KR102219210B1 - 단위 마스크 및 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크는 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부, 각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되며 제1 형태를 가지는 복수의 액티브 패턴, 각각이 상기 복수의 액티브 패턴 각각의 테두리를 둘러싸며 상기 액티브 패턴의 형태를 정의하는 복수의 제1 립, 및 각각이 상기 복수의 제1 립을 둘러싸며, 제2 형태를 가지는 복수의 제1 더미 패턴을 포함한다.

Description

단위 마스크 및 마스크 조립체{MASK AND MASK ASSEMBLY}
본 발명은 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기층을 증착할 때 이용되는 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 유기 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
보다 상세하게, 유기 발광 표시 장치는 기판에 화상 표현의 기본 단위인 화소(piXel)가 매트릭스 형태로 배열되고, 각각의 화소마다 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue), 백색(white) 등의 빛을 발광하는 각각의 유기 발광층을 사이에 두고 양극의 제1 전극과 음극의 제2 전극이 순차적으로 적층된 유기 발광 소자가 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 유기 발광층을 이루는 유기 물질은 수분 및 산소 등에 매우 취약하여 유기 발광층을 형성하는 공정 및 유기 발광층을 형성한 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하므로 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝을 수행하기가 어렵다. 따라서, 유기 발광층 등은 주로 각 패턴에 대응되는 부분으로만 증착 물질이 관통하기 위한 액티브 패턴이 형성되어 있는 마스크를 이용하여 형성한다.
최근, 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양 단부가 프레임에 고정되는 밴드 모양의 복수의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체가 사용되고 있었다.
이러한 종래의 마스크 조립체는 단위 마스크에 인장력이 가해져 프레임에 지지되기 때문에, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
또한, 액티브 패턴이 다양한 형태를 가지더라도, 취급의 용이성이 향상된 단위 마스크 및 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면은 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서, 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부, 각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되며, 제1 형태를 가지는 복수의 액티브 패턴, 각각이 상기 복수의 액티브 패턴 각각의 테두리를 둘러싸며, 상기 액티브 패턴의 형태를 정의하는 복수의 제1 립, 및 각각이 상기 복수의 제1 립을 둘러싸며, 제2 형태를 가지는 복수의 제1 더미 패턴을 포함하는 단위 마스크를 제공한다.
상기 제2 형태는 사각형일 수 있다.
상기 제1 형태는 원형일 수 있다.
상기 제1 형태는 다각형일 수 있다.
상기 액티브 패턴 및 상기 제1 더미 패턴 각각은 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 패턴 형태를 가질 수 있다.
상기 제1 립은 상기 액티브 패턴 및 상기 제1 더미 패턴 대비 더 두꺼운 두께를 가질 수 있다.
상기 제1 립은 하면으로부터 함몰된 하나 이상의 제1 함몰부를 포함할 수 있다.
상기 제1 립은 상면으로부터 함몰된 하나 이상의 제2 함몰부를 포함할 수 있다.
상기 제1 립과 상기 제1 더미 패턴 사이에 위치하는 제2 립, 및 상기 제1 립과 상기 제2 립 사이에 위치하는 제2 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 립은 상기 제1 립의 확장된 형태를 가질 수 있다.
상기 액티브 패턴, 상기 제1 더미 패턴, 상기 제2 더미 패턴 각각은 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 패턴 형태를 가질 수 있다.
상기 액티브 패턴, 상기 제1 더미 패턴, 상기 제2 더미 패턴 각각은 동일한 패턴 형태를 가질 수 있다.
상기 액티브 패턴은 상기 제1 더미 패턴 및 상기 제2 더미 패턴 각각과 다른 패턴 형태를 가질 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 및 상기 개구부 상에 위치하는 상술한 하나 이상의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상기 단위 마스크는 복수이며, 복수의 상기 단위 마스크 각각은 상기 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치될 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체가 제공된다.
