KR20190141058A - 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시 예에 따른 증착용 마스크는 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부가 배치되는 패터닝 영역 및 제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치되는 복수의 본딩 영역들을 포함하고, 상기 패턴부는, 제1 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부; 및 제2 패턴홀들이 정의되고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 패턴부의 양단과 상기 본딩 영역들 사이에 배치되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고, 상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 패턴홀들 중 서로 인접한 제1 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 크다.

Description

증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체{DEPOSITION MASK AND MASK ASSEMBLY ICLUDING THE SAME}
본 발명은 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것으로, 증착 정밀도 및 균일도가 향상된 증착용 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
표시 장치 중 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로서 주목을 받고 있다. 이러한 유기 발광 표시 장치는 서로 대향되는 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 포함한다. 상기 중간층은 여러 방법으로 형성될 수 있는데, 그 중 한 방법이 증착 방법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는, 기판에 형성될 박막의 패턴과 동일한 패턴의 개구부를 가지는 증착용 마스크, 예를 들어 파인 메탈 마스크(Fine Metal Mask; FMM)를 기판에 밀착시키고, 증착 물질을 증착용 마스크를 통해 기판에 증착하여 원하는 패턴의 박막을 형성한다.
본 발명의 목적은 증착 정밀도 및 균일도가 향상된 증착용 마스크를 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착용 마스크는 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부가 배치되는 패터닝 영역, 및 제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치되는 복수의 본딩 영역들을 포함하고, 상기 패턴부는, 제1 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부, 및 제2 패턴홀들이 정의되고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 패턴부의 양단과 상기 본딩 영역들 사이에 배치되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고, 상기 제1 패턴홀들 중 서로 인접한 제1 패턴홀들 사이의 최소 거리는 제1 거리로 정의되고, 상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 최소 거리는 제2 거리로 정의되고, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 크다.
상기 제1 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제2 패턴홀들 각각의 크기와 동일하다.
상기 제2 거리는 약 20um 이상이다.
상기 제2 패턴부들 각각은, 상기 본딩 영역과 인접하고, 상기 제2 패턴홀들이 정의되는 제1 부분, 및 상기 제1 부분 및 상기 제1 패턴부 사이에 배치되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 제2 부분을 포함한다.
상기 제1 부분에 적어도 두 개의 행 이상의 제2 패턴홀들이 정의된다.
상기 제2 패턴부들 각각은, 상기 제1 부분 및 상기 본딩 영역 사이에 배치되는 제3 패턴홀들이 정의된 제3 부분을 더 포함하고, 상기 제3 패턴홀들 중 서로 인접한 제3 패턴홀들 사이의 최소 거리로 정의되는 제3 거리는 상기 제2 거리보다 크다.
상기 제1 패턴부는, 상기 제1 방향으로 이격되어 배열되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 복수의 증착부들, 및 상기 증착부들 사이에 배치되는 적어도 하나의 차단부를 포함한다.
상기 차단부의 개구율은 상기 증착부들 각각의 개구율보다 낮다.
상기 차단부의 개구율은 0이다.
상기 차단부에 복수의 제4 패턴홀들이 정의되고, 상기 제4 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제1 패턴홀들 각각의 크기와 동일하다.
상기 제4 패턴홀들 중 서로 인접한 제4 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제2 거리보다 크거나 같다.
상기 차단부에 복수의 제4 패턴홀들이 정의되고, 상기 제4 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제1 패턴홀들 각각의 크기보다 작다.
상기 제4 패턴홀들 중 서로 인접한 제4 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 거리와 동일하다.
상기 차단부의 개구율은 상기 증착부들 각각의 개구율과 동일하다.
상기 차단부의 상기 제1 방향 폭은 상기 제2 패턴부의 상기 제1 방향 폭과 상이하다.
상기 제1 패턴홀들 사이의 최대 거리는 상기 제2 거리와 동일하다.
상기 제1 방향에서 상기 본딩 영역들의 양단과 인접하게 배치되는 커팅부들을 더 포함하고, 상기 커팅부들 각각은 상기 제1 패턴홀들이 정의된 더미 패턴부를 포함한다.
상기 커팅부들 각각에 상기 제1 방향 외측으로부터 내측으로 함몰된 클램핑홈이 정의된다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체는 프레임 세트, 및 상기 프레임 세트 상에 안착되고, 각각이 제1 방향으로 연장된 복수의 증착용 마스크들을 포함하고, 상기 프레임 세트는, 틀 형상을 갖는 지지 프레임, 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 제2 방향 양단이 상기 지지 프레임에 체결되는 복수의 지지대들을 포함하고, 상기 증착용 마스크들 각각은, 상기 제1 방향 양단에 정의되고, 상기 지지 프레임에 고정되는 복수의 본딩 영역들, 및 상기 본딩 영역들 사이에 정의되고, 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부가 배치되는 패터닝 영역을 포함하고, 상기 패턴부는, 상기 패턴부의 중심에 배치되고, 복수의 제1 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부, 및 상기 제1 방향에서 상기 제1 패턴부의 양단과 상기 본딩 영역들 사이에 배치되고, 각각의 적어도 일부 영역에 복수의 제2 패턴홀들이 정의되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고, 상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 패턴홀들 중 서로 인접한 제1 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 크다.
상기 제1 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제2 패턴홀들 각각의 크기와 동일하다.
상기 지지대들은, 상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 제1 패턴부의 일부와 중첩하는 적어도 하나의 제1 지지대, 및 상기 지지대들 중 상기 제1 방향 최외각에 배치되어, 상기 증착용 마스크들 각각의 상기 제2 패턴부들과 중첩하는 제2 지지대들을 포함한다.
상기 제1 패턴부는, 상기 제1 방향으로 이격되어 배열되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 복수의 증착부들, 및 상기 증착부들 사이에 배치되고, 상기 제1 지지대와 중첩하는 적어도 하나의 차단부를 포함한다.
상기 제2 지지대들 각각의 상기 제1 방향 폭은 상기 제1 지지대들 각각의 상기 제1 방향 폭과 상이하다.
상기 본딩 영역의 개구율은 0이다.
