KR101784467B1 - 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법 - Google Patents

분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101784467B1
KR101784467B1 KR1020110002305A KR20110002305A KR101784467B1 KR 101784467 B1 KR101784467 B1 KR 101784467B1 KR 1020110002305 A KR1020110002305 A KR 1020110002305A KR 20110002305 A KR20110002305 A KR 20110002305A KR 101784467 B1 KR101784467 B1 KR 101784467B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
stick body
frame
width
stick
Prior art date
Application number
KR1020110002305A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120080857A (ko
Inventor
박국철
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020110002305A priority Critical patent/KR101784467B1/ko
Priority to US13/237,383 priority patent/US8915213B2/en
Priority to TW100136499A priority patent/TWI541994B/zh
Priority to CN201110305579.9A priority patent/CN102593376B/zh
Priority to JP2011230813A priority patent/JP5905234B2/ja
Publication of KR20120080857A publication Critical patent/KR20120080857A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101784467B1 publication Critical patent/KR101784467B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
    • B05C21/005—Masking devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/16—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling the spray area
    • B05B12/20—Masking elements, i.e. elements defining uncoated areas on an object to be coated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826—Assembling or joining

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

분할 마스크와 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법이 개시된다. 개시된 분할 마스크는 증착용 패턴이 마련된 스틱 본체 및, 스틱 본체로부터 길이방향을 따라 외측으로 연장되며 스틱 본체의 폭보다 확장된 폭을 가지는 클램핑부를 구비한다. 이러한 구조에 의하면 마스크 프레임 조립체의 조립 시 확장된 클램핑부를 이용해 분할 마스크에 강한 인장력을 줄 수 있으므로, 웨이브를 발생을 억제하여 정밀한 마스크 프레임 조립체를 만들 수 있게 된다.

