KR20150019695A - 단위 마스크 및 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크는 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부, 각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되며, 제1 형태를 가지는 복수의 액티브 패턴, 및 각각이 상기 복수의 액티브 패턴 중 이웃하는 상기 액티브 패턴 사이에 배치되며, 제2 형태를 가지는 복수의 제1 더미 패턴을 포함한다.

Description

단위 마스크 및 마스크 조립체{MASK AND MASK ASSEMBLY}
본 발명은 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기층을 증착할 때 이용되는 단위 마스크 및 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치의 대표적인 예로서, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display), 액정 표시 장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.
이 중, 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 유기 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.
보다 상세하게, 유기 발광 표시 장치는 기판에 화상 표현의 기본 단위인 화소(piXel)가 매트릭스 형태로 배열되고, 각각의 화소마다 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue), 백색(white) 등의 빛을 발광하는 각각의 유기 발광층을 사이에 두고 양극의 제1 전극과 음극의 제2 전극이 순차적으로 적층된 유기 발광 소자가 배치되는 구성을 갖는다. 여기서, 유기 발광층을 이루는 유기 물질은 수분 및 산소 등에 매우 취약하여 유기 발광층을 형성하는 공정 및 유기 발광층을 형성한 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하므로 통상의 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝을 수행하기가 어렵다. 따라서, 유기 발광층 등은 주로 각 패턴에 대응되는 부분으로만 증착 물질이 관통하기 위한 액티브 패턴이 형성되어 있는 마스크를 이용하여 형성한다.
최근, 개구부를 구비하는 프레임, 개구부에 대응하여 양 단부가 프레임에 고정되는 밴드 모양의 복수개의 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체가 사용되고 있었다.
이러한 종래의 마스크 조립체는 단위 마스크에 인장력이 가해져 프레임에 지지되기 때문에, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서, 상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부, 각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되며, 제1 형태를 가지는 복수의 액티브 패턴, 및 각각이 상기 복수의 액티브 패턴 중 이웃하는 상기 액티브 패턴 사이에 배치되며, 제2 형태를 가지는 복수의 제1 더미 패턴을 포함하는 단위 마스크를 제공한다.
상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하며, 제3 형태를 가지는 제2 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 더미 패턴은 사각형의 더미 개구부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 상기 제2 형태를 가지는 제3 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴은, 각각이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 개구되며, 각각이 상기 제1 방향으로 상호 이웃하여 배치된 복수의 제1 개구부, 및 상기 복수의 제1 개구부 각각을 둘러싸는 제1 립부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 제4 형태를 가지는 제4 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 제4 더미 패턴은, 각각이 상기 제2 방향으로 상호 교호적으로 배치된 사다리꼴 형태의 복수의 제2 개구부와 삼각형 형태의 복수의 제3 개구부, 및 상기 복수의 제2 개구부와 상기 복수의 제3 개구부 각각을 둘러싸는 제2 립부를 포함할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴은, 각각이 삼각형 형태를 가지며, 상호 이웃하여 배치되어 사각형 형태를 구성하는 복수의 제4 개구부, 및 상기 복수의 제4 개구부 각각을 둘러싸는 제3 립부를 포함할 수 있다.
상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 제5 형태를 가지는 제5 더미 패턴을 더 포함할 수 있다.
상기 제5 더미 패턴은, 각각이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 개구되며, 각각이 상기 제1 방향으로 상호 이웃하여 배치된 복수의 제5 개구부, 및 상기 복수의 제5 개구부 각각을 둘러싸는 제4 립부를 포함할 수 있다.
상기 제1 더미 패턴은, 각각이 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 행렬 형태로 배치되어 개구된 복수의 제6 개구부, 및 상기 복수의 제6 개구부 각각을 둘러싸는 제5 립부를 포함할 수 있다.
상기 액티브 패턴의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 개구부를 포함하는 프레임, 및 상기 개구부 상에 위치하며, 상기 단위 마스크를 포함하는 마스크 조립체를 제공한다.
상기 단위 마스크는 복수개이며, 복수개의 상기 단위 마스크 각각은 상기 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치될 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 단위 마스크에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크에 형성된 액티브 패턴의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크 및 마스크 조립체가 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체는 프레임(100) 및 복수개의 단위 마스크(200)를 포함한다.