또한, 액티브 패턴이 다양한 형태를 가지더라도, 취급의 용이성이 향상된 단위 마스크 및 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 8은 도 7의 B 부분을 확대한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 일 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 일 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임(100) 및 복수의 단위 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 복수의 단위 마스크(200) 각각의 양단을 고정 및 지지하고, 단위 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 제1 방향(x)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(130)를 더 포함한다. 제1 지지부(120)에는 단위 마스크(200)의 양 단부(200a)가 지지된다. 일례로, 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 용접 등의 고정 방법을 이용해 양 단부(200a)가 프레임(100)의 제1 지지부(120)에 지지된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120)가 사각형 형상을 가진 프레임(100)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(130)가 프레임(100)의 단변을 구성하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임에서 제1 지지부 및 제2 지지부는 실질적으로 동일한 길이로 형성되거나 제2 지지부가 장변을 구성하고 제1 지지부가 단변을 구성할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
프레임(100)에 고정되는 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 인가된 상태로 프레임(100)에 지지되는데, 프레임(100)은 단위 마스크(200)에 인가된 제1 방향(x)으로의 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 연장 방향인 제1 방향(x)을 따라 압축력을 작용 받기 때문에, 단위 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성될 수 있다.
단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 연장된 밴드 형태이며, 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부(200a)가 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크(200)는 복수며, 복수의 단위 마스크(200) 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 프레임(100)에 배치되어 프레임(100)에 지지된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 3은 도 2의 A 부분을 확대한 평면도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따른 단면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1)을 포함한다.
단위 마스크 본체부(MM)는 제1 방향(x)을 따라 연장된 밴드 형태이며, 프레임(100)의 개구부(110) 상에 위치하여, 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크 본체부(MM)에는 제1 방향(x)을 따라 상호 이격되어 배치된 복수의 액티브 패턴(AP)이 형성되어 있다.
액티브 패턴(AP)은 복수이며, 복수의 액티브 패턴(AP) 각각은 하나의 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 상호 이격되어 배치되어 있다. 액티브 패턴(AP)은 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응될 수 있으며, 이 경우 단위 마스크(200)를 통해 단일 공정으로 여러 개의 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들을 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 동시에 형성할 수 있다. 즉, 액티브 패턴(AP)은 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들의 증착 영역에 대응하여 단위 마스크(200)에 배치된다. 액티브 패턴(AP)은 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들이 액티브 패턴(AP)을 통하여 마더 기판에 형성될 수 있도록 단위 마스크(200)를 관통하는 개구(open) 형태를 가진다. 액티브 패턴(AP)은 스트라이프(stripe) 패턴 또는 도트(dot) 패턴 등의 다양한 패턴 형태를 가질 수 있다. 일례로, 본 발명의 일 실시예에서 액티브 패턴(AP)은 도트 패턴 형태를 가진다.
복수의 액티브 패턴(AP) 각각은 전체적으로 원형의 제1 형태를 가지며, 이러한 액티브 패턴(AP)을 통해 유기 발광 패턴들이 형성된 유기 발광 표시 장치는 원형의 표시 영역을 가질 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 액티브 패턴(AP)은 원형의 제1 형태를 가지나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 다른 실시예에 따른 액티브 패턴은 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형, 칠각형, 팔각형, 구각형 등의 다각형 형태 또는 폐루프(closed loop) 형태 등을 가질 수 있다.
제1 립(RI1)은 복수이며, 복수의 제1 립(RI1) 각각은 복수의 액티브 패턴(AP) 각각의 테두리를 둘러싸고 있다. 제1 립(RI1)은 액티브 패턴(AP)의 제1 형태를 정의한다. 제1 립(RI1)은 원형의 밴드 형태를 가지고 있다.
제1 립(RI1)은 액티브 패턴(AP) 및 제1 더미 패턴(DP1) 대비 더 두꺼운 두께를 가지고 있다. 이로 인해 제1 방향(x)으로 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도, 인장력에 의해 우선적으로 제1 더미 패턴(DP1)의 형태가 변형되기 때문에, 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된다.
제1 더미 패턴(DP1)은 복수이며, 복수의 제1 더미 패턴(DP1) 복수의 제1 립(RI1)을 둘러싸고 있다. 제1 더미 패턴(DP1)은 제1 형태를 가지는 액티브 패턴(AP)과 다른 형태인 제2 형태를 가지고 있다. 제1 더미 패턴(DP1)을 통해서는 유기 발광 패턴들이 형성되지 않으며, 유기 발광 패턴들의 증착 공정 시 제1 더미 패턴(DP1) 상에는 마스크가 위치할 수 있다. 제1 더미 패턴(DP1)은 스트라이프(stripe) 패턴 또는 도트(dot) 패턴 등의 다양한 패턴 형태를 가질 수 있다. 일례로, 본 발명의 일 실시예에서 제1 더미 패턴(DP1)은 도트 패턴 형태를 가진다.