상기 지지 프레임의 상기 제2 방향 내측들 각각에 상기 제1 방향으로 배열되는 복수의 결합홈들이 정의되고, 상기 복수의 결합홈들에 상기 지지대들의 양단이 삽입된다.
상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 상기 최소 거리는 약 20um 이상이다.
상기 제2 패턴부에 적어도 두 개의 행 이상의 제2 패턴홀들이 정의된다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착용 마스크는 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되고, 크기가 동일한 복수의 패턴홀들이 정의된 패터닝 영역, 및 제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치된 복수의 본딩 영역들을 포함하고, 상기 패터닝 영역에서 상기 본딩 영역들과 인접한 일부 영역들에 정의된 상기 패턴홀들 중 서로 인접한 패턴홀들 사이의 최소 거리는, 상기 패터닝 영역에서 상기 일부 영역들을 제외한 영역에 정의된 상기 패턴홀들 중 서로 인접한 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 크다.
본 발명의 실시 예에 따른 증착용 마스크는 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되고 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부를 포함하는 패터닝 영역 및 제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치된 복수의 본딩 영역들을 포함하고, 상기 패턴부는, 제1 배열 관계를 갖고 배열되는 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부; 및 적어도 일부 영역에 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 패턴홀들이 정의되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고, 상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 크다.
상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리는 약 20um 이상이다.
상기 패턴홀들 각각의 직경은 약 17um 이상 22um 이하이다.
상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들은 적어도 2개 행 이상을 이룬다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 증착 공정의 증착 정밀도 및 균일도가 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 지지 프레임 세트의 사시도이다.
도 3은 커팅부가 절단된 마스크 조립체의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 5는 증착용 마스크의 평면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 A 영역의 확대도이다.
도 7은 도 6에 도시된 제1 패턴부의 확대도이다.
도 8은 도 6에 도시된 제1 부분의 확대도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 제2 패턴부의 확대도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 제2 패턴부의 확대도이다.
도 11은 도 10에 도시된 제3 부분의 확대도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 차단부의 확대도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 차단부의 확대도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 차단부의 확대도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면,
소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자, 제 1 구성요소 또는 제 1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자, 제 2 구성요소 또는 제 2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 지지 프레임 세트의 사시도이다. 도 3은 커팅부가 절단된 마스크 조립체의 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체(100)는 후술될 대상 기판(SUB, 도 4)에 유기물을 증착하는 공정에 사용될 수 있다. 예시적으로, 마스크 조립체(100)는 유기 발광 소자(미도시) 제작을 위한 유기물 증착 공정에 사용될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체(100)는 프레임 세트(10) 및 복수의 증착용 마스크들(20)을 포함한다.
마스크 조립체(100)는 지지 프레임(11) 및 복수의 지지대들(12, 13)을 포함한다. 지지 프레임(11)은 사각 틀 형상을 갖는다. 지지 프레임(11)의 중앙에 프레임 개구(FOP)가 정의될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 지지 프레임(11)은 제1 방향(DR1)으로 단변을 갖고, 평면 상에서 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 장변을 갖는 직사각형 형상을 갖는다. 그러나, 본 발명은 지지 프레임(11)의 형상에 특별히 한정되지 않는다. 후술될 증착용 마스크들(20)의 크기 및 개수에 따라 지지 프레임(11)의 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에서의 길이가 결정될 수 있다.
지지대들(12, 13) 각각은 막대 형상을 갖는다. 지지대들(12, 13) 각각은 제2 방향(DR2)으로 연장된다. 지지대들(12, 13)은 제1 방향(DR1)을 따라 배열된다. 지지대들(12, 13)은 지지 프레임(11) 내측에 배치되어 프레임 개구(FOP)를 복수개로 구획할 수 있다. 지지대들(12, 13)은 후술될 증착용 마스크들(20)을 지지하는 역할을 수행한다.
지지대들(12, 13)은 적어도 하나의 제1 지지대(12) 및 복수의 제2 지지대들(13)을 포함한다. 도 1 내지 도 3에서는 제1 지지대(12)가 복수로 제공된 경우가 예시적으로 도시되었다.
복수의 제1 지지대들(12)은 제1 방향(DR1)을 따라 소정의 간격을 가지고 배열된다. 두 개의 제2 지지대들(13)은 지지대들(12, 13) 중 제1 방향(DR1)에서 최외각에 배치된다. 즉, 두 개의 제2 지지대들(13) 사이에 복수의 제1 지지대들(12)이 배열될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 지지대들(12, 13) 사이의 거리는 일정할 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예시적으로, 후술될 대상 기판(SUB, 도 4) 상에 증착하고자 하는 영역의 크기 및 형상에 따라 지지대들(12, 13) 사이의 거리를 서로 다르게 설정할 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 제1 지지대(12)의 제1 방향(DR1) 폭은 제2 지지대(13)의 제1 방향(DR1) 폭과 상이할 수 있다. 도 1 내지 도 3에서는 제2 지지대(13)의 제1 방향(DR1) 폭이 제1 지지대(12)의 제1 방향(DR1) 폭보다 큰 경우가 예시적으로 도시되었다. 그러나, 본 발명은 제1 지지대(12) 및 제2 지지대(13)의 제1 방향(DR1) 폭의 크기에 한정되지 않는다. 제1 지지대(12) 및 제2 지지대(13)의 제1 방향(DR1) 폭은 후술될 대상 기판(SUB, 도 4) 상에 증착하고자 하는 영역의 크기 및 형상에 따라 다르게 설정될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 프레임 개구(FOP)와 인접한 지지 프레임(11)의 내측들 중 제2 방향(DR2)에서 서로 마주보는 내측들에 복수의 결합홈들(GR)이 정의될 수 있다. 결합홈들(GR)은 제2 방향(DR2)에서 서로 마주보도록 쌍을 이룬다. 복수의 쌍의 결합홈들(GR)은 제1 방향(DR1)으로 배열된다.
