KR20130031444A - 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법 - Google Patents

마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 프레임의 변형량을 최소화할 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 개구부를 가지는 마스크 프레임과; 상기 프레임 상에 용접 고정되는 다수개의 분할 마스크와; 상기 분할 마스크와 상기 마스크 프레임이 중첩되는 부분에 형성되는 다수개의 용접 포인트를 구비하며, 상기 용접 포인트는 상기 마스크 프레임의 외곽부에서 상기 마스크 프레임의 중앙부로 갈수록 상기 마스크 프레임의 개구부와 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법{MASK FRAME ASSEMBLY AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}
본 발명은 마스크 프레임의 변형량을 최소화할 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계 발광 장치(Electro-Luminescence : EL) 등이 있다.
특히, 유기 전계 발광 장치는 자발광소자로서 다른 평판 표시 장치에 비해 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이러한 종래 유기 전계 발광 장치에 포함된 다수의 박막 패턴들은 마스크 프레임 조립체를 통해 기판 상에 형성된다. 마스크 프레임 조립체는 다수의 박막 패턴들 각각과 대응하는 홀을 가지는 분할 마스크와, 분할 마스크를 고정시키는 마스크 프레임을 구비한다. 분할 마스크는 처짐을 방지하기 위해 인장력이 가해진 상태에서 마스크프레임에 부착 고정된다. 마스크 프레임에 분할 마스크가 마스크 프레임에 고정된 후, 분할 마스크는 인장력과 반대 방향으로 복원력이 발생하게 된다. 이러한 분할 마스크의 복원력에 의해 분할 마스크의 복원 방향과 동일한 방향으로 마스크 프레임에 변형이 발생된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 분할 마스크의 복원력에 의해 마스크 프레임(20)의 상하부 지지바(24)는 내측으로 굴곡되어 마스크 프레임의 개구부(22)도 변형된다. 이러한 마스크 프레임(20)의 변형으로 인해 마스크 프레임(20)에 고정된 분할 마스크도 변형되며, 변형된 분할 마스크를 이용하여 박막 패턴을 형성하게 되면 위치 정밀도가 저하되는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 마스크 프레임의 변형량을 최소화할 수 있는 마스크 프레임 조립체 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 개구부를 가지는 마스크 프레임과; 상기 프레임 상에 용접 고정되는 다수개의 분할 마스크와; 상기 분할 마스크와 상기 마스크 프레임이 중첩되는 부분에 형성되는 다수개의 용접 포인트를 구비하며, 상기 용접 포인트는 상기 마스크 프레임의 외곽부에서 상기 마스크 프레임의 중앙부로 갈수록 상기 마스크 프레임의 개구부와 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 동일 선상에 위치하며, 상기 인접한 분할 마스크에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 프레임의 장변은 상기 마스크 프레임의 중앙부에서 상기 마스크 프레임의 외곽부로 갈수록 폭이 넓게 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 마스크 프레임의 외곽부와 상기 마스크 프레임의 중앙부에서의 폭 차이는 수 mm인 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체의 제조 방법은 개구부를 가지는 마스크 프레임을 마련하는 단계와; 상기 마스크 프레임 상에 다수개의 분할 마스크를 정렬하는 단계와; 상기 분할 마스크에 인장력이 가해진 상태에서 상기 분할 마스크와 상기 마스크 프레임이 중첩되는 부분에 형성된 다수개의 용접 포인트에 레이저를 조사하여 상기 프레임 상에 상기 다수개의 분할 마스크를 용접 고정하는 단계를 포함하며, 상기 용접 포인트는 상기 마스크 프레임의 외곽부에서 상기 마스크 프레임의 중앙부로 갈수록 상기 마스크 프레임의 개구부와 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 중앙부에 정렬되는 분할 마스크의 용접 포인트를 최외곽부에 위치하는 분할 마스크의 용접 포인트보다 프레임 개구부와 멀어지게 형성된다. 이에 따라, 분할 마스크의 복원력에 의해 마스크 프레임의 변형량이 큰 중앙부에서 외곽부로 갈수록 하중이 높아져 마스크 프레임의 지지대의 중앙부에서 발생하는 마스크 프레임의 변형량을 줄일 수 있다.
도 1은 종래 마스크 프레임 조립체의 마스크 프레임을 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 분할 마스크와 마스크 프레임과의 고정시 이용되는 용접 포인트를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2에 도시된 분할 마스크와 마스크 프레임과의 고정시 이용되는 용접 포인트의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2에 도시된 마스크 프레임의 다른 실시 예를 나타내는 평면도이다.
도 6은 종래와 본 발명에 따른 마스크 프레임의 변화량을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 8은 도 2에 도시된 마스크 프레임 조립체를 포함하는 증착 장치를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 2에 도시된 마스크 프레임 조립체(100)는 마스크 프레임(120)과, 마스크 프레임(120)에 고정되는 다수개의 분할 마스크(110)를 구비한다.
