KR20100101919A - 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막 증착용 마스크와 기판의 밀착성을 높이기 위한 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 대면적 기판에 패턴을 형성하는 복수의 증착용 개구부를 구비한 증착 영역과, 상기 증착 영역 외곽에 배치된 차단 영역을 구비하고, 상기 차단 영역에 프레임과 용접되는 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크; 및 상기 박막 증착용 마스크의 증착 영역에 대응되는 개구부와, 상기 박막 증착용 마스크가 인장되어 용접 고정되는 지지부를 구비한 프레임;을 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 있어서, 상기 용접부는, 증착을 위하여 상기 대면적 기판이 상기 박막 증착용 마스크에 정렬 배치될 시, 상기 대면적 기판이 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공한다.

Description

박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{Mask frame assembly for thin layer deposition and manufacturing method of organic light emitting display device thereused}
본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판과 마스크의 밀착성을 높이기 위한 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 투명한 절연 기판 상에 소정 패턴으로 형성된 제1전극과, 이 제1전극이 형성된 절연 기판 상에는 진공증착법에 의해 형성된 유기막층과, 유기막층의 상면에 형성되며 캐소드 전극층인 제2전극을 포함한다.
이와 같이 구성된 유기 발광 표시 장치를 제작함에 있어서, 제1전극은 포토리소그라피법과 같은 습식 식각법에 의해 패터닝될 수 있다. 그러나 유기막층, 특 히 소정의 색상을 구현하는 발광층은 이러한 습식 식각법에 의해 패터닝할 수 없고, 유기막 상에 형성되는 제2전극 또한 습식 식각법에 의해 패터닝될 수 없다. 이는 유기막의 일부 층이라도 형성된 후에 습식 식각법을 사용하게 되면, 그 과정에서 발생되는 수분이 유기막에 침투 또는 잔류하게 되어, 완성된 유기 발광 표시 장치의 성능과 수명 특성을 현저하게 열화시키는 문제점을 야기시키기 때문이다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 유기 발광층을 이루는 유기 전자 발광재료와 제2전극을 이루는 재료를 증착과 동시에 패터닝하는 제조 방법이 사용되어야 한다. 대한민국 공개 특허공보 2000-060589호에는 박판의 본체에 상호 소정 간격 이격된 스트라이프 상의 슬롯이 형성된 마스크를 이용하여 유기 발광층 또는 캐소드 전극인 제2전극을 증착하는 방법이 개시되어 있다. 한편, 대한민국 공개 특허공보 1998-0071583호에는 금속 박판에 슬릿부와 브릿지부가 매쉬형상을 이루는 마스크를 이용한 증착 방법이 개시되어 있다.
이러한 금속 박판을 이용하여 유기 발광 표시 장치에 미세하고 정밀도 높은 패터닝을 하기 위해서는 금속 박판과 기판과의 밀착성을 높여 섀도우(shadow) 현상 등을 줄여야 한다. 그러나, 상술한 종래의 마스크들은 개구 패턴부들이 금속 박판에 형성되어 있으므로, 금속 박판의 자중에 의한 처짐, 또는 유기막을 성막하는 과정에서 온도 상승에 의한 금속 박판의 열팽창에 의한 처짐 등이 원인이 되어 금속 박판과 기판과의 밀착성을 저해한다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 금속 박판에 인장력(tension)을 부여한 상태로 지지 프레임에 고정하는 방법이 사용된다. 금속 박판을 지지 프레임에 고정하는 방법으로 접착제에 의한 접착 또는 용접 방법 등 다양한 방법이 시도되고 있다.
