KR20090123590A - 마스크 조립체 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 조립체 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 마스크 프레임에 패턴 마스크를 인장 용접하여 마스크 조립체를 제조하는 경우, 상기 마스크 프레임과 용접되는 상기 패턴 마스크의 인장용접부의 구조를 변경하여, 상기 마스크 프레임과 패턴 마스크를 용이하게 용접될 수 있으며, 상기 패턴 마스크의 패턴이 정밀하게 정렬되도록 하여, 상기 마스크 조립체에 의한 얼룩 불량율을 최소화할 수 있는 마스크 조립체 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임; 및 매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 지지대와 용접되기 위하여 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임을 제공하고, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 제공하고, 상기 패턴 마스크의 패턴부가 상기 마스크 프레임의 개구부에 위치하며, 상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부가 상기 마스크 프레임의 지지대와 접촉하도록 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 위치시키고, 상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부와 마스크 프레임의 지지대 를 1차 용접하여 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 결합하고, 상기 패턴 마스크의 제 1 방향으로 배열된 패턴의 정렬 상태를 측정하고, 상기 정렬 상태에 따라 상기 제 1 방향으로 배열된 패턴으로부터 연장된 인장용접부와 지지대를 2차 용접하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것이다.
마스크 조립체, 인장 용접

Description

마스크 조립체 및 그의 제조 방법{Mask Assembly and Fabrication method of the same}
본 발명은 마스크 조립체 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 마스크 프레임에 패턴 마스크를 인장 용접하여 마스크 조립체를 제조하는 경우, 상기 마스크 프레임과 용접되는 상기 패턴 마스크의 인장용접부의 구조를 변경하여, 상기 마스크 프레임과 패턴 마스크를 용이하게 용접될 수 있으며, 상기 패턴 마스크의 패턴이 정밀하게 정렬되도록 하여, 상기 마스크 조립체에 의한 얼룩 불량율을 최소화할 수 있는 마스크 조립체 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathode-ray Tube Display device)를 대체하는 표시 장치로 사용되고 있으며, 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting diode Display device; OLED)가 있다. 이 중, 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에 비하여 휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고 백라이트(Backlight)를 필요로 하지 않아 초박형으로 구현할 수 있다는 장점이 있다.
이와 같은 유기전계발광표시장치는 유기박막에 음극(Cathode)으로부터 주입되는 전자(Electron)과 양극(Anode)으로부터 주입되는 정공(Hole)이 재결합하여 여기자를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상을 이용한 표시 장치이다.
상기 유기전계발광표시장치는 유리, 스테인레스 스틸 또는 합성 수지로 형성된 기판 상에 음극, 양극 및 유기박막 등을 선택적으로 형성하기 위하여, 포토리소그라피 방법 또는 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 패턴을 포함하는 마스크 조립체를 이용한 증착법을 사용하다. 이 중, 상기 포토리소그라피 방법은 일부 영역에 포토레지스터를 도포한 후, 습식 식각 또는 건식 식각하는 방법으로 상기 포토레지스터를 박리하는 과정 및 식각과정에서 수분이 유입될 수 있으므로, 상기 유기박막과 같이 수분에 의해 열화 될 수 있는 물질은 상기 마스크 조립체를 이용한 증착법이 주로 사용된다.
상기와 같은 유기전계발광표시장치는 풀-컬러(full-color)를 디스플레이하기 위하여 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 형성하고 있으며, 다수의 개구부가 형성된 마스크 패턴을 증착 대상물 즉, 상기 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자가 형성될 기판 상에 정렬시키고, 상기 마스크 패턴의 개구부를 통해 상기 R, G, B 유기 발광층 등의 증착 대상물을 상기 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판 상에 증착함으로써, 기판 상의 일정 영역에 상기 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 각각 형성하고 있으므로, 상기 마스크 조립체의 패턴이 매우 정밀하게 정렬되어야 한다.
그러나, 상기와 같은 마스크 조립체는 상기 패턴의 위치 정밀도를 향상시키기 위하여, 제 1 방향으로 패턴이 배열된 다수의 스틱 패턴 마스크를 마스크 프레임에 인장 용접하는 방법이 있으나, 각 스틱 패턴 마스크 사이의 틈새를 막아 주어야 하며, 스틱 패턴 마스크의 유동으로 인하여 정렬 및 용접이 용이하지 않다는 문제점이 있다.