프레임(100)은 복수개의 단위 마스크(200) 각각의 양단을 고정 및 지지하고, 단위 마스크(200)를 노출시키는 개구부(110)를 포함한다. 프레임(100)은 개구부(110)를 사이에 제1 방향(x)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(120) 및 개구부(110)를 사이에 두고 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(130)를 더 포함한다. 제1 지지부(120)에는 단위 마스크(200)의 양 단부(200a)가 지지된다. 일례로, 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 용접 등의 고정 방법을 이용해 양 단부(200a)가 프레임(100)의 제1 지지부(120)에 지지된다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120)가 사각형 형상을 가진 프레임(100)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(130)가 프레임(100)의 단변을 구성하나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임(100)에서 제1 지지부(120) 및 제2 지지부(130)는 실질적으로 동일한 길이로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 프레임은 다각형 또는 원형의 형상으로 구성될 수 있다.
프레임(100)에 고정되는 단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 인장력이 인가된 상태로 프레임(100)에 지지되는데, 프레임(100)은 단위 마스크(200)에 인가된 제1 방향(x)으로의 인장력에 의해 단위 마스크(200)의 연장 방향인 제1 방향(x)을 따라 압축력을 작용 받기 때문에, 단위 마스크(200)의 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 스테인리스강(stainless steel) 등과 같은 금속 재료로 형성될 수 있다.
단위 마스크(200)는 제1 방향(x)으로 연장된 밴드 형태이며, 제1 방향(x)으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부(200a)가 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크(200)는 복수개이며, 복수개의 단위 마스크(200) 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)을 따라 프레임(100)에 배치되어 프레임(100)에 지지된다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 단위 마스크(200)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함한다.
단위 마스크 본체부(MM)는 제1 방향(x)을 따라 연장된 밴드 형태이며, 프레임(100)의 개구부(110) 상에 위치하여, 프레임(100)에 지지된다. 단위 마스크 본체부(MM)에는 제1 방향(x)을 따라 상호 이격되어 배치된 복수개의 액티브 패턴(AP)이 형성되어 있다.
액티브 패턴(AP)은 복수개이며, 복수개의 액티브 패턴(AP) 각각은 하나의 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 상호 이격되어 배치되어 있다. 액티브 패턴(AP)은 하나의 유기 발광 표시 장치에 대응될 수 있으며, 이 경우 단위 마스크(200)를 통해 단일 공정으로 여러 개의 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들을 유기 발광 표시 장치가 제조될 마더 기판에 동시에 형성할 수 있다. 즉, 액티브 패턴(AP)은 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들의 증착 영역에 대응하여 단위 마스크(200)에 배치된다. 액티브 패턴(AP)은 유기 발광 표시 장치를 구성하는 유기 발광 패턴들이 액티브 패턴(AP)을 통하여 마더 기판에 형성될 수 있도록 단위 마스크(200)를 관통하는 개구(open) 형태를 가진다. 액티브 패턴(AP)은 스트라이프(stripe) 형태의 오픈 패턴인 제1 형태를 가진다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크(200)의 액티브 패턴(AP)은 스트라이프(stripe) 형태를 가지나, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체에 포함된 단위 마스크의 액티브 패턴은 도트(dot) 형태 또는 다각형 형태 등의 다양한 형태를 가질 수 있다.
제1 더미 패턴(DP1)은 복수개이며, 복수의 제1 더미 패턴(DP1) 각각은 이웃하는 액티브 패턴(AP) 사이에 배치되어 있다.
제1 더미 패턴(DP1)은 제1 형태를 가지는 액티브 패턴(AP)과 다른 형태인 제2 형태를 가지고 있다. 제1 더미 패턴(DP1)은 제2 형태를 구성하는 제1 개구부(OP1) 및 제1 립부(RI1)를 포함한다.
제1 개구부(OP1)는 복수개이며, 복수의 제1 개구부(OP1) 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 연장되어 개구되어 있다. 복수의 제1 개구부(OP1) 각각은 제1 방향(x)으로 상호 이웃하여 배치되어 있다.
제1 립부(RI1)는 복수의 제1 개구부(OP1) 각각을 둘러싸고 있으며, 매트릭스(matrix) 형태로 복수의 제1 개구부(OP1)를 형성하고 있다.
제2 더미 패턴(DP2)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 단위 마스크 본체부(MM)의 단부(200a) 사이에 위치하고 있다. 제2 더미 패턴(DP2)은 액티브 패턴(AP) 및 제1 더미 패턴(DP1)과는 다른 제3 형태를 가지고 있다.