Description

분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법{Mask stick and the assembling method for mask frame assembly using the same}
본 발명은 박막 증착에 사용되는 분할 마스크와, 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이 장치들 중 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라, 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있다.
유기 발광 표시 장치는 애노드와 캐소드에 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 것으로서, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조이다. 그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층, 및 정공 주입층 등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 이용하고 있다.
한편, 유기 발광 표시 장치의 전극들과, 발광층을 포함한 중간층은 여러 가지 방법에 의하여 형성시킬 수 있는데, 이중 하나의 방법이 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는 기판 상에 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)를 정렬하고, 박막의 원소재를 증착하여 소망하는 패턴의 박막을 형성하게 된다.
이러한 파인 메탈 마스크가 대면적화되면 패턴 형성을 위한 에칭 오차도 커지고, 자중에 의한 중앙부의 처짐 현상도 심해지므로 최근에는 마스크를 여러 개의 스틱(stick) 형상으로 만든 후 프레임에 붙여서 사용하는 분할 마스크 타입이 선호되는 추세에 있다.
그런데, 이러한 분할 마스크도 최근의 대형 디스플레이 장치 수요에 대응하기 위해 그 길이가 약 1,840mm 수준으로 대형화되고 있어서, 각 분할 마스크마다 길이 방향으로 웨이브가 생기는 문제가 대두되고 있다. 즉, 각 분할 마스크의 길이가 길어짐에 따라 길이방향으로 팽팽한 상태를 유지하지 못하고 굴곡이 생기는 웨이브 형성 문제가 발생하는 것이다. 이렇게 되면 이러한 분할 마스크를 이용하여 정밀한 패턴을 증착해야 하는 증착 공정에서도 문제가 생기게 된다.
따라서, 이러한 분할 마스크의 웨이브 발생 문제를 억제시킬 수 있는 방안이 요구되고 있다.
본 발명의 실시예는 분할 마스크의 웨이브 발생을 억제할 수 있도록 개선된 분할 마스크와 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법을 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 분할 마스크는, 증착용 패턴이 마련된 스틱 본체; 및, 상기 스틱 본체로부터 길이방향을 따라 외측으로 연장되며 상기 스틱 본체의 폭보다 확장된 폭을 가지는 클램핑부;를 구비한다.
여기서, 상기 스틱 본체와 상기 클램핑부 사이가 마스크 프레임 조립체의 프레임에 용접될 수 있다.
상기 클램핑부는 상기 프레임에 대한 용접 후 제거될 수 있다.
상기 클램핑부는 그 폭이 상기 스틱 본체 측으로부터 외측으로 나가면서 점차 넓어지는 확장부를 가진 Y자 형상일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 프레임 조립체의 조립방법은, 증착용 패턴이 형성된 스틱 본체 및 상기 스틱 본체로부터 길이방향을 따라 외측으로 연장되며 상기 스틱 본체의 폭보다 확장된 폭을 가지는 클램핑부가 각각 구비된 복수의 분할 마스크와, 그 복수의 분할 마스크가 접합될 프레임을 준비하는 단계; 및 상기 각 분할 마스크의 상기 클램핑부를 파지하여 인장력을 가하면서 상기 스틱 본체를 상기 프레임에 용접하는 단계;를 포함한다.
여기서, 상기 용접이 완료된 분할 마스크의 클램핑부를 절단하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 스틱 본체와 프레임의 용접 시, 상기 스틱 본체와 클램핑부 사이를 상기 프레임에 용접할 수 있다.
상기 클램핑부는 그 폭이 상기 스틱 본체 측으로부터 외측으로 나가면서 점차 넓어지는 확장부를 가진 Y자 형상일 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 분할 마스크를 사용하여 마스크 프레임 조립체를 조립하면 분할 마스크를 팽팽한 상태로 프레임에 결합시킬 수 있어서 웨이브를 감소시킬 수 있으며, 따라서 이를 증착 작업에 이용하면 보다 안정적이고 정밀한 패터닝이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 분할 마스크의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 분할 마스크와 프레임이 결합된 마스크 프레임 조립체를 도시한 평면도이다.
도 3a 내지 도 3d는 도 2에 도시된 마스크 프레임 조립체의 조립과정을 순차적으로 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 실시예에 따른 분할 마스크(100)의 구조를 도시한 것으로, 이 분할 마스크(100) 여러 개가 프레임(200;도 2 참조)에 용접되어 마스크 프레임 조립체(300)를 형성하게 되며, 이 분할 마스크(100)는 예컨대 니켈, 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등으로 형성할 수 있다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 분할 마스크(100)는, 증착용 패턴(101)이 형성된 스틱 본체(110)와, 이 스틱 본체(110)의 양단부에 일체로 형성된 클램핑부(120)를 구비하고 있다.
