KR20100010251A - 분할 마스크 조립체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 마스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기전계 발광소자용 유기 발광층을 증착하는 데 사용되는 증착 마스크가 분할로 이루진 분할 마스크 조립체에 관한 것이다.
특히, 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체는 프레임과; 상기 프레임 상에 다수의 마스크 패턴을 가지는 다수의 분할 마스크와; 상기 다수의 분할 마스크 간의 경계 하부면에 구성된 다수의 제 1 지지대와; 상기 다수의 분할 마스크 및 다수의 제 1 지지대와 수직 교차하며, 상기 다수의 마스크 패턴의 사이 공간으로 평행하게 이격 구성된 다수의 제 2 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
전술한 구성을 가지는 분할 마스크 조립체는 원장 기판의 대형화 및 그 두께의 슬림화로 인한 처짐으로 분할 마스크 조립체가 변형되는 방지할 수 있는 장점으로, 증착 불량을 방지할 수 있다.

Description

분할 마스크 조립체{Divided Mask Assembly}
본 발명은 증착 마스크에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기전계 발광소자용 유기 발광층을 증착하는 데 사용되는 증착 마스크가 분할로 이루진 분할 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 전계 발광소자는 전자 주입전극과 정공 주입전극으로부터 각각 전자와 정공을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자와 정공이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.
이러한 원리로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않기 때문에, 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점을 갖는다.
이러한 전계 발광소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기전계 발광소자와 유기전계 발광소자로 구분될 수 있다. 상기 유기전계 발광소자는 무기전계 발광소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 풀컬러를 구현할 수 있다는 장점으로 그 연구가 활발히 진행되고 있는 상황이다.
상기 유기전계 발광소자는 개략적으로 투명한 절연기판 상의 화소 영역별로 패턴된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극 상의 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 상의 제 2 전극을 포함한다.
상기 제 1 전극은 인듐-틴-옥사이드를 포함하는 투명한 도전성 물질 그룹에서 선택되고 있다. 이러한 제 1 전극은 사진식각 공정을 통해 형성하고 있으나, 유기발광층이 형성된 후에는 그 사용에 제약이 따르고 있다.
즉, 상기 유기 발광층은 수분에 매우 취약하여 그 제조 과정과 제조 후에도 수분으로부터 철저히 격리시켜야 하는 데, 포토레지스트 박리 과정과 식각 과정에서 수분에 노출되는 사진식각 공정을 진행하다보면 유기 발광층을 패터닝하는 데 어려움이 따르고 있는 상황이다.
따라서, 상기 유기 발광층은 소정의 패턴을 가지는 마스크를 이용하여 진공 상태에서 유기 발광재료를 직접 증착하는 방법을 통해 형성하고 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 종래에 따른 유기전계 발광소자용 증착 마스크에 대해 설명하도록 한다.
도 1은 종래에 따른 유기전계 발광소자용 증착 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이다.
도시한 바와 같이, 종래에 따른 증착 마스크 조립체(10)는 사각테 형상의 프레임(20)과, 상기 프레임(20) 상에 안착되며 다수의 마스크 패턴(30)을 가지는 증착 마스크(40)를 포함한다.
상기 프레임(20)은 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 변(L1, L2, L3, L4)을 가지며, 그 내측으로 테두리에 비해 높이가 낮은 안착부(F)가 설계된다. 이러한 프레임(20)의 안착부(F)에 대응하여 증착 마스크(40)가 안정적으로 안착된다.
일반적으로, 생산 수율을 향상시키기 위한 목적으로 대형의 원장 기판(미도시)에 대응된 크기로 증착 마스크(40) 또한 원장으로 설계하게 된다. 이 때, 상기 증착 마스크(40)의 일 방향으로 대응된 다수의 마스크 패턴(30)에 있어서, 각 마스크 패턴(30)에 일대일 대응하여 다수의 유기전계 발광소자를 형성하고 스크라이빙 공정을 통해 개개의 셀로 절단하게 된다.
이러한 다수의 마스크 패턴(30)에는 증발원(미도시)으로부터의 유기물질이 통과될 수 있도록 패턴된 다수의 개구부(G)가 설계되는 바, 이러한 다수의 개구부(G)를 통해 유기물질이 원장 기판에 증착된다. 즉, 상기 원장 기판과 증착 마스크 조립체(10)의 위치 정렬을 진행한 상태에서 유기물질을 증착하여 유기 발광층(미도시)을 형성하게 된다.
