KR101309864B1 - 마스크 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광표시소자의 유기층을 형성하는 공정에서, 유기물 증착 효율 및 완성된 유기발광표시장치의 특성 균일도가 향상될 수 있는 마스크 어셈블리에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따른 마스크 어셈블리는, 유기물질이 투과되는 개구영역과 상기 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크; 연속하여 배열되는 상기 복수의 증착마스크와 결합되는 프레임; 및 상기 복수의 증착마스크 중 이웃한 증착마스크를 접합하는 본딩부를 포함한다.

Description

마스크 어셈블리{Mask Assembly}
본 발명은 마스크 어셈블리에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 유기발광표시장치의 유기층을 형성하는 공정에서, 유기물 증착 효율 및 완성된 유기발광표시장치의 특성 균일도가 향상될 수 있는 마스크 어셈블리에 관한 것이다.
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display)분야가 급속도로 발전하고 있다. 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판 표시장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이 같은 평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출 표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광 표시장치(Electro luminescence Display Device: ELD), 전기습윤 표시장치(Electro-Wetting Display: EWD) 및 유기전계발광 표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED) 등을 들 수 있다.
이 중, 유기전계발광표시장치(이하, "OLED"로 지칭함)는, 자발광 소자인 유기 발광 다이오드를 이용하여 화상 표시를 구현한다. 여기서, 유기 발광 다이오드는, 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합(recombination)하여 발생된 여기자(exciton)로부터 비롯된 에너지에 의해 특정한 파장의 빛을 발생시키는 소자이다. 이러한 OLED는, 콘트라스트 비(Contrast Ratio)와 응답속도(response time) 등의 표시 특성이 우수하다는 장점과, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)의 구현이 용이하다는 장점이 있어, 이상적인 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.
일반적인 OLED는 복수의 서브픽셀이 매트릭스 형태로 배열되는 액티브 영역과 액티브 영역 외에 나머지인 비액티브 영역으로 정의된다. 각 서브필셀은 박막 트랜지스터와 유기 발광 다이오드를 포함하여 이루어진다. 유기 발광 다이오드는 제1 전극, 유기층 및 제2 전극으로 이루어지고, 유기층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층을 포함하여 이루어진다. 이와 같이 구성되는 OLED는, 제1 전극과 제2 전극에 수 볼트의 전압을 인가하여, 유기층을 통해 흐르는 전류에 의해 발광 현상을 발생시켜, 화상을 표시한다. 즉, OLED는, 전류가 주입되면, 유기 분자가 여기 상태(excited state)로 들떴다가, 다시 원래의 기저 상태(ground state)로 돌아오면서 여분의 에너지를 빛으로 방출하는 원리를 이용하여 화상을 표시한다.
한편, 유기층을 형성하는 공정에서, 서브픽셀에 대응되어 발광영역이 발생되도록, 마스크 어셈블리가 이용된다. 이때, 마스크 어셈블리는 액티브 영역에 대응하는 개구영역과 개구영역 외곽의 차단영역을 포함하는 금속 또는 플라스틱의 박막으로 구비되는 증착마스크 및 증착마스크와 결합되는 프레임을 포함하여 이루어진다. 이러한 마스크 어셈블리에 있어서, 증착마스크는 평평하게 펼쳐진 상태에서, 용접 등을 통해 프레임과 결합하고, 프레임은 증착마스크의 평평한 상태가 유지되도록 한다.
그런데, 복수의 OLED를 한번에 제조하여 수율을 향상시키기 위하여, 또는 OLED를 대형화하기 위하여, 기판(substrate)이 점차 큰 사이즈(size, 크기)로 마련되고 있다. 이에 따라, 마스크 어셈블리도 기판에 대응되도록 큰 사이즈로 마련되어야 한다.
이와 같이, 하나의 증착마스크로 큰 사이즈의 마스크 어셈블리를 구성하는 경우, 증착마스크도 큰 사이즈로 구비되어야 한다. 이러한 이유로, 증착마스크가 팽팽하게 스트레칭된 상태에서 프레임에 결합되더라도, 증착마스크의 자중에 의해 증착마스크가 아래로 쳐지는 쳐짐현상이 발생된다. 이러한 쳐짐현상에 의해, 증착마스크가 기판에 밀착되지 못하므로, 설계된 패턴에 따라 유기물질 증착이 수행되는 것이 어렵다. 또한, 쳐짐현상을 방지하기 위하여 증착마스크에 과도한 인장력을 가한다면, 인장력에 의해 증착마스크의 패턴이 변형되어, 유기물질 증착이 설계대로 실시되는 것이 어려워진다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 큰 사이즈의 기판에 대응하는 큰 사이즈의 마스크 어셈블리가 복수의 증착마스크(이하, "분할 증착마스크"로 지칭함)를 포함하여 이루어지는 방안이 제시되었다.