그런데, 레이저 용접에 의해 금속 박판을 지지 프레임에 접합할 경우, 마스크와 지지 프레임의 접합부 표면에 열에 의한 변형으로 아주 미세한 용접 돌기들이 형성된다. 이러한 용접 돌기들은 소정의 크기를 가지고 있어서, 유기 발광 재료 또는 금속 재료의 증착을 위하여 대면적 기판을 박막 증착용 마스크 상에 정렬하여 배치할 때, 대면적 기판과 마스크의 밀착성을 저해하는 요인이 된다. 이로 인하여 섀도우 현상에 의한 패턴 불량이 발생할 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 기판이 정렬 배치되지 않는 영역에 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 대면적 기판에 패턴을 형성하는 복수의 증착용 개구부를 구비한 증착 영역과, 상기 증착 영역 외곽에 배치된 차단 영역을 구비하고, 상기 차단 영역에 프레임과 용접되는 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크; 및 상기 박막 증착용 마스크의 증착 영역에 대응되는 개구부와, 상기 박막 증착용 마스크가 인장되어 용접 고정되는 지지부를 구비한 프레임;을 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 있어서, 상기 용접부는, 증착을 위하여 상기 대면적 기판이 상기 박막 증착용 마스크에 정렬 배치될 시, 상기 대면적 기판이 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부에 위치할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부를 따라 일렬로 위치하는 복수 개의 용접 돌기를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 박막 증착 마스크의 인장력은 서로 수직인 두 개의 방향으로 인가될 수 있다.
또한 본 발명은, 기판 상에 서로 대향된 제 1 및 제 2 전극과, 상기 제 1 및 제 2 전극의 사이에 구비된 유기막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 유기막 또는 제 2 전극은, 복수의 증착용 개구부를 구비한 증착 영역과, 상기 증착 영역 외곽에 배치된 차단 영역을 구비하고, 상기 차단 영역에 프레임과 용접되는 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 의해 증착 형성되고, 상기 용접부는, 상기 유기막 또 제2 전극을 증착하기 위한 기판이 상기 박막 증착용 마스크에 정렬 배치될 시, 상기 기판이 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부에 위치할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부를 따라 일렬로 위치하는 복수 개의 용접 돌기를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 박막 증착 마스크의 인장력은 서로 수직인 두 개의 방향으로 인가될 수 있다.
상술한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체에 의하면, 증착을 위하여 기판을 마스크 상에 정렬하여 배치하여 때, 마스크와 프레임을 용접하는 용접 돌기들이 기판이 정렬되어 마스크에 배치되는 위치(G) 외곽에 형성되기 때문에, 용접 돌기들이 기판과 마스크의 밀착을 방해하지 않는다. 따라서, 섀도우 현상을 방지할 수 있고 이에 따라 기판에 유기 발광 소자의 정밀한 패턴을 형성할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시한 분리 사시도이고, 도 2는 도 1에 따른 마스크 프레임 조립체의 평면도이며, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ에 따른 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 마스크 프레임 조립체는 박막 증착용 마스크(100)와, 마스크를 지지 고정하는 프레임(200)으로 구성된다.
박막 증착용 마스크(100)는 대면적 기판(300)에 일괄적으로 복수의 유기 발광 소자의 패턴을 증착시키는 것을 가능하게 하는 복수 개의 증착용 개구부(111)를 구비한 증착 영역(110)과, 증착 영역 외곽에 배치된 차단영역(120)을 구비한다.
상기 도면들에는 각각의 증착용 개구부들(111)이 전면 개방된 상태를 유지하는 것으로 도시되어 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 증착용 개구부(111)에는 복수 개의 슬릿이 형성된 마스킹 패턴이 구비되거나 도트 형상의 마스킹 패턴이 구비될 수 있는 등 다양한 변형이 가능하다. 또한, 상기 도면에 도시된 증착용 개구부(111)의 개수나 배치 위치는 본 발명의 설명을 위한 일 예시로서, 본 발명은 이에 제한되지 않음은 물론이다.
한편, 상기 도면에 도시된 증착용 박막 마스크(100)는, 증착용 개구부들(111)이 상기 마스크(100) 상에서 서로 분리되지 않고 일체로 형성된 원장 마스크로 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 증착용 박막 마스크(100)는 증착용 개구부들(111)이 일정 방향(예를 들어, y축 방향)을 따라 분리될 수 있도록 형성된 복수 개의 마스크 스트립트(또는 분리 마스크)들로 구성될 수도 있다.