그러나, 최근에는 원장 기판의 크기가 대형화되고 있는 추세에 따라 원장의 증착 마스크(40)의 크기 또한 원장 기판의 크기에 맞게 교체해야 할 뿐만 아니라, 원장으로 제작된 증착 마스크(40)의 일부분이 손상되거나 증착 불량이 발생될 경우 원장으로 제작된 증착 마스크(40) 전체를 교체해야 한다는 제약으로 생산 단가를 상승시키는 요인으로 작용하고 있다.
이러한 문제점을 개선하기 위해, 원장의 증착 마스크(40)를 일정한 크기로 분할하여 사용하는 분할 마스크로 전환하려는 시도가 다각도에서 진행 중에 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 종래에 따른 분할 마스크 조립체에 대해 설명 하도록 한다.
도 2a는 종래에 따른 분할 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이고, 도 2b는 도 2a의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 2a와 도 2b에 도시한 바와 같이, 종래에 따른 분할 마스크 조립체(110)는 사각테 형상의 프레임(120)과, 상기 프레임(120) 상에 다수의 마스크 패턴(130)을 가지는 다수의 분할 마스크(140a)과, 상기 다수의 분할 마스크(140a) 간의 경계부에 위치하는 틈새 가림용 지지대(140b)를 포함한다. 이 때, 상기 다수의 분할 마스크(140a)와 틈새 가림용 지지대(140b)를 포함하여 증착 마스크(140)라 한다.
상기 프레임(120)은 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 변(L1, L2, L3, L4)을 가지며, 그 내측으로 테두리에 비해 높이가 낮은 안착부(F)가 설계된다. 이러한 프레임(120)의 안착부(F)에 대응하여 다수의 분할 마스크(140a)를 차례로 배치시키고, 프레임(120)의 장변에 대응된 양측 끝단, 즉 제 1 변(L1)과 제 3 변(L3)에 각각 대응하여 나사와 같은 체결 수단(미도시)을 이용하여 고정시키게 된다.
전술한 다수의 분할 마스크(140a) 중 어느 하나의 분할 마스크(140a)가 파손되는 불량이 발생하더라도, 파손된 분할 마스크(140a)만을 분리한 후 교체하는 방식으로 수급을 조절을 하는 것이 가능한 바, 종래의 원장으로 이루어진 증착 마스크(도 1의 40)를 이용한 방식에 비해 생산 단가를 줄일 수 있다는 장점이 있다.
그러나, 종래에 따른 분할 마스크 조립체(110)의 경우, 다수의 분할 마스크(140a)의 장변 방향, 즉 제 1 변(L1)과 제 3 변(L3)은 체결 수단에 의해 고정되는 구조로 그 지탱이 가능하나, 제 2 변(L2)과 제 4 변(L4)은 체결 수단이 없는 관 계로 대형화되는 원장 기판의 처짐에 의한 분할 마스크(140a)의 변형 문제가 발생하게 되고, 이는 분할 마스크(140a)와 원장 기판 간의 정렬 위치가 틀려지는 원인으로 작용하여 증착 불량이 발생되는 문제를 야기하고 있다.
도 3은 종래에 따른 분할 마스크와 원장 기판 간의 얼라인 전/후 단계를 개략적으로 나타낸 단면도로, 이를 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.
도시한 바와 같이, 분할 마스크(140a) 상부로 원장 기판(180)을 위치 정렬하는 단계를 진행하게 된다. 이 때, 전술한 바와 같이 다수의 분할 마스크(140a)는 그 장변에 대응된 양측 끝단을 조립 수단을 이용하여 고정하게 된다.
특히, 대형화 추세로 원장 기판(180)의 크기는 커지고 그 두께는 점점 얇아짐에 따라 유기물질의 증착 공정시 원장 기판(180)의 처짐이 발생되고, 원장 기판(180)의 처짐에 의해 분할 마스크(140a)가 함께 처지는 문제로 증착 불량을 야기하고 있는 상황이다.
표 1은 종래에 따른 원장 기판의 두께 별 처짐 길이를 나타낸 실험 데이터로, 이를 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.
