KR102391292B1 - 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 마스크 조립체 - Google Patents

박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 마스크 조립체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공한다. 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크는, 서로 평행하게 배치된 제1 및 제2 서포터; 상기 제1 및 제2 서포터와 교차하며 서로 평행하게 배치된 제3 및 제4 서포터; 상기 제3 및 제4 서포터 사이에 배치된 복수의 제5 서포터; 상기 제1 및 제2 서포터 사이에 배치된 복수의 제6 서포터; 상기 제1 내지 제6 서포터들 각각으로부터 연장된 제1 내지 제6 연장부; 및 상기 제1 내지 제6 서포터는 복수의 개구부를 구획하고, 상기 개구부를 구획하는 제1 내지 제6 서포터 상에 형성된 복수의 택 패턴부를 포함하고, 상기 택 패턴부는 상기 제1 내지 제6 서포터의 두께보다 얇은 하프톤 영역을 구비하고, 상기 하프톤 영역에는 제1 얼라인 마커를 구성하는 얼라인 홀이 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 마스크 조립체{Hybrid Mask for depositing thin layer and Mask assembly including the same}
본 발명은 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 유기발광표시장치(Organic Light-Emitting Diode: OLED) 제조에 사용되는 오픈 마스크의 구조 및 제조 단계를 단순화한 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시장치 중의 하나인 유기발광 표시장치(OLED: Organic Light-Emitting Diode)는 능동 발광형 표시장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수한 표시장치이다. 또한, 유기발광 표시장치는 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display)에 비해 저전압 구동과 빠른 응답 속도를 갖기 때문에 소비전력을 줄이고 경박단소화 구현이 용이하다.
유기발광 표시장치는 기판 상에 특정패턴을 형성하기 위해 금속층, 유기 발광층 및 절연막 등을 반복적으로 적층하고 패터닝하는 방식으로 제조된다. 이와 같이, 유기발광 표시장치는 금속층, 유기 발광층 또는 절연막 등을 기판 상에 증착하고, 일부에 대해서는 특정패턴으로 패터닝하는 공정을 진행한다. 이를 위해 각 제조 단계마다 대응되는 구조를 갖는 증착용 마스크를 사용한다.
마스크는 유기물층 또는 무기물층을 셀영역 단위로 전면 증착하는 경우와 셀영역의 특정 화소영역에 증착하는 경우에 따라 개구 영역의 구조가 다른 마스크를 사용한다. 예를 들어, 유기발광 표시장치는 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)와 배선(신호라인) 등이 형성되면 복수의 화소 영역(pixel area)에 유기발광 다이오드를 형성한다. 유기발광 다이오드는 전자주입층(EIL), 전자수송층(ETL), 유기 발광층(EML), 정공수송층(HTL), 정공주입층(HIL) 및 전극층(Cathod)로 구성되는데, 유기 발광층(EML)은 셀 영역(Cell area)의 특정 화소 영역에만 형성된다. 반면, 유기발광 다이오드의 전자주입층(EIL), 전자수송층(ETL), 정공수송층(HTL), 정공주입층(HIL) 및 전극층(Cathod) 등은 셀 영역(cell area) 전체에 형성된다.
이와 같이, 유기발광 표시장치가 제조될 때, 특정패턴 형성 없이 셀 영역 전체에 무기물층 또는 유기물층을 형성할 때에는 셀 영역과 대응되는 개구부를 구비한 오픈 메탈 마스크(Open Metal Mask)를 사용한다. 반면, 셀 영역을 구성하는 각 화소 영역에 유기불층을 형성할 때에는 각 화소 영역과 대응되는 미세 개구 패턴들이 형성된 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)를 사용한다.
특히, 미세 금속 마스크(FMM)는 얇은 금속 시트에 미세 개구 패턴들로 구성된 증착패턴부들이 일방향으로 형성된 스틱 마스크를 복수개 결합하여 구성한다. 또한, 미세 금속 마스크(FMM)는 다수개의 스틱 마스크를 마스크 프레임에 체결(인장 및 용접)한 마스크 조립체의 형태로 각 공정 챔버에 배치된다. 공정 챔버에서 기화된 유기물은 미세 금속 마스크(FMM)의 증착패턴부에 형성된 미세 개구 패턴을 통하여 기판 상에 증착된다.
미세 금속 마스크(FMM)는 얇은 금속 시트로 형성되기 때문에 마스크 프레임에 인장되더라도 중앙 영역에서 금속 시트 처짐 현상이 발생하기 쉬워 유기물 증착 불량이 빈번하게 발생되는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 종래 기술에서는 미세 금속 마스크(FMM)를 마스크 프레임에 체결하기 전 미세 금속 마스크(FMM)과 마스크 프레임 사이에 미세 금속 마스크(FMM) 지지를 위한 격자 마스크를 배치한다.
격자 마스크는 셀 영역과 대응되는 개구 영역을 구비하고, 셀 영역의 둘레에서 미세 금속 마스크를 지지한다. 하지만, 격자 마스크는 미세 금속 마스크(FMM)의 처짐과 제조 공정 중 발생하는 미세 금속 마스크(FMM)의 밴딩 현상을 완전히 제거할 수 없어 (특허문헌 1) 등록특허공보 10-2187007와 같이 지지 스틱들을 격자 마스크 하부에 추가로 배치하였다.
하지만, (특허문헌 1) 등록특허공보 10-2187007와 같이 추가적으로 지지 스틱들을 배치하면 마스크 조립체의 제조 공정이 복잡해지는 문제가 있다.
또한, 종래 기술에서는 화소 영역에 증착되는 유기물의 종류(적색(R) 유기물, 녹색(G) 유기물, 청색(B) 유기물 등)에 따라 스틱 마스크와 격자 마스크의 체결 위치가 다르기 때문에 이를 표시하기 위한 마커 형성을 위해 유기물 종류 각각에 대한 포토레지스트 필름을 사용하여 공정이 복잡하고 생산단가가 높아지는 문제가 있었다.
특히, 오픈 메탈 마스크의 경우에도 셀 영역의 전면에 유기물 또는 무기물을 증착하지만 증착되는 유기물 또는 무기물의 종류 또는 단계에 따라 약간의 위치 변경이 있어 이를 구분해 표시하기 위해 각각 별도의 포토레지스트 필름을 사용하여 공정이 복잡한 문제가 있다.