도 1은 종래기술에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 마스크 어셈블리(10)는, 복수의 분할 증착마스크(11)와 사각형의 틀로 형성되어 복수의 분할 증착마스크(11)와 결합되는 프레임(12)을 포함하여 구성된다. 여기서, 복수의 분할 증착마스크(11) 각각은 상·하단에 가해진 소정의 인장력에 의해, 평평하게 펼쳐진 상태에서, 프레임(12)과 결합된다. 이때, 복수의 분할 증착마스크(11)는 비교적 작은 사이즈를 가지므로, 자중에 의한 증착마스크(11)의 쳐짐현상이 방지될 수 있다.
그러나, 복수의 분할 증착마스크(11)의 경우, 배치상의 문제로 인하여, 증착마스크(11)의 외곽 전체가 프레임(12)에 고정되지 않고, 외곽의 상·하단만이 프레임(12)에 고정된다. 이에, 분할 증착마스크(11)와 프레임(12) 사이의 결합이 견고할 수 없는 문제점이 있다. 즉, 분할 증착마스크(11)가 충분한 크기의 인장력을 받아 평평하게 펼쳐진 상태에서 프레임(12)과 결합되더라도, 기판의 유동, 작업공정에 의한 충격 또는 움직임 등에 의해, 분할 증착마스크(11)의 가운데 부분이 들뜨게 된다거나, 이웃한 분할 증착마스크(11) 간의 간격이 더 커지게 될 수 있다. 이와 같이, 분할 증착마스크(11)의 들뜸 또는 이웃한 분할 증착마스크(11) 간의 이격에 의해, 유기물질이 설계와 다르게 증착되어, 유기물질 증착 공정 시에, 유기물 증착 효율이 떨어지고, 유기발광표시장치의 특성 균일도가 낮아지게 된다.
이에 따라, 본 발명은 복수의 증착마스크 간의 결합을 견고하게 하여, 복수의 증착마스크의 들뜸 또는 이웃한 증착마스크 간의 이격이 발생되는 것을 방지할 수 있는 마스크 어셈블리를 제공한다.
이와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 유기물질이 투과되는 개구영역과 상기 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크; 연속하여 배열되는 상기 복수의 증착마스크와 결합되는 프레임; 및 상기 복수의 증착마스크 중 이웃한 증착마스크를 접합하는 본딩부를 포함하는 마스크 어셈블리를 제공한다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 마스크 어셈블리는 복수의 증착마스크를 포함하여 구성됨으로써, 증착마스크가 비교적 작은 사이즈 및 비교적 작은 중량을 가지므로, 증착마스크의 쳐짐현상을 방지할 수 있다. 그리고, 마스크 어셈블리는, 이웃한 증착마스크를 접합하는 본딩부를 포함함으로써, 이웃한 증착마스크 간의 결합이 견고해질 수 있다. 이에 따라, 증착마스크의 들뜸 또는 이웃한 증착마스크 간의 이격이 방지될 수 있어, 유기물질이 설계대로 증착될 수 있으므로, 유기물 증착 효율이 향상되고, 제조된 유기발광표시장치의 특성 균일도가 향상될 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기물질 증착 공정을 실시하는 장비의 예시를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A 영역을 확대하여 나타낸 것이다.
도 5는 도 4에 도시된 B-B'의 단면을 나타낸 것이다.
도 6a 내지 도 6c는 제1 실시예에 따른 본딩부를 위에서 내려다본 사진이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리에 있어서, 개구영역이 분할된 형태의 증착마스크를 포함하는 경우를 나타낸 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 C 영역의 단면을 나타낸 것이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리에 있어서, 개구영역이 분할된 형태의 증착마스크를 포함하는 경우를 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이다.