마스크 프레임(120)은 프레임 개구부(122)와, 그 프레임 개구부(122)를 마련하는 지지대(124)를 구비한다.
프레임 개구부(122)는 기판(130) 상의 비발광 영역을 제외한 발광 영역과 대응하는 면적을 가지도록 형성되므로 증착 공정시 증착 물질이 통과된다.
지지대(124)는 분할 마스크(110)를 고정 및 지지할 수 있도록 사각 테두리 형태로 형성된다.
다수개의 분할 마스크(110)는 기판(130) 상에 형성될 박막 패턴(132)과 대응하는 크기의 패턴 개구부(112)를 구비한다. 이러한 분할 마스크(110)는 인장력이 가해진 상태에서 레이저를 이용한 용접에 의해 마스크 프레임(120)의 지지대(124)에 고정된다. 구체적으로, 분할 마스크(110)는 도 3에 도시된 바와 같이 용접 포인트(114)에 레이저를 조사함으로써 마스크 프레임(120)과 결합된다. 이러한 용접 포인트(114)는 마스크 프레임(120)에 고정되는 분할 마스크(110)의 위치에 따라 다르다. 구체적으로, 용접 포인트(114)는 지지대(124)의 장변의 외곽부에서 장변의 중앙부로 갈수록 프레임 개구부(122)와 멀어지도록 형성된다. 이 때, 각 분할 마스크(110) 내의 용접 포인트(114)는 도 3에 도시된 바와 같이 동일 선상에 위치하고 인접한 분할 마스크(110) 내의 용접 포인트(114)와 약 1~1.5mm의 높이차(d)를 갖도록 형성된다. 이외에도 각 분할 마스크(110) 내의 용접 포인트들(114)은 도 4에 도시된 바와 같이 서로 다른 위치에서 인접한 용접 포인트(114)와 약 0.1~1mm의 높이차를 유지하도록 형성된다. 이러한 도 3 및 도 4에 도시된 용접 포인트들(114)은 중앙부에 위치하는 분할 마스크(110)를 기준으로 대칭되게 형성된다. 그리고, 중앙부에 위치하는 분할 마스크(110)의 용접 포인트(114)는 종래 분할 마스크의 용접포인트보다 약 1~2mm높게 형성된다.
이와 같이, 중앙부에 정렬되는 분할 마스크(110)의 용접 포인트(114)는 최외곽부에 위치하는 분할 마스크(110)의 용접 포인트보다 프레임 개구부(122)와 멀어지게 형성된다. 이에 따라, 분할 마스크(110)의 복원력에 의해 마스크 프레임(120)의 변형량이 큰 중앙부에서 외곽부로 갈수록 하중이 높아져 마스크 프레임(120)의 지지대(124)의 중앙부에서 최대로 발생하는 마스크 프레임(120)의 변형량을 줄일 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체의 마스크 프레임을 나타내는 평면도이다.
도 5에 도시된 마스크 프레임(120)은 프레임 개구부(122)와, 그 프레임 개구부(122)를 마련하는 지지대(124)를 구비한다.
프레임 개구부(122)는 기판(130) 상의 비발광 영역을 제외한 발광 영역과 대응하는 면적을 가지도록 형성되므로 증착 공정시 증착 물질이 통과된다.
지지대(124)는 단변보다 변형량이 큰 장변의 중앙부에서 외곽부로 갈수록 폭이 넓게 형성된다. 이 때, 장변의 외곽부와 장변의 중앙부의 폭은 수mm(예를 들어4~6mm)차이가 나도록 형성된다. 이에 따라, 지지대(124)의 장변의 중앙부의 면적이 외곽부의 면적보다 적으므로 분할 마스크(110)의 복원력에 의한 마스크 프레임(120)의 변형도 적게 일어나게 된다. 이러한 분할 마스크(110)를 이용하여 박막 패턴 형성시 박막 패턴의 위치 정밀도가 향상된다.
도 6은 종래와 본 발명에 따른 마스크 프레임의 변화량을 설명하기 위한 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이 종래 마스크 프레임의 전체 변형량은 20.174㎛인 반면에 본원 발명의 마스크 프레임(120)의 전체 변형량은 약 17.549㎛로서, 본 발명의 마스크 프레임(120)은 종래 마스크 프레임과 대비하여 전체 변형량이 약 13%감소되었음을 알 수 있다. 특히, 종래 마스크 프레임의 장변의 Y축 변형량은 18.1875㎛인 반면에 본원 발명의 마스크 프레임(120)의 장변의 Y축 변형량은 약 15.839㎛로서, 본 발명의 마스크 프레임(120)의 장변의 Y축 변형량이 종래의마스크프레임의 Y축 변형량보다 감소되었음을 알 수 있다.