증착용 개구부들(111)은 전주(electro forming)법에 의해 형성하여 미세한 패터닝과 우수한 표면 평활성을 얻도록 할 수 있다. 물론 에칭법에 의해서도 제조될 수 있는 데, 포토레지스트를 이용해 각 증착용 개구부(111)들과 동일한 패턴을 가지는 레지스트 층을 박판에 형성하거나 개구부들의 패턴을 가진 필름을 박판에 부착한 후 박판을 에칭(etching)함으로써 제조할 수 있다.
프레임(200)은 마스크(100)의 증착 영역에 대응되는 개구부(210)와, 마스크(100)가 인장되어 용접 고정되는 지지부(220)를 구비한다. 프레임(200)은 마스 크(100)를 안정된 상태로 지지하여야 하므로 충분한 강성을 가져야 한다.
상기와 같이 제조된 박막 증착용 마스크(100)는 사방으로(x축 및 y축 방향) 소정의 인장력을 가한 상태에서, 마스크(100)의 차단 영역(120)의 각 단부를 프레임(200)의 지지부(220)에 접합한다. 한편, 상기 도면에서는 마스크(100)를 사방으로 인장하여 마스크(100)의 네 개의 단부 모두를 프레임(200)의 지지부(220)에 접합하는 예를 도시하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 마스크(100)를 하나의 일정 방향(예를 들어, y방향)으로 인장하여 , 인장되는 방향에 수직한 마스크의 양 단부(즉, x축 방향으로 배치된 서로 대향하는 두 개의 단부 )를 프레임(200)의 지지부(220)에 접할 할 수도 있다. 특히, 박막용 증착 마스크(100)가 복수 개의 마스크 스크립트(또는 분리 마스크)로 구성되는 경우에는, 각 마스크 스크립트가 분리된 방향(예를 들어, y축 방향)에 수직한 각 마스크 스트립트의 양 단부(즉, x축 방향으로 배치된 서로 대향하는 두 개의 마스크 스트립트 단부 ) 만을 상기 프레임 지지부(220)에 접합하는 것이 바람직하다.
이때 마스크(100)와 프레임(200)의 접합 방법은 용접 방법을 사용하며, 바람직하게는 레이저 용접에 의한다.
그런데, 레이저 용접에 의할 경우, 마스크(100)와 지지 프레임(200)의 접합부 표면에 열에 의한 변형으로 아주 미세한 용접 돌기들(311, 312, ..)이 형성된다. 이러한 용접 돌기들(311, 312, ..)은 소정의 크기를 가지고 있어서, 유기 발광 재료 또는 금속 재료의 증착을 위하여 대면적 기판(300)을 박막 증착용 마스크(100) 상에 정렬하여 배치할 때, 대면적 기판(300)과 마스크(100)의 밀착성을 저 해하는 요인이 될 수 있다.
도 4 및 5는 본 발명의 비교 예를 도시한 것인데, 상기 도면들을 참조하면, 용접 돌기들(311', 312',..)로 구성된 용접부(130')의 위치가 본 실시 예와 다르다. 즉, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 용접부(130)는, 마스크(100)의 차단영역(120) 중, 대면적 기판(300)이 증착을 위하여 마스크(100)에 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 반면, 비교 예에 의한 마스크(100')의 용접부(130')는 마스크(100')의 차단영역(120') 중, 대면적 기판(300')이 증착을 위하여 마스크(100')에 정렬 배치되는 영역(G') 내부에 에 배치된다.
따라서, 비교 예에 의한 마스크(100')의 용접부(130')는, 증착을 위하여 기판(300')을 마스크(100') 상에 정렬 배치할 때, 용접부(130')가 기판(300')이 정렬되는 위치(G') 내부로 들어가기 때문에 기판(300')과 마스크(100')를 바람직하게 밀착시킬 수가 없다. 따라서, 기판(300)에 형성되는 패턴은 섀도우 현상에 의해 정밀하게 형성될 수 없다.