<표 1>
두께(mm) I II III
0.7 -1.515 0.247 1.762
0.63 -2.204 0.256 2.460
0.5 -3.623 0.278 3.901
표 1은 원장 기판의 두께 별 각 위치에서의 처짐량을 비교한 것으로, 보다 상세하게는 증착 마스크(140)가 없는 상태에서의 처짐량을 나타낸 것이다. 이 때, I, II, III는 원장 기판(180)의 두께 별 원장 기판(180)의 중앙부에서의 처짐 길 이(I), 원장 기판(180)의 우측부에서의 처짐 길이(II), 원장 기판(180)의 중앙부에서의 처짐 길이 - 원장 기판(180)의 우측부에서의 처짐 길이(I-II = III)를 각각 나타낸 것이다. 각각의 처짐 길이의 단위는 mm이다.
전술한 실험 데이터를 바탕으로 원장 기판(180)의 두께가 얇아질 수록 중앙부에서의 처짐이 심화되는 것을 알 수 있다.
이 때, 상기 틈새 가림용 마스크(140b)는 다수의 분할 마스크(140a) 간의 경계부에 대응하여 각 분할 마스크(140a)와 평행한 방향으로 설계되고는 있으나, 이러한 틈새 가림용 마스크(140b)는 지지 수단으로 사용하는 것이 아니라, 다수의 분할 마스크(140a)로 증착물이 증착되는 것을 방지하기 목적으로 설계한 것에 불과하다.
따라서, 전술한 분할 마스크 조립체의 경우, 원장 기판의 대형화 및 그 두께의 슬림화로 인한 다수의 분할 마스크의 변형을 방지할 수 있는 지지수단이 불비한 관계로 증착 불량에 따른 생산 수율의 저하 문제가 대두되고 있다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 유기 발광층을 증착하는 데 있어서 기판 크기의 증가에 따른 분할 마스크의 처짐을 개선하는 것을 통해 생산 수율을 개선하는 것을 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체는 프레임과; 상기 프레임 상에 다수의 마스크 패턴을 가지는 다수의 분할 마스크와; 상기 다수의 분할 마스크 간의 경계 하부면에 구성된 다수의 제 1 지지대와; 상기 다수의 분할 마스크 및 다수의 제 1 지지대와 수직 교차하며, 상기 다수의 마스크 패턴의 사이 공간으로 평행하게 이격 구성된 다수의 제 2 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 다수의 마스크 패턴에는 유기물질이 통과될 수 있는 다수의 개구부가 구성된다. 상기 다수의 제 2 지지대는 다수의 제 1 지지대의 하부면이나, 상기 다수의 분할 마스크와 다수의 제 1 지지대의 사이 공간에 대응하여 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 제 1 지지대는 상기 다수의 분할 마스크로 증착물이 증착되는 것을 방지하는 틈새 가림용 지지대이고, 상기 다수의 제 2 지지대는 상기 다수의 분할 마스크의 처짐을 방지하는 버팀목 지지대인 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 다수의 분할 마스크와 다수의 제 2 지지대는 다수의 용접 돌기와 용접 봉을 포함하는 연결수단에 의해 결합된다.
상기 연결수단은 다수의 마스크 패턴이 형성되지 않는 부분에 대응 구성되고, 상기 다수의 용접 돌기에 대응하여 다수의 하프톤 홀이 형성된 것을 특징으로 한다. 상기 연결수단은 레이저를 이용한 웰딩에 의해 구성된다.
본 발명에서는 원장 기판의 대형화 및 그 두께의 슬림화로 인한 처짐으로 분할 마스크 조립체가 변형되는 문제를 개선하는 것을 통해 증착 불량을 방지할 수 있고, 나아가 생산 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
--- 실시예 ---
본 발명은 원장 기판의 대형화 및 그 두께의 슬림화로 인해 처짐이 발생하더라도, 틈새 가리용 지지대와 수직 교차하는 방향으로 다수의 버팀목 지지대를 설계하는 것을 통해 원장 기판과 분할 마스크의 처짐을 방지할 수 있는 분할 마스크 조립체를 제공하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체에 대해 설명하도록 한다.
도 4a는 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도이고, 도 4b는 도 4a의 A 부분을 나타낸 확대 평면도이다.