상기 스틱 본체(110)는 프레임(200;도 2 참조)에 용접되어 증착 작업에 사용되는 마스크 프레임 조립체(300)를 형성하는 부위이고, 클램핑부(120)는 스틱 본체(110)를 프레임(200)에 용접할 때 팽팽한 장력을 부여하기 위해 달린 부위로서 조립 과정 중 제거된다. 참조부호 115는 스틱 본체(110)와 클램핑부(120) 사이의 경계 영역을 가리킨 것으로, 이 영역이 프레임(200)에 용접되는 접합부가 된다.
이와 같은 분할 마스크(100) 복수 개를 프레임(200)에 결합시키면, 도 2에 도시된 바와 같은 마스크 프레임 조립체(300)가 만들어진다. 각 분할 마스크(100)는 프레임(200)의 개구(201)에 증착용 패턴(101)이 위치하도록 배치된 상태에서 상기 접합부(115)가 용접됨으로써 고정되며, 클램핑부(120)는 점선으로 도시된 바와 같이 용접 후 제거된다.
한편, 상기 클램핑부(120)는 스틱 본체(110)로부터 길이방향을 따라 외측으로 나가면서 점차 폭이 넓어지는 확장부(121)를 가진 Y자 모양으로 형성되어 있다. 이러한 확장부(121)를 가진 클램핑부(120)는 분할 마스크(100)를 프레임(200)에 용접할 때 팽팽한 장력을 부여하는데 유리한 구조가 된다.
즉, 분할 마스크(100)를 프레임(200)에 용접할 때에는 인장기(미도시)로 분할 마스크(100) 양단의 클램핑부(120)를 파지하여 잡아당긴 상태에서 상기 접합부(115)를 프레임(200)에 용접하게 되는데, 이때 상기와 같은 확장부(121)를 가진 클램핑부(120)를 잡고 당기게 되면, 확장부(121)가 없는 구조에 비해 접촉 면적이 넓기 때문에 장력을 더 크게 줄 수 있게 된다. 그러면, 매우 강한 인장 상태에서 용접이 진행되므로, 분할 마스크(100)의 평탄도가 향상되어 웨이브가 크게 줄어들게 된다.
이와 같은 분할 마스크(100)를 이용한 마스크 프레임 조립체(300)의 조립과정은 도 3a 내지 도 3d에 도시된 바와 같은 순서로 진행될 수 있다.
먼저, 상기 분할 마스크(100)와 프레임(200)을 준비한다. 상기 프레임(200)은 조립체의 외곽 틀을 형성하는 것으로, 중앙에 개구(201)가 형성된 사각형 모양을 하고 있다. 이 프레임(200)의 서로 마주보는 한 쌍의 변에 상기 분할 마스크(100)들의 접합부(115)가 용접으로 고정된다.
상기 분할 마스크(100)는 길쭉한 스틱 형상의 부재로서, 상기 개구부(201) 안에 위치되는 증착용 패턴(101)이 형성되어 있으며, 스틱 본체(110)와 클램핑부(120) 사이의 접합부(115)가 상기한 바와 같이 프레임(200)에 용접된다.
도 3a는 첫 번째 분할 마스크(100)를 프레임(200)에 결합시키는 과정을 도시한 것으로, 우선 해당 분할 마스크(100)의 양단에 있는 클램핑부(120)를 인장기(미도시)로 파지하여 바깥 쪽으로 팽팽하게 잡아당긴다. 그러면, 상기 분할 마스크(100)에는 팽팽한 인장력(T)이 가해지게 되는데, 전술한 바와 같이 상기 확장부(121)에 의해 넓어진 접촉 면적 때문에 더욱 강한 인장력(T)이 분할 마스크(100)에 가해지게 된다. 이에 따라 분할 마스크(100)의 스틱 본체(110)에는 웨이브가 대폭 줄어들어서 평탄도가 매우 향상된 상태가 된다. 이 상태에서 상기 접합부(115)를 프레임(200)에 용접하여 해당 분할 마스크(100)를 고정시킨다.
그리고, 이와 같이 용접이 완료된 후에는 도 3b에 도시된 바와 같이 접합부(115) 외측의 상기 클램핑부(120)를 절단하여 제거한다. 클램핑부(120)는 상기와 같이 폭이 넓어지는 확장부(121)를 구비하고 있어서, 그대로 둘 경우 인접한 다른 분할 마스크(100)의 클램핑부(120)와 서로 간섭이 될 수 있다. 따라서, 다음 분할 마스크(100)를 용접하기 전에 클램핑부(120)는 절단하여 제거한다.
이렇게 첫 번째 분할 마스크(100)가 용접 완료된 후에는, 도 3c에 도시된 바와 같이 두 번째 분할 마스크(100)의 용접을 같은 과정으로 진행한다. 즉, 인장기로 해당 분할 마스크(100)의 Y자 형상 클램핑부(120)를 잡아 인장력(T)을 가하고, 그 상태에서 접합부(115)를 프레임(200)에 용접시킨다. 이때에도 확장부(121)의 넓은 접촉 면적 때문에 강한 인장력(T)이 가해질 수 있으며, 따라서 웨이브가 크게 감소된 상태로 용접이 이루어질 수 있게 된다.
그리고, 마찬가지로 용접이 완료된 후에는 도 3d에 도시된 바와 같이 접합부(115) 외측의 상기 클램핑부(120)를 절단하여 제거한다.
이와 같은 방식으로, 분할 마스크(100)를 하나씩 프레임(200)에 용접해나가면, 결국 도 2에 도시된 바와 같은 마스크 프레임 조립체(300)의 조립이 완료된다.
그러므로, 이와 같은 구성의 분할 마스크(100)를 이용하면, 마스크 프레임 조립체(300)의 조립 시 분할 마스크(100)에 매우 강한 인장력을 주면서 프레임(200)에 결합시킬 수 있기 때문에, 웨이브 형성을 억제하여 보다 정밀한 마스크 프레임 조립체(300)를 만들 수 있다.
실제로 웨이브를 측정해본 결과, 본 실시예와 같은 Y자 형상의 클램핑부(120)가 없는 기존의 경우에는 웨이브 높이가 19.5㎛ 정도였으나, Y자 형상의 클램핑부(120)가 있는 경우에는 웨이브 높이가 17.8㎛ 정도로 감소되어, 약 8.7%의 웨이브 개선 효과를 얻는 것으로 확인되었다. 따라서, 보다 정밀하고 안정적인 마스크 프레임 조립체(300)를 구현할 수 있다.
그리고, 상기 마스크 프레임 조립체(300)는 유기 발광막의 패터닝 공정을 포함한 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100...분할 마스크 101...증착용 패턴
110.. 스틱 본체 115.. 접합부
120.. 클램핑부 121 ..확장부
200...프레임 201...개구
300...마스크 프레임 조립체