등록특허공보 10-2187007호
상기에서 설명한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화하고 생산 단가를 줄인 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있도록 한 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 하이브리드 마스크는, 서로 평행하게 배치된 제1 및 제2 서포터; 상기 제1 및 제2 서포터와 교차하며 서로 평행하게 배치된 제3 및 제4 서포터; 상기 제3 및 제4 서포터 사이에 배치된 복수의 제5 서포터; 상기 제1 및 제2 서포터 사이에 배치된 복수의 제6 서포터; 상기 제1 내지 제6 서포터들 각각으로부터 연장된 제1 내지 제6 연장부; 및 상기 제1 내지 제6 서포터는 복수의 개구부를 구획하고, 상기 개구부를 구획하는 제1 내지 제6 서포터 상에 형성된 복수의 택 패턴부를 포함하고, 상기 택 패턴부는 상기 제1 내지 제6 서포터의 두께보다 얇은 하프톤 영역을 구비하고, 상기 하프톤 영역에는 제1 얼라인 마커를 구성하는 얼라인 홀이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 하이브리드 마스크는, 상기 제1 내지 제6 연장부는 상기 제1 내지 제4 서포터 외측으로 연장되어 배치되고, 상기 제1 내지 제4 서포터로부터 연장된 길이는 서로 다르고, 상기 제1 내지 제6 서포터는 일체로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 제조방법은, 마스크 조립시 얼라인을 위한 택 패턴부와 기판의 셀 영역과 대응되는 개구부가 구획된 금속시트를 제공하는 단계; 상기 금속시트의 일측면에 상기 개구부 및 택 패턴부와 대응되는 오픈 영역이 형성된 제1 포토레지스트 필름을 부착하는 단계; 상기 금속시트의 타측면에 상기 개구부와 대응되는 오픈 영역과 상기 택 패턴부와 대응되는 차단부가 형성된 제2 포토레지스트 필름을 부착하는 단계; 상기 제1 및 제2 포토레지스트 필름의 외측 영역에서 제1 및 제2 식각 공정을 진행하는 단계; 상기 개구부와 대응되는 금속시트는 완전히 제거하고 상기 택 패턴부와 대응되는 영역은 상기 금속시트의 두께보다 얇은 하프톤 영역을 형성하는 단계; 및 상기 하프톤 영역에 레이저 공정을 진행하여 제1 얼라인 마커를 구성하는 얼라인 홀을 형성하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 택 패턴부를 구성하는 하프톤 영역은 상기 개구부 둘레를 따라 복수개 형성하고, 각각의 하프톤 영역에는 증착되는 유기물층의 종류에 따라 서로 위치가 다른 얼라인 홀들을 형성하고, 상기 제1 및 제2 식각 공정은 동시에 진행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체는, 중앙 영역이 오픈된 사각테 형상의 마스크 프레임; 유기물질이 증착되는 기판의 셀영역과 대응되는 영역에 미세 개구 패턴들로 구성된 증착 패턴부와, 상기 증착 패턴부를 지지하는 지지부와, 상기 지지부의 양측 가장자리에 형성된 접합부를 포함하는 복수의 스틱 마스크; 및 상기 복수의 스틱 마스크가 상기 마스크 프레임과 체결될 때 지지 및 얼라인 기능을 하는 하이브리드 격자 마스크를 포함하고, 상기 하이브리드 격자 마스크는, 제1폭(D1)을 갖는 제1 및 제2 서포터, 제2폭(D2)을 갖는 제3 및 제4 서포터 및 제3폭(D3)을 갖는 제5 및 제6 서포터를 포함하며, 상기 제1 내지 제6 서포터에 의해 상기 기판의 셀영역과 대응되는 개구부들을 구획하고, 상기 개구부를 구획하는 상기 제1 내지 제6 서포터 상에는 상기 제1 내지 제6 서포터의 두께(t1) 보다 얇은 두께(t2)를 갖는 복수의 택 패턴부가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체는, 상기 복수의 택 패턴부 각각에는 얼라인 홀로 구성된 제1 얼라인 마커가 형성되고, 상기 복수의 택 패턴부의 제1 얼라인 마커와 대응되도록 상기 스틱 마스크의 증착 패턴부 둘레에는 제2 얼라인 마커가 형성되며, 상기 복수의 택 패턴부 각각에 형성되는 제1 얼라인 마커의 얼라인 홀은 증착되는 유기물층의 종류에 따라 서로 위치가 다른 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체는, 상기 제1 내지 제6 서포터들은 각각 연장된 제1 내지 제6 연장부를 구비하고, 상기 제1 내지 제6 연장부는 상기 하이브리드 격자 마스크의 외곽 프레임을 구성하는 상기 제1 내지 제4 서포터 외측으로 서로 다른 길이로 연장되고, 상기 마스크 프레임은 사각 테 구조의 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임의 둘레를 따라 돌출된 지지 프레임을 포함하고, 상기 지지 프레임은 상면과 하면 사이의 경사진 제1면과, 상기 상면에서 폭이 서로 다른 제2 및 제3면을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체에 조립되는 하이브리드 격자 마스크의 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 하이브리드 격자 마스크와 마스크 프레임의 체결 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 상기 도 3의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 5는 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 스틱 마스크들이 마스크 프레임에 체결된 모습을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 하이브리드 격자 마스크에 형성된 택(Teg) 패턴부를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체에 조립되는 스틱 마스크와 스틱 마스크에 형성된 얼라인 마크를 도시한 도면이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 하이브리드 격자 마스크에 형성된 택(Teg) 패턴의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크 제조 공정에 대한 플로챠트이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크 제조 공정에 대한 다른 실시예들에 대한 플로챠트이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. 또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 구성을 개략적으로 도시한 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체에 조립되는 하이브리드 격자 마스크의 구조를 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)는, 복수의 스틱 마스크(110)들로 구성된 미세 금속 마스크(FMM)와, 스틱 마스크(110)들 하부에 위치하여 미세 금속 마스크(FMM) 조립시 얼라인과 지지 기능을 하는 하이브리드 격자 마스크(120)와, 스틱 마스크(110)들 및 하이브리드 격자 마스크(120)를 고정 및 지지하는 마스크 프레임(150)을 포함한다.
마스크 프레임(150)은 중앙 오픈 영역이 형성된 사각 테 구조로 형성된 베이스 프레임(150a)과, 중앙 오픈 영역의 둘레를 따라 베이스 프레임(150a) 상에 소정의 높이로 돌출된 지지 프레임(150b)을 포함할 수 있다.
지지 프레임(150b)은 인장 공정이 완료된 오픈 마스크, 격자 마스크 또는 스틱 마스크가 마스크 프레임(150)에 체결될 때, 직접 접촉 및 결합되는 영역이다.
미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)는 유기발광 표시장치 제조시, 증착 챔버 하부로부터 공급되는 증착물질을 셀 영역(Cell Area)과 대응되는 기판(미도시)의 각 픽셀 영역(Pixel Area)에 증착시키는 마스크이다. 따라서, 스틱 마스크(110)는 셀 영역의 화소 영역들과 대응되는 미세 개구 패턴들이 형성된 증착 패턴부(도 5의 110a 참조)를 포함할 수 있다.
스틱 마스크(110)는 전술한 바와 같이, 기판의 셀 영역 단위로 특정패턴 형성 없이 유기물 또는 무기물을 전체적으로 증착할 때 사용하는 오픈 메탈 마스크와 대비된다. 오픈 메탈 마스크는 셀 영역과 대응되는 개구 영역들이 형성된 격자 구조로 형성된다. 반면, 스틱 마스크(110)는 셀 영역에 배치된 복수의 화소 영역들과 대응되는 미세 개구 패턴들이 형성 구조를 갖는다.
즉, 스틱 마스크(110)는 셀 영역의 화소 영역(PA: 적(R) 픽셀, 녹(G) 픽셀, 청(B) 픽셀 등)에 각각 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층 등을 형성하는데 사용된다.
일반적으로 유기발광 표시장치는 각 픽셀 영역에 광을 발생할 수 있는 유기발광 다이오드가 형성된다. 유기발광 다이오드는 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 유기발광층(EL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)으로 구성되는데, 이들 유기물층들 중 특정 파장의 광을 발생시키는 유기발광층(EML)은 각 픽셀 영역에만 증착된다. 반면, 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)은 기판의 셀 영역 전면에 증착된다. 따라서, 유기발광층(EML)을 증착할 때는 미세 개구 패턴들이 형성된 스틱 마스크(110)를 사용하고, 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL), 전자수송층(ETL), 전자주입층(EIL) 및 캐소드층(Cathod)을 증착할 때에는 오픈 메탈 마스크를 사용한다.
또한, 유기발광 표시장치는 단위 픽셀 영역이 적색(R) 픽셀, 녹색(G) 픽셀 및 청색(B) 픽셀로 구성되거나 RGB 픽셀에 선택적으로 추가 픽셀이 더 포함되어 구성될 수 있다.
예를 들어, 휴대폰 등 특정 조건(크기, 사용환경 등)에서 사용되는 유기발광 표시장치는 사용자에게 보다 선명한 화질을 제공하기 위해 적색(R) 픽셀, 녹색(G) 픽셀 및 청색(B) 픽셀에 적색 프라임(R') 픽셀, 녹색 프라임(G') 픽셀을 더 포함할 수 있다. 따라서, 적색 프라임(R') 픽셀, 녹색 프라임(G') 픽셀에는 적색 프라임(R') 유기발광층과 녹색 프라임(G') 유기발광층이 추가적으로 증착될 수 있다.
여기서, 적색 프라임(R') 유기발광층 또는 녹색 프라임(G') 유기발광층은 색좌표상 적색(R)과 녹색(G) 영역을 기준으로 선택된 파장의 광을 발생하는 물질이 적색(R) 유기발광층 또는 녹색(G) 유기발광층에 도핑되어 구현될 수 있다.
본 명세서에서는 각 픽셀 영역을 RGBR'G'와 같이 5개의 픽셀 영역으로 구분하고, 각각의 픽셀 영역에 유기발광층을 증착하는 것을 중심으로 설명한다. 하지만, 이것은 고정된 것이 아니기 때문에 색좌표를 기준으로 요구되는 다른 파장의 유기발광층을 추가적으로 증착하거나 R' 또는 G' 중 어느 하나를 B'로 대체하는 방식으로 적용될 수 있다.
본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)에 배치되는 격자 마스크(120)는 얼라인을 맞출 수 있는 얼라인 지지부와 복수의 스틱 마스크(110)들이 마스크 프레임(150)에 인장될 때 이들을 지지하는 지지부와 마스크 프레임(150)과의 체결을 위한 체결 지지부 등이 일체로 형성된 구조를 갖는다.
보다 구체적으로, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)들이 개구부(CA)들을 구획한 격자 구조로 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 마스크 프레임(150)의 지지 프레임(150b)과의 견고한 체결 유지하기 위한 제1 및 제2 서포터(121, 122)가 서로 평행하게 배치된다.
또한, 하이브리드 격자 마스크(120)는 제1 및 제2 서포터(121, 122)의 양측 가장자리에 수직하게 교차되는 제3 및 제4 서포터(123, 124)를 포함한다. 제3 및 제4 서포터(123, 124)는 격자 마스크(120)가 마스크 프레임(150)에 인장 및 용접될 때, 얼라인 기능을 할 수 있다. 예를 들어, 제3 및 제4 서포터(123, 124)는 인접한 마스크 프레임(150)의 내측면과의 이격 거리를 확인할 수 있어, 하이브리드 격자 마스크(120)와 마스크 프레임(150)이 조립될 때 얼라인 조절할 수 있다.
또한, 하이브리드 격자 마스크(120)는 제3 및 제4 서포터(123, 124) 사이에 소정의 간격으로 배치되고, 제3 및 제4 서포터(123, 124)와 평행한 제5 서포터(125)를 포함한다. 또한, 제1 및 제2 서포터(121, 122) 사이에 소정의 간격으로 배치되고, 상기 제1 및 제2 서포터(121, 122)와 평행한 제6 서포터(126)를 포함한다. 따라서, 제5 서포터(125)는 제3 및 제4 서포터(123, 124)와 각각 평행하고 제1 및 제2 서포터(121, 122)와 수직하게 배치되고, 제6 서포터(126)는 제1 및 제2 서포터(121, 122)와 각각 평행하고 제3 및 제4 서포터(123, 124)와 수직하게 배치된다.
특히, 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)는 셀 영역과 대응되는 개구부(CA)를 구획한다. 또한, 제1 및 제2 서포터(121, 122)는 제1폭(D1)을 갖고, 제3 및 제4 서포터(123, 124)는 제2폭(D2)을 가지며, 제5 및 제6 서포터(125, 126)는 제3폭(D3)을 갖는다. 폭의 길이는 제1폭(D1)에서 제3폭(D3)으로 갈 수 록 작아질 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 서포터(121, 122)의 제1폭(D1)이 가장 두껍고 제5 및 제6 서포터(125, 126)의 제3폭(D3)이 가장 얇게 형성될 수 있다.
하지만, 마스크 프레임(150)의 구조, 셀 영역과 대응되는 개구부(CA) 크기에 따라 서포터들의 폭은 다르게 설정될 수 있다.
종래 기술에서는 하이브리드 격자 마스크(120)를 구성하는 제1 및 제2 서포터(121, 122)와, 제3 및 제4 서포터(123, 124)와, 제5 및 제6 서포터(125, 126)가 각각 독립적으로 제작된 후, 마스크 조립체를 제작할 때, 이들 서포터들을 각각 조립하였다. 즉, 각 서포터들은 분리 제작된 후, 마스크 조립 공정시 마스크 프레임에 체결하였다.
하지만, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)들을 단일한 금속 시트에 의해 일체로 형성하여 마스크 조립체를 제조할 때, 서포터들의 조립 공정을 생략할 수 있도록 하였다.
특히, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)들이 단일 바디(Body) 형태로 형성되기 때문에 마스크 프레임(150)과의 인장 작업이 한번의 작업으로 완료될 수 있다.
또한, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 격자 마스크(120)의 사각 구조의 가장자리에 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)의 가장자리 영역이 각각 확장 형성된 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)를 포함한다. 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)의 길이는 서로 다를 수 있다. 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)는 마스크 프레임(150)의 지지 프레임(150b)과 체결될 수 있다. 본 발명의 마스크 조립체(100)를 구성하는 마스크 프레임(150)의 지지 프레임(150b)은 단차홈(SG)들이 형성되어 있어 상면의 넓이(폭)가 다르게 형성된다. 따라서, 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a) 중 지지 프레임(150b)의 상면 폭이 넓은 영역과 체결되는 연장부의 길이는 좁은 영역에서 체결되는 연장부보다 길게 형성될 수 있다.
또한, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 개구부(CA)를 중심으로 둘레에 배치된 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126) 상에 택(Teg) 패턴부(TP)가 배치된다. 택 패턴부(TP)는 이후 스틱 마스크(110)가 격자 마스크(120) 상에 조립될 때, 증착되는 유기물층의 종류에 따라 인장 및 용접 위치를 얼라인 하기 위한 것이다.
본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)는, 택 패턴부(TP)를 개구부(CA) 형성시 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 이후 레이저 공정에 의해 택 패턴부(TP) 내에 얼라인 홀(AH)을 형성한다. 하이브리드 격자 마스크(120)는 얼라인 홀(AH)들로 구성된 제1 얼라인 마커(M1)가 형성된다. 또한, 별도의 식각 공정을 진행하지 않고 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성하여 공정을 단순화하였다.
이와 같이, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 3은 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 하이브리드 격자 마스크와 마스크 프레임의 체결 구조를 도시한 도면이다. 도 4는 상기 도 3의 A 영역을 확대한 도면이다. 도 5는 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 스틱 마스크들이 마스크 프레임에 체결된 모습을 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 하이브리드 격자 마스크에 형성된 택(Teg) 패턴부를 도시한 도면이다. 도 7은 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체에 조립되는 스틱 마스크와 스틱 마스크에 형성된 얼라인 마크를 도시한 도면이다.
도 1 및 도 2와 함께 도 3 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)는 스틱 마스크(110)들로 구성된 미세 금속 마스크(FMM)와, 미세 금속 마스크(FMM)를 지지 및 얼라인 하는 하이브리드 격자 마스크(120)와, 미세 금속 마스크(FMM) 및 하이브리드 격자 마스크(120)를 고정하는 마스크 프레임(150)을 포함한다.
박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)의 제조 공정은 1차적으로 전술한 하이브리드 격자 마스크(120)를 인장 공정 및 웰딩(용접) 공정을 통해 마스크 프레임(150)에 고정한다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 하이브리드 격자 마스크(120)는 가장자리 영역을 중심으로 인장 및 용접 공정을 통해 마스크 프레임(150)의 지지 프레임(150b) 상에 체결된다. 따라서, 마스크 프레임(150)의 중앙 오픈 영역에는 하이브리드 격자 마스크(120)의 개구부(CA)들이 위치한다.
하이브리드 격자 마스크(120)를 구성하는 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126)는 각각 확장 형성된 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)을 포함하고, 지지 프레임(150b)에는 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)가 체결된다.
하이브리드 격자 마스크(120)와 마스크 프레임(150)의 체결 영역(A)을 보다 구체적으로 보면, 전술한 바와 같이, 제1 내지 제4 서포터(121, 122, 123, 124)는 하이브리드 격자 마스크(120)의 가장자리 둘레에 배치되어 일정한 사각 형상을 갖도록 하는 프레임 역할을 한다.
마스크 프레임(150)의 지지 프레임(150b)는 외측 방향으로 소정의 단차홈(SG)들이 일정 간격으로 형성되어 있다. 또한, 지지 프레임(150b)은 상면과 하면 사이에 경사진 제1면(S1)이 형성되고, 상면은 단차홈(SG)이 형성되지 않은 영역과 대응되는 제2면(S2)과 단차홈(SG)이 형성된 영역과 대응되는 제3면(S3)을 포함한다. 제2면(S2)의 폭은 제3면(S3)의 폭보다 길게 형성된다.
본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)가 마스크 프레임(150)과 체결될 때, 지지 프레임(150b)과는 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)가 체결된다. 보다 구체적으로 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)의 위치가 지지 프레임(150b)의 제2면(S2)에 위치하는 경우에는 제3면(S3)에 위치할 때보다 길게 형성된다.
즉, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 제1 내지 제6 연장부(121a, 122a, 123a, 124a, 125a, 126a)와 지지 프레임(150b)의 상면과 체결된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 서포터(121)와 제1 서포터(121)의 외측 방향으로 연장된 제1 연장부(121a) 및 제3 서포터(123)의 외측 방향으로 연장된 제3 연장부(123a)는 지지 프레임(150b)의 제2면(S2)과 체결된 것을 볼 수 있다.
또한, 제6 서포터(126)의 외측 방향으로 연장된 제6 연장부(126a)는 지지 프레임(150b)의 제3면(S3)과 체결되는 것을 볼 수 있다. 전술한 바와 같이, 지지 프레임(150b)의 제3면(S3)과 체결되는 연장부의 길이는 제2면(S2)과 체결되는 연장부의 길이보다 짧게 형성된다.
즉, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)의 외측 프레임 역할을 하는 제1 내지 제4 서포터(121, 122, 123, 124)는 지지 프레임(150b)와 직접 체결되지 않고, 마스크 프레임(150)의 내측면을 기준으로 소정 거리 이격된다. 또한, 제3 및 제4 서포터(123, 124)는 이후 체결되는 스틱 마스크(110)들의 처짐 불량을 방지하기 위한 지지 기능을 한다.
이와 같이, 본 발명에 따른 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체(100)는 하이브리드 격자 마스크(120)가 마스크 프레임(150)에 체결되면 2차적으로 스틱 마스크(110)를 마스크 프레임(150) 상에 인장 및 용접 공정을 통해 체결한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)는 지지부(110b)와, 지지부(110b) 상에 소정의 간격으로 이격 배치된 증착 패턴부(110a)와, 마스크 프레임(150)과 직접 체결되는 접합부(110c)를 포함한다. 전술한 바와 같이, 미세 금속 마스크(FMM)는 기판의 셀 영역의 각 픽셀들에 유기물질을 증착하기 위해 사용하기 때문에 미세 개구 패턴들이 형성된 증착 패턴부(110a)를 포함한다.
또한, 유기발광 표시장치는 각 픽셀 영역에 서로 다른 빛을 내는 유기 발광층들이 형성되기 때문에 미세 금속 마스크(FMM)도 각각의 유기 발광층들에 대응되는 마스크가 사용된다. 즉, 미세 금속 마스크(FMM)는 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층이 각 픽셀 영역에 형성될 경우, 5개의 미세 금속 마스크(FMM)가 사용된다.
따라서, 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)는 기판 상에 증착해야할 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 마스크 프레임(150)과의 체결 위치가 달라진다.
즉, 스틱 마스크(110)는 증착 패턴부(110a)에 형성된 미세 개구 패턴들이 각각 적색(R) 픽셀영역, 녹색(G) 픽셀영역, 청색(B) 픽셀영역, 적색 프라임(R') 픽셀영역 및 녹색 프라임(G') 픽셀영역에 대응되는 위치하도록 배치되어야 한다.
이와 같이, 미세 금속 마스크(FMM)는 마스크 조립체를 형성할 때, 하이브리드 격자 마스크(120)와 스틱 마스크(110) 간의 정밀한 얼라인이 조정이 필요하다. 즉, 오픈 메탈 마스크를 마스크 프레임(150) 상에 체결할 때보다 미세 금속 마스크(FMM)는 체결시 정확한 위치를 얼라인하는 것이 중요하다. 이러한 이유로 인하여, 하이브리 격자 마스크(120)의 개구 영역 둘레에는 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)의 정밀한 조립을 위하여 택(Teg) 패턴부(TP)들이 형성된다.
또한, 스틱 마스크(110)에도 하이브리드 격자 마스크(120)의 택 패턴부(TP)와 대응되는 위치에 얼라인 마크가 형성되어 스틱 마스크(110)들이 형성하는 유기물질에 따라 마스크 프레임(150)의 정확한 위치에 배치되도록 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 하이브리드 격자 마스크(120)의 개구부(CA)와 스틱 마스크(110)의 증착 패턴부(110a)는 서로 중첩되도록 위치하고, 도면에는 도시되지 않았지만 증착하는 컬러(color)의 유기물질(유기발광층)에 따라 스틱 마스크(110)의 증착 패턴부(110a)에 형성된 미세 개구 패턴들과 기판의 픽셀 영역이 서로 중첩되도록 한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)의 임의의 개구부를 구획하는 제5 및 제6 서포터(125, 126) 상에는 택 패턴부(TP)들이 형성되어 있다. 택 패턴부(TP) 내에는 제1 얼라인 마커(M1)가 형성된다. 제1 얼라인 마커(M1)는 아래 도 9에서 보다 구체적으로 설명하겠지만, 기판 상에 형성할 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 위치가 다른 얼라인 홀들로 구성될 수 있다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 스틱 마스크(110)에도 제2 얼라인 마커(M2)가 형성될 수 있다. 제2 얼라인 마커(M2)는 스틱 마스크(110)의 증착 패턴부(110a) 둘레를 따라 지지부(110b) 상에 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 스틱 마스크(110)에 형성된 제2 얼라인 마커(M2) 역시 스틱 마스크(110)가 기판 상에 형성할 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 위치가 다른 얼라인 홀(마커)들이 형성될 수 있다.
따라서, 미세 금속 마스크(FMM)를 조립할 때, 스틱 마스크(110)의 제2 얼라인 마커(M2)와 하이브리드 격자 마스크(120)에 형성된 제1 얼라인 마커(M1)를 이용하여 조립한다. 예를 들어, 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)가 적색(R) 유기발광층 증착을 위한 마스크인 경우에는 하이브리드 격자 마스크(120)의 택 패턴부(TP)들 중 적색(R) 유기발광층에 해당하는 제1 얼라인 마커(M1)와 얼라인을 하여 체결한다.
미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크(110)가 녹색(G) 유기발광층 증착을 위한 마스크인 경우에는 하이브리드 격자 마스크(120)의 택 패턴부(TP)들 중 적색(R) 유기발광층에 해당하는 제1 얼라인 마커(M1)와 얼라인을 하여 체결한다.
이와 같이, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 하이브리드 격자 마스크에 형성된 택(Teg) 패턴의 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 11a 내지 도 11c는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크의 제조 공정을 나타내는 도면이다.
도 8 내지 도 11c를 참조하면, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체를 구성하는 하이브리드 격자 마스크(120)의 제5 및 제6 서포터(125, 126)에는 택 패턴부(TP)가 형성된다.
도면에서는 하이브리드 격자 마스크(120)에 형성되는 임의의 택 패턴부(TP)를 설명하기 위해 제5 및 제6 서포터(125, 126)에 형성된 택 패턴부(TP)를 도시하였지만, 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 택 패턴부(TP)는 제1 내지 제6 서포터(121, 122, 123, 124, 125, 126) 상에 복수개 형성될 수 있다. 즉, 개구부(CA)를 구획하는 서포터들 상에는 적어도 하나 이상의 택 패턴부(TP)가 형성될 수 있다.
본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)에 형성된 택 패턴부(TP)는 하이브리드 격자 마스크(120)를 구성하는 금속 시트보다 두께가 얇은 하프톤 영역(HA)과, 하프톤 영역(HA) 내에 배치된 제1 얼라인 마커(M1)로 구성될 수 있다. 제1 얼라인 마커(M1)는 전술한 바와 같이, 기판 상에 증착해야할 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 위치가 다른 얼라인 홀들(AH: (R), (G), (B), (R'), (G'))로 구성될 수 있다. 또한, 얼라인 홀들(AH: (R), (G), (B), (R'), (G'))은 레이저 가공에 의해 형성될 수 있다.
본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)에 형성된 택 패턴부(TP)는 하프톤 영역(HA)에 제1 얼라인 마커(M1)를 형성하기 때문에 택 패턴부(TP)가 형성되지 않은 영역보다 금속 시트의 두께가 얇게 형성된다. 또한, 제1 얼라인 마커(M1)를 구성하는 얼라인 홀(AH)들은 레이저 가공에 의해 형성되지만, 금속시트의 두께가 얇은 영역에 형성되기 때문에 레이저 공정에 따른 벌(Burr) 등의 불량을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 금속시트 상에 개구부(CA)를 형성할 때, 택 패턴부(TP) 영역에 일괄적으로 하프톤 영역(HA)을 형성한 후, 레이저 가공에 의해 5개의 얼라인 홀들(AH: (R), (G), (B), (R'), (G'))을 각 택 패턴부(TP)에 형성할 수 있다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)에 형성되는 택 패턴부(TP)들은 다른 영역보다 두께가 ?은 하프톤 영역(HA)으로 형성된다. 따라서, 택 패턴부(TP)는 하이브리드 격자 마스크(120)의 상면으로부터 소정의 단차를 갖도록 형성된다. 보다 구체적으로, 하프톤 영역(HA)에서는 하이브리드 격자 마스크(120)의 두께(t1)보다 작은 두께(t2)를 갖는다.
제1 얼라인 마커(M1)를 구성하는 5개의 얼라인 홀들(AH: (R), (G), (B), (R'), (G'))은 도 10에 도시된 바와 같이, 택 패턴부(TP)의 하프톤 영역(HA) 내에서 형성된다. 각각의 택 패턴부(TP)에는 하나의 얼라인홀(AH)이 형성되지만 도 9와 같이 하나의 택 패턴부(TP)로 가정할 경우, 5개의 얼라인 홀들(AH)의 위치는 인접한 얼라인홀들과 일부 중첩된 구조를 갖는다.
스틱 마스크(110)에 형성된 제2 얼라인 마커(M2) 역시 증착되는 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 미세하게 위치가 변경되어 형성된다.
예를 들어, 미세 금속 마스크(FMM)가 기판 상에 적색(R) 유기발광층을 형성하기 위한 마스크인 경우, 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 복수의 스틱 마스크(110)에 형성된 제2 얼라인 마커(M2)는 택 패턴부(TP)에 형성된 (R) 얼라인 홀과 얼라인하여 조립된다.
도 11a 내지 도 11c를 참조하면, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 1차적으로 하프톤 영역(HA)을 식각 공정으로 형성한 후, 하프톤 영역(HA)에 대해 레이저 공정에 의해 얼라인 홀들(AH)을 형성하는 방식으로 택 패턴부를 형성한다.
즉, 제1 얼라인 마커(M1)를 구성하는 얼라인 홀들(AH)은 레이저 공정을 이용하기 때문에 하나의 마스크로 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 사용되는 하이브리드 격자 마스크(120)를 제조할 수 있다.
도면에 도시된 바와 같이, 금속시트(S)가 제공되면 금속시트(S)의 일측면에는 제1 포토레지스트 필름(PR_1)이 부착되고, 타측면에는 제2 포토레지스트 필름(PR_2)이 부착된다. 특히, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 택 패턴부(TP)가 하프톤 영역(HA)으로 형성되기 때문에 <Teg 패턴 영역>과 대응되는 제2 포토레지스트 필름(PR_2)에는 차단부(BL)가 형성된다.
즉, <셀 개구 영역>과 대응되는 제1 및 제2 포토레지스트 필름(PR_1, PR_2)에는 오픈 영역(OP)이 형성되지만, <Teg 패턴 영역>과 대응되는 제1 포토레지스트 필름(PR_1)에서는 오픈 영역(OP)이 형성되고 제2 포토레지스트 필름(PR_2)에서는 차단부(BL)가 형성된다.
도 11b에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2 포토레지스트 필름(PR_1, PR_2)이 부착된 금속시트(S)에 대해 양방향에서 각각 제1 및 제2 식각 공정을 진행한다. 식각 공정은 식각 용액을 금속시트(S)에 분사하는 방식으로 진행된다.
따라서, 금속시트(S)의 양면 방향에서 식각 공정이 진행되면 <셀 개구 영역>과 대응되는 금속시트(S)에서는 개구부(CA)가 형성되고, <Teg 패턴 영역>과 대응되는 금속시트(S)에서는 하프톤 영역이 형성된다. <Teg 패턴 영역>에서는 제1 식각 공정의 식각 용액만 금속시트(S)와 반응을 하고 제2 식각 공정의 식각 용액은 제2 포토레지스트 필름(PR_2)의 차단부(BL)에 의해 차단되어 반응을 하지 않게 되어 하프톤 영역(HA)이 형성된다. 하프톤 영역(HA)의 금속시트(S) 두께(t2)는 금속시트(S)의 두께(t1)보다 얇게 형성된다.
즉, 제1 포토레지스트 필름(PR_1)과 제2 포토레지스트 필름(PR_2)에 형성된 오픈 영역(OP)이 서로 마주하는 영역에서는 금속시트(S)가 모두 제거되어 개구부(CA)가 형성된다. 반면, 제2 포토레지스트 필름(PR_2)의 차단부(BL)와 대응되는 영역에서는 제1 포토레지스트 필름(PR_1)의 오픈 영역(OP)으로만 1차 식각 공정에 의한 식각 용액이 금속시트(S)와 반응하기 때문에 금속시트(S)에 하프톤 영역(HA)이 형성된다.
그런 다음, 도 11c에 도시한 바와 같이, 금속시트(S)의 택 패턴 영역에는 레이저 가공을 진행하여 전술한 바와 같이, 제1 얼라인 마커(M1)를 구성하는 얼라인 홀(AH)을 형성한다. 전술한 바와 같이, 택 패턴부(TP)는 개구부(CA) 둘레를 따라 복수개 형성되기 때문에 각각의 택 패턴부(TP)에는 기판 상에 증착되는 유기물의 종류에 따라 제1 얼라인 마커(M1)를 구성하는 얼라인 홀(AH)이 형성된다.