도 4a, 도 4b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체(210)는 사각테 형상의 프레임(220)과, 상기 프레임(220) 상에 다수의 마스크 패턴(230)을 가지는 다수의 분할 마스크(240a)와, 상기 다수의 분할 마스크(240a) 간의 경계 하부면에 구성된 다수의 제 1 지지대(240b)와, 상기 다수의 분할 마스크(240a) 및 다수의 제 1 지지대(230b)와 수직 교차하며, 상기 다수의 마스크 패턴(230)의 사이 공간으로 평행하게 이격 구성된 다수의 제 2 지지대(240c)를 포함한다. 이 때, 상기 다수의 분할 마스크(240a)와 다수의 제 1 및 제 2 지지대(240b, 240c)를 포함하여 증착 마스크(240)라 한다.
이 때, 상기 다수의 분할 마스크(240a)의 일 방향으로 구성된 다수의 마스크 패턴(230)에 일대일 대응하여 다수의 유기전계 발광소자를 각각 형성하고 스크라이빙 공정을 통해 개개의 셀로 절단하게 된다.
이러한 다수의 마스크 패턴(230)에는 증발원(미도시)으로부터의 유기물질이 통과될 수 있도록 패턴된 다수의 개구부(G)가 설계되는 바, 이러한 다수의 개구부(G)를 통해 유기물질이 원장 기판(미도시)에 증착된다. 즉, 상기 원장 기판과 분할 마스크 조립체(210)의 위치 정렬을 진행한 상태에서 유기물질을 증착하여 유기 발광층(미도시)을 형성하게 된다.
상기 프레임(220)은 제 1, 제 2, 제 3, 제 4 변(L1, L2, L3, L4)을 가지며, 그 내측으로 테두리에 비해 높이가 낮은 안착부(F)가 설계된다. 이러한 프레임(220)의 안착부(F)에 대응하여 다수의 분할 마스크(240a)를 차례로 배치시키고, 프레임(220)의 장변에 대응된 양측 끝단, 즉 제 1 변(L1)과 제 3 변(L3)에 각각 대응하여 나사와 같은 체결 수단(미도시)을 이용하여 고정시키게 된다.
이 때, 상기 다수의 제 1 지지대(240b)는 다수의 분할 마스크(240a)로 증착물이 증착되는 것을 방지하기 위한 목적으로 설계되는 틈새 가림용 지지대에, 상기 다수의 제 2 지지대(240c)는 분할 마스크(240a)의 처짐을 방지하기 위한 목적으로 설계되는 버팀목 지지대에 각각 해당된다.
상기 다수의 제 1 지지대(240b) 및 제 2 지지대(240c)와 분할 마스크(240a)는 철(Fe), 니켈(Ni), 크롬(Cr)이나 이들의 합금으로 제작되는 바, 상기 합금으로는 인바합금(Fe-36%Ni)을 이용하는 것이 바람직하다.
도면으로 상세히 제시하지는 않았지만, 상기 다수의 제 1 지지대(240b)와 제 2 지지대(240c)는 서로 교차하여 중첩되도록 설계할 수도 있고, 상기 다수의 제 1 지지대(240b)와 제 2 지지대(240c)가 교차되는 부분에 대응된 다수의 제 1 지지대(240b)를 패턴하여 이격되도록 분리 형성하는 방법 등, 그 설계는 다양하게 적용될 수 있다.
특히, 상기 다수의 제 2 지지대(240c)는 원장 기판의 자체 하중에 의해 분할 마스크(240a)가 처지는 것을 단단히 지지할 수 있도록 그 양측 끝단이 돌출되도록 설계함으로써, 이러한 돌출된 부분이 프레임(220)의 안착부(F)에 안정적으로 안착되도록 조립하는 것이 바람직하다.
이 때, 본 발명에서는 다수의 제 2 지지대(240b)를 다수의 마스크 패턴(230) 간의 사이 구간에 대응되도록 설계한 것을 특징으로 한다. 이러한 다수의 마스크 패턴(230)은 유기물질이 직접적으로 증착되는 셀 영역이므로, 다수의 마스크 패턴(230)과 다수의 제 2 지지대(240c)는 서로 중첩되지 않으면서 일정 거리가 이격되도록 설계해야 한다.
전술한 구성은 원장 기판의 크기는 커지고 그 두께가 점점 얇아져 유기 물질의 증착 공정시 원장 기판의 처짐이 발생하더라도, 다수의 마스크 패턴(230) 및 제 1 지지대(240b)와 수직 교차하는 방향으로 다수의 제 2 지지대(240c)를 설계하는 것을 통해 다수의 분할 마스크(240a)의 처짐에 의한 변형을 완화시킬 수 있는 장점이 있다.