복수의 쌍의 결합홈들(GR)은 지지대들(12, 13)과 일대일 대응한다. 지지대들(12, 13) 각각의 양단은 한 쌍의 결합홈(GR)에 체결되어 지지 프레임(11)에 고정될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 제2 지지대들(13)은 지지 프레임(11)의 제1 방향(DR1) 내측들과 접촉한다. 즉, 지지 프레임(11)의 제1 방향(DR1) 내측들과 제2 지지대들(13) 사이에는 개구가 형성되지 않는다.
본 실시 예에서는 지지대들(12, 13)이 지지 프레임(11)에 형성된 결합홈(GR)들에 삽입되는 구성이 설명되었으나, 본 발명이 지지대들(12, 13)과 지지 프레임(11)의 결합 방식에 특별히 한정되는 것은 아니다.
증착용 마스크들(20)은 프레임 세트(10) 상에 안착된다. 본 실시 예에 따르면, 프레임 세트(10)의 지지대들(12, 13) 각각의 상면은 지지 프레임(11)의 상면과 동일 평면 상에 배치된다. 따라서, 증착용 마스크들(20)이 프레임 세트(10) 상에 안정적으로 안착될 수 있다.
증착용 마스크들(20) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장된다. 증착용 마스크들(20)은 제2 방향(DR2)으로 배열된다.
증착용 마스크들(20) 각각은 마스크 유닛(21) 및 복수의 커팅부들(22)을 포함한다.
마스크 유닛(21)은 제1 방향(DR1)으로 연장된다. 마스크 유닛(21)은 프레임 세트(10)에 의하여 실질적으로 지지되는 부분일 수 있다. 즉, 마스크 유닛(21)의 제1 방향(DR1) 양단은 지지 프레임(11)의 상기 장변의 일부와 중첩할 수 있다. 지지 프레임(11)의 상기 장변의 일부와 중첩하는 마스크 유닛(21)의 영역은 용접 공정과 같은 본딩 공정을 통하여 지지 프레임(11)의 상기 장변의 일부에 본딩될 수 있다.
커팅부들(22)은 마스크 유닛(21)의 제1 방향(DR1) 양단에 인접하게 배치된다. 예시적으로, 커팅부들(22)은 마스크 유닛(21)의 제1 방향(DR1) 양단과 연결된다. 즉, 마스크 유닛(21)은 두 개의 커팅부들(22) 사이에 배치될 수 있다. 커팅부들(22)은 프레임 세트(10)와 접촉하지 않는다.
본 실시 예에 따르면, 프레임 세트(10) 상에 안착되기 전의 증착용 마스크들(20) 각각은 고정 부재(미도시)에 의하여 지지될 수 있다. 예시적으로, 고정 부재(미도시)는 클램프(Clamp)일 수 있다. 증착용 마스크들(20) 각각의 양단에 배치된 커팅부들(22) 각각이 고정 부재(미도시)에 고정됨으로써, 증착용 마스크(20)가 지지될 수 있다. 또한, 고정 부재(미도시)는 커팅부들(22) 각각을 고정함과 동시에 증착용 마스크(20)에 인장력을 가할 수 있다. 상기 인장력의 방향은 제1 방향(DR1)과 평행하다.
본 실시 예에 따르면, 마스크 유닛(21) 및 지지 프레임(11) 사이의 본딩 공정이 완료된 후, 커팅부들(22)은 절단될 수 있다. 도 3에서는 커팅부들(22)이 절단된 마스크 조립체(100A)가 도시되었다. 즉, 절단 공정이 완료된 마스크 조립체(100A)는 프레임 세트(10) 및 마스크 유닛(21)만을 포함할 수 있다. 이하 도 5 내지 도 8에서, 증착용 마스크(20)에 관하여 보다 상세히 후술된다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치를 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 4를 도 3과 함께 참조하면, 전술된 마스크 조립체(100A)는 유기물 증착 공정에 사용될 수 있다.
구체적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치(1000)는 챔버(CHB), 증착원(S), 스테이지(STG), 이동 플레이트(PP) 및 마스크 조립체(100A)를 포함한다. 증착원(S), 스테이지(STG), 이동 플레이트(PP) 및 마스크 조립체(100A)는 챔버(CHB) 내에 배치된다.
챔버(CHB)는 밀폐된 공간을 형성한다. 챔버(CHB)는 적어도 하나의 게이트(GT)를 구비할 수 있다. 게이트(GT)를 통하여 챔버(CHB)가 개폐될 수 있다. 마스크 조립체(100A) 및 대상 기판(S)은 챔버(CHB)에 구비된 게이트(GT)를 통하여 출입된다.
증착원(S)은 챔버(CHB) 내에서 하부에 배치된다. 증착원(S)은 증착 물질을 포함한다. 이 때, 증착 물질은 승화 또는 기화가 가능한 물질로 무기물, 금속 또는 유기물 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 본 실시 예에 따른 증착원(S)은 유기 발광 소자(미도시)를 제작하기 위한 유기물을 포함하는 경우를 예시적으로 설명한다.
스테이지(STG)는 증착원(S)의 상부에 배치된다. 스테이지(STG) 상에 마스크 조립체(100A)가 안착될 수 있다. 마스크 조립체(100A)는 증착원(S)과 대향한다. 도 3에 도시된 마스크 조립체(100A)의 I-I' 선의 단면이 도 4에서 도시되었다. 스테이지(STG)는 마스크 조립체(100A)의 지지 프레임(11)과 중첩하여 마스크 조립체(100A)를 지지한다. 스테이지(STG)는 지지 프레임(11)에 정의된 프레임 개구(FOP, 도 1 및 도 2)와 중첩하지 않는다. 즉, 스테이지(STG)는 증착원(S)으로부터 기판(SUB)으로 공급되는 증착 물질의 이동 경로 외측에 배치될 수 있다.
마스크 조립체(100A) 상에는 대상 기판(SUB)이 안착된다. 마스크 조립체(100A)의 마스크 유닛(21)이 포함하는 패턴들에 의하여 대상 기판(SUB)에 유기물이 증착될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 이동 플레이트(PP)가 대상 기판(SUB)을 마스크 조립체(100A) 상에 정렬시킬 수 있다. 예시적으로, 이동 플레이트(PP)는 정전기력 또는 자기력을 발생시켜 대상 기판(SUB)을 이동시킨다. 이동 플레이트(PP)는 상하 또는 좌우로 이동 가능하다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 이동 플레이트(PP)는 대상 기판(SUB)을 마스크 조립체(100A) 상에 고정하는 기능을 수행할 수 있다. 대상 기판(SUB)이 이동 플레이트(PP)에 의하여 마스크 조립체(100A)에 고정됨으로써, 증착 공정의 정밀성이 향상될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 증착원(S)의 증착 물질은 승화 또는 기화되어 마스크 조립체(100A)의 마스크 유닛(21) 및 기판(SUB)으로 공급될 수 있다. 마스크 유닛(21)에 의하여 차단된 기판(SUB) 상의 영역에는 증착 물질이 공급되지 않는다.
도 5는 증착용 마스크의 평면도이다.
전술된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 증착용 마스크(20)는 마스크 유닛(21) 및 복수의 커팅부들(22)를 포함한다.
도 5를 참조하면, 마스크 유닛(21)은 제1 방향(DR1)으로 배열되는 복수의 영역들을 포함한다. 구체적으로, 마스크 유닛(21)은 마스크 유닛(21)의 중앙에 정의되는 패터닝 영역(PA) 및 복수의 본딩 영역들(BA)을 포함한다. 본딩 영역들(BA)은 제1 방향(DR1)에서 패터닝 영역(PA)의 양단과 인접하게 배치된다. 예시적으로, 본딩 영역들(BA)은 제1 방향(DR1)에서 패터닝 영역(PA)의 양단과 연결된다.
패터닝 영역(PA)은 전술된 지지 프레임(11, 도 2)에 정의된 프레임 개구(FOP, 도 2)와 중첩한다. 패터닝 영역(PA)에 복수의 패턴홀들(미도시)이 정의되는 패턴부(PT)가 배치될 수 있다.
본딩 영역들(BA) 각각은 전술된 지지 프레임(11)의 장변의 일부와 중첩한다. 즉, 본딩 영역들(BA) 각각의 제1 방향(DR1) 폭은 지지 프레임(11)의 장변의 제1 방향(DR1) 폭과 동일할 수 있다. 본딩 영역들(BA)에는 상기 패턴홀들(미도시)이 정의되지 않는다. 즉, 상기 본딩 영역들(BA) 각각의 개구율은 0일 수 있다.
패턴부(PT)는 제1 패턴부(PT1) 및 복수의 제2 패턴부들(PT2)을 포함한다. 본 실시 예에 따르면, 제1 패턴부(PT1) 및 제2 패턴부들(PT2) 각각에 복수의 패턴홀들(미도시)이 정의될 수 있다.
제1 패턴부(PT1)는 복수의 증착부들(AT) 및 적어도 하나의 차단부(NAT)를 포함한다. 구체적으로, 예시적으로, 제1 패턴부(PT1)는 N개의 증착부들(AT) 및 N-1개의 차단부들(NAT)을 포함할 수 있다. 도 5에서는 복수의 차단부들(NAT)이 도시되었다.
증착부들(AT)은 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배열된다. 증착부들(AT) 각각은 전술된 대상 기판(SUB, 도 4) 상에 증착 물질이 실질적으로 증착되는 영역들과 대응된다. 즉, 증착부들(AT)은 마스크 조립체(100A)에 의하여 노출되는 영역을 포함한다.
차단부들(NAT) 각각은 증착부들(AT)의 사이에 배치될 수 있다. 즉, 차단부들(NAT) 각각은 증착부들(AT) 각각을 인접한 증착부(AT)와 격리시킨다. 차단부들(NAT)은 전술된 제1 지지대들(12, 도 1 및 도 2)에 의하여 커버되어 증착 공정 시, 증착 물질이 제공되지 않는 영역을 포함한다.
본 실시 예에 따르면, 증착부들(AT) 및 차단부들(NAT) 각각에 소정의 거리를 가지고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들(미도시)이 정의된다. 즉, 증찰부들(AT) 및 차단부들(NAT) 각각에 배열되는 복수의 패턴홀들(미도시)은 제1 배열 관계를 갖는다. 증착부들(AT) 및 차단부들(NAT) 각각은 제1 개구율을 가질 수 있다. 예시적으로, 증착부들(AT) 및 차단부들(NAT) 각각에 제1 패턴홀들(미도시)이 정의될 수 있다. 이하, 도 6 내지 도 8에서 보다 상세히 후술된다.
제2 패턴부들(PT2)은 제1 방향(DR1)에서 제1 패턴부(PT1)의 양단에 배치된다. 제2 패턴부들(PT2) 각각은 제1 패턴부(PT1)의 양단과 본딩 영역들(BA) 사이에 배치된다. 예시적으로, 제2 패턴부들(PT2) 각각은 제1 패턴부(PT1)의 양단과 본딩 영역들(BA)을 연결한다. 구체적으로, 제2 패턴부들(PT2) 각각은 제1 패턴부(PT1)의 최외각에 배치되는 증착부들(AT)과 본딩 영역들(BA)을 연결한다. 제2 패턴부들(PT2) 각각은 전술된 제2 지지대들(13, 도 1 및 도 2)에 의하여 커버되어 증착 공정 시, 증착 물질이 제공되지 않는 영역을 포함한다.
본 실시 예에 따르면, 제2 패턴부들(PT2) 각각의 제1 방향(DR1) 폭은 차단부들(NAT) 각각의 제1 방향(DR1) 폭과 상이할 수 있다. 도 5에서는 제2 패턴부들(PT2) 각각의 제1 방향(DR1) 폭이 차단부들(NAT) 각각의 폭보다 큰 경우가 예시적으로 도시되었다. 그러나, 본 발명은 제2 패턴부들(PT2) 각각 및 차단부(NAT)의 제1 방향(DR1) 폭의 크기에 특별히 한정되지 않는다. 제2 패턴부들(PT2) 각각 및 차단부(NAT)의 제1 방향(DR1)의 폭은 대상 기판(SUB, 도 4) 상에 증착하고자 하는 영역의 크기 및 형상에 따라 다르게 설정될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 제2 패턴부들(PT2) 각각에 소정의 거리를 가지고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들(미도시)이 정의된다. 제2 패턴부들(PT2) 각각에 배열되는 복수의 패턴홀들(미도시)의 일부는 제2 배열 관계를 갖는다. 제2 패턴부들(PT2) 각각의 적어도 일부는 제2 개구율을 가질 수 있다. 예시적으로, 제2 패턴부들(PT2) 각각에 제2 패턴홀들(미도시)이 정의될 수 있다. 이하, 도 6 내지 도 8에서 보다 상세히 후술된다.