또한, 분할 마스크를 마스크 프레임에 용접 후 종래 각 화소의 위치 정밀도는 약 ±1.5㎛인 반면에 본 발명의 각 화소의 위치 정밀도는 약±1.2㎛로서, 위치 정밀도가 약 20% 향상되었음을 알 수 있다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체의 제조 방법을 설명하기 위한 평면도들이다.
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이 개구부(122) 및 그 개구부를 둘러싸는 지지부(124)를 가지는 마스크 프레임(120)을 마련한다. 그 마스크 프레임(120) 상에 다수개의 분할 마스크(110)를 정렬한다. 그런 다음, 분할 마스크(110)에 인장력을 가함으로써 분할 마스크(110)가 자중에 의해 처지는 현상을 방지할 수 있다. 이 때, 분할 마스크(110)의 양단에 클램프(도시하지 않음)를 결합시켜 분할 마스크(110)에 인장력을 가할 수 있다.
분할 마스크(110)에 인장력이 가해진 상태에서 도 7b에 도시된 바와 같이 분할 마스크(110)와 마스크 프레임(120)이 중첩되는 부분에 형성된 다수개의 용접 포인트(114)에 레이저 조사 장치(140)를 통해 레이저를 조사한다. 이 때, 용접 포인트(114)는 마스크 프레임(120)의 외곽부에서 마스크 프레임(120)의 중앙부로 갈수록 마스크 프레임(120)의 개구부와 멀어지도록 형성된다. 이러한 용접 공정을 통해 도 7c에 도시된 바와 같이 마스크 프레임(120) 상에 상기 다수개의 분할 마스크(110)가 고정된다.
이와 같은 방법으로 제조된 마스크 프레임 어셈블리는 도 8에 도시된 증착 장치에 장착되어 기판(130) 상에 박막을 형성한다.
구체적으로, 유기 전계 발광 디스플레이 장치의 박막, 즉, 적, 녹, 청색의 유기 발광층 등의 박막들을 증착하기 위해서는 진공챔버에 설치된 박막 증착 용기(crucible; 142)와 대응되는 측에 마스크 프레임 조립체(100)가 설치된다. 그런 다음, 그 상부에 박막이 형성될 기판(130)이 장착된다. 그런 다음, 마스크 프레임(120)에 지지된 분할 마스크(110)를 기판(130)에 밀착시키기 위해 마그네트 유니트를 구동시킴으로써 분할마스크(110)는 기판(130)에 밀착된다. 이 상태에서 박막 증착 용기(142)를 동작시킴으로써 증착 재료가 기화되어 기판(130)에 증착되게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
110 : 분할 마스크 112 : 패턴 개구부
114 : 용접 포인트 120 : 마스크 프레임
122 : 프레임 개구부 124 : 지지대
130 : 기판 132 : 박막 패턴
140 : 레이저 조사 장치

Claims (10)

  1. 개구부를 가지는 마스크 프레임과;
    상기 마스크 프레임 상에 용접 고정되는 다수개의 분할 마스크와;
    상기 분할 마스크와 상기 마스크 프레임이 중첩되는 부분에 형성되는 다수개의 용접 포인트를 구비하며,
    상기 용접 포인트는 상기 마스크 프레임의 외곽부에서 상기 마스크 프레임의 중앙부로 갈수록 상기 마스크 프레임의 개구부와 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 동일 선상에 위치하며, 상기 인접한 분할 마스크에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 장변은 상기 마스크 프레임의 중앙부에서 상기 마스크 프레임의 외곽부로 갈수록 폭이 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 외곽부와 상기 마스크 프레임의 중앙부에서의 폭 차이는 수 mm인 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체.
  6. 개구부를 가지는 마스크 프레임을 마련하는 단계와;
    상기 마스크 프레임 상에 다수개의 분할 마스크를 정렬하는 단계와;
    상기 분할 마스크에 인장력이 가해진 상태에서 상기 분할 마스크와 상기 마스크 프레임이 중첩되는 부분에 형성된 다수개의 용접 포인트에 레이저를 조사하여 상기 프레임 상에 상기 다수개의 분할 마스크를 용접 고정하는 단계를 포함하며,
    상기 용접 포인트는 상기 마스크 프레임의 외곽부에서 상기 마스크 프레임의 중앙부로 갈수록 상기 마스크 프레임의 개구부와 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 동일 선상에 위치하며, 상기 인접한 분할 마스크에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 분할 마스크 내에 형성된 용접 포인트들은 서로 다른 선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 장변은 상기 마스크 프레임의 중앙부에서 상기 마스크 프레임의 외곽부로 갈수록 폭이 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임의 외곽부와 상기 마스크 프레임의 중앙부에서의 폭 차이는 수 mm인 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 조립체의 제조 방법.
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