반면, 본 발명에 따른 마스크(100)의 용접부(130)는, 증착을 위하여 기판(300)을 마스크(100) 상에 정렬하여 배치하여 때, 용접부(130)가 기판(300)이 정렬되는 위치(G) 외곽에 형성되기 때문에, 용접부(130)가 기판(300)과 마스크(100)의 밀착을 방해하지 않는다. 따라서, 섀도우 현상을 방지할 수 있고 이에 따라 대면적 기판(300)에 유기 발광 소자의 정밀한 패턴을 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 마스크 프레임 조립체는 각종 박막 증착용으로 사용될 수 있으며, 특히 유기 발광 표시 장치의 유기막층이나 제2전극의 패턴을 형성하는 데 사 용될 수 있다. 이러한 마스크 프레임 조립체는 증착 장치(미도시)에 장착되어 증착을 행하게 된다.
도 3을 참조하면, 마스크(100)를 이용하여 유기 발광 표시장치의 유기 발광막이나 제2전극을 증착하기 위해서는 진공챔버(미도시)에 설치된 증착 용기와 대응되는 측에 마스크(100)와 프레임(200) 조립체를 설치하고, 이의 상부에 박막이 형성될 기판(300)을 장착한다. 이 상태에서 상기 증착용기(미도시)의 작동으로 이에 장착된 유기물 또는 금속 재료가 기화되어 기판(300)에 증착하게 된다. 이때, 용접부가 기판(300)의 외곽에 배치되기 때문에 기판(300)은 마스크(100)에 밀착되어 장착되고, 그 결과 섀도우 현상이 줄어 기판에 형성되는 유기박층이나 제2전극의 패턴이 정밀하게 형성된다.
도 6에는 이렇게 증착 형성된 유기 발광 표시 장치의 일 예를 도시하였는데, 여기서는 액티브 매트릭스형(AM type) 유기 발광 표시 장치의 한 부화소의 일 예를 도시하였다. 도 6에서 부화소들은 적어도 하나의 TFT와 자발광 소자인 EL소자(OLED)를 갖는다. 다만, 상기 TFT는 반드시 도 6에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형 가능하다. 이러한 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 표시장치를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6에서 볼 수 있듯이, 기판(320)상에 버퍼층(330)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(330) 상부로 TFT가 구비된다. 상기 TFT는 반도체 활성층(331)과, 이 활성층(331)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(332)과, 게이트 절연막(332) 상부의 게이트 전극(333)을 갖는다. 이 게이트 전극(333)을 덮도록 층간 절연막(334)이 형성되 며, 층간 절연막(334)의 상부에 소스 및 드레인 전극(335)이 형성된다. 이 소스 및 드레인 전극(335)은 게이트 절연막(332) 및 층간 절연막(334)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(331)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다. 한편, 상기 소스/드레인 전극(335)에 유기 발광 소자(OLED)의 애노우드 전극이 되는 제 1 전극층(321)에 연결된다. 상기 제 1 전극층(321)은 평탄화막(337) 상부에 형성되어 있으며, 이 제 1 전극층(321)을 덮도록 화소정의막(Pixel defining layer: 338)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(338)에 소정의 개구부를 형성한 후, 유기 발광 소자(OLED)의 유기층(326)이 형성되고, 이들 상부에 공통전극으로 제 2 전극층(327)이 증착된다.
상기 유기 발광 소자(OLED)의 유기층(326) 중 유기 발광층이 적색(R), 녹색(G), 및 청색(B)으로 구비되어 풀칼라를 구현할 수 있는 데, 증착용 개구부(111)에 슬릿 타입의 마스킹 패턴이 구비된 본 발명에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 이용하여, 전술한 바와 같이, 기판과 마스크의 밀착성을 높여 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.
또한, 제 2 전극층(327)의 경우에도 증착용 개구부(111)가 전면 개방된 상태를 유지하는 본 발명에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 이용하여, 전술한 바와 같이, 기판과 마스크의 밀착성을 높여 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.
이러한 유기 발광 표시장치는 외부의 산소 및 수분의 침투가 차단되도록 밀봉된다. 이상 설명한 것은 본 발명에 따른 유기 발광 소자의 일 예를 도시한 것일 뿐, 그 구조는 다양하게 변형 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 개략적으로 도시한 분리 사시도이다.
도 2는 도 1에 따른 마스크 프레임 조립체의 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ에 따른 단면도이다.