도 12는 도 11에 도시된 D 영역의 단면을 나타낸 것이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 어셈블리에 대하여, 첨부한 도면을 참고로 하여, 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 마스크 어셈블리가 적용되는 유기물질 증착 공정에 대해 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기물질 증착 공정을 실시하는 장비의 예시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 유기물질 증착 장비는, 내부를 진공상태로 유지하는 챔버(10), 챔버 내부에 배치되어, 유기물질을 배출하는 증착원(20), 증착원(20) 상부에 배치되는 마스크 어셈블리(100), 마스크 어셈블리(100) 상부에 배치되는 기판(30), 기판(30)을 사이에 두고 마스크 어셈블리(100)와 대향하여 배치되는 마그넷 유닛(40, magnet unit)을 포함하여 이루어진다.
기판(30)에 유기물질이 증착되는 동안, 챔버(10)의 내부는 높은 진공도 및 높은 온도로 유지된다. 이때, 챔버(10) 내부의 높은 진공도를 유지하기 위하여, 별도로 도시되진 않았으나, TMP(Turbo Molecular Pump)와 같은 진공펌프가 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 그리고, 별도로 도시되진 않았으나, 유기물질 증착 장비는, 유기물질의 증착된 두께를 측정하는 두께 센서(thickness monitoring sensor), 측정된 유기물질의 두께에 따라 증착원(20)의 구동을 제어하는 컨트롤러(hickness controller), 증착원으로부터 배출된 유기물질을 차단하는 셔터(shutter) 등을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
증착원(20)은 챔버(10) 내의 하부에 배치되고, 유기물질에 열을 가하여 유기물질을 증발시켜 배출하는 가열용기(crucible) 형태로 마련된다.
마스크 어셈블리(100)는 선택적으로 증착물질을 통과시키는 증착마스크(110) 및 증착마스크(110)과 결합되는 다각형 형태의 틀을 포함하는 프레임(120)을 포함하여 이루어진다. 본 발명의 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)에 대해서는 이하에서 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
기판(30)은 복수의 셀이 매트릭스 형태로 배열되고 유기 물질이 증착되는 액티브 영역과, 액티브 영역의 외곽에 해당되는 더미 영역을 포함한다. 이때, 마스크 어셈블리(100)의 증착마스크는 기판(30)의 액티브 영역에 대응하는 개구영역을 포함한다. 그리고, 별도로 도시되진 않았으나, 유기물질 증착 장비는, 챔버(10) 내부에, 기판(30)과 마스크 어셈블리(100)를 정렬하는 정렬기(aligner)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
다음, 도 3 내지 도 7를 참고하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)에 대해 상세히 살펴보기로 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 A 영역을 확대하여 나타낸 것이며, 도 5는 도 4에 도시된 B-B'의 단면을 나타낸 것이다. 그리고, 도 6a 내지 도 6c는 제1 실시예에 따른 본딩부를 위에서 내려다본 사진이다. 또한, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리에 있어서, 개구영역이 분할된 형태의 증착마스크를 포함하는 경우를 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)는 도 3에 도시된 바와 같이, 유기물질이 투과되는 개구영역과 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크(110), 연속하여 배열된 복수의 증착마스크(110)와 결합되는 프레임(120) 및 볼 와이어(ball wire)로 형성되어, 복수의 증착마스크(110) 중 이웃한 증착마스크를 접합하는 본딩부(130)를 포함한다. 여기서, 제1 실시예에 따른 본딩부인 볼 와이어(130)는 공 형태로 뭉쳐진 금속을 일측에 접촉하고 떨어뜨린 상태에서, 와이어 형태로 연장하여, 다른 일측에 접촉시켜, 양측을 접합한다.
복수의 증착마스크(110)는 나란히 연속하여 배열되고, 소정의 인장력을 받아 스트레칭되어, 평평하게 펼쳐진 상태에서, 프레임(120)과 결합된다. 이때, 복수의 증착마스크(110)의 상·하단이 용접 등을 통해 프레임(120)에 고정됨으로써, 복수의 증착마스크(110)와 프레임(120)이 결합된다.
프레임(120)은 다각형(도 3에서 "사각형"으로 도시됨)의 틀로 구비되며, 복수의 증착마스크(110)와 결합되어, 복수의 증착마스크(110)가 평평하게 펼쳐진 상태를 유지하도록 고정한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 증착마스크(110) 각각은 개구영역(111)과 차단영역(112)로 정의되고, 개구영역(111)은 복수의 셀(31)에 각각 대응되도록 형성된다. 즉, 개구영역(111)에 의해, 유기층이 배치된 발광영역이 복수의 셀(31)에 대응되어 형성되도록 한다. 개구영역(111)의 폭(X)은 대응하는 셀(31)의 폭보다 크게 마련될 수 있다. 그리고, 별도로 도시되진 않았으나, 유기물질의 수명 또는 색의 발광 세기를 고려하여, 청색의 셀(31)에 대응하는 개구영역(111)은 적색과 녹색의 셀(31)에 대응하는 개구영역(111)보다 크게 설계될 수 있다.