제2 더미 패턴(DP2)은 사각형의 더미 개구부(DOP)를 포함하고 있으며, 더미 개구부(DOP)에 의해 제2 더미 패턴(DP2)은 제3 형태를 형성한다.
제3 더미 패턴(DP3)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 제2 더미 패턴(DP2) 사이에 위치하며, 제1 더미 패턴(DP1)과 동일한 제2 형태를 가지고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 조립체의 단위 마스크(200)는 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함함으로써, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제2 더미 패턴(DP2)이 인장력에 의해 우선 변형되고, 이후 제3 더미 패턴(DP3) 및 제1 더미 패턴(DP1)이 순차적으로 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(200)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 이로 인해, 단위 마스크(200)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(200)에 형성된 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(200) 및 이를 포함하는 마스크 조립체가 제공된다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제2 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크(202)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제4 더미 패턴(DP4)을 포함한다.
제4 더미 패턴(DP4)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 제2 더미 패턴(DP2) 사이에 위치하며, 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2)과 다른 제4 형태를 가지고 있다.
제4 더미 패턴(DP4)은 제4 형태를 구성하는 제2 개구부(OP2), 제3 개구부(OP3), 제2 립부(RI2)를 포함한다.
제2 개구부(OP2)는 복수개이며, 복수의 제2 개구부(OP2)는 사다리꼴 형태를 형성하고 있다.
제3 개구부(OP3)는 복수개이며, 복수의 제3 개구부(OP3)는 삼각형 형태를 형성하고 있다. 복수의 제2 개구부(OP2) 및 복수의 제3 개구부(OP3) 각각은 제2 방향(y)으로 상호 교호적으로 배치되어 사각형 형태를 형성하고 있다.
제2 립부(RI2)는 복수의 제2 개구부(OP2) 및 복수의 제3 개구부(OP3) 각각을 매트릭스 형태로 둘러싸고 있으며, 복수의 제2 개구부(OP2) 및 복수의 제3 개구부(OP3) 각각을 형성하고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 마스크(202)는 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제4 더미 패턴(DP4)을 포함함으로써, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제2 더미 패턴(DP2)이 인장력에 의해 우선 변형되고, 이후 제4 더미 패턴(DP4) 및 제1 더미 패턴(DP1)이 순차적으로 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제4 더미 패턴(DP4) 각각에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(202)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제4 더미 패턴(DP4) 각각에 의해 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 이로 인해, 단위 마스크(202)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(202)에 형성된 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(202)가 제공된다.
이하, 도 5를 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제3 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크(203)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함한다.
제1 더미 패턴(DP1)은 복수개이며, 복수의 제1 더미 패턴(DP1) 각각은 이웃하는 액티브 패턴(AP) 사이에 배치되어 있다.
제1 더미 패턴(DP1)은 제1 형태를 가지는 액티브 패턴(AP)과 다른 형태인 제2 형태를 가지고 있다. 제1 더미 패턴(DP1)은 제2 형태를 구성하는 제4 개구부(OP4) 및 제3 립부(RI3)를 포함한다.
제4 개구부(OP4)는 복수개이며, 복수의 제4 개구부(OP4) 각각은 삼각형 형태를 가지고 있다. 복수의 제4 개구부(OP4) 각각은 상호 이웃하여 배치되어 사각형 형태를 구성하고 있다. 구체적으로, 제4 개구부(OP4)는 8개이며, 4개의 제4 개구부(OP4)가 일 사각형 형태를 이루고, 나머지 4개의 제4 개구부(OP4)가 타 사각형 형태를 이룸으로써, 전체적으로 8개의 제4 개구부(OP4)가 사각형 형태를 구성하고 있다.
제3 립부(RI3)는 복수의 제4 개구부(OP4) 각각을 둘러싸고 있으며, 매트릭스(matrix) 형태로 복수의 제4 개구부(OP4)를 형성하고 있다.
제3 더미 패턴(DP3)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 제2 더미 패턴(DP2) 사이에 위치하며, 제1 더미 패턴(DP1)과 동일한 제2 형태를 가지고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 단위 마스크(203)는 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함함으로써, 단위 마스크(203)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제2 더미 패턴(DP2)이 인장력에 의해 우선 변형되고, 이후 제3 더미 패턴(DP3) 및 제1 더미 패턴(DP1)이 순차적으로 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(203)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 이로 인해, 단위 마스크(203)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(203)에 형성된 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(203)가 제공된다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제3 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제3 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제4 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제3 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크(204)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제5 더미 패턴(DP5)을 포함한다.
제5 더미 패턴(DP5)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 제2 더미 패턴(DP2) 사이에 위치하며, 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2)과 다른 제5 형태를 가지고 있다.
제5 더미 패턴(DP5)은 제5 형태를 구성하는 제5 개구부(OP5) 및 제4 립부(RI4)를 포함한다.
제5 개구부(OP5)는 복수개이며, 복수의 제5 개구부(OP5) 각각은 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 연장되어 개구되어 있다. 복수의 제5 개구부(OP5) 각각은 제1 방향(x)으로 상호 이웃하여 배치되어 있다.
제4 립부(RI4)는 복수의 제5 개구부(OP5) 각각을 둘러싸고 있으며, 매트릭스(matrix) 형태로 복수의 제5 개구부(OP5)를 형성하고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 단위 마스크(204)는 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제5 더미 패턴(DP5)을 포함함으로써, 단위 마스크(204)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제2 더미 패턴(DP2)이 인장력에 의해 우선 변형되고, 이후 제5 더미 패턴(DP5) 및 제1 더미 패턴(DP1)이 순차적으로 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제5 더미 패턴(DP5) 각각에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(204)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제5 더미 패턴(DP5) 각각에 의해 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 이로 인해, 단위 마스크(204)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(204)에 형성된 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(204)가 제공된다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제5 실시예에 따른 단위 마스크를 설명한다.
이하, 제1 실시예와 구별되는 특징적인 부분만 발췌하여 설명하며, 설명이 생략된 부분은 제1 실시예에 따른다. 그리고, 본 발명의 제5 실시예에서는 설명의 편의를 위하여 동일한 구성요소에 대하여는 본 발명의 제1 실시예와 동일한 참조번호를 사용하여 설명한다.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 단위 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제5 실시예에 따른 단위 마스크(205)는 단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함한다.
제1 더미 패턴(DP1)은 복수개이며, 복수의 제1 더미 패턴(DP1) 각각은 이웃하는 액티브 패턴(AP) 사이에 배치되어 있다.
제1 더미 패턴(DP1)은 제1 형태를 가지는 액티브 패턴(AP)과 다른 형태인 제2 형태를 가지고 있다. 제1 더미 패턴(DP1)은 제2 형태를 구성하는 제6 개구부(OP6) 및 제5 립부(RI5)를 포함한다.
제6 개구부(OP6)는 복수개이며, 복수의 제6 개구부(OP6) 각각은 사각형 형태를 가지고 있다. 복수의 제6 개구부(OP6) 각각은 제1 방향(x) 및 제1 방향(x)과 교차하는 제2 방향(y)으로 행렬 형태로 배치되어 개구되어 있다.
제5 립부(RI5)는 복수의 제6 개구부(OP6) 각각을 둘러싸고 있으며, 매트릭스(matrix) 형태로 복수의 제6 개구부(OP6)를 형성하고 있다.
제3 더미 패턴(DP3)은 복수의 액티브 패턴(AP) 중 제1 방향(x)으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴(AP)과 제2 더미 패턴(DP2) 사이에 위치하며, 제1 더미 패턴(DP1)과 동일한 제2 형태를 가지고 있다.
이와 같이, 본 발명의 제5 실시예에 따른 단위 마스크(205)는 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3)을 포함함으로써, 단위 마스크(205)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지면, 제2 더미 패턴(DP2)이 인장력에 의해 우선 변형되고, 이후 제3 더미 패턴(DP3) 및 제1 더미 패턴(DP1)이 순차적으로 변형되기 때문에, 액티브 패턴(AP)으로 가해지는 인장력이 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 분산되어 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다.
즉, 단위 마스크(205)에 제1 방향(x)으로 인장력이 가해지더라도, 제1 더미 패턴(DP1), 제2 더미 패턴(DP2), 제3 더미 패턴(DP3) 각각에 의해 인장력이 분산됨으로써, 실질적으로 유기층을 증착할 때 이용되는 액티브 패턴(AP)이 제1 방향(x)으로 가해지는 인장력에 의해 변형되는 것이 억제된다. 이로 인해, 단위 마스크(205)에 가해지는 인장력에 의해 단위 마스크(205)에 형성된 액티브 패턴(AP)의 형태가 변형되는 것이 억제된 단위 마스크(205)가 제공된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
단위 마스크 본체부(MM), 액티브 패턴(AP), 제1 더미 패턴(DP1)

Claims (14)

  1. 제1 방향으로 인장력이 가해진 상태로 양 단부가 프레임에 지지되는 단위 마스크에 있어서,
    상기 제1 방향을 따라 연장된 밴드 형태를 가지는 단위 마스크 본체부;
    각각이 상기 단위 마스크 본체부에 상기 제1 방향을 따라 상호 이격되어 배치되며, 제1 형태를 가지는 복수의 액티브 패턴; 및
    각각이 상기 복수의 액티브 패턴 중 이웃하는 상기 액티브 패턴 사이에 배치되며, 제2 형태를 가지는 복수의 제1 더미 패턴
    을 포함하는 단위 마스크.