커팅부들(22) 각각은 마스크 유닛(21)의 제1 방향(DR1) 외측에 배치된다. 즉, 마스크 유닛(21)의 양단은 커팅부들(22)과 연결될 수 있다.
커팅부들(22)은 커팅부들(22) 각각의 제1 방향(DR1) 외측에 배치되는 복수의 클램핑부들(CP)을 포함한다. 클램핑부들(CP)은 전술된 고정 부재(미도시)에 의하여 고정될 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 클램핑부들(CP) 사이에 클램핑홈(CG)이 정의된다. 클램핑홈(CG)은 제1 방향(DR1)에서 증착용 마스크(20)의 외측으로부터 내측으로 함몰된 형상을 갖는다. 도 5에서는 클램핑홈(CG)의 내주면이 곡면을 포함하도록 도시되었다. 이 경우, 증착용 마스크(20)에 가해지는 인장력으로 인하여 증착용 마스크(20)가 변형되거나 파손되는 현상을 완화시킬 수 있다.
본 실시 예에 따른 커팅부들(22) 각각은 더미 패턴부(DP)를 더 포함할 수 있다. 더미 패턴부(DP)는 마스크 유시(21)의 본딩 영역(BA)과 인접하다. 예시적으로, 더미 패턴부(DP)는 마스크 유닛(21)의 본딩 영역(BA)과 연결된다. 즉, 더미 패턴부(DP)는 클램핑부들(CP) 및 본딩 영역(BA) 사이에 배치된다.
본 실시 예에 따르면, 더미 패턴부(DP)에 복수의 패턴홀들(미도시)이 정의될 수 있다. 본 발명에서는 더미 패턴부(DP)에 정의된 패턴홀들(미도시)의 개수, 형상 및 배열 관계 또는 더미 패턴부(DP)의 개구율에 특별히 한정되지 않는다. 예시적으로, 더미 패턴부(DP)는 증착부(AT)와 동일한 개구율을 갖는다. 즉, 더미 패턴부(DP)에 제1 배열 관계를 갖는 제1 패턴홀들(미도시)이 정의될 수 있다.
더미 패턴부(DP)는 클램핑부들(CP)로부터 패턴부(PT)로 전달되는 인장력을 흡수하는 기능을 수행한다. 따라서, 더미 패턴부(DP)는 증착용 마스크(20)에 인가되는 인장력으로 인하여 패턴부(PT)에 변형이 발생하는 현상을 완화시킬 수 있다.
본 실시 예에서는 커팅부들(22) 각각이 하나의 더미 패턴부(DP)를 포함하는 구성이 개시되나, 본 발명은 커팅부들(22)이 포함하는 더미 패턴부(DP)의 개수에 특별히 한정되지 않는다.
도 6은 도 5에 도시된 A 영역의 확대도이다. 도 7은 도 6에 도시된 제1 패턴부의 확대도이고, 도 8은 도 6에 도시된 제1 부분의 확대도이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 제1 패턴부(PT1)는 제1 개구율을 갖는다. 구체적으로, 제1 패턴부(PT1)에 복수의 제1 패턴홀들(H1)이 정의된다. 제1 패턴홀들(H1)은 제1 패턴부(PT1)가 차지하는 증착 마스크(20)의 영역 상에서 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 제1 패턴홀들(H1) 각각의 크기 및 형상은 전술된 대상 기판(SUB) 상에 구획될 하나의 셀의 크기와 대응된다. 즉, 대상 기판(SUB) 상에 증착하고자 하는 셀의 크기에 따라 제1 패턴홀들(H1)의 직경이 다르게 설계될 수 있다. 예시적으로, 제1 패턴홀들(H1) 각각의 직경은 약 17um 이상 22 um 이하 일 수 있다.
도 7에서는 제1 패턴홀들(H1) 각각의 형상이 팔각형인 경우가 도시되었다. 그러나, 이 외에도 본 발명의 다른 실시 예에 따른 제1 패턴홀들(H1) 각각은 다각형, 원형 또는 타원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
제1 패턴홀들(H1)은 제1 배열 관계를 갖는다. 즉, 제1 패턴홀들(H1) 중 서로 인접한 제1 패턴홀들(H1) 사이의 최소 거리는 제1 거리(D1)로 정의된다. 본 실시 예에 따르면, 제1 거리(D1)는 약 15um 내지 18um 일 수 있다.
본 실시 예에 따르면, 제2 패턴부들(PT2) 각각의 적어도 일부 영역에 복수의 제2 패턴홀들(H2)이 정의된다.
구체적으로, 제2 패턴부들(PT2) 각각은 제1 부분(AR1) 및 제2 부분(AR2)을 포함한다. 제1 부분(AR1) 및 제2 부분(AR2)은 제1 방향으로 배열된다. 제1 부분(AR1)은 제2 부분(AR2)보다 제1 방향(DR1)의 외측에 배치된다. 즉, 제1 부분(AR1)은 본딩 영역(BA)과 인접하게 배치된다. 제2 부분(AR2)은 제1 부분(AR1)과 제1 패턴부(PT1) 사이에 배치된다. 예시적으로, 제2 부분(AR2)은 제1 부분(AR1)과 제1 패턴부(PT1)를 연결한다.
제2 부분(AR2)은 제2 개구율을 갖는다. 제2 개구율은 제1 개구율보다 작을 수 있다. 구체적으로, 제1 부분(AR1)에는 복수의 제2 패턴홀들(H2)이 정의된다. 제2 패턴홀들(H2)은 제1 부분(AR1)이 차지하는 증착 마스크(20)의 영역 상에서 복수의 행들을 이룬다. 제1 부분(AR1)의 제1 방향(DR1) 폭은 제2 패턴홀들(H2)이 이루는 행들의 개수에 따라 달라질 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 제1 부분(AR1)에 적어도 두 개 이상의 행들을 이루는 제2 패턴홀들(H2)이 정의될 수 있다. 제2 패턴홀들(H2)의 행들은 제1 방향(DR1)으로 배열되며, 서로 교번적으로 배치될 수 있다. 제2 패턴홀들(H2) 각각의 크기 및 형상은 제1 패턴홀들(H1) 각각의 크기 및 형상과 동일하다.
본 실시 예에 따르면, 제2 패턴홀들(H2)은 제2 배열 관계를 갖는다. 제2 패턴홀들(H2) 중 서로 인접한 제2 패턴홀들(H2) 사이의 최소 거리는 제2 거리(D2)로 정의된다. 본 실시 예에 따르면, 제2 거리(D2)는 제1 거리(D1)보다 클 수 있다. 예시적으로, 제2 거리(D2)는 약 20um 이상일 수 있다.
제2 부분(AR2)에는 복수의 제1 패턴홀들(H1)이 정의된다. 즉, 제2 부분(AR2)에 배열된 패턴홀들(H1)은 제1 배열 관계를 갖는다. 제1 패턴홀들(H1)은 제2 부분(AR2)이 차지하는 증착 마스크(20)의 영역 상에서 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 본 실시 예에서, 제2 부분(AR2)의 개구율은 제1 패턴부(PT1)의 개구율과 동일하다. 즉, 제2 부분(AR2)에 정의된 제1 패턴홀들(H1) 사이의 최소 거리는 약 15um 내지 18um 일 수 있다.
본 실시 예에서, 제1 패턴부(PT1) 및 제2 부분(AR2) 각각의 제1 패턴홀들(H1) 사이의 최대 거리는 제2 거리(D2)와 동일할 수 있다.
본 발명의 실시 예와는 다르게, 패턴부(PT)가 제2 패턴부(PT2)를 포함하지 않는 경우, 즉, 패턴부(PT)가 제2 패턴부(PT2)의 제1 부분(AR1)을 포함하지 않는 경우, 제1 개구율을 갖는 패턴부(PT)가 개구율이 0인 본딩 영역(BA)과 직접 연결될 수 있다. 이 경우, 본딩 영역(BA)과 패턴부(PT)의 개구율 차이에 의하여, 클램핑부(CP)로부터 발생된 인장력이 전달되는 과정에서 본딩 영역(BA)과 패턴부(PT) 사이의 경계 영역에 스트레스가 발생할 수 있다. 이에 따라, 본딩 영역(BA)과 인접한 패턴부(PT)의 제1 패턴홀들(H1)이 변형되거나, 증착용 마스크(20)가 프레임 세트(10) 상에서 오정렬될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시 예에 따르면, 패턴부(PT)가 제1 개구율보다 작은 제2 개구율을 갖는 제2 패턴부(PT2)를 포함하므로, 즉, 제2 패턴부(PT2)가 본딩 영역(BA) 및 제1 패턴부(PT1) 사이에 배치되므로, 본딩 영역(BA)과 패턴부(PT) 사이의 경계 영역에 스트레스가 집중되는 현상이 완화될 수 있다.
결과적으로, 본 실시 예에 따르면, 증착용 마스크의 내구성이 향상되어 증착 공정의 증착 정밀도 및 균일도가 향상될 수 있다.
도 9 및 도 10 각각은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 제2 패턴부의 확대도들이다. 도 11은 도 10에 도시된 제3 부분의 확대도이다.
설명의 편의를 위해, 본 발명의 일 실시 예와 다른 점을 위주로 설명하며, 생략된 부분은 본 발명의 일 실시 예에 따른다. 또한, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다. 도 9 및 도 10 각각은 도 6에 도시된 영역과 대응한다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착용 마스크(20-1)의 제2 패턴부(PT2-1)들 각각은 제1 부분(AR1)만을 포함할 수 있다. 즉, 본 실시 예에 따른 제2 패턴부(PT2-1)는 전술된 제2 부분(AR2)을 포함하지 않는다. 제1 부분(AR1)에 관한 구성은 전술된 제1 부분(AR1)의 구성과 동일하므로, 설명을 생략한다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 증착용 마스크(20-2)의 제2 패턴부들(PT2-2) 각각은 제3 부분(AR3)을 더 포함할 수 있다. 즉, 제2 패턴부들(PT2-2) 각각은 제1 내지 제3 부분들(AR1~AR3)을 포함한다.
본 실시 예에 따른 제3 부분(AR3)은 제3 개구율을 갖는다. 제3 개구율은 제2 개구율보다 작을 수 있다. 구체적으로, 제3 부분(AR3)에는 복수의 제3 패턴홀들(H3)이 정의된다. 제3 패턴홀들(H3)은 제3 부분(AR3)이 차지하는 증착 마스크(20-2)의 영역 상에서 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다. 제3 패턴홀들(H3) 각각의 크기 및 형상은 제1 및 제2 패턴홀들(H1, H2) 각각의 크기 및 형상과 동일하다.
본 실시 예에 따르면, 제3 패턴홀(H3)은 제3 배열 관계를 갖는다. 제3 패턴홀들(H3) 중 서로 인접한 제3 패턴홀들(H3) 사이의 최소 거리는 제3 거리(D3)로 정의된다. 본 실시 예에 따르면, 제3 거리(D3)는 제2 거리(D2)보다 클 수 있다. 예시적으로, 제3 거리(D3)는 약 50um 이상일 수 있다. 본 실시 예에 따르면, 패턴부(PT2-2)와 본딩 영역(BA) 사이의 경계에서 스트레스가 집중되는 형상을 보다 효과적으로 완화시킬 수 있다.
설명의 편의를 위해, 본 발명의 일 실시 예와 다른 점을 위주로 설명하며, 생략된 부분은 본 발명의 일 실시 예에 따른다. 또한, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
도 12 내지 도 14은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 차단부의 확대도이다.
설명의 편의를 위해, 본 발명의 일 실시 예와 다른 점을 위주로 설명하며, 생략된 부분은 본 발명의 일 실시 예에 따른다. 또한, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략한다. 도 12 내지 도 14는 도 5에 도시된 B 영역에 대응한다.
도 12 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예들에 따른 증착용 마스크들(20-3, 20-4, 20-5)의 차단부들(NAT-3, NAT-4, NAT-5) 각각의 개구율은 증착부들(AT) 각각의 개구율보다 작을 수 있다.
도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 증착용 마스크(20-3)의 차단부들(NAT-3) 각각은 패턴홀들(미도시)을 포함하지 않을 수 있다. 즉, 본 실시 예에 따른 차단부들(NAT-3) 각각의 개구율은 0일 수 있다. 이 때, 증착부들(AT) 각각은 제1 개구율을 갖는다. 즉, 증착부들(AT) 각각에는 제1 배열 관계를 갖는 제1 패턴홀들(H1)이 정의될 수 있다. 제1 패턴홀들(H1)에 관한 구성은 전술된 실시예에서의 제1 패턴홀들(H1)의 구성과 동일하므로, 설명을 생략한다.
또한, 도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 증착용 마스크(20-4)의 차단부들(NAT-4) 각각은 제1 개구율보다 작은 제4 개구율을 가질 수 있다. 이 때, 증착부들(AT) 각각은 제1 개구율을 갖는다. 구체적으로, 차단부들(NAT-4) 각각에는 복수의 제4 패턴홀들(H4)이 정의되고, 증착부들(AT) 각각에는 제1 패턴홀들(H1)이 정의될 수 있다. 제1 패턴홀들(H1)에 관한 구성은 전술된 실시예에서의 제1 패턴홀들(H1)의 구성과 동일하므로, 설명을 생략한다.
제4 패턴홀들(H4)은 차단부들(NAT-4) 각각이 차지하는 증착 마스크(20-4)의 영역 상에서 복수의 행을 이룬다. 복수의 행들은 제1 방향(DR1)으로 배열되며, 서로 교번적으로 배치될 수 있다. 본 실시 예에서, 제4 패턴홀들(H4) 각각의 크기 및 형상은 제1 내지 제3 패턴홀들(H1~ H3) 각각의 크기 및 형상과 동일하다.
제4 패턴홀들(H4)은 제4 배열 관계를 갖는다. 제4 패턴홀들(H4) 중 서로 인접한 제4 패턴홀들(H4) 사이의 최소 거리는 제4 거리(미도시)로 정의된다. 본 실시 예에 따르면, 제4 거리(미도시)는 제1 거리(D1)보다 클 수 있다. 예시적으로, 제4 거리(미도시)는 제2 거리(D2)보다 크거나 동일하다. 즉, 제4 거리(미도시)는 약 20um 이상일 수 있다.
또한, 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 증착용 마스크(20-5)의 차단부들(NAT-5) 각각은 제1 개구율보다 작은 제4 개구율을 가질 수 있다. 구체적으로, 차단부들(NAT-5) 각각에는 복수의 제4 패턴홀들(H4)이 정의되고, 증착부들(AT) 각각에는 제1 패턴홀들(H1)이 정의될 수 있다. 제1 패턴홀들(H1)에 관한 구성은 전술된 실시예에서의 제1 패턴홀들(H1)의 구성과 동일하므로, 설명을 생략한다.
제4 패턴홀들(H4)은 차단부들(NAT-4) 각각이 차지하는 증착 마스크(20-5)의 영역상에서 매트릭스 형상을 갖는다. 본 실시 예에 따르면, 제4 패턴홀들(H4) 각각의 크기는 제1 내지 제3 패턴홀들(H3) 각각의 크기보다 작을 수 있다. 또한, 제4 패턴홀들(H4) 중 서로 인접한 제4 패턴홀들(H4) 상의 최소 거리는 제1 거리(D1, 도 6)와 동일할 수 있다.
이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1000: 증착 장치 100, 100A: 마스크 조립체
10: 프레임 세트 11: 지지 프레임
12: 제1 지지대 13: 제2 지지대
GR: 결합홈 CHB: 챔버
GT: 게이트 PP: 이동 플레이트
STG: 스테이지 S: 증착원
20: 증착용 마스크 21: 마스크 유닛
22: 커팅부 CP: 클램핑부
CG: 클램핑홈 BA: 본딩 영역
PA: 패터닝 영역 PT: 패턴부
DP: 더미 패턴부 PT1: 제1 패턴부
PT2: 제2 패턴부 AT: 증착부
NAT: 차단부 AR1: 제1 부분
AR2: 제2 부분 H: 패턴홀

Claims (32)

  1. 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부가 배치되는 패터닝 영역; 및
    제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치되는 복수의 본딩 영역들을 포함하고,
    상기 패턴부는,
    제1 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부; 및
    제2 패턴홀들이 정의되고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 패턴부의 양단과 상기 본딩 영역들 사이에 위치하는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고,
    상기 제1 패턴홀들 중 서로 인접한 제1 패턴홀들 사이의 최소 거리는 제1 거리로 정의되고, 상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 최소 거리는 제2 거리로 정의되고,
    상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 큰 증착용 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제2 패턴홀들 각각의 크기와 동일한 증착용 마스크.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 거리는 약 20um 이상인 증착용 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 패턴부들 각각은,
    상기 본딩 영역과 인접하고, 상기 제2 패턴홀들이 정의되는 제1 부분; 및
    상기 제1 부분 및 상기 제1 패턴부 사이에 배치되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 제2 부분을 포함하는 증착용 마스크.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 부분에 적어도 두 개의 행 이상의 제2 패턴홀들이 정의되는 증착용 마스크.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2 패턴부들 각각은,
    상기 제1 부분 및 상기 본딩 영역 사이에 배치되는 제3 패턴홀들이 정의된 제3 부분을 더 포함하고,
    상기 제3 패턴홀들 중 서로 인접한 제3 패턴홀들 사이의 최소 거리로 정의되는 제3 거리는 상기 제2 거리보다 큰 증착용 마스크.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부는,
    상기 제1 방향으로 이격되어 배열되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 복수의 증착부들; 및
    상기 증착부들 사이에 배치되는 적어도 하나의 차단부를 포함하는 증착용 마스크.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부의 개구율은 상기 증착부들 각각의 개구율보다 작은 증착용 마스크.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 차단부의 개구율은 0인 증착용 마스크.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 차단부에 복수의 제4 패턴홀들이 정의되고, 상기 제4 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제1 패턴홀들 각각의 크기와 동일한 증착용 마스크.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제4 패턴홀들 중 서로 인접한 제4 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제2 거리보다 크거나 같은 증착용 마스크.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 차단부에 복수의 제4 패턴홀들이 정의되고, 상기 제4 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제1 패턴홀들 각각의 크기보다 작은 증착용 마스크.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제4 패턴홀들 중 서로 인접한 제4 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 거리와 동일한 증착용 마스크.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부의 개구율은 상기 증착부들 각각의 개구율과 동일한 증착용 마스크.