제1 실시예에 따른 본딩부는 볼 와이어(130)로 형성되는데, 볼 와이어(130)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 증착마스크(110) 중 하나인 제1 증착마스크(110a)와, 제1 증착마스크(110a)에 이웃한 제2 증착마스크(110b)를 접합한다. 즉, 볼 와이어(130)는, 볼 형태로 뭉쳐진 금속이 제1 증착마스크(110a)에 접촉한 후, 제2 증착마스크(110b) 측으로 늘어나면서 이웃한 증착마스크(110a, 110b) 사이의 경계면을 넘어, 제2 증착마스크(110b)에 접촉하는 동시에 마무리되는 방식의 와이어이다. 이러한 볼 와이어(130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 이웃한 증착마스크(110) 사이의 경계면에, 한 개 이상 형성되어, 이웃한 증착마스크(110)를 접합한다.
이때, 볼 와이어(130)는, 용이하게 늘어나도록 연성이 우수하고, 불순물 기체 발생이 방지되도록 저분자 물질의 금속으로 형성된다. 즉, 볼 와이어(130)는 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al) 중 선택되는 단일금속 또는 둘 이상의 합금으로 형성될 수 있다. 그리고, 볼 와이어(130)와 접촉되는 증착마스크(110)의 일부 면은 볼 와이어(130)를 형성하는 금속으로 도금되어, 증착마스크(110)와 볼 와이어(130)의 접합이 견고해지도록 한다. 예를 들어, 볼 와이어(130)는 금(Au)으로 도금된 증착마스크(110)의 일부면과 접촉되는 금(Au)으로 형성될 수 있다.
도 6a은 금(Au)으로 도금된 면에, 금(Au)으로 형성된 볼 와이어(130)를 위에서 내려다본 사진이다. 이때, 볼 형태로 뭉쳐진 부분(도 6a에서 좌측에 배치)을 살펴보면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 금(Au)이 볼 형태로 뭉쳐져있다가 와이어 형태로 연장된다. 그리고, 볼 와이어(130)의 마무리 부분(도 6a에서 우측에 배치)을 살펴보면, 도 6c에 도시된 바와 같이, 금(Au)으로 형성된 와이어가 금(Au)으로 도금된 면에 눌려져서 정리된다.
한편, 증착마스크(110)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 차단영역(112)에서 분할되어, 단일의 증착마스크(110)가 완전한 형태의 개구영역(111)만을 포함하도록 형성될 수 있다. 그러나, 증착마스크(110)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 개구영역(111)에서 분할되어, 단일의 증착마스크(110)가 완전하지 않은 형태의 개구영역(111)을 포함하도록 형성될 수도 있다. 이와 같이, 증착마스크(110)가 개구영역(111)에서 분할된 형태인 경우, 두 개의 증착마스크(110a, 110b)가 서로 대향하도록 배치되어, 한 열의 완전한 개구영역(111)을 형성한다. 그리고, 두 개의 증착마스크(110a, 110b) 각각의 차단영역에 의한 경계면은 적어도 하나의 볼 와이어(130)에 의해 접합된다.