Claims (10)

  1. 증착용 패턴이 마련된 스틱 본체; 및,
    상기 스틱 본체로부터 길이방향을 따라 외측으로 연장되며 상기 스틱 본체의 폭보다 확장된 폭을 가지는 클램핑부;를 구비하고,
    상기 클램핑부는 상기 스틱 본체와 같은 폭에서 시작하여 상기 스틱 본체 측으로부터 외측으로 나가면서 그 폭이 끝단까지 연속적으로 점차 넓어지는 Y자 형상이며 그 내부에 개구부가 없는 분할 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스틱 본체와 상기 클램핑부 사이가 마스크 프레임 조립체의 프레임에 용접되는 분할 마스크.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 프레임에 대한 용접 후 제거되는 분할 마스크.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 증착용 패턴이 형성된 스틱 본체 및 상기 스틱 본체로부터 길이방향을 따라 외측으로 연장되며 상기 스틱 본체의 폭보다 확장된 폭을 가지는 클램핑부가 각각 구비된 복수의 분할 마스크와, 그 복수의 분할 마스크가 접합될 프레임을 준비하는 단계; 및
    상기 각 분할 마스크의 상기 클램핑부를 파지하여 인장력을 가하면서 상기 스틱 본체를 상기 프레임에 용접하는 단계;를 포함하고,
    상기 클램핑부는 상기 스틱 본체와 같은 폭에서 시작하여 상기 스틱 본체 측으로부터 외측으로 나가면서 그 폭이 끝단까지 연속적으로 점차 넓어지는 Y자 형상이며 그 내부에 개구부가 없는 마스크 프레임 조립체의 조립방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접이 완료된 분할 마스크의 클램핑부를 절단하는 단계;를 더 포함하는 마스크 프레임 조립체의 조립방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 스틱 본체와 프레임의 용접 시, 상기 스틱 본체와 클램핑부 사이를 상기 프레임에 용접하는 마스크 프레임 조립체의 조립방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
KR1020110002305A 2011-01-10 2011-01-10 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법 KR101784467B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110002305A KR101784467B1 (ko) 2011-01-10 2011-01-10 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
US13/237,383 US8915213B2 (en) 2011-01-10 2011-09-20 Division mask and method of assembling mask frame assembly by using the same
TW100136499A TWI541994B (zh) 2011-01-10 2011-10-07 分割遮罩及利用該分割遮罩組裝遮罩框架組件之方法
CN201110305579.9A CN102593376B (zh) 2011-01-10 2011-10-11 分立掩膜和通过利用该分立掩膜装配掩膜框组件的方法
JP2011230813A JP5905234B2 (ja) 2011-01-10 2011-10-20 分割マスク及びそれを利用したマスクフレーム組立体の組立て方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110002305A KR101784467B1 (ko) 2011-01-10 2011-01-10 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120080857A KR20120080857A (ko) 2012-07-18
KR101784467B1 true KR101784467B1 (ko) 2017-10-12

Family

ID=46454265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110002305A KR101784467B1 (ko) 2011-01-10 2011-01-10 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8915213B2 (ko)
JP (1) JP5905234B2 (ko)
KR (1) KR101784467B1 (ko)
CN (1) CN102593376B (ko)
TW (1) TWI541994B (ko)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101309864B1 (ko) * 2010-02-02 2013-09-16 엘지디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리
KR20120123918A (ko) * 2011-05-02 2012-11-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR20140047889A (ko) * 2012-10-15 2014-04-23 삼성전기주식회사 기판 고정용 지그 유닛 및 그를 포함하는 기판 이송 장치
KR102002494B1 (ko) 2012-11-30 2019-07-23 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR102218656B1 (ko) * 2013-05-08 2021-02-23 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
KR102106331B1 (ko) 2013-07-08 2020-05-06 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이의 제조 방법
CN103757589A (zh) * 2014-01-23 2014-04-30 上海和辉光电有限公司 掩膜装置、制造该掩膜装置的系统以及方法
CN104465599B (zh) * 2014-12-19 2018-03-23 日月光封装测试(上海)有限公司 导线框架条及使用该导线框架条的半导体封装体
KR102352280B1 (ko) * 2015-04-28 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 제조 장치 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체 제조 방법
KR102352279B1 (ko) * 2015-05-13 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법
KR102549358B1 (ko) 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
KR102642345B1 (ko) * 2016-09-06 2024-02-29 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크
KR102640219B1 (ko) 2016-09-12 2024-02-23 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크
CN106410064B (zh) * 2016-11-29 2018-05-25 武汉华星光电技术有限公司 Oled掩模板的制作方法
CN111148861B (zh) * 2017-09-28 2022-03-22 夏普株式会社 蒸镀掩模及蒸镀掩模的制造方法
CN109778112B (zh) * 2017-11-10 2021-04-06 上海和辉光电股份有限公司 张网夹具及金属掩膜版的张网方法
KR102687513B1 (ko) * 2018-12-31 2024-07-22 엘지디스플레이 주식회사 마스크 및 이의 제조 방법
CN111074205B (zh) 2020-01-22 2022-04-08 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板组件及其制作方法
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
KR20220006152A (ko) * 2020-07-07 2022-01-17 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 이를 통해 제조되는 마스크, 및 표시 패널 제조 방법
KR20220030437A (ko) 2020-08-31 2022-03-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법
CN112267092B (zh) * 2020-10-27 2023-04-07 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制备方法
KR102618083B1 (ko) * 2020-10-30 2023-12-27 에이피에스머티리얼즈(주) 증착 마스크 스틱 중간체
KR102618082B1 (ko) * 2020-10-30 2023-12-27 에이피에스머티리얼즈(주) 증착 마스크 스틱