  15. 제 7 항에 있어서,
    상기 차단부의 상기 제1 방향 폭은 상기 제2 패턴부의 상기 제1 방향 폭과 상이한 증착용 마스크.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 패턴홀들 사이의 최대 거리는 상기 제2 거리와 동일한 증착용 마스크.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 방향에서 상기 본딩 영역들의 양단과 인접하게 배치되는 커팅부들을 더 포함하고,
    상기 커팅부들 각각은 상기 제1 패턴홀들이 정의된 더미 패턴부를 포함하는 증착용 마스크.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 커팅부들 각각에 상기 제1 방향 외측으로부터 내측으로 함몰된 클램핑홈이 정의되는 증착용 마스크.
  19. 프레임 세트; 및
    상기 프레임 세트 상에 안착되고, 각각이 제1 방향으로 연장된 복수의 증착용 마스크들을 포함하고,
    상기 프레임 세트는,
    틀 형상을 갖는 지지 프레임; 및
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 제2 방향 양단이 상기 지지 프레임에 체결되는 복수의 지지대들을 포함하고,
    상기 증착용 마스크들 각각은,
    상기 제1 방향 양단에 정의되고, 상기 지지 프레임에 고정되는 복수의 본딩 영역들; 및
    상기 본딩 영역들 사이에 정의되고, 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되는 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부가 배치되는 패터닝 영역을 포함하고,
    상기 패턴부는,
    상기 패턴부의 중심에 배치되고, 복수의 제1 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부; 및
    상기 제1 방향에서 상기 제1 패턴부의 양단과 상기 본딩 영역들 사이에 배치되고, 각각의 적어도 일부 영역에 복수의 제2 패턴홀들이 정의되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고,
    상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 패턴홀들 중 서로 인접한 제1 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 큰 마스크 조립체.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1 패턴홀들 각각의 크기는 상기 제2 패턴홀들 각각의 크기와 동일한 증착용 마스크.
  21. 제 19 항에 있어서,
    상기 지지대들은,
    상기 제1 방향으로 배열되고, 상기 제1 패턴부의 일부와 중첩하는 적어도 하나의 제1 지지대; 및
    상기 지지대들 중 상기 제1 방향 최외각에 배치되어, 상기 증착용 마스크들 각각의 상기 제2 패턴부들과 중첩하는 제2 지지대들을 포함하는 마스크 조립체.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제1 패턴부는,
    상기 제1 방향으로 이격되어 배열되고, 상기 제1 패턴홀들이 정의되는 복수의 증착부들; 및
    상기 증착부들 사이에 배치되고, 상기 제1 지지대와 중첩하는 적어도 하나의 차단부를 포함하는 증착용 마스크.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 제2 지지대들 각각의 상기 제1 방향 폭은 상기 제1 지지대들 각각의 상기 제1 방향 폭과 상이한 마스크 조립체.
  24. 제 19 항에 있어서,
    상기 본딩 영역의 개구율은 0인 마스크 조립체.
  25. 제 19 항에 있어서,
    상기 지지 프레임의 상기 제2 방향 내측들 각각에 상기 제1 방향으로 배열되는 복수의 결합홈들이 정의되고,
    상기 복수의 결합홈들에 상기 지지대들의 양단이 삽입되는 마스크 조립체.
  26. 제 19 항에 있어서,
    상기 제2 패턴홀들 중 서로 인접한 제2 패턴홀들 사이의 상기 최소 거리는 약 20um 이상인 마스크 조립체.
  27. 제 19 항에 있어서,
    상기 제2 패턴부에 적어도 두 개의 행 이상의 제2 패턴홀들이 정의되는 마스크 조립체.
  28. 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되고, 크기가 동일한 복수의 패턴홀들이 정의된 패터닝 영역; 및
    제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치된 복수의 본딩 영역들을 포함하고,
    상기 패터닝 영역에서 상기 본딩 영역들과 인접한 일부 영역들에 정의된 상기 패턴홀들 중 서로 인접한 패턴홀들 사이의 최소 거리는, 상기 패터닝 영역에서 상기 일부 영역들을 제외한 영역에 정의된 상기 패턴홀들 중 서로 인접한 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 큰 증착용 마스크.
  29. 소정의 간격을 두고 일정하게 배열되고 복수의 패턴홀들이 정의된 패턴부를 포함하는 패터닝 영역; 및
    제1 방향에서 상기 패터닝 영역의 양단과 인접하게 배치된 복수의 본딩 영역들을 포함하고,
    상기 패턴부는,
    제1 배열 관계를 갖고 배열되는 패턴홀들이 정의되는 제1 패턴부; 및
    적어도 일부 영역에 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 패턴홀들이 정의되는 복수의 제2 패턴부들을 포함하고,
    상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리는 상기 제1 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리보다 큰 증착용 마스크.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들 사이의 최소 거리는 약 20um 이상인 증착용 마스크.
  31. 제 29 항에 있어서,
    상기 패턴홀들 각각의 직경은 약 17um 이상 22um 이하인 증착용 마스크.
  32. 제 29 항에 있어서,
    상기 제2 배열 관계를 갖고 배열되는 상기 패턴홀들은 적어도 2개 행 이상을 이루는 증착용 마스크.
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