  2. 제1항에서,
    상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 단위 마스크 본체부의 단부 사이에 위치하며, 제3 형태를 가지는 제2 더미 패턴을 더 포함하는 단위 마스크.
  3. 제2항에서,
    상기 제2 더미 패턴은 사각형의 더미 개구부를 포함하는 단위 마스크.
  4. 제2항에서,
    상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 상기 제2 형태를 가지는 제3 더미 패턴을 더 포함하는 단위 마스크.
  5. 제2항에서,
    상기 제1 더미 패턴은,
    각각이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 개구되며, 각각이 상기 제1 방향으로 상호 이웃하여 배치된 복수의 제1 개구부; 및
    상기 복수의 제1 개구부 각각을 둘러싸는 제1 립부
    를 포함하는 단위 마스크.
  6. 제5항에서,
    상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 제4 형태를 가지는 제4 더미 패턴을 더 포함하는 단위 마스크.
  7. 제6항에서,
    상기 제4 더미 패턴은,
    각각이 상기 제2 방향으로 상호 교호적으로 배치된 사다리꼴 형태의 복수의 제2 개구부와 삼각형 형태의 복수의 제3 개구부; 및
    상기 복수의 제2 개구부와 상기 복수의 제3 개구부 각각을 둘러싸는 제2 립부
    를 포함하는 단위 마스크.
  8. 제2항에서,
    상기 제1 더미 패턴은,
    각각이 삼각형 형태를 가지며, 상호 이웃하여 배치되어 사각형 형태를 구성하는 복수의 제4 개구부; 및
    상기 복수의 제4 개구부 각각을 둘러싸는 제3 립부
    를 포함하는 단위 마스크.
  9. 제8항에서,
    상기 복수의 액티브 패턴 중 상기 제1 방향으로 최외곽에 위치하는 액티브 패턴과 상기 제2 더미 패턴 사이에 위치하며, 제5 형태를 가지는 제5 더미 패턴을 더 포함하는 단위 마스크.
  10. 제9항에서,
    상기 제5 더미 패턴은,
    각각이 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 개구되며, 각각이 상기 제1 방향으로 상호 이웃하여 배치된 복수의 제5 개구부; 및
    상기 복수의 제5 개구부 각각을 둘러싸는 제4 립부
    를 포함하는 단위 마스크.
  11. 제2항에서,
    상기 제1 더미 패턴은,
    각각이 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 행렬 형태로 배치되어 개구된 복수의 제6 개구부; 및
    상기 복수의 제6 개구부 각각을 둘러싸는 제5 립부
    를 포함하는 단위 마스크.
  12. 제1항에서,
    상기 액티브 패턴의 형태는 스트라이프(stripe) 또는 도트(dot) 형태인 단위 마스크.
  13. 개구부를 포함하는 프레임; 및
    상기 개구부 상에 위치하며, 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 단위 마스크
    를 포함하는 마스크 조립체.