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003109499A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラー陰極線管の製造方法
KR100941007B1 (ko) * 2009-09-28 2010-02-05 (주)한 송 대면적 ａｍｏｌｅｄ 모바일 혹은 ｔｖ 원장 다면취 패널 제작용 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조방법

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5651571A (en) * 1979-09-29 1981-05-09 Fujitsu Ltd Forming method of film pattern
JPS57130347A (en) * 1981-02-06 1982-08-12 Toshiba Corp Color picture tube
JP2001110331A (ja) * 1999-10-08 2001-04-20 Hitachi Ltd カラー陰極線管
JP3598927B2 (ja) * 1999-12-27 2004-12-08 松下電器産業株式会社 シャドウマスク組立体の製造方法および陰極線管の製造方法
WO2003019988A1 (fr) * 2001-08-24 2003-03-06 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Dispositif de masque de formation a plusieurs faces pour depot sous vide
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR100908232B1 (ko) 2002-06-03 2009-07-20 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR100659057B1 (ko) * 2004-07-15 2006-12-21 삼성에스디아이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 유기 전계 발광표시장치
KR100696472B1 (ko) * 2004-07-15 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 증착 마스크, 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조방법
JP4438710B2 (ja) * 2005-07-20 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 マスク、マスクチップ、マスクの製造方法及びマスクチップの製造方法
US7763114B2 (en) * 2005-12-28 2010-07-27 3M Innovative Properties Company Rotatable aperture mask assembly and deposition system
KR100971753B1 (ko) * 2007-11-23 2010-07-21 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
KR101450728B1 (ko) * 2008-05-28 2014-10-14 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 그의 제조 방법
KR101117645B1 (ko) 2009-02-05 2012-03-05 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
KR101202346B1 (ko) * 2009-04-16 2012-11-16 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR101029999B1 (ko) * 2009-12-15 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치
KR101182440B1 (ko) * 2010-01-11 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR101174879B1 (ko) * 2010-03-09 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법
KR101182239B1 (ko) * 2010-03-17 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
CN201622211U (zh) * 2010-03-30 2010-11-03 深圳市优宝惠新材料科技有限公司 一种用于检测环境应力开裂指标的应力加载装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003109499A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラー陰極線管の製造方法
KR100941007B1 (ko) * 2009-09-28 2010-02-05 (주)한 송 대면적 ａｍｏｌｅｄ 모바일 혹은 ｔｖ 원장 다면취 패널 제작용 분할마스크 및 이를 이용한 마스크프레임어셈블리의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP5905234B2 (ja) 2016-04-20
KR20120080857A (ko) 2012-07-18
CN102593376A (zh) 2012-07-18
TWI541994B (zh) 2016-07-11
CN102593376B (zh) 2016-05-25
US8915213B2 (en) 2014-12-23
US20120174863A1 (en) 2012-07-12
TW201230323A (en) 2012-07-16
JP2012144802A (ja) 2012-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101784467B1 (ko) 분할 마스크 및 그것을 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
US8925480B2 (en) Mask stick and method of assembling a mask frame assembly by using the mask stick
TWI526557B (zh) 用於薄膜沉積之遮罩框架組件及其製造方法
KR101813549B1 (ko) 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
US8707894B2 (en) Mask frame assembly for thin film deposition and method of assembling the same
JP5544785B2 (ja) マスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置
US8915212B2 (en) Mask frame assembly for thin film deposition
TWI463022B (zh) 遮罩組件及其製造方法
US9376743B2 (en) Method of manufacturing mask for deposition
US20160167083A1 (en) Mask frame assembly and method of manufacturing the same
US10741763B2 (en) Division mask with clamping portion
JP2017115248A (ja) フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法
JP5636863B2 (ja) メタルマスクとメタルマスク部材
KR101029999B1 (ko) 마스크, 마스크 제조 방법 및 마스크 제조 장치
US10901313B2 (en) Division mask
KR20150078272A (ko) 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
US8500505B2 (en) Method of manufacturing an organic electroluminescence display device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant