KR20180047594A - 박막 증착용 마스크와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 초정밀도를 갖는 박막 증착용 마스크와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것으로, 일 예에 따른 박막 증착용 마스크는 마스크 프레임의 제 1 개구부와 중첩되는 복수의 제 2 개구부를 갖는 마스크 플레이트 및 마스크 플레이트에 결합되고 복수의 제 2 개구부 각각과 중첩되는 복수의 마스크 패턴부를 갖는 박막 금속 패턴층을 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 박막 증착용 마스크와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
자발광소자인 유기 발광 소자를 이용한 유기 발광 표시 장치는 액정 표시 장치 대비, 응답속도, 발광 효율, 휘도 및 시야각 등의 측면에서 우수한 장점으로 인하여 차세대 표시 장치로서 주목 받고 있다.
유기 발광 소자는 애노드(anode)와 캐소드(cathode)로부터 각각 주입된 정공(hole)과 전자(electron)가 발광층에서 재결합하여 여기자(exciton)를 생성하고, 이 여기자가 여기 상태(excited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어질 때 발생되는 에너지 방출을 통해 특정 파장의 광을 발생시킨다.
유기 발광 표시 장치는 풀-컬러(full-color) 영상을 디스플레이하기 적색, 녹색, 및 청색 등의 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 소자를 포함한다. 이러한 유기 발광 소자는 박막 증착용 마스크를 이용한 증착 공정에 의해 마련될 수 있다.
일반적으로 박막 증착용 마스크는 인바(invar)라는 금속 재질의 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있다. 여기서, 인바는 철(Fe)에 니켈(Ni)이 첨가되어 작은 열팽창계수를 가지는 합금일 수 있다.
최근에는, 미세 금속 마스크를 여러 개의 스틱(Stick) 형태로 분할하여 제조한 후, 이들을 얇은 두께로 인장시켜 마스크 프레임 용접하는 방식으로 박막 증착용 마스크를 제작하고 있다. 이러한 제작 방식은 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 미세 금속 마스크의 두께가 얇아지면, 미세 금속 마스크의 인장시 인접한 스틱 간에 슬립(slip) 현상이 발생되고, 슬립 현상이 발생하면 초정밀한 미세 금속 마스크를 제작할 수 없다.
둘째, 미세 금속 마스크의 인장 시간 및 용접 시간으로 인하여 하나의 증착용 마스크를 제작하는데 24 시간 이상이 시간이 소요되게 된다.
셋째, 초정밀도/고해상도의 박막 증착용 마스크를 제작하기 위하여, 미세 금속 마스크를 10 마이크로 미터 이하의 두께로 인장시킬 경우 인접한 스틱 간에 슬립(slip) 현상이 발생되기 때문에 미세 금속 마스크를 10 마이크로 미터 이하의 두께로 인장시킬 수 없다.
따라서, 10 마이크로 미터 이하의 두께를 갖는 초정밀 박막 증착용 마스크 및 이의 제조 방법이 방안이 요구되고 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 초정밀도를 갖는 박막 증착용 마스크와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 일 예에 따른 박막 증착용 마스크는 마스크 프레임의 제 1 개구부와 중첩되는 복수의 제 2 개구부를 갖는 마스크 플레이트 및 마스크 플레이트에 결합되고 복수의 제 2 개구부 각각과 중첩되는 복수의 마스크 패턴부를 갖는 박막 금속 패턴층을 포함할 수 있다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 상의 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 개재된 유기 발광부를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 유기 발광부는 박막 증착용 마스크를 이용한 증착 공정에 의해 형성되며, 박막 증착용 마스크는 마스크 프레임의 제 1 개구부와 중첩되는 복수의 제 2 개구부를 갖는 마스크 플레이트 및 마스크 플레이트에 결합되고 복수의 제 2 개구부 각각과 중첩되는 복수의 마스크 패턴부를 갖는 박막 금속 패턴층을 포함할 수 있다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 일 예에 따른 박막 증착용 마스크의 제조 방법은 기판 상에 복수의 마스크 패턴부를 갖는 박막 금속 패턴층을 형성하는 단계(A), 복수의 개구부를 갖는 마스크 플레이트를 마련하는 단계(B), 복수의 마스크 패턴부 각각과 복수의 개구부 각각이 서로 중첩되도록 박막 금속 패턴층과 마스크 플레이트를 접합하는 단계(C), 및 박막 금속 패턴층으로부터 기판을 분리하는 단계(D)를 포함할 수 있다.
상기 과제의 해결 수단에 의하면, 본 발명은 박막 금속 패턴층에 마련되는 마스크 패턴부의 정밀도만으로 초정밀도/고해상도를 갖는 대면적 박막 증착용 마스크를 용이하게 제작할 수 있으며, 그의 제작 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있다.
상기 과제의 해결 수단에 의하면, 본 발명은 초정밀도/고해상도 유기 발광 표시 장치의 제조에서 요구되는 10 마이크로 미터 이하의 두께를 갖는 미세 금속 마스크를 용이하게 제작할 수 있다.
위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일 예에 따른 박막 증착용 마스크를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 박막 증착용 마스크의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 선 I-I'의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A 부분의 확대도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3에 도시된 접합부의 예를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 6a 내지 도 6e는 일 예에 따른 박막 증착용 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 서브 픽셀을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 박막 증착용 마스크의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 선 I-I'의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A 부분의 확대도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3에 도시된 접합부의 예를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 6a 내지 도 6e는 일 예에 따른 박막 증착용 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 서브 픽셀을 나타내는 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 일 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 일 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 일 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 일 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
본 명세서에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
"제 1 수평 축 방향", "제 2 수평 축 방향" 및 "수직 축 방향"은 서로 간의 관계가 수직으로 이루어진 기하학적인 관계만으로 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 구성이 기능적으로 작용할 수 있는 범위 내에서보다 넓은 방향성을 가지는 것을 의미할 수 있다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미할 수 있다.
본 발명의 여러 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 박막 증착용 마스크와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.
도 1은 일 예에 따른 박막 증착용 마스크를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 박막 증착용 마스크의 분해 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시된 선 I-I'의 단면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 A 부분의 확대도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 일 예에 따른 박막 증착용 마스크(100)는 마스크 프레임(110), 마스크 플레이트(130), 및 박막 금속 패턴층(150)을 포함한다.
상기 마스크 프레임(110)은 박막 증착용 마스크(100)의 외곽 틀을 구성하는 것으로, 마스크 플레이트(130)와 접합되어 마스크 플레이트(130)를 지지한다. 일 예에 따른 마스크 프레임(110)은 제 1 개구부(111)를 갖는 틀 형태를 갖는다.
상기 중앙 개구부(110)는 사각 형태를 가질 수 있다. 마스크 프레임(110)에서, 제 1 개구부(111)를 정의하는 내측벽은 소정의 각도로 경사진 경사면(113)을 갖는다. 이에 따라, 마스크 프레임(110)의 폭은 자신의 상면으로부터 하면으로 갈수록 좁아진다. 상기 마스크 프레임(110)의 경사면(113)은 증착 공정시 마스크 프레임(110)의 가장자리 부분으로 향하는 증착 물질을 제 1 개구부(111) 쪽으로 안내하는 역할을 한다.
일 예에 따른 마스크 프레임(110)은 상대적으로 큰 강성을 갖는 금속 재질, 예를 들어 스테인리스 스틸 또는 스테인리스 합금 등의 금속 재질로 이루어질 수 있다.
상기 마스크 플레이트(130)는 마스크 프레임(110)의 제 1 개구부(111)를 통과하여 입사되는 증착 물질을 통과시키거나 차단하며, 박막 금속 패턴층(150)을 지지한다. 일 예에 따른 마스크 플레이트(130)는 마스크 프레임(110)과 접합되며 마스크 프레임(110)의 제 1 개구부(111)와 중첩되는 복수의 제 2 개구부(131)를 포함한다.
상기 복수의 제 2 개구부(131) 각각은 마스크 프레임(110)의 제 1 개구부(111) 각각 상에 일정한 간격을 갖는 격자 형태로 배치된다. 복수의 제 2 개구부(131) 각각은 유기 발광 표시 장치의 표시 패널과 동일한 형상을 갖는다. 예를 들어, 복수의 제 2 개구부(131) 각각은 사각 형태 또는 비사각 형태를 가질 수 있다. 이러한 복수의 제 2 개구부(131) 각각은 마스크 프레임(110)의 제 1 개구부(111)를 통과하여 입사되는 증착 물질을 통과시킨다.
일 예에 따른 마스크 플레이트(130)에서, 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 제외한 나머지 부분은 증착 물질의 통과를 차단한다. 이에 따라, 마스크 플레이트(130)는 복수의 제 2 개구부(131) 및 복수의 제 2 개구부(131)를 정의하는 차단부(133)로 이루어질 수 있다. 차단부(133)는 마스크 프레임(110)과 접합되는 테두리부(133a), 및 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 정의하는 메쉬부(133b)를 포함할 수 있다.
일 예에 따른 마스크 플레이트(130)는 상대적으로 작은 열팽창계수를 갖는 금속 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 마스크 플레이트(130)는 니켈(Ni), 니켈(Ni) 합금, 니켈(Ni)-코발트(Co) 합금 등의 금속 재질 또는 인바(invar)라는 금속 재질로 이루어질 수 있다. 여기서, 인바는 철(Fe)에 니켈(Ni)이 첨가된 금속 재질일 수 있다.
상기 마스크 플레이트(130)는 마스크 프레임(110)의 상면에 안착되어 레이저 용접에 의해 마스크 프레임(110)에 접합된다. 이때, 마스크 플레이트(130)의 처짐을 최소화하기 위하여, 마스크 플레이트(130)는 4면 방향으로 인장되고, 인장된 상태에서 마스크 프레임(110)에 레이저 용접될 수도 있다. 상기 마스크 플레이트(130)의 인장은 두께를 감소시키는 목적이 아니라 처짐 방지를 위한 것이다.
일 예로서, 레이저 용접은 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110) 중 적어도 하나를 용융시켜 레이저 접합부(120)를 형성함으로써 레이저 접합부(120)를 통해서 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110)을 접합시킬 수 있다. 이를 통해, 본 예는 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110) 간의 접합력을 증가시킬 수 있다.
다른 예로서, 레이저 용접은 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110) 사이에 개재된 보조 접합 부재(120)를 용융시킴으로써 용융된 보조 접합 부재(120)를 통해서 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110)을 접합시킬 수 있다. 여기서, 보조 접합 부재(120)는 용융점이 낮은 주석(Sn) 또는 주석 합금 등의 재질을 포함할 수 있다. 이 경우, 레이저 용접시 레이저의 출력을 감소시킬 수 있다.
상기 박막 금속 패턴층(150)은 마스크 플레이트(130)의 상면에 결합되고, 마스크 플레이트(130)에 마련된 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 통과하여 입사되는 증착 물질을 통과시키거나 차단한다. 일 예에 따른 박막 금속 패턴층(150)은 복수의 제 2 개구부(131) 각각과 중첩되는 복수의 마스크 패턴부(151)를 포함한다.
상기 복수의 마스크 패턴부(151) 각각은 복수의 홀 패턴(151a) 및 브리지(bridge) 패턴(151b)을 포함한다.
상기 복수의 홀 패턴(151a) 각각은 해당하는 제 2 개구부(131)와 중첩되도록 박막 금속 패턴층(150)을 수직 방향(Z)으로 관통하도록 마련된다. 일 에에 따른 복수의 홀 패턴(151a)은 증착 물질이 증착될 기판의 증착 영역과 동일한 형상을 갖는다. 예를 들어, 복수의 홀 패턴(151a) 각각은 스트라이프 형태 또는 다각 형태를 갖는 섬 형태를 가질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이러한 복수의 홀 패턴(151a) 각각은 중첩되는 마스크 플레이트(130)의 제 2 개구부(131)를 통과하여 입사되는 증착 물질을 통과시킨다.
상기 브리지 패턴(151b)은 복수의 홀 패턴(151a) 사이사이에 마련되어 인접한 홀 패턴들(151a) 사이를 분리한다. 예를 들어, 브리지 패턴(151b)은 제 1 방향(X)을 따라 인접한 홀 패턴들(151a) 사이에 마련된 복수의 제 1 브리지, 및 제 1 방향(X)과 교차하는 제 2 방향(Y)을 따라 인접한 홀 패턴들(151b) 사이에 마련된 제 2 브리지를 포함한다. 브리지 패턴(151b)은 복수의 제 1 브리지와 복수의 제 2 브리지의 교차에 따라 메쉬 형태를 가질 수 있다. 이러한, 브리지 패턴(151b)은 중첩되는 마스크 플레이트(130)의 제 2 개구부(131)를 통과하여 입사되는 증착 물질의 통과를 차단한다.
추가적으로, 박막 금속 패턴층(150) 중 복수의 마스크 패턴부(151)를 제외한 나머지 부분은 증착 물질의 통과를 차단하는 차단층의 역할을 한다.
일 예에 따른 박막 금속 패턴층(150)은 작은 열팽창계수를 갖는 금속 재질로 이루어질 수 있다. 일 예로서, 박막 금속 패턴층(150)은 마스크 플레이트(130)와 동일한 재질로 이루어질 수 있다. 다른 예로서, 박막 금속 패턴층(150)은 니켈(Ni), 니켈(Ni) 합금, 니켈(Ni)-코발트(Co) 합금 등의 금속 재질로 이루어질 수 있다.
일 예에 따른 박막 금속 패턴층(150)는 초정밀도/고해상도의 박막 증착용 마스크를 제작하기 위해, 10 마이크로 미터 이하, 보다 구체적으로 2 내지 10 마이크로 미터의 두께(T)를 가지는 것이 바람직하다. 여기서, 박막 금속 패턴층(150)은 별도의 기판, 예를 들어 유리 기판 상에 마련된 후, 유리 기판으로부터 분리되어 마스크 플레이트(130)에 접합되는데, 박막 금속 패턴층(150)이 2 마이크로 미터 미만의 두께(T)를 가질 경우 박막 금속 패턴층(150)과 유리 기판의 분리시, 박막 금속 패턴층(150)이 찢겨질 수 있다. 그리고, 초정밀도/고해상도의 미세 금속 마스크의 경우, 10 마이크로 미터 이하의 두께를 가져야만 하기 때문에 본 예에 따른 박막 금속 패턴층(150)의 두께(T)는 10 마이크로 미터 이하로 형성된다.
본 예에 따른 박막 증착용 마스크(100)는 접합부(170)를 더 포함한다.
상기 접합부(170)는 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 사이에 마련되어 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합시킨다. 특히, 일 예에 따른 접합부(170)는 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 둘러싸도록 형성됨으로써 박막 금속 패턴층(150)에 마련된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각의 열팽창을 개별적으로 구속한다.
일 예에 따른 접합부(170)는, 도 5a에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 접합 라인(171) 및 제 2 접합 라인(173)을 포함한다.
상기 복수의 제 1 접합 라인(171) 각각은 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 개별적으로 둘러싸도록 마스크 플레이트(130) 상에 폐루프 형태로 마련될 수 있다. 이때, 복수의 제 1 접합 라인(171) 각각이 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 개별적으로 둘러싸도록 마련됨에 따라 인접한 제 2 개구부들(131) 사이에는 서로 이격된 2개의 제 1 접합 라인(171)이 나란하게 배치될 수 있다. 이러한 복수의 제 1 접합 라인(171) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합(또는 합착) 공정시 박막 금속 패턴층(150)의 후면에 접합됨으로써 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합시킨다. 이때, 복수의 제 1 접합 라인(171) 각각은 박막 금속 패턴층(150)에 마련된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각을 둘러싸도록 박막 금속 패턴층(150)의 하면에 접합됨으로써 박막 금속 패턴층(150)에 마련된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각의 열팽창을 개별적으로 구속한다. 이를 위해, 복수의 제 1 접합 라인(171) 각각은 복수의 제 2 개구부(131) 각각에 최대한 인접하도록 마스크 플레이트(130) 상에 마련되는 것이 바람직하다.
상기 제 2 접합 라인(173)은 마스크 플레이트(130)의 가장자리 부분 상에 폐루프 형태로 마련될 수 있다. 이러한 제 2 접합 라인(173)은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합(또는 합착) 공정시 박막 금속 패턴층(150)의 후면 가장자이 부분에 접합됨으로써 마스크 플레이트(130)의 가장자리와 박막 금속 패턴층(150)의 가장자리를 서로 접합시킨다.
상기 복수의 제 1 접합 라인(171)과 제 2 접합 라인(173) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합하는 실런트를 포함할 수 있다. 상기 실런트는 프린팅 공정 또는 실 디스펜싱 방식에 의해 마스크 플레이트(130) 상에 일정한 폭을 가지도록 마련될 수 있다. 이러한 실런트를 포함하는 복수의 제 1 접합 라인(171)과 제 2 접합 라인(173) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합 공정시, 가해지는 열 또는 광에 의해 경화됨으로써 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합할 수 있다.
일 예에 따른 접합부(170)는, 도 5b에 도시된 바와 같이, 메쉬 접합 라인(175) 및 외곽 접합 라인(177)을 포함할 수 있다.
상기 메쉬 접합 라인(175)은 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 둘러싸도록 마스크 플레이트(130) 상에 메쉬 형태로 마련될 수 있다. 이때, 메쉬 접합 라인(175)이 복수의 제 2 개구부(131) 각각을 둘러싸도록 마련됨에 따라 인접한 제 2 개구부들(131) 사이에는 하나의 접합 라인이 배치될 수 있다. 이러한 메쉬 접합 라인(175)은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합(또는 합착) 공정시 박막 금속 패턴층(150)의 후면에 접합됨으로써 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합시킨다. 이때, 메쉬 접합 라인(175)은 박막 금속 패턴층(150)에 마련된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각을 둘러싸도록 박막 금속 패턴층(150)의 하면에 접합됨으로써 박막 금속 패턴층(150)에 마련된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각의 열팽창을 개별적으로 구속한다.
상기 외곽 접합 라인(177)은 마스크 플레이트(130)의 가장자리 부분 상에 폐루프 형태로 마련될 수 있다. 이러한 외곽 접합 라인(177)은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합(또는 합착) 공정시 박막 금속 패턴층(150)의 후면 가장자이 부분에 접합됨으로써 마스크 플레이트(130)의 가장자리와 박막 금속 패턴층(150)의 가장자리를 서로 접합시킨다.
상기 메쉬 접합 라인(175)과 외곽 접합 라인(177)은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합하는 실런트를 포함할 수 있다. 상기 실런트는 잉크 젯 방식, 스크린 프린팅 방식, 또는 실 디스펜싱 방식에 의해 마스크 플레이트(130) 상에 일정한 폭을 가지도록 마련될 수 있다. 이러한 실런트를 포함하는 메쉬 접합 라인(175)과 외곽 접합 라인(177) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합 공정시, 가해지는 열 또는 광에 의해 경화됨으로써 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합할 수 있다.
상기 메쉬 접합 라인(175)을 갖는 접합부(170)는 인접한 제 2 개구부(131)들 사이에 하나의 접합 라인(175)이 형성되기 때문에 도 5a에 도시된 접합부(170) 대비 실런트의 사용량이 감소될 수 있다.
이와 같이 실런트에 의해 형성된 접합부(170)는 마스크 플레이트(130)로부터 박막 금속 패턴층(150)을 분리할 수 있어, 박막 금속 패턴층(150)의 손상시, 마스크 플레이트(130)를 재활용할 수 있다.
선택적으로, 상기 접합부(170)는 레이저 용접에 의해 형성되어 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)을 서로 접합할 수 있다.
일 예에 따른 접합부(170)는 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 중 적어도 하나가 레이저 용접에 의해 용융되어 형성될 수 있으며, 이 경우, 접합부(170)는 레이저 접합부로 정의될 수 있다.
일 예에 따른 레이저 접합부는 도 5a에 도시된 바와 같이, 복수의 제 1 접합 라인(171) 및 제 2 접합 라인(173)을 포함한다. 이러한 복수의 제 1 접합 라인(171) 및 제 2 접합 라인(173) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 중 적어도 하나가 레이저 용접에 의해 용융되는 것을 제외하고는 전술한 바와 동일하므로, 이에 대한 중복 설명은 생략한다.
일 예에 따른 레이저 접합부는 도 5b에 도시된 바와 같이, 메쉬 접합 라인(175) 및 외곽 접합 라인(177)을 포함한다. 이러한 메쉬 접합 라인(175) 및 외곽 접합 라인(177) 각각은 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 중 적어도 하나가 레이저 용접에 의해 용융되는 것을 제외하고는 전술한 바와 동일하므로, 이에 대한 중복 설명은 생략한다.
상기 레이저 용접에 의해 형성된 접합부(170)는 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150)이 서로 화학적으로 접합됨으로써 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 결합력이 증가될 수 있다.
부가적으로, 상기 레이저 용접에 의해 형성된 접합부(170)는 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 사이에 개재된 보조 접합 부재가 용융되어 형성될 수도 있다. 이 경우, 보조 접합 부재는 마스크 플레이트(130) 상에 마련된 후, 마스크 플레이트(130)와 박막 금속 패턴층(150) 간의 접합 공정시 레이저에 의해 용융되어 접합부(170)를 형성한다. 여기서, 보조 접합 부재는 용융점이 낮은 주석(Sn) 또는 주석 합금 등의 재질을 포함할 수 있다.
이와 같은, 본 예는 복수의 마스크 패턴부(151)를 갖는 박막 금속 패턴층(150)을 마스크 플레이트(130)에 접합함으로써 박막 금속 패턴층(150)에 마련되는 마스크 패턴부(151)의 정밀도만으로 초정밀도/고해상도를 갖는 대면적 박막 증착용 마스크를 제공할 수 있으며, 제작 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있다.
도 6a 내지 도 6e는 일 예에 따른 박막 증착용 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면들로서, 이는 도 1 내지 도 4에 도시된 박막 증착용 마스크의 제조 방법에 관한 것이다. 이에 따라, 이하에서는 동일한 구성에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 6a 내지 도 6e를 참조하여 일 예에 따른 박막 증착용 마스크의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상에 복수의 마스크 패턴부(151)를 갖는 박막 금속 패턴층(150)을 형성한다.
상기 기판(S)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있으며, 바람직하게는 유리 기판일 수 있다.
상기 박막 금속 패턴층(150)은 기판(S) 상에 미리 설정된 복수의 마스크 패턴부(151) 각각에 마련된 복수의 홀 패턴(151a)을 포함한다.
상기 박막 금속 패턴층(150)은 전기 주조 공정에 의해 기판(S)의 상면에 증착될 수 있다. 이때, 박막 금속 패턴층(150)은 전술한 바와 같이, 10 마이크로 미터 이하, 보다 구체적으로 2 내지 10 마이크로 미터의 두께(T)로 형성된다.
일 예로서, 박막 금속 패턴층(150)을 형성하는 공정은 기판(S)의 상면에 시드층을 증착하는 공정, 시드층을 패터닝하는 공정, 및 전기 주조 공정을 통해 패터닝된 시드 패턴층의 상면에 박막 금속 패턴층(150)을 증착하는 공정을 포함할 수 있다. 여기서, 일 예에 따른 시드층은 구리 재질을 포함할 수 있지만, 이에 한정되지 않고 기판(S)의 결합력이 낮은 금속 재질로 이루어질 수 있다.
다른 예로서, 박막 금속 패턴층(150)을 형성하는 공정은 기판(S)의 상면에 릴리즈층을 형성하는 공정, 릴리즈층을 패터닝하는 공정, 패터닝된 릴리즈 패턴층 상에 시드층을 증착하는 공정, 시드층을 패터닝하는 공정, 및 전기 주조 공정을 통해 패터닝된 시드 패턴층의 상면에 박막 금속 패턴층(150)을 증착하는 공정을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 릴리즈층은 희생층으로서 실리콘 산화물(SiOx) 또는 실리콘 질화물(SiNx) 등과 같은 절연 물질로 이루어질 수 있다.
그런 다음, 도 6b에 도시된 바와 같이, 개구부(111)를 갖는 틀 형태의 마스크 프레임(110)을 마련하고, 복수의 개구부(131)를 갖는 마스크 플레이트(130)를 마련한다. 이어서, 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110)을 서로 접합한다. 일 예로서, 마스크 프레임(110)과 마스크 플레이트(130)는 레이저 용접에 의해 서로 접합될 수 있다. 이때, 레이저 용접은 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110) 중 적어도 하나를 용융시켜 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110)을 서로 접합한다. 추가적으로, 마스크 프레임(110)과 마스크 플레이트(130) 사이에 보조 접합 부재가 마련되는 경우, 레이저 용접은 보조 접합 부재에 레이저를 조사해 보조 접합 부재를 용융시켜 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110)을 서로 접합할 수 있다.
추가적으로, 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(110) 간의 접합시, 마스크 플레이트(130)의 처짐을 최소화하기 위해, 마스크 플레이트(130)는 4면 방향으로 인장된 상태에서 마스크 프레임(110)에 접합될 수도 있다. 이러한 마스크 플레이트(130)의 인장은 두께를 감소시키는 목적이 아니라 처짐 방지를 위한 것이다.
그런 다음, 도 6c에 도시된 바와 같이, 마스크 플레이트(130)에 마련된 복수의 개구부(131) 각각을 둘러싸는 실런트(171, 173)를 마스크 플레이트(130) 상에 형성한다. 일 예로서, 실런트(171, 173)는 마스크 플레이트(130)의 상면에 일정한 폭으로 도포되는 실런트에 의해 형성될 수 있으며, 프린팅 공정 또는 실 디스펜싱 공정에 의해 형성될 수 있다.
일 예에 따른 프린팅 공정은 스크린 프린팅(Screen Printing), 잉크젯 프린팅(Inkjet Printing), 그라비아 프린팅(Gravure Printing), 그라비아 오프셋 프린팅(Gravure Offset Printing), 리버스 프린팅(Reverse Printing), 플렉소 프린팅(Flexo Printing), 또는 마이크로 콘택 프린팅(Micro Contact Printing)일 수 있다. 여기서, 스크린 프린팅은 스크린 위에 잉크를 올리고, 일정 압력으로 스퀴지(Squeegee)를 가압하면서 이동시켜 스크린의 메쉬를 통해 잉크를 전사하는 방식이다. 잉크젯 프린팅은 매우 작은 잉크 방울을 기판에 충돌시켜 프린팅하는 방식이다. 그라비아 프린팅은 평평한 비화선부에 묻어 있는 잉크를 닥터 블레이드로 제거하고 에칭되어 오목한 화선부에 묻어 있는 잉크만을 기판에 전이시켜 프린팅하는 방식이다. 그라비아 오프셋 프린팅은 잉크를 인쇄판에서 블랑켓에 전사하고 그 블랑켓의 잉크를 다시 기판에 전사하는 방식이다. 리버스 프린팅은 용매를 잉크로 이용하여 프린팅하는 방식이다. 플렉소 프린팅 방법은 양각되어 있는 부분에 잉크를 묻혀서 이를 프린트하는 방식이다. 마이크로 콘택 프린팅은 스탬프에 원하는 물질을 올려 도장처럼 찍어 프린팅하는 방식이다.
그런 다음, 도 6d에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 상하 반전시켜 마스크 플레이트(130) 상에 배치하고, 기판(S)에 마련된 박막 금속 패턴층(150)의 각 마스크 패턴부(151)가 마스크 플레이트(130)에 마련된 복수의 제 2 개구부(131) 각각과 일대일로 중첩되도록 마스크 플레이트(130)와 기판(S) 간의 위치를 정렬한다. 이어서, 위치 정렬된 기판(S)을 마스크 플레이트(130)에 마련된 실런트(171, 173) 상에 안착시킨 후, 실런트(171, 173) 통해서 기판(S)의 박막 금속 패턴층(150)과 마스크 플레이트(130)를 서로 접합한다.
선택적으로, 기판(S)의 박막 금속 패턴층(150)과 마스크 플레이트(130)를 접합하는데 있어서, 상기 실런트 대신에 레이저 용접이 사용될 수 있다. 이 경우, 일 예에 따른 레이저 용접은 박막 금속 패턴층(150)과 마스크 플레이트(130) 중 적어도 하나를 용융시켜 박막 금속 패턴층(150)과 마스크 플레이트(130)를 서로 접합할 수 있다. 다른 예에 따른 레이저 용접은 상기 실런트 대신에 마스크 플레이트(130) 상에 형성된 보조 접합 부재(120)에 레이저를 조사하여 보조 접합 부재(120)를 용융시켜 박막 금속 패턴층(150)과 마스크 플레이트(130)를 서로 접합할 수 있다.
그런 다음, 도 6e에 도시된 바와 같이, 박막 금속 패턴층(150)으로부터 기판(S)을 분리한다. 이때, 기판(S)은 습식 릴리즈 공정, 초음파 릴리즈 공정, 습식 초음파 릴리즈 공정, 히팅 릴리즈 공정, 또는 레이저 릴리즈 공정에 의해 박막 금속 패턴층(150)으로부터 릴리즈될 수 있다. 일 예로서, 기판(S)의 상면에 시드층이 마련되고 시드층 상에 박막 금속 패턴층(150)이 마련된 경우, 기판(S)은 습식 초음파 릴리즈 공정에 의해 박막 금속 패턴층(150)으로부터 릴리즈될 수 있다. 다른 예로서, 기판(S)의 상면에 릴리즈층이 마련되고, 릴리즈층 상에 시드층이 마련되며 시드층 상에 박막 금속 패턴층(150)이 마련된 경우, 기판(S)은 릴리즈층에 레이저를 조사하는 레이저 릴리즈 공정에 의해 박막 금속 패턴층(150)으로부터 릴리즈될 수 있다.
이와 같은, 본 예는 기판(S) 상에 복수의 마스크 패턴부(151)를 갖는 박막 금속 패턴층(150)을 형성하고, 박막 금속 패턴층(150)을 마스크 플레이트(130)에 접합한 후, 박막 금속 패턴층(150)으로부터 기판(S)을 분리함으로써 박막 금속 패턴층에 마련되는 마스크 패턴부의 정밀도만으로 초정밀도/고해상도를 갖는 대면적 박막 증착용 마스크를 용이하게 제작할 수 있으며, 그의 제작 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있다. 또한, 본 예는 전기 주조 공정을 통해 복수의 마스크 패턴부(151)를 갖는 박막 금속 패턴층(150)을 형성하기 때문에 초정밀도/고해상도 유기 발광 표시 장치의 제조에서 요구되는 10 마이크로 미터 이하의 두께를 갖는 미세 금속 마스크를 용이하게 제작할 수 있다.
선택적으로, 마스크 플레이트(130)와 마스크 프레임(150) 간의 접합 공정은, 박막 금속 패턴층(150)이 마련되어 있는 기판(S)과 마스크 플레이트(130) 간의 접합 공정 이후에 수행되거나, 박막 금속 패턴층(150)으로부터 기판(S)을 분리하는 공정 이후에 수행될 수도 있다.
도 7은 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 한 서브 픽셀을 나타내는 도면으로서, 이는 도 1 내지 도 4에 도시된 박막 증착용 마스크를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치의 한 서브 픽셀을 나타낸 것이다.
도 7을 참조하면, 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판(200) 상에 마련된 서브 픽셀(P)을 포함한다.
상기 기판(200)은 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 유리 또는 폴리이미드(polyimide) 계열의 재료로 이루어진 플렉서블 필름으로 이루어질 수 있다.
상기 서브 픽셀(P)은 실제 빛이 발광되는 최소 단위의 영역을 말하며, 서브 서브 픽셀 또는 서브 픽셀 영역으로 정의될 수 있다. 서브 픽셀(P)은 기판(200) 상에 격자 형태 또는 펜타일 형태로 배치되는데, 인접한 적어도 3개의 서브 픽셀(P)는 컬러 표시를 위한 하나의 단위 픽셀을 구성할 수 있다. 예를 들어, 하나의 단위 픽셀은 인접한 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀 및 청색 서브 픽셀을 포함하며, 휘도 향상을 위해 백색 서브 픽셀을 더 포함할 수도 있다.
일 예에 따른 서브 픽셀(P)은 구동 박막 트랜지스터(TFT), 평탄화층(230), 뱅크(250), 및 유기 발광 소자(270)를 포함한다.
상기 구동 박막 트랜지스터(TFT)는 기판(200) 상에 정의된 서브 픽셀 영역에 배치되며, 유기 발광 소자(270)에 신호를 공급한다. 구동 박막 트랜지스터(TFT)는 유기 발광 소자(270)에 연결되며, 기판(200)의 서브 픽셀 영역 내에서는 구동 박막 트랜지스터의 구동을 위한 적어도 하나의 스위칭 박막 트랜지스터 및 적어도 하나의 커패시터가 추가로 배치된다.
일 예에 따른 구동 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(GE), 액티브층(ACT), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 포함한다.
상기 게이트 전극(GE)은 기판(200) 상에 마련되고, 게이트 절연층(210)에 의해 덮인다. 상기 게이트 절연층(210)은 무기 물질로 이루어진 단일층 또는 복수의 층으로 구성될 수 있으며, 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 등으로 이루어질 수 있다. 이러한 게이트 전극(GE)은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)의 형성시 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 단자와 연결된다.
상기 액티브층(ACT)은 게이트 전극(GE)과 중첩(overlap)되도록 게이트 절연층(210) 상에 미리 설정된 패턴 형태로 마련된다. 이러한 액티브층(ACT)은 비정질 실리콘(amorphous silicon, a-Si), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon, poly-Si), 산화물(oxide) 및 유기물(organic material) 중 어느 하나로 이루어질 수 있으나 이에 제한되지는 않는다.
상기 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 상기 액티브층(ACT) 상에 서로 이격되면서 나란하게 배치된다.
도 7에서는 구동 박막 트랜지스터(TFT)가 스태거드(staggered) 구조로 도시되었으나, 이에 한정되지 않고, 구동 박막 트랜지스터(TFT)는 코플라나(coplanar) 구조로 구성될 수도 있다.
상기 구동 박막 트랜지스터(TFT)는 기판(200) 상에 마련된 평탄화층(230)에 의해 덮인다.
상기 평탄화층(230)은 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(SE) 일부를 노출시키는 컨택홀(CH)을 포함한다. 이러한 평탄화층(230)은 단일층 또는 복수의 층으로 구성될 수 있으며 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 평탄화층(230)은 폴리이미드(polyimide) 또는 포토 아크릴(photo acryl) 등으로 이루어질 수 있다. 추가적으로, 평탄화층(230)과 구동 박막 트랜지스터(TFT) 사이에 보호층이 더 배치될 수도 있다. 상기 보호층은 무기 물질로 이루어지고 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 보호하며, 평탄화층(230)과 함께 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(SE)의 일부를 노출시키는 컨택홀(CH)을 갖는다.
상기 유기 발광 소자(270)는 평탄화층(230) 상에 배치되며, 애노드 전극(AE)(또는 제 1 전극), 유기 발광부(EP) 및 캐소드 전극(CE) (또는 제 2 전극)을 포함한다.
상기 애노드 전극(AE)은 평탄화층(230)에 마련된 컨택홀(CH)을 통해 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 소스 전극(SE)과 연결되며, 구동 박막 트랜지스터(TFT)를 통해 구동 신호를 공급 받는다. 추가적으로, 애노드 전극(AE)은 구동 박막 트랜지스터(TFT)의 전류 방향에 따라 드레인 전극(DE)과 연결될 수도 있다.
상기 뱅크(250)는 서브 픽셀 영역을 정의하는 것으로, 이웃하는 서브 픽셀(P) 사이사이에 배치되며, 애노드 전극(AE)의 가장자리 부분을 제외한 나머지 부분을 노출시킨다.
상기 유기 발광부(EP)는 뱅크(250)에 의해 노출된 애노드 전극(AE) 상에 마련된다. 일 예에 따른 유기 발광부(EP)는 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층, 및 전자 주입층이 차례로 적층된 구조로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층 및 전자 주입층 중 하나 또는 둘 이상의 층은 생략이 가능하다. 상기 유기 발광층은 화소 별로 동일한 색, 예로서 화이트(white)의 광을 발광하도록 형성될 수 있고, 화소 별로 상이한 색, 예로서, 적색, 녹색, 또는 청색의 광을 발광하도록 형성될 수도 있다. 이러한 유기 발광부(EP)는 도 1 내지 4에 도시된 박막 증착용 마스크(100)를 이용한 증착 공정에 의해 형성될 수 있다.
상기 캐소드 전극(CE)은 유기 발광부(EP)와 전기적으로 연결되도록 형성된다. 일 예에 따른 캐소드 전극(CE)은 유기 발광부(EP)와 뱅크(250)를 덮도록 형성될 수 있다.
추가적으로, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 캐소드 전극(CE)을 덮는 봉지층(encapsulation layer)을 더 포함할 수 있다. 봉지층은 발광부(EP) 내부로 수분 및/또는 산소가 침투하는 것을 방지하는 역할을 한다. 봉지층은 서로 상이한 무기물이 적층된 복수의 층으로 이루어질 수도 있고, 무기물과 유기물이 교대로 적층된 복수의 층으로 이루어질 수도 있다. 그리고, 본 발명의 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치는 봉지층에 부착된 봉지 기판을 더 포함할 수 있으며, 봉지 기판은 유리 또는 플라스틱 재질로 이루어질 수 있고, 금속 재질로 이루어질 수도 있다.
이와 같은, 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 제조 방법은 상기 유기 발광부(EP)의 형성 공정을 포함하는데, 유기 발광부의 형성 공정은 도 1 내지 4에 도시된 박막 증착용 마스크(100)를 이용한 증착 공정을 통해서 뱅크(250)에 의해 노출된 애노드 전극(AE) 상에 유기 발광부(EP)를 형성한다. 이에 따라, 일 예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 고정밀/고해상도를 갖는 유기 발광 표시 패널을 제조할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 박막 증착용 마스크 110: 마스크 프레임
130: 마스크 플레이트 150: 박막 금속 패턴층
151: 마스크 패턴부 151a: 홀 패턴
151b: 브리지 패턴 270: 유기 발광 소자
130: 마스크 플레이트 150: 박막 금속 패턴층
151: 마스크 패턴부 151a: 홀 패턴
151b: 브리지 패턴 270: 유기 발광 소자
Claims (16)
- 제 1 개구부를 갖는 마스크 프레임;
상기 마스크 프레임과 접합되며 상기 제 1 개구부와 중첩되는 복수의 제 2 개구부를 갖는 마스크 플레이트; 및
상기 마스크 플레이트에 결합된 박막 금속 패턴층을 포함하고,
상기 박막 금속 패턴층은 상기 복수의 제 2 개구부 각각과 중첩되는 복수의 마스크 패턴부를 포함하는, 박막 증착용 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 마스크 패턴부 각각은 복수의 홀 패턴을 포함하는, 박막 증착용 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 플레이트와 상기 박막 금속 패턴층 사이에 마련된 접합부를 더 포함하는, 박막 증착용 마스크. - 제 3 항에 있어서,
상기 접합부는 상기 복수의 제 2 개구부 각각을 둘러싸는, 박막 증착용 마스크. - 제 3 항에 있어서,
상기 접합부는 상기 마스크 플레이트와 상기 박막 금속 패턴층을 서로 접합하는 실런트를 포함하는, 박막 증착용 마스크. - 제 3 항에 있어서,
상기 접합부는 상기 마스크 플레이트와 상기 박막 금속 패턴층 중 적어도 하나가 레이저 용접에 의해 용융되어 형성된, 박막 증착용 마스크. - 제 3 항에 있어서,
상기 접합부는 상기 마스크 플레이트에 마련된 보조 접합 부재가 레이저 용접에 의해 용융되어 형성된, 박막 증착용 마스크. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 프레임과 마스크 플레이트는 레이저 용접에 의해 서로 접합된, 박막 증착용 마스크. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 박막 금속 패턴층은 2 내지 10 마이크로 미터의 두께를 갖는, 박막 증착용 마스크. - 기판 상의 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 개재된 유기 발광부를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
상기 유기 발광부는 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항의 박막 증착용 마스크를 이용한 증착 공정에 의해 형성되는, 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 기판 상에 복수의 마스크 패턴부를 갖는 박막 금속 패턴층을 형성하는 단계(A);
복수의 개구부를 갖는 마스크 플레이트를 마련하는 단계(B);
상기 복수의 마스크 패턴부 각각과 상기 복수의 개구부 각각이 서로 중첩되도록 상기 박막 금속 패턴층과 상기 마스크 플레이트를 접합하는 단계(C); 및
상기 박막 금속 패턴층으로부터 상기 기판을 분리하는 단계(D)를 포함하는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법. - 제 11 항에 있어서,
상기 복수의 마스크 패턴부 각각은 복수의 홀 패턴을 포함하는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법. - 제 11 항에 있어서,
상기 단계(C)는,
상기 복수의 개구부 각각을 둘러싸는 실런트를 상기 마스크 플레이트 상에 형성하는 단계; 및
상기 실런트를 통해 상기 상기 박막 금속 패턴층과 상기 마스크 플레이트를 접합하는 단계를 포함하는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법. - 제 11 항에 있어서,
상기 단계(C)는 레이저 용접을 이용해 상기 마스크 플레이트와 상기 박막 금속 패턴층 중 적어도 하나를 용융시켜 상기 박막 금속 패턴층과 상기 마스크 플레이트를 접합하는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법. - 제 11 항에 있어서,
상기 단계(C)는,
상기 복수의 개구부 각각 둘러싸는 보조 접합 부재를 상기 마스크 플레이트 상에 형성하는 단계; 및
레이저 용접을 이용해 상기 보조 접합 부재를 용융시켜 상기 박막 금속 패턴층과 상기 마스크 플레이트를 접합하는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법. - 제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 박막 금속 패턴층은 2 내지 10 마이크로 미터의 두께를 갖는, 박막 증착용 마스크의 제조 방법.
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