도 4 및 5는 본 발명의 비교 예를 도시한 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 간략한 설명>
100: 마스크 110: 증착영역
111: 증착용 개구부 120: 차단영역
130: 용접부 131, 132,..:용접 돌기들
200: 프레임 210: 지지부
220: 개구부 300: 대면적 기판
G: 대면적 기판 정렬 위치

Claims (10)

  1. 대면적 기판에 패턴을 형성하는 복수의 증착용 개구부를 구비한 증착 영역과, 상기 증착 영역 외곽에 배치된 차단 영역을 구비하고, 상기 차단 영역에 프레임과 용접되는 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크; 및
    상기 박막 증착용 마스크의 증착 영역에 대응되는 개구부와, 상기 박막 증착용 마스크가 인장되어 용접 고정되는 지지부를 구비한 프레임;을 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 있어서,
    상기 용접부는, 증착을 위하여 상기 대면적 기판이 상기 박막 증착용 마스크에 정렬 배치될 시, 상기 대면적 기판이 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 용접부는 레이저 용접에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부를 따라 일렬로 위치하는 복수 개의 용접 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 박막 증착 마스크의 인장력은 서로 수직인 두 개의 방향으로 인가되는 것을 특징으로 하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.
  6. 기판 상에 서로 대향된 제 1 및 제 2 전극과, 상기 제 1 및 제 2 전극의 사이에 구비된 유기막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    상기 유기막 또는 제 2 전극은, 복수의 증착용 개구부를 구비한 증착 영역과, 상기 증착 영역 외곽에 배치된 차단 영역을 구비하고, 상기 차단 영역에 프레임과 용접되는 용접부가 구비된 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 의해 증착 형성되고,
    상기 용접부는, 상기 유기막 또 제2 전극을 증착하기 위한 기판이 상기 박막 증착용 마스크에 정렬 배치될 시, 상기 기판이 정렬 배치되는 영역(G) 외곽에 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부에 위치하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 용접부는 레이저 용접에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 용접부는 상기 박막 증착 마스크의 인장력이 가해진 방향에 수직한 방향의 양단부를 따라 일렬로 위치하는 복수 개의 용접 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 박막 증착 마스크의 인장력은 서로 수직인 두 개의 방향으로 인가되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101456671B1 (ko) * 2013-05-22 2014-11-04 주식회사 선익시스템 기판처짐 방지 장치
WO2016011575A1 (zh) * 2014-07-21 2016-01-28 安徽省大富光电科技有限公司 复合掩膜板及其制造方法、复合掩膜板组件
KR20160093785A (ko) * 2015-01-29 2016-08-09 삼성디스플레이 주식회사 가변 마스크
KR20160117694A (ko) * 2015-03-30 2016-10-11 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 박막 증착 방법
US10344376B2 (en) 2011-05-06 2019-07-09 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition and method of manufacturing the same
WO2021047356A1 (zh) * 2019-09-10 2021-03-18 京东方科技集团股份有限公司 对位掩膜板、金属掩膜板组件及其制备方法
KR102391292B1 (ko) * 2021-12-15 2022-04-27 주식회사 핌스 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 마스크 조립체
KR102524345B1 (ko) 2022-10-06 2023-04-21 주식회사 대성에이치테크 스크랩 폐자재를 재사용하는 oled 프레임 제조 방법 및 이에 의해 제조된 oled 프레임

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10344376B2 (en) 2011-05-06 2019-07-09 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition and method of manufacturing the same
KR101456671B1 (ko) * 2013-05-22 2014-11-04 주식회사 선익시스템 기판처짐 방지 장치
WO2016011575A1 (zh) * 2014-07-21 2016-01-28 安徽省大富光电科技有限公司 复合掩膜板及其制造方法、复合掩膜板组件
KR20160093785A (ko) * 2015-01-29 2016-08-09 삼성디스플레이 주식회사 가변 마스크
KR20160117694A (ko) * 2015-03-30 2016-10-11 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 박막 증착 방법
WO2021047356A1 (zh) * 2019-09-10 2021-03-18 京东方科技集团股份有限公司 对位掩膜板、金属掩膜板组件及其制备方法
KR102391292B1 (ko) * 2021-12-15 2022-04-27 주식회사 핌스 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 마스크 조립체
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