제1 더미 패턴(DP1)은 사각형의 제2 형태를 가진다. 제1 더미 패턴(DP1)이 사각형의 제2 형태를 가짐으로써, 액티브 패턴(AP)이 원형의 제1 형태를 가지더라도, 기존에 단위 마스크를 취급하는 장비를 이용해 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크(200)를 용이하게 취급할 수 있다.
구체적으로, 종래의 대부분의 유기 발광 표시 장치는 평면적으로 사각형의 형태를 가지고 있었고, 이에 따라 종래의 단위 마스크의 액티브 패턴도 평면적으로 사각형의 형태를 가지고 있었다. 이로 인해 기존의 단위 마스크를 취급하는 장비들도 사각형의 형태의 액티브 패턴을 가지는 단위 마스크에 대응하여 발전되었다.
최근, 사용자의 요구 등에 따라 평면적으로 원형 또는 다각형의 형태를 가지는 유기 발광 표시 장치가 개발되었고, 이에 따라 원형의 액티브 패턴을 포함하는 단위 마스크를 취급하기 위해 장비들을 변경해야 하는 어려움이 있었다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 원형의 제1 형태를 가지는 액티브 패턴(AP)을 포함하더라도, 액티브 패턴(AP)을 둘러싸는 제1 더미 패턴(DP1)이 종래의 액티브 패턴에 대응하는 사각형의 제2 형태를 가지고 있기 때문에, 기존에 단위 마스크를 취급하는 장비를 이용해 용이하게 취급할 수 있다.
즉, 원형 또는 다각형 형태를 가지는 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해 액티브 패턴(AP)의 제1 형태가 원형 또는 다각형 형태를 가지더라도, 제1 더미 패턴(DP1)이 사각형의 제2 형태를 가지기 때문에, 기존의 단위 마스크를 취급하는 장비를 이용해 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크(200)를 용이하게 취급할 수 있다.
요컨대, 액티브 패턴(AP)이 다양한 형태를 가지더라도 취급의 용이성이 향상된 단위 마스크(200)가 제공된다.
이상과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 단위 마스크(200)는 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1)을 포함함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제1 더미 패턴(DP1)이 인장력에 의해 우선 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1)에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 단위 마스크(200)는 액티브 패턴(AP)의 테두리를 둘러싸고 있는 제1 립(RI1)이 액티브 패턴(AP)의 제1 형태를 정의하면서 액티브 패턴(AP) 및 제1 더미 패턴(DP1) 대비 더 두꺼운 두께를 가지고 있어 제1 립(RI1)이 제1 더미 패턴(DP1) 대비 높은 강성을 가지고 있음으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 인장력에 의해 우선적으로 제1 더미 패턴(DP1)의 형태가 변형되어 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 단위 마스크(200)는 원형 또는 다각형 형태를 가지는 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해 액티브 패턴(AP)의 제1 형태가 원형 또는 다각형 형태를 가지더라도, 제1 더미 패턴(DP1)이 사각형의 제2 형태를 가지기 때문에, 기존의 사각형의 액티브 패턴을 가지는 단위 마스크를 취급하는 장비를 이용해 본 발명의 일 실시예에 따른 단위 마스크(200)를 용이하게 취급할 수 있다. 즉, 액티브 패턴(AP)이 다양한 형태를 가지더라도 취급의 용이성이 향상된 단위 마스크(200)가 제공된다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)의 제1 립(RI1)은 하면으로부터 함몰된 복수의 제1 함몰부(GR1)를 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에서 제1 함몰부(GR1)는 복수이나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 또 다른 실시예에서 제1 함몰부는 하나일 수 있다.
이로 인해 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지면, 제1 함몰부(GR1)에 의해 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(200)에 인장력이 가해지더라도 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 단면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)의 제1 립(RI1)은 상면으로부터 함몰된 복수의 제2 함몰부(GR2)를 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에서 제2 함몰부(GR2)는 복수이나, 이에 한정되지 않고 본 발명의 또 다른 실시예에서 제2 함몰부는 하나일 수 있다.
이로 인해 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지면, 제2 함몰부(GR2)에 의해 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크(200)에 인장력이 가해지더라도 제1 립(RI1)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된다.
이하, 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다. 도 8은 도 7의 B 부분을 확대한 평면도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)을 포함한다.