보다 구체적으로, 기판 상에 형성할 유기물층이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층인가에 따라 5개의 택 패턴부(TP)에는 각각 얼라인 홀(AH)이 형성될 수 있다.
도 9에서 설명한 바와 같이, 기판 상에 형성할 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층에 따라 각 택 패턴부(TP)에는 대응되는 얼라인 홀(AH)이 형성된다.
예를 들어, 하이브리드 격자 마스크(120) 상에 체결되는 미세 금속 마스크(FMM)가 적색(R) 유기발광층을 형성하기 위한 마스크인 경우 택 패턴부(TP) 중 적색(R) 유기발광층 증착과 대응되는 얼라인 홀(AH)과 얼라인을 맞춘 후 미세 금속 마스크(FMM)를 마스크 프레임(150)에 체결한다.
본 발명에서는 기판 상에 형성될 유기물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층인가에 따라 레이저를 이용하여 각 택 패턴부(TP)에 형성되는 얼라인 홀(AH)의 위치를 조절한다.
특히, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 택 패턴부(TP)의 두께가 금속시트(S) 두께보다 얇게 형성되기 때문에 레이저에 의해 형성되는 얼라인 홀(AH) 영역에 금속이 녹아 발생되는 벌(Burr) 현상을 최소화할 수 있다.
도 11a 내지 도 11b에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 하이브리드 격자 마스크(120)는 기판에 형성하는 물질이 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층인가에 따라 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH)을 포토 공정에 의한 노광, 현상 및 식각 공정으로 형성하지 않기 때문에 하나의 포토레지스트 필름 세트로 하이브리드 격자 마스크(120)의 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 형성할 수 있다.
일반적으로 각 포토레지스트 필름은 소정의 편차를 가지고 있는데, 개구부(CA)와 대응되는 영역 등에 대한 편차는 50~60㎛이거나 최대 100㎛까지 편차를 가지고 있다. 따라서, 종래 기술과 같이, 적색(R) 유기발광층, 녹색(G) 유기발광층, 청색(B) 유기발광층, 적색 프라임(R') 유기발광층 및 녹색 프라임(G') 유기발광층 형성과 대응되는 5 세트의 포토레지스트 필름을 사용할 경우에는 편차 들의 중첩에 의해 200~300㎛까지 편차가 발생될 수 있다.
하지만, 본 발명과 같이 한 세트의 포토레지스트 필름으로 하이브리드 격자 마스크를 제조하고, 택 패턴부(TP)의 얼라인 홀(AH)은 포토 공정이 아닌 레이저 공정을 적용할 경우 하나의 포토레지스트 필름이 갖는 편차(50~60㎛) 만이 발생되기 때문에 편차 발생을 현저히 줄일 수 있는 이점이 있다.
이와 같이, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
도 12는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크 제조 공정에 대한 플로챠트이다.
도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 제조 공정은, 중앙 영역이 오픈된 사각테 구조의 마스크 프레임을 제공하는 단계(S1201); 도 11a 내지 도 11c에서 설명한 방법에 따라 택 패턴부가 형성된 하이브리드 격자 마스크를 제공하는 단계(S1202); 하이브리드 격자 마스크를 마스크 프레임에 인장 및 용접하는 단계(S1203); 마스크 프레임에 인장된 하이브리드 격자 마스크의 각 택 패턴부에 레이저를 이용하여 얼라인 홀(AH)들로 구성된 제1 얼라인 마커를 형성하는 단계(S1204); 및 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크의 제2 얼라인 마커와 하이브리드 격자 마스크의 제1 얼라인 마커를 얼라인하는 단계(S1205); 및 스틱 마스크를 하이브리드 격자 마스크와 마스크 프레임에 인장 및 용접하여 조립하는 단계(S1206)를 포함한다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 하이브리드 격자 마스크 제조 공정에 대한 다른 실시예들에 대한 플로챠트이다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 제조 공정은, 중앙 영역이 오픈된 사각테 구조의 마스크 프레임을 제공하는 단계(S1301); 도 11a 내지 도 11c에서 설명한 방법에 따라 택 패턴부와 각 택 패턴부에 레이저를 이용하여 얼라인 홀로 구성된 제1 얼라인 마커를 형성하는 단계(S1302); 제1 얼라인 마커가 형성된 금속시트에 셀 영역과 대응되는 개구부를 형성하여 하이브리드 격자 마스크를 형성하는 단계(S1303); 하이브리드 격자 마스크를 마스크 프레임에 인장 및 용접하는 단계(S1304); 마스크 프레임에 인장된 하이브리드 격자 마스크의 제1 얼라인 마커와 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크의 제2 얼라임 마커를 얼라인 하는 단계(S1305); 및 스틱 마스크를 하이브리드 격자 마스크와 마스크 프레임에 인장 및 용접하여 조립하는 단계(S1306)를 포함한다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체의 제조 공정은, 중앙 영역이 오픈된 사각테 구조의 마스크 프레임을 제공하는 단계(S1401); 도 11a 내지 도 11c에서 설명한 방법에 따라 택 패턴부와 개구부로 구성된 하이브리드 격자 마스크를 형성하는 단계(S1402); 하이브리드 격자 마스크의 택 패턴부 영역에 레이저를 이용한 얼라인 홀(AH)로 구성된 제1 얼라인 마커를 형성하는 단계(S1403); 마스크 프레임에 인장된 하이브리드 격자 마스크의 제1 얼라인 마커와 미세 금속 마스크(FMM)를 구성하는 스틱 마스크의 제2 얼라인 마커를 얼라인 하는 단계(S1405); 및 스틱 마스크를 하이브리드 격자 마스크와 마스크 프레임에 인장 및 용접하여 조립하는 단계(S1306)를 포함한다.
이와 같이, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 마스크 프레임과 얼라인 기능, 스틱 마스크를 지지하는 기능 및 마스크 프레임과의 체결 기능을 갖는 복수의 서포터들을 일체로 형성하여 조립성을 개선한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 기판의 셀영역과 대응되는 개구부와 스틱 마스크의 조립 얼라인을 위한 택 패턴부를 한번의 포토 공정과 식각 공정으로 제조할 수 있도록 하여 제조 공정을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 개구부 둘레를 따라 형성되는 택(Teg) 패턴부를 다른 영역보다 두께가 얇은 하프톤 영역으로 형성하고, 레이저 공정에 의한 복수의 얼라인 홀(AH)들을 형성하여 레이저 가공에 의한 불량 발생을 최소화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 종류의 포토레지스트 필름으로 개구부와 하프톤 영역을 형성한 후, 레이저 공정에 의해 얼라인 홀(AH)을 형성함으로써 서로 다른 위치에 형성되는 얼라인 홀(AH) 형성을 위한 공정 작업을 단순화한 효과가 있다.