  14. 제13항에서,
    상기 단위 마스크는 복수개이며,
    복수개의 상기 단위 마스크 각각은 상기 개구부 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배치되는 마스크 조립체.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190141058A (ko) * 2018-06-12 2019-12-23 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR20130028165A (ko) * 2011-06-21 2013-03-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 유닛
KR20130081528A (ko) * 2012-01-09 2013-07-17 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 이를 이용한 증착 설비
KR20150056112A (ko) * 2013-11-14 2015-05-26 삼성디스플레이 주식회사 막 형성용 마스크, 이를 이용한 막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN104762590B (zh) * 2015-03-20 2017-05-10 京东方科技集团股份有限公司 蒸镀掩膜板
KR102549358B1 (ko) 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
CN106086781B (zh) * 2016-06-15 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 掩膜组件及其制造方法、显示装置
KR102642345B1 (ko) * 2016-09-06 2024-02-29 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크
CN206706184U (zh) * 2017-05-12 2017-12-05 京东方科技集团股份有限公司 掩模板以及掩模片
CN111886356A (zh) * 2018-03-20 2020-11-03 夏普株式会社 成膜用掩模及使用该成膜用掩模的显示装置的制造方法
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
KR20210155428A (ko) * 2020-06-15 2021-12-23 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체
KR20220030437A (ko) * 2020-08-31 2022-03-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법
KR20220055538A (ko) * 2020-10-26 2022-05-04 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리 및 마스크 어셈블리의 제작 방법

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4156700B2 (ja) * 1998-03-16 2008-09-24 富士通株式会社 露光データ作成方法、露光データ作成装置、及び、記録媒体
JP3479024B2 (ja) * 2000-03-28 2003-12-15 Ｎｅｃエレクトロニクス株式会社 電子線露光用マスク及びそのパターン設計方法
JP3768794B2 (ja) * 2000-10-13 2006-04-19 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路装置の製造方法
JP2002158278A (ja) * 2000-11-20 2002-05-31 Hitachi Ltd 半導体装置およびその製造方法ならびに設計方法
JP4746753B2 (ja) * 2001-03-05 2011-08-10 ルネサスエレクトロニクス株式会社 荷電粒子線露光用マスクの形成方法および荷電粒子線用マスクを形成するためのパターンデータの処理プログラム
KR100490816B1 (ko) * 2001-06-15 2005-05-24 샤프 가부시키가이샤 마이크로 코너 큐브 어레이, 마이크로 큐브 어레이의 제조방법 및 반사형 표시 장치
DE60228599D1 (de) * 2001-08-24 2008-10-09 Dainippon Printing Co Ltd Maskeneinrichtung zur bildung mehrerer seiten für die vakuumablagerung
JP4173722B2 (ja) * 2002-11-29 2008-10-29 三星エスディアイ株式会社 蒸着マスク、これを利用した有機ｅｌ素子の製造方法及び有機ｅｌ素子
WO2006027830A1 (ja) * 2004-09-08 2006-03-16 Toray Industries, Inc. 有機電界発光装置およびその製造方法
KR100700838B1 (ko) * 2005-01-05 2007-03-27 삼성에스디아이 주식회사 섀도우마스크 패턴 형성방법
JP4438710B2 (ja) * 2005-07-20 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 マスク、マスクチップ、マスクの製造方法及びマスクチップの製造方法
US7772575B2 (en) * 2006-11-21 2010-08-10 D2S, Inc. Stencil design and method for cell projection particle beam lithography
US7914954B2 (en) * 2008-09-09 2011-03-29 D2S, Inc. Stencil, stencil design system and method for cell projection particle beam lithography
JP5458728B2 (ja) * 2009-07-29 2014-04-02 住友化学株式会社 発光装置
KR101030030B1 (ko) * 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101107159B1 (ko) * 2009-12-17 2012-01-25 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
KR101182440B1 (ko) * 2010-01-11 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR101182439B1 (ko) * 2010-01-11 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법
KR101232181B1 (ko) * 2010-02-03 2013-02-12 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR101742816B1 (ko) * 2010-12-20 2017-06-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101154007B1 (ko) * 2010-12-21 2012-06-07 에스케이하이닉스 주식회사 미세 패턴 형성 방법
KR101693578B1 (ko) * 2011-03-24 2017-01-10 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크
KR101820020B1 (ko) * 2011-04-25 2018-01-19 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR101923172B1 (ko) * 2011-05-16 2018-11-29 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20130081528A (ko) * 2012-01-09 2013-07-17 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 및 이를 이용한 증착 설비
KR102024853B1 (ko) * 2012-09-03 2019-11-05 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR101995500B1 (ko) * 2012-11-20 2019-10-02 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 및 마스크 조립체
KR102014479B1 (ko) * 2012-11-28 2019-08-27 삼성디스플레이 주식회사 단위 마스크 스트립 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법
US20150011427A1 (en) * 2013-07-02 2015-01-08 Florida State University Research Foundation Evaporative edge lithography of a microarray
KR102432350B1 (ko) * 2015-11-06 2022-08-16 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 표시 장치의 제조 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190141058A (ko) * 2018-06-12 2019-12-23 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체

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US20150047560A1 (en) 2015-02-19

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