제2 립(RI2)은 복수이며, 복수의 제2 립(RI2) 각각은 제1 립(RI1)과 제1 더미 패턴(DP1) 사이에 위치하고 있다. 제2 립(RI2)은 제1 립(RI1)의 확장된 형태를 가지며, 원형의 밴드 형태를 가지고 있다.
제2 립(RI2)은 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1) 및 제2 더미 패턴(DP2) 대비 더 두꺼운 두께를 가지고 있다. 이로 인해 제1 방향(x)으로 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도, 인장력에 의해 우선적으로 제1 더미 패턴(DP1)의 형태가 변형되기 때문에, 제2 립(RI2)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도 제2 립(RI2)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에서 제2 립(RI2)은 제1 립(RI1) 대비 얇은 두께를 가질 수 있으며, 이로 인해 제2 립(RI2)이 우선 변형되어 제2 립(RI2)에 의해 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1)이 인장력에 의해 변형되는 것이 억제될 수 있다.
제2 더미 패턴(DP2)은 복수이며, 복수의 제2 더미 패턴(DP2) 각각은 제1 립(RI1)과 제2 립(RI2) 사이에 위치하고 있다. 제2 더미 패턴(DP2)을 통해서는 유기 발광 패턴들이 형성되지 않으며, 유기 발광 패턴들의 증착 공정 시 제2 더미 패턴(DP2) 상에는 마스크가 위치할 수 있다. 제2 더미 패턴(DP2)은 스트라이프(stripe) 패턴 또는 도트(dot) 패턴 등의 다양한 패턴 형태를 가질 수 있다. 일례로, 본 발명의 다른 실시예에서 제2 더미 패턴(DP2)은 도트 패턴 형태를 가진다.
제2 더미 패턴(DP2)은 제1 립(RI1)과 제2 립(RI2) 사이에서 원형의 밴드 형태를 가지나, 이에 한정되지 않고 제1 립(RI1) 및 제2 립(RI2) 각각의 형태에 따라 다각형 또는 폐루프 등의 다양한 형태를 가질 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)을 포함함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제1 더미 패턴(DP1)이 인장력에 의해 우선 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1)에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
나아가, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 강한 인장력이 가해지더라도 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)이 순차적으로 우선 변형되어 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2) 각각에서 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1) 및 액티브 패턴(AP)이 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 평면도이다.
이하, 도 9를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크의 일 부분을 나타낸 평면도이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)을 포함한다.
제2 립(RI2)은 복수이며, 복수의 제2 립(RI2) 각각은 제1 립(RI1)과 제1 더미 패턴(DP1) 사이에 위치하고 있다. 제2 립(RI2)은 제1 립(RI1)의 확장된 형태를 가지며, 원형의 밴드 형태를 가지고 있다.
제2 립(RI2)은 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1) 및 제2 더미 패턴(DP2) 대비 더 두꺼운 두께를 가지고 있다. 이로 인해 제1 방향(x)으로 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도, 인장력에 의해 우선적으로 제1 더미 패턴(DP1)의 형태가 변형되기 때문에, 제2 립(RI2)의 형태가 변형되는 것이 억제된다. 즉, 단위 마스크 본체부(MM)에 인장력이 가해지더라도 제2 립(RI2)의 형태가 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제1 립(RI1)이 둘러싸고 있는 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에서 제2 립(RI2)은 제1 립(RI1) 대비 얇은 두께를 가질 수 있으며, 이로 인해 제2 립(RI2)이 우선 변형되어 제2 립(RI2)에 의해 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1)이 인장력에 의해 변형되는 것이 억제될 수 있다.
제2 더미 패턴(DP2)은 복수이며, 복수의 제2 더미 패턴(DP2) 각각은 제1 립(RI1)과 제2 립(RI2) 사이에 위치하고 있다. 제2 더미 패턴(DP2)을 통해서는 유기 발광 패턴들이 형성되지 않으며, 유기 발광 패턴들의 증착 공정 시 제2 더미 패턴(DP2) 상에는 마스크가 위치할 수 있다.
제2 더미 패턴(DP2)은 제1 립(RI1)과 제2 립(RI2) 사이에서 원형의 밴드 형태를 가지나, 이에 한정되지 않고 제1 립(RI1) 및 제2 립(RI2) 각각의 형태에 따라 다각형 또는 폐루프 등의 다양한 형태를 가질 수 있다.