즉, 상기 원장 기판의 처짐에 의한 하중이 다수의 분할 마스크(240a)에 그대로 전달되더라도, 다수의 제 1 지지대(240b)와 수직 교차하는 방향으로 설계된 다수의 제 2 지지대(240b)가 원장 기판 및 다수의 분할 마스크(240a)의 처짐에 의한 하중을 지탱하는 버팀목의 역할을 하게 되므로 원장 기판 및 분할 마스크(240a)의 변형을 최소화할 수 있게 되고, 나아가 증착 불량에 따른 생산 수율의 저하 문제를 개선할 수 있게 된다.
이 때, 상기 다수의 제 2 지지대(240c)는 다수의 용접 돌기(290)와 용접봉(미도시)을 포함하는 연결수단(미도시)을 통해 다수의 분할 마스크(240a)와 결합된다. 이러한 다수의 용접 돌기(290)와 용접봉을 포함하는 연결수단은 레이저를 이용한 웰딩 공정에 의해 형성된 것으로, 이에 대해서는 이하 첨부한 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 5a와 도 5b는 분할 마스크와 제 2 지지대에 웰딩 공정을 실시하기 전/후 단계를 개략적으로 나타낸 각각의 단면도로, 다수의 제 1 지지대는 도시하지 않았고, 도 4b와 연계하여 설명하도록 한다.
도 4b, 도 5a에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(240)와 다수의 제 2 지지대(240c)를 결합하기에 앞서, 상기 다수의 제 1 지지대(240b)와 제 2 지지대(240c)의 교차지점에 대응된 다수의 분할 마스크(240a)를 하프톤 마스크(half-tone mask, 미도시)를 이용한 습식식각 공정으로 패턴하여 다수의 하프톤 홀(HH)을 형성한다.
다음으로, 상기 다수의 하프톤 홀(HH)이 형성된 다수의 분할 마스크(240a)의 하부로 다수의 제 2 지지대(240c)를 배치시키고, 상기 다수의 제 2 지지대(240c)의 하부에서 상부 방향으로 레이저를 이용한 웰딩 공정을 진행하게 된다.
도 4b와 도 5b에 도시한 바와 같이, 전술한 레이저를 이용한 웰딩 공정을 완료하게 되면, 상기 다수의 분할 마스크(240a)와 다수의 제 2 지지대(240c)는 다수의 하프톤 홀(HH)에 대응된 다수의 용접 돌기(290a)와 용접봉(290b)을 포함하는 연결수단(290)에 의해 서로 단단히 결합된다.
이 때, 상기 다수의 용접 돌기(290a)와 용접봉(290b)을 포함하는 연결수단(290)이 다수의 제 1 지지대(240b)와 다수의 제 2 지지대(240c)의 교차지점에 위치하는 것으로 도시하였으나, 이는 일 예에 불과하며 다수의 마스크 패턴(230)이 형성되지 않는 부분이라면 모두 가능하고 그 개수에 있어서도 다양하게 변경할 수 있다.
이러한 다수의 하프톤 홀(HH)을 형성하는 주된 이유는 레이저를 이용한 웰딩 공정을 진행하는 과정에서 과도한 웰딩에 의해 다수의 분할 마스크(240a)를 뚫고 상측 표면으로 다수의 용접 돌기(290a)가 노출될 경우 원장 기판(280)에 손상이 가해질 우려가 있을 뿐만 아니라, 나아가 증착 불량을 발생시키는 요인으로 작용할 수 있기 때문에 이러한 불량을 미연에 방지하기 위해서이다.