또한, 상기 스틱 패턴 마스크의 문제점을 해결하기 위하여, 패턴이 매트릭스 형태로 배열된 패턴부를 포함하는 패턴 마스크를 마스크 프레임에 인장 용접하는 방법이 있으나, 각 열 또는 행 방향으로 배열된 패턴을 정밀하게 정렬하기 위하여, 수행되는 보정 용접에 의해 인접한 열 또는 행에 위치하는 패턴의 위치가 재조정되므로, 상기 마스크 조립체의 위치 정밀도가 저하되고, 이로 인한 얼룩 불량률이 증가하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 매트릭스 형태로 배열되는 패턴을 포함하는 패턴 마스크의 패턴부로부터 연장되는 인장용접부의 구조를 변경하여, 보정 용접에 의해 인접한 열 또는 행에 위치하는 패턴의 위치가 재조정되지 않도록 함으로써, 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 용이하게 용접할 수 있으며, 마스크 조립체의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 조립체 및 그의 제조 방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임; 및 매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 지지대와 용접되기 위하여 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 상기 목적은 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임을 제공하고, 매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 제공하고, 상기 패턴 마스크의 패턴부가 상기 마스크 프레임의 개구부에 위치하며, 상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부가 상기 마스크 프레임의 지지대와 접촉하도록 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 위치시키고, 상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부와 마스크 프레임의 지지대를 1차 용접하여 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 결합하고, 상기 패턴 마스크의 제 1 방향으로 배열된 패턴의 정렬 상태를 측정하고, 상기 정렬 상태에 따라 상기 제 1 방향으로 배열된 패턴으로부터 연장된 인장용접부와 지지대를 2차 용접하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명에 따른 마스크 조립체 및 그의 제조 방법은 패턴 마스크의 패턴부로부터 다수의 인장용접부가 연장되도록 하고, 상기 다수의 인장용접부는 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되도록 하여, 상기 패턴 마스크의 보정 용접에 의해 제 2 방향으로 인접한 패턴의 위치가 재조정되지 않도록 함으로써, 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 용이하게 용접할 수 있으며, 마스크 조립체의 위치 정밀도를 향상시키고, 이에 따라 상기 마스크 조립체에 의한 얼룩 불량률을 최소화할 수 있다는 효과가 있다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소를 나타내는 것이며, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 두고 "전기적으로 연결"되는 경우도 포함한다. 덧붙여, 도면에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다.
(실시 예)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분리 사시도이고, 도 2a는 도 1의 A영역을 확대한 도면으로, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 패턴을 확대한 사시도이며, 도 2b는 도 1의 B영역을 확대한 도면으로, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 패턴 마스크와 마스크 프레임의 용접 영역을 확대한 평면도이다.
도 1, 2a 및 2b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체는 개구부(120) 및 지지대(110)를 포함하는 마스크 프레임(100) 및 다수의 패턴(A)을 포 함하는 패턴부(C) 및 상기 지지대(110)와 용접되기 위하여 상기 패턴부(C)로부터 제 1 방향(Y)으로 연장되며, 상기 제 1 방향(Y)과 수직인 제 2 방향(X)으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부(230)를 포함하는 패턴 마스크(200)를 포함한다. 여기서, 본 발명의 실시 예에서는 상기 마스크 프레임(100)에 두 개의 패턴 마스크(201, 202)가 용접되는 것으로 설명하고 있으나, 상기 마스크 프레임(100)에 하나의 패턴 마스크(200)이 용접될 수 있으며, 세 개 이상의 패턴 마스크(200)이 용접될 수도 있다.
상기 패턴 마스크(200)는 금속 박막으로 형성되는 미세 금속 마스크(Fine metal mask)일 수 있으며, 상기 금속 박막은 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
또한, 상기 마스크 프레임(100)에 다수의 패턴 마스크(200)가 용접되는 경우, 상기 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)는 상기 패턴 마스크(200)의 인장용접부(230)보다 인접한 패턴 마스크(200) 방향으로 돌출되도록 하여, 상기 인접한 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)는 접촉하며, 인접한 패턴 마스크(200)의 인장용접부(230)는 서로 이격되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 패턴 마스크(200)의 패턴(A)은 다수의 슬릿(210)을 포함하며, 제 1 방향(Y) 및 제 2 방향(X)으로 매트릭스 형태로 배열된다. 여기서, 본 발명의 실시 예에서는 상기 패턴(A)이 상기 제 1 방향(Y)이 장축인 타원 형태의 다수의 슬릿(210)을 포함하는 것을 설명하고 있으나, 상기 패턴(A)은 하나의 슬릿(210)을 포함할 수 있으며, 상기 슬릿(210)의 형태는 상기 제 2 방향(X)이 장축인 타원형태일 수 있다.