제2 더미 패턴(DP2) 및 제1 더미 패턴(DP1) 각각은 스트라이프(stripe) 패턴 형태를 가지며, 액티브 패턴(AP)은 도트(dot) 패턴 형태를 가진다.
한편, 이에 한정되지 않고, 제2 더미 패턴(DP2), 제1 더미 패턴(DP1), 액티브 패턴(AP) 각각은 스트라이프(stripe) 패턴 또는 도트(dot) 패턴 형태를 가질 수 있으며, 제2 더미 패턴(DP2), 제1 더미 패턴(DP1), 액티브 패턴(AP) 각각은 동일한 형태를 가지거나, 액티브 패턴(AP)은 제2 더미 패턴(DP2) 및 제1 더미 패턴(DP1) 각각과는 다른 패턴 형태를 가질 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)을 포함함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제1 더미 패턴(DP1)이 인장력에 의해 우선 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1)에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
나아가, 본 발명의 다른 실시예에 따른 단위 마스크(200)는 강한 인장력이 가해지더라도 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2)이 순차적으로 우선 변형되어 제1 더미 패턴(DP1), 제2 립(RI2), 제2 더미 패턴(DP2) 각각에서 인장력이 분산되기 때문에, 제1 립(RI1) 및 액티브 패턴(AP)이 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 립(RI1), 제1 더미 패턴(DP1)

Claims (15)

  1. 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서,
    상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부;
    각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되는 복수의 액티브 패턴;
    각각이 상기 복수의 액티브 패턴 각각의 테두리를 둘러싸며, 상기 액티브 패턴의 형태를 정의하는 복수의 제1 립; 및
    각각이 상기 복수의 제1 립을 둘러싸는 복수의 제1 더미 패턴
    을 포함하고,
    상기 액티브 패턴 각각이 형성된 영역의 가장자리는 제1 형태를 가지고, 상기 제1 더미패턴 각각이 형성된 영역의 가장자리는 제2 형태를 가지며,
    상기 제1 형태는 상기 제2 형태 내부에 완전히 포함되어 위치하는 단위 마스크.
  2. 제1항에서,
    상기 제2 형태는 사각형인 단위 마스크.
  3. 제2항에서,
    상기 제1 형태는 원형인 단위 마스크.
  4. 제2항에서,
    상기 제1 형태는 다각형인 단위 마스크.
  5. 제1항에서,
    상기 액티브 패턴 및 상기 제1 더미 패턴 각각은 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 패턴 형태를 가지는 단위 마스크.
  6. 제1항에서,
    상기 제1 립은 상기 액티브 패턴 및 상기 제1 더미 패턴 대비 더 두꺼운 두께를 가지는 단위 마스크.
  7. 제6항에서,
    상기 제1 립은 하면으로부터 함몰된 하나 이상의 제1 함몰부를 포함하는 단위 마스크.
  8. 제6항에서,
    상기 제1 립은 상면으로부터 함몰된 하나 이상의 제2 함몰부를 포함하는 단위 마스크.
  9. 제1항에서,
    상기 제1 립과 상기 제1 더미 패턴 사이에 위치하는 제2 립; 및
    상기 제1 립과 상기 제2 립 사이에 위치하는 제2 더미 패턴
    을 더 포함하는 단위 마스크.
  10. 제9항에서,
    상기 제2 립은 상기 제1 립의 확장된 형태를 가지는 단위 마스크.
  11. 제9항에서,
    상기 액티브 패턴, 상기 제1 더미 패턴, 상기 제2 더미 패턴 각각은 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 패턴 형태를 가지는 단위 마스크.
  12. 제11항에서,
    상기 액티브 패턴, 상기 제1 더미 패턴, 상기 제2 더미 패턴 각각은 동일한 패턴 형태를 가지는 단위 마스크.
  13. 제11항에서,
    상기 액티브 패턴은 상기 제1 더미 패턴 및 상기 제2 더미 패턴 각각과 다른 패턴 형태를 가지는 단위 마스크.
  14. 개구부를 포함하는 프레임; 및
    상기 개구부 상에 위치하며, 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 단위 마스크
    를 포함하는 마스크 조립체.
  15. 제14항에서,
    상기 단위 마스크는 복수이며,
    복수의 상기 단위 마스크 각각은 상기 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치되는 마스크 조립체.
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