도면으로 제시하지는 않았지만, 상기 다수의 분할 마스크(240a)의 상부로 다수의 제 2 지지대(240c)를 배치시키고, 상기 다수의 제 2 지지대(240c)의 상부에서 하부 방향으로 레이저를 이용한 웰딩 공정을 진행하는 것을 통해 다수의 분할 마스 크(240a)와 다수의 제 2 지지대(240c)를 결합하는 방식이 적용될 수도 있다. 이와 같이, 다수의 분할 마스크(240a)의 상측 방향에서 하측 방향으로 레이저를 이용한 웰딩 공정을 진행할 경우에는 다수의 용접 돌기(290a)가 다수의 제 2 지지대(240c)를 뚫고 지나가더라도 원장 기판(280)과 맞닿는 부분이 아니기 때문에 원장 기판(280)에 손상이 가해질 염려가 없게 되는 바, 다수의 하프톤 홀(HH)을 형성하는 공정을 생략할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체(310)를 이용하여 유기전계 발광소자의 적, 녹, 청색의 유기 발광층(미도시)을 형성하는 공정을 설명하면 다음과 같다. 진공 상태로 유지되는 증착 챔버(301)의 내부로 홀더(325)에 고정되는 프레임(330)과 증착 마스크(340)를 포함하는 분할 마스크 조립체(310)를 안착시키고, 상기 분할 마스크 조립체(310)의 상부로 원장 기판(380)을 위치시키게 된다.
이 때, 상기 원장 기판(380)과 이격된 상부로는 마그넷 유닛(magnet unit, 395)이 장착되는 바, 이러한 마그넷 유닛(395)을 통해 분할 마스크 조립체(310)와 원장 기판(380)을 밀착시켜가면서 얼라인을 진행하게 된다.
상기 분할 마스크 조립체(310)와 이격된 하부로는 유기물질이 채워진 증발원(385)이 위치하게 되고, 이러한 증발원(385)을 가동시키게 되면 유기물질이 기화되어 증착 마스크(340)를 통과하면서 원장 기판(380) 상에 유기물질이 증착되고, 시간의 경과에 의해 유기 발광층(미도시)이 형성된다.
지금까지, 본 발명에서는 유기전계 발광소자에 대해 일관되게 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 유기물질을 증착하는 공정으로 제작되는 모든 표시장치로 확대 적용할 수 있다는 것을 자명한 사실일 것이다.
따라서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 정신 및 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변형 및 변경할 수 있다.
도 1은 종래에 따른 유기전계 발광소자용 증착 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도.
도 2a는 종래에 따른 분할 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도.
도 2b는 도 2a의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도.
도 3은 종래에 따른 분할 마스크와 원장 기판 간의 얼라인 전/후 단계를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 4a는 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체를 나타낸 분해 사시도.
도 4b는 도 4a의 A 부분을 나타낸 확대 평면도.
도 5a와 도 5b는 분할 마스크와 제 2 지지대에 웰딩 공정을 실시하기 전/후 단계를 개략적으로 나타낸 각각의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 분할 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 설명하기 위한
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
210 : 분할 마스크 조립체 220 : 프레임
130 : 마스크 패턴 240a : 분할 마스크
240b : 제 1 지지대 240c : 제 2 지지대
240 : 증착 마스크 G : 개구부
F : 안착부 L1, L2, L3, L4 : 제 1, 2, 3, 4 변

Claims (8)

  1. 프레임과;
    상기 프레임 상에 다수의 마스크 패턴을 가지는 다수의 분할 마스크와;
    상기 다수의 분할 마스크 간의 경계 하부면에 구성된 다수의 제 1 지지대와;
    상기 다수의 분할 마스크 및 다수의 제 1 지지대와 수직 교차하며, 상기 다수의 마스크 패턴의 사이 공간으로 평행하게 이격 구성된 다수의 제 2 지지대
    를 포함하는 분할 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 마스크 패턴에는 유기물질이 통과될 수 있는 다수의 개구부가 구성된 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 제 2 지지대는 다수의 제 1 지지대의 하부면이나, 상기 다수의 분할 마스크와 다수의 제 1 지지대의 사이 공간에 대응하여 구성된 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 제 1 지지대는 상기 다수의 분할 마스크로 증착물이 증착되는 것을 방지하는 틈새 가림용 지지대이고, 상기 다수의 제 2 지지대는 상기 다수의 분할 마스크의 처짐을 방지하는 버팀목 지지대인 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 분할 마스크와 다수의 제 2 지지대는 다수의 용접 돌기와 용접봉을 포함하는 연결수단에 의해 결합된 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 연결수단은 다수의 마스크 패턴이 형성되지 않는 부분에 대응 구성된 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 다수의 용접 돌기에 대응하여 다수의 하프톤 홀이 형성된 것을 특징으 로 하는 분할 마스크 조립체.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 연결수단은 레이저를 이용한 웰딩에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 분할 마스크 조립체.
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