部の下面まで延びた第２傾斜面と、
    をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のフレーム。
11. 前記第１傾斜面および前記第２傾斜面のそれぞれは、前記第２貫通部と前記第１方向への長さが同一であることを特徴とする請求項１０に記載のフレーム。
12. 前記第１傾斜面の前記上面側の縁部は、前記開口部と離隔しており、
    前記第２傾斜面の前記上面側の縁部は、前記フレーム本体部の前記縁に接続されていることを特徴とする請求項１０に記載のフレーム。
13. 前記フレーム本体部の下面から陥没した第２グルーブであって、前記第２貫通部と前記開口部との間に位置して前記第２貫通部に連通された第２グルーブと、
    前記フレーム本体部の前記上面から陥没した第３グルーブであって、前記第２貫通部と前記フレーム本体部の縁との間に位置して前記第２貫通部に連通された第３グルーブと、
    をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のフレーム。
14. 前記第２グルーブおよび前記第３グルーブのそれぞれは、前記第２貫通部と前記第１方向への長さが同一であることを特徴とする請求項１３に記載のフレーム。
15. 前記第２グルーブは、前記開口部と離隔しており、
    前記第３グルーブは、前記フレーム本体部の前記縁と離隔していることを特徴とする請求項１３に記載のフレーム。
16. 請求項１乃至１５のいずれか一項に記載のフレームと、
    前記第１方向に引張力が加えられて前記両端部が前記フレームに支持された１つ以上の単位マスクと、
    を含むことを特徴とするマスク組立体。