상기 다수의 인장용접부(230)는 상기 다수의 패턴(A)을 포함하는 패턴부(C)로부터 상기 제 1 방향(Y)으로 연장되며, 상기 제 2 방향(X)으로 인접한 인장용접부(230)는 서로 이격된다. 여기서, 상기 제 2 방향(X)으로 인접한 인장용접부(230) 사이의 이격 거리는 각 인장용접부(230)의 보정 용접에 의해 상기 제 2 방향(X)으로 인접한 패턴(A)의 위치가 재조정되는 것을 최소화하기 위하여, 상기 제 2 방향(X)으로 배열된 패턴(A) 사이의 거리와 동일한 것이 바람직하다.
또한, 상기 다수의 인장용접부(230)는 상기 패턴 마스크(230)와 마스크 프레임(100)의 결합을 위한 제 1 용접부(231)와 상기 패턴(A)의 정렬 상태를 보정하기 위한 제 2 용접부(232)를 각각 구비하여, 상기 패턴(A)의 정렬을 위한 보정 용접점(P2)이 상기 패턴 마스크(230)와 마스크 프레임(100) 사이의 결합을 위한 결합 용접점(P1)에 영향을 미치지 않도록 함으로써, 상기 패턴(A)의 정렬을 위한 보정 용접에 의한 상기 패턴 마스크(230)와 마스크 프레임(100) 사이의 결합력이 저하되는 것이 방지하는 것이 바람직하다.
여기서, 본 발명의 실시 예에서 설명한 바와 달리, 상기 패턴 마스크(230)와 마스크 프레임(100) 사이의 결합을 위한 결합 용접점(P1)이 상기 패턴(A)의 정렬을 위한 보정 용접점(P2)보다 상기 패턴부(A) 측에 위치할 수 있으나, 상기 패턴 마스크(230)와 마스크 프레임(100)이 결합된 이후에, 상기 패턴(A)의 보정이 이루어지는 점을 고려하여, 본 발명의 실시 예와 동일하게 상기 보정 용접점(P2)이 상기 결 합 용접점(P1)보다 상기 패턴부(A) 측에 위치하는 것이 바람직하다.
상기 마스크 프레임(100)는 상기 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)에 대응되는 개구부(120)를 포함하며, 상기 패턴 마스크(200)의 다수의 인장용접부(230)와 접촉하며, 용접되는 지지대(110)을 포함한다. 여기서, 상기 마스크 프레임(100)의 지지대(110)는 상기 패턴 마스크(200)와 용접성을 향상시키기 위하여 상기 패턴 마스크(200)와 동일한 재질인 것이 바람직하다.
상기 마스크 프레임의 지지대(110)는 도 3a 내지 3c에 도시된 바와 같이, 상기 패턴 마스크(200)와 접촉하는 제 1 마스크 프레임(112) 및 상기 제 1 마스크 프레임(112)와 결합하며, 상기 제 1 마스크 프레임(112)와 서로 상이한 물질로 형성되는 제 2 마스크 프레임(114)을 포함할 수 있으며, 상기 마스크 프레임(100)의 중량이 증가하는 경우, 상기 마스크 조립체의 전체 중량이 증가하여 상기 마스크 조립체의 취급성이 저하되고, 상기 마스크 조립체를 사용한 표시 장치의 생산성이 저하되는 점을 고려하여, 상기 제 2 마스크 프레임(114)이 상기 제 1 마스크 프레임(112)보다 낮은 중량의 물질로 형성되도록 할 수도 있다.
여기서, 상기 제 1 마스크 프레임(112)은 상기 패턴 마스크(200)의 다수의 인장용접부(230)와 접촉하므로, 상기 마스크 프레임(100)과 패턴 마스크(200)의 용접성을 위하여, 상기 패턴 마스크(200)와 동일한 재질인 것이 바람직하다.
또한, 상기 패턴 마스크(200)가 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성되는 점을 고려하여, 상기 제 2 마스크 프레임(114)은 알루미늄, 마그네슘, 티타늄 및 이들의 합금으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제 1 마스크 프레임(112)과 제 2 마스크 프레임(114)의 결합 방법은 도 3a에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 마스크 프레임(112) 및 제 2 마스크 프레임(114)의 동일한 영역에 제 1 홀(112a, 114a)이 형성되고, 상기 제 1 홀(112a, 114a)에 연결 부재(115)를 삽입하는 방법 및 도 3b 및 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 마스크 프레임(112)에 상기 제 2 마스크 프레임(114) 방향으로 돌출된 돌출부(112b)가 형성되고, 상기 제 2 마스크 프레임(114)에 상기 돌출부(112b)에 대응되는 제 2 홀(114b)이 형성되도록 하거나, 상기 제 2 마스크 프레임(114)에 상기 제 1 마스크 프레임(112) 방향으로 돌출된 돌출부(114c)가 형성되고, 상기 제 1 마스크 프레임(112)에 상기 돌출부(114c)에 대응되는 제 2 홀(112c)이 형성되도록 하는 방법이 있다.
도 1, 2a, 2b 및 3a 내지 3c를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 제조 방법을 설명하면, 먼저 개구부(120) 및 지지대(110)를 포함하는 마스크 프레임(100) 및 매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴(A)을 포함하는 패턴부(C) 및 상기 패턴부(C)로부터 제 1 방향(Y)으로 연장되며, 상기 제 1 방향(Y)과 수직인 제 2 방향(X)으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부(230)를 포함하는 패턴 마스크(200)를 제공한다.
여기서, 상기 패턴 마스크(200)의 다수의 인장용접부(230)와 접촉하는 제 1 마스크 프레임(112)에 상기 제 1 마스크 프레임(112)과 서로 상이한 재질로 형성된 제 2 마스크 프레임(114)을 결합하여 상기 마스크 프레임(100)을 형성할 수 있으며, 상기 마스크 프레임(100)의 중량을 최소화하기 위하여, 상기 제 2 마스크 프레임(114)은 상기 제 1 마스크 프레임(112)보다 낮은 중량의 물질로 형성하는 것이 바람직하다.
다음으로, 상기 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)가 상기 마스크 프레임(100)의 개구부(120)에 위치하며, 상기 패턴 마스크(200)의 다수의 인장용접부(230)가 상기 마스크 프레임(100)의 지지대(110)와 접촉하도록 상기 패턴 마스크(200)와 마스크 프레임(100)을 위치시키고, 상기 패턴 마스크(200)의 다수의 인장용접부(230)와 마스크 프레임(100)의 지지대(110)를 1차 용접한다.
여기서, 상기 다수의 인장용접부(230)와 마스크 프레임(100)의 지지대(110) 사이의 1차 용접은 후속 공정을 통해 상기 제 1 방향(Y)으로 배열된 패턴(A)의 보정이 이루어지는 점을 고려하여, 상기 패턴부(C)로부터 일정 거리 이격된 위치(P1)에 수행되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 마스크 프레임(100)에 다수의 패턴 마스크(200)가 용접되는 경우, 상기 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)는 상기 패턴 마스크(200)의 인장용접부(230)보다 인접한 패턴 마스크(200) 방향으로 돌출되도록 하여, 상기 인접한 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)는 접촉하며, 인접한 패턴 마스크(200)의 인장용접부(230)는 서로 이격되도록 하는 것이 바람직하다.
계속해서, 상기 패턴 마스크(200)의 제 1 방향(Y)으로 배열된 패턴(A)의 정렬 상태를 측정하고, 상기 정렬 상태에 따라 상기 제 1 방향(Y)으로 배열된 패 턴(A)으로부터 연장된 인장용접부(230)와 지지대(110)를 2차 용접하여, 상기 제 1 방향(Y)으로 배열된 패턴(A)을 보정한다. 여기서, 상기 2차 용접은 다수의 인장용접부(230)에서 동시에 수행될 수 있으나, 제 1 방향(Y)으로 배열된 각 패턴(A)의 정렬 상태가 서로 상이하며, 상기 정렬 상태의 편차가 상당한 경우, 상기 2차 용접은 상기 제 2 방향(X)으로 서로 이격된 상기 패턴 마스크(200)의 각 인장용접부(230)마다 개별적으로 수행하는 것이 바람직하다.
결과적으로 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체 및 그의 제조 방법은 패턴 마스크(200)의 패턴부(C)로부터 다수의 인장용접부(230)가 연장되도록 하고, 상기 다수의 인장용접부(230)는 상기 제 1 방향(Y)과 수직인 제 2 방향(X)으로 서로 이격되도록 함으로써, 상기 패턴 마스크(200)와 마스크 프레임(100)을 용이하게 용접할 수 있도록 하며, 상기 패턴 마스크(200)의 보정 용접에 의해 제 2 방향(X)으로 인접한 패턴의 위치가 재조정되지 않도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 분리 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 일부를 나타낸 사시도로, 도 1의 A 영역을 확대한 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 일부를 나타낸 평면도로, 도 1의 B 영역을 확대한 평면도이다.
도 3a 내지 3c는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임을 나타낸 단면도로, 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.