또한, 본 발명의 박막 증착용 하이브리드 마스크, 이의 제조방법 및 이를 포함한 마스크 조립체는, 한 세트의 포토레지스트 필름으로 개구부(CA)와 택 패턴부(TP)를 갖는 하이브리드 격자 마스크를 제조함으로써 서로 다른 종류의 포토레지스트 필름 세트들을 사용하여 격자 마스크를 제조할 때보다 포토레지스트 필름에 의한 편차를 현저히 줄일 수 있는 효과가 있다.
이상 설명된 본 발명에 따른 실시예는 다양한 컴퓨터 구성요소를 통하여 실행될 수 있는 프로그램 명령어의 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체는 프로그램 명령어, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 기록되는 프로그램 명령어는 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것이거나 컴퓨터 소프트웨어 분야의 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수 있다. 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체의 예에는, 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체, CD-ROM 및 DVD와 같은 광기록 매체, 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical medium), 및 ROM, RAM, 플래시 메모리 등과 같은, 프로그램 명령어를 저장하고 실행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령어의 예에는, 컴파일러에 의하여 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용하여 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드도 포함된다. 하드웨어 장치는 본 발명에 따른 처리를 수행하기 위하여 하나 이상의 소프트웨어 모듈로 변경될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
본 발명에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 명세서의 간결함을 위하여, 종래 전자적인 구성들, 제어 시스템들, 소프트웨어, 상기 시스템들의 다른 기능적인 측면들의 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재들은 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로서 나타내어질 수 있다. 또한, “필수적인”, “중요하게” 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
또한 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술할 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
100: 박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체
110: 스틱 마스크
120: 하이브리드 격자 마스크
150: 마스크 프레임
105a: 베이스 프레임
105b: 지지 프레임
121: 제1 서포터
122: 제2 서포터
123: 제3 서포터
124: 제4 서포터
125: 제5 서포터
126: 제6 서포터
121a: 제1 연장부
122a: 제2 연장부
123a: 제3 연장부
124a: 제4 연장부
125a: 제5 연장부
126a: 제6 연장부
TP: 택 패턴부

Claims (12)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 마스크 조립시 얼라인을 위한 택 패턴부와 기판의 셀 영역과 대응되는 개구부가 구획된 금속시트를 제공하는 단계;
    상기 금속시트의 일측면에 상기 개구부 및 택 패턴부와 대응되는 오픈 영역이 형성된 제1 포토레지스트 필름을 부착하는 단계;
    상기 금속시트의 타측면에 상기 개구부와 대응되는 오픈 영역과 상기 택 패턴부와 대응되는 차단부가 형성된 제2 포토레지스트 필름을 부착하는 단계;
    상기 제1 및 제2 포토레지스트 필름의 외측 영역에서 제1 및 제2 식각 공정을 진행하는 단계;
    상기 개구부와 대응되는 금속시트는 완전히 제거하고 상기 택 패턴부와 대응되는 영역은 상기 금속시트의 두께보다 얇은 하프톤 영역을 형성하는 단계; 및
    상기 하프톤 영역에 레이저 공정을 진행하여 제1 얼라인 마커를 구성하는 얼라인 홀을 형성하는 단계를 포함하는
    박막 증착용 하이브리드 마스크 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 택 패턴부를 구성하는 하프톤 영역은 상기 개구부 둘레를 따라 복수개 형성하고, 각각의 하프톤 영역에는 증착되는 유기물층의 종류에 따라 서로 위치가 다른 얼라인 홀들을 형성하는
    박막 증착용 하이브리드 마스크 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 식각 공정은 동시에 진행하는
    박막 증착용 하이브리드 마스크 제조방법.
  7. 중앙 영역이 오픈된 사각테 형상의 마스크 프레임;
    유기물질이 증착되는 기판의 셀영역과 대응되는 영역에 미세 개구 패턴들로 구성된 증착 패턴부와, 상기 증착 패턴부를 지지하는 지지부와, 상기 지지부의 양측 가장자리에 형성된 접합부를 포함하는 복수의 스틱 마스크; 및
    상기 복수의 스틱 마스크가 상기 마스크 프레임과 체결될 때 지지 및 얼라인 기능을 하는 하이브리드 마스크를 포함하고,
    상기 하이브리드 마스크는,
    제1폭(D1)을 갖는 제1 및 제2 서포터, 제2폭(D2)을 갖는 제3 및 제4 서포터 및 제3폭(D3)을 갖는 제5 및 제6 서포터를 포함하며, 상기 제1 내지 제6 서포터에 의해 상기 기판의 셀영역과 대응되는 개구부들을 구획하고,
    상기 개구부를 구획하는 상기 제1 내지 제6 서포터 상에는 상기 제1 내지 제6 서포터의 두께(t1) 보다 얇은 두께(t2)를 갖는 복수의 택 패턴부가 형성되며,
    상기 복수의 택 패턴부 각각에는 얼라인 홀로 구성된 제1 얼라인 마커가 형성되고,
    상기 복수의 택 패턴부의 제1 얼라인 마커와 대응되도록 상기 스틱 마스크의 증착 패턴부 둘레에는 제2 얼라인 마커가 형성된
    박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 택 패턴부 각각에 형성되는 제1 얼라인 마커의 얼라인 홀은 증착되는 유기물층의 종류에 따라 서로 위치가 다른
    박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1 내지 제6 서포터들은 각각 연장된 제1 내지 제6 연장부를 구비하고, 상기 제1 내지 제6 연장부는 상기 하이브리드 마스크의 외곽 프레임을 구성하는 상기 제1 내지 제4 서포터 외측으로 서로 다른 길이로 연장되는
    박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 마스크 프레임은 사각 테 구조의 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임의 둘레를 따라 돌출된 지지 프레임을 포함하고,
    상기 지지 프레임은 상면과 하면 사이의 경사진 제1면과, 상기 상면에서 폭이 서로 다른 제2 및 제3면을 포함하는
    박막 증착용 하이브리드 마스크 조립체.
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