다음, 도 8 및 도 10을 참고하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)에 대해 상세히 살펴보기로 한다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 C 영역의 단면을 나타낸 것이다. 그리고, 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리에 있어서, 개구영역이 분할된 형태의 증착마스크를 포함하는 경우를 나타낸 평면도이다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리는, 도 8에 도시된 바와 같이, 유기물질이 투과되는 개구영역과 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크(110), 연속하여 배열된 복수의 증착마스크와 결합되는 프레임(120) 및 웨지 와이어(wedge wire)로 형성되어, 복수의 증착마스크(110) 중 이웃한 증착마스크(110)를 접합하는 본딩부(131)를 포함한다. 여기서, 제2 실시예에 따른 본딩부인 웨지 와이어(131)는, 금속을 일측에 접촉한 상태에서 그대로 다른 일측에 도달되기까지 일직선 형태로 연장하여, 양측을 접합한다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리는, 볼 와이어(130) 대신 웨지 와이어(131)로 형성되는 본딩부(131)를 제외하고, 제1 실시예에 따른 마스크 어셈블리와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 본딩부는 웨지 와이어(131)로 형성되는데, 웨지 와이어(131)는, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 증착마스크(110) 중 하나인 제1 증착마스크(110a)와, 제1 증착마스크(110a)에 이웃한 제2 증착마스크(110b)를 접합한다. 이때, 웨지 와이어(131)는 금속이 제1 증착마스크(110a)에 접촉하고, 접촉을 종료하지 않은 상태로, 제2 증착마스크(110b)와도 접촉하면서 마무리되는 방식의 와이어이다. 이러한 웨지 와이어(131)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 증착마스크(110) 간의 경계면에 한 개 이상 형성되어, 이웃한 증착마스크(110)를 접합한다.
웨지 와이어(131)는, 용이하게 늘어나도록 연성이 우수하고, 불순물 기체 발생이 방지되도록 저분자 물질의 금속으로 형성된다. 즉, 웨지 와이어(131)는 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al) 중 선택되는 단일금속 또는 둘 이상의 합금으로 형성될 수 있다. 그리고, 웨지 와이어(131)와 접촉되는 증착마스크(110)의 일부 면은 웨지 와이어(131)로 형성하는 금속으로 도금되어, 증착마스크(110)와 웨지 와이어(131)의 접합이 견고해지도록 한다. 예를들어, 웨지 와이어(131)는 금(Au)으로 도금된 증착마스크(110)의 일부면과 접촉되는 금(Au)으로 형성될 수 있다.
한편, 웨지 와이어(131)와 제1 실시예에 따른 본딩부인 볼 와이어(130)를 비교해보면, 볼 와이어(130)는 접점 형태로 두 개의 증착마스크(110a, 110b)와 접촉하고, 금속이 늘어나는 형태로 와이어 부분이 형성되는데, 웨지 와이어(131)는 접촉을 종료하지 않고, 와이어 형태로 두 개의 증착마스크(110a, 110b)와 모두 접촉한다.
그리고, 제1 실시예에서와 마찬가지로, 제2 실시예에 따른 증착마스크(110)도 차단영역(112)에서 분할된 형태 또는 개구영역(111)에서 분할된 형태로 형성될 수 있다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 증착마스크(110)는 차단영역(112)이 분할된 형태로 완전한 형태의 개구영역(111)만을 포함하도록 형성될 수 있다. 또는, 도 10에 도시된 바와 같이, 증착마스크(110)는 개구영역(111)에서 분할되어, 완전하지 않은 형태의 개구영역(111)을 포함하도록 형성될 수 있다. 이와 같이, 증착마스크(110)가 개구영역(111)에서 분할된 형태인 경우, 두 개의 증착마스크(110a, 110b)가 서로 대향하도록 배치되어, 한 열의 완전한 개구영역(111)을 형성한다. 그리고, 두 개의 증착마스크(110a, 110b) 각각의 차단영역에 의한 경계면은 적어도 하나의 웨지 와이어(131)에 의해 접합된다.
다음, 도 11 및 도 12를 참고하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)에 대해 상세히 살펴보기로 한다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리를 나타낸 평면도이고, 도 12는 도 11에 도시된 D 영역의 단면을 나타낸 것이다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리는, 도 11에 도시된 바와 같이, 유기물질이 투과되는 개구영역과 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크(110), 연속하여 배열된 복수의 증착마스크와 결합되는 프레임(120) 및 범프 와이어(bump wire)로 형성되어 복수의 증착마스크(110) 중 연속한 증착마스크(110) 사이를 접합하는 본딩부(132)를 포함한다. 여기서, 제3 실시예에 따른 본딩부인 범프 와이어(132)는, 금속을 양측 사이의 경계면에 양측 모두와 접촉되도록 형성하여, 양측을 접합한다. 이러한 범프 와이어(132)는 이웃한 두 개의 증착마스크(110) 사이의 경계면의 적어도 일부와 접촉하도록 형성될 수 있으며, 경계면의 일부와 접촉하는 범프 와이어(132)가 복수 개로 형성되는 것도 가능하다.