<도면 주요 부호들에 대한 부호의 설명>
100 : 마스크 프레임 110 : 지지대
200 : 패턴 마스크 210 : 슬릿
230 : 인장용접부 231 : 제 1 용접부
232 : 제 2 용접부

Claims (25)

  1. 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임; 및
    매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 지지대와 용접되기 위하여 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 방향으로 인접하는 인장용접부 사이의 이격 거리는 상기 제 2 방향으로 배열된 패턴 사이의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 인장용접부는 상기 지지대와 결합되기 위한 제 1 용접부 및 상기 패턴의 정렬 상태를 보정하기 위한 제 2 용접부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크는 미세 금속 마스크인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크는 스테인레스 스틸, 인바, 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 상기 패턴 마스크의 인장용접부와 접촉하는 제 1 마스크 프레임 및 상기 제 1 마스크 프레임과 결합되는 제 2 마스크 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임은 상기 패턴 마스크와 동일 재질인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 마스크 프레임은 상기 제 1 마스크 프레임보다 낮은 중량의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 마스크 프레임은 알루미늄, 마그네슘, 티타늄 및 이들의 합금으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임 및 제 2 마스크 프레임은 동일한 영역에 형성되는 제 1 홀을 포함하며,
    상기 마스크 프레임은 상기 제 1 마스크 프레임과 제 2 마스크 프레임을 결합하기 위하여 상기 제 1 홀에 삽입되는 연결 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임 및 제 2 마스크 프레임 중 어느 하나의 마스크 프레임은 나머지 하나의 마스크 프레임 방향으로 돌출된 돌출부를 포함하며,
    상기 나머지 하나의 마스크 프레임은 상기 돌출부에 대응되도록 형성되는 제 2 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 다수의 패턴 마스크가 용접되며,
    상기 다수의 패턴 마스크는 인접한 패턴 마스크와 패턴부가 접촉하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 패턴은 하나 또는 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  14. 개구부 및 지지대를 포함하는 마스크 프레임을 제공하고,
    매트릭스 형태로 배열된 다수의 패턴을 포함하는 패턴부 및 상기 패턴부로부터 제 1 방향으로 연장되며, 상기 제 1 방향과 수직인 제 2 방향으로 서로 이격되는 다수의 인장용접부를 포함하는 패턴 마스크를 제공하고,
    상기 패턴 마스크의 패턴부가 상기 마스크 프레임의 개구부에 위치하며, 상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부가 상기 마스크 프레임의 지지대와 접촉하도록 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 위치시키고,
    상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부와 마스크 프레임의 지지대를 1차 용접하여 상기 패턴 마스크와 마스크 프레임을 결합하고,
    상기 패턴 마스크의 제 1 방향으로 배열된 패턴의 정렬 상태를 측정하고,
    상기 정렬 상태에 따라 상기 제 1 방향으로 배열된 패턴으로부터 연장된 인장용접부와 지지대를 2차 용접하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 2 방향으로 인접한 인장용접부 사이의 이격 거리를 상기 제 2 방향 으로 배열된 패턴 사이의 거리와 동일하게 형성하는 것을 더 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 다수의 인장용접부는 1차 용접을 위한 제 1 용접부 및 2차 용접을 위한 제 2 용접부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크를 스테인레스 스틸, 니켈, 코발트, 인바 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 더 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 다수의 인장용접부와 접촉하는 제 1 마스크 프레임에 상기 제 1 마스크 프레임과 서로 상이한 재질로 형성된 제 2 마스크 프레임을 결합하여 상기 마스크 프레임을 형성하는 것을 더 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임을 상기 패턴 마스크와 동일 재질로 형성하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 2 마스크 프레임을 상기 제 1 마스크 프레임보다 낮은 중량의 물질로 형성하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 2 마스크 프레임을 알루미늄, 마그네슘, 티타늄 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임 및 제 2 마스크 프레임의 동일한 영역에 제 1 홀을 형성하고,
    상기 제 1 홀에 연결 부재를 삽입하여 상기 제 1 마스크 프레임과 제 2 마스크 프레임을 결합시키는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  23. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크 프레임 및 제 2 마스크 프레임 중 어느 하나의 마스크 프레임에 나머지 하나의 마스크 프레임 방향으로 돌출된 돌출부를 형성하고,
    상기 나머지 하나의 마스크 프레임에 상기 돌출부에 대응하는 제 2 홀을 형 성하여 상기 제 1 마스크 프레임과 제 2 마스크 프레임을 결합시키는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  24. 제 14 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임에 인접한 패턴 마스크와 패턴부가 접촉하는 다수의 패턴 마스크를 용접하는 것을 더 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
  25. 제 14 항에 있어서,
    상기 2차 용접을 상기 패턴 마스크의 각 인장용접부마다 개별적으로 수행하는 것을 포함하는 마스크 조립체의 제조 방법.
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