한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리는, 볼 와이어(130) 또는 웨지 와이어(131) 대신 범프 와이어(132)로 형성되는 본딩부(132)를 제외하고, 제1 실시예 또는 제2 실시예에 따른 마스크 어셈블리와 동일하므로, 이하에서 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 본딩부는 범프 와이어(132)로 형성되는데, 범프 와이어(132)는, 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 증착마스크(110) 중 하나인 제1 증착마스크(110a)와, 제1 증착마스크(110a)에 이웃한 제2 증착마스크(110b)를 접합한다. 이때, 범프 와이어(132)는 제1 증착마스크(110a)와 제2 증착마스크(110b) 사이의 경계면에 형성되어, 제1 증착마스크(110a)와 제2 증착마스크(110b) 각각의 적어도 일부에 모두 접촉함으로써, 이웃한 증착마스크(110a, 110b)를 접합한다.
이때, 범프 와이어(132)는, 와이어 형태로 용이하게 늘어날 수 있도록 연성이 우수하고, 불순물 기체 발생이 방지되도록 저분자 물질의 금속으로 형성된다. 즉, 범프 와이어(132)는 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al) 중 선택되는 단일금속 또는 둘 이상의 합금으로 형성될 수 있다. 그리고, 범프 와이어(132)와 접촉되는 증착마스크(110)의 일부 면은 범프 와이어(132)로 형성하는 금속으로 도금되어, 증착마스크(110)와 범프 와이어(132)의 접합이 견고해지도록 한다. 예를들어, 범프 와이어(132)는 금(Au)으로 도금된 증착마스크(110)의 일부면과 접촉되는 금(Au)으로 형성될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)는 복수의 증착마스크(110) 및 이웃한 증착마스크(110)를 접합하는 본딩부(130, 131, 132)를 포함한다. 이에, 증착마스크(110)가 작은 사이즈로 분할됨으로써 자중에 의해 쳐지는 현상이 방지될 수 있고, 본딩부(130)에 의해 이웃한 증착마스크(110)끼리 서로 결합되어, 증착마스크(110)의 들뜸 또는 이웃한 증착마스크(110) 간의 이격이 방지될 수 있다. 따라서, 유기층을 형성하는 공정에서, 증착마스크(110)의 위치변동이 방지되어, 유기물이 설계대로 증착될 수 있으므로, 유기물 증착 효율이 향상될 수 있고, 완성된 유기발광표시장치의 특성 균일도가 향상될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다.
10: 챔버 20: 증착원
30: 기판 100: 마스크 어셈블리
110: 증착마스크 111: 개구영역
112: 차단영역 120: 프레임
130: 볼 와이어 131: 웨지 와이어
132: 범프 와이어

Claims (8)

  1. 유기물질이 투과되는 개구영역과 상기 개구영역의 외곽에 해당되는 차단영역으로 각각 정의되는 복수의 증착마스크;
    일 방향으로 연속하여 배열된 상기 복수의 증착마스크와 결합되는 프레임; 및
    상기 프레임에 결합된 상기 복수의 증착마스크 중 상호 이웃한 증착마스크를 접합하는 본딩부를 포함하고,
    상기 복수의 증착마스크 각각은 평평하게 펼쳐진 상태에서, 적어도 양단이 상기 프레임에 고정되어, 상기 프레임과 결합되는 것인 마스크 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본딩부는, 공 형태로 뭉쳐진 금속을 일측에 접촉하고 떨어뜨린 상태에서 연장하여 다른 일측에 접촉시켜, 양측을 접합하는 볼 와이어로 형성되는 마스크 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 본딩부는, 금속을 일측에 접촉한 상태에서 다른 일측에 도달되기까지 일직선 형태로 연장하여 양측을 접합하는 웨지 와이어로 형성되는 마스크 어셈블리.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 증착마스크는 상기 개구영역에서 분할된 형태를 갖는 마스크 어셈블리.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 증착마스크는 상기 차단영역에서 분할된 형태를 갖는 마스크 어셈블리.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 본딩부는, 양측 사이의 경계면의 적어도 일부에, 상기 양측과 모두 접촉하여, 상기 양측을 접합하는 범프 와이어로 형성되는 마스크 어셈블리.
  7. 제2항, 제3항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본딩부는 금, 은, 백금, 알루미늄 중 선택되는 단일의 금속 또는 둘 이상의 합금인 마스크 어셈블리.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 증착마스크 중 상기 본딩부와 접촉하는 일부는 상기 본딩부와 동일한 금속으로 도금되는 마스크 어셈블리.
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