KR20150073624A - 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치 - Google Patents

스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치 Download PDF

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

본 발명은 스틱 마스크들 사이, 스틱 마스크와 틈새 차단판 사이에 증착 물질이 쌓이는 것을 방지하기 위한 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치를 제공하기 위한 것으로, 공정 공간을 가지는 챔버, 각각의 결합면이 상하로 중첩되게 배열된 복수의 스틱 마스크를 포함하는 증착 마스크, 상기 증착 마스크를 지지하는 지지 프레임, 및 상기 증착 마스크의 통과부를 통과하여 대상 기판에 증착되는 증착 물질을 분출시키는 증착 모듈을 포함하고, 상기 복수의 스틱 마스크는 각각의 일면이 평면을 이루도록 서로 연결되어 증착 물질을 차단하는 증착 마스크의 차단부를 이루고, 각각의 타면이 상기 차단면에 평행한 평면을 이루도록 서로 연결되어 상기 대상 기판에 대향되는 증착 마스크의 대향부를 이루는 것을 특징으로 한다.

Description

스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치{STICK MASK AND THIN FILM FORMING APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치에 관한 것이다.
최근, 디스플레이 산업은 고해상도 및 대면적화의 방향으로 품질이 향상된 디스플레이 장치를 추구하는 추세이다. 이에 따라, 디스플레이 장치는 최근 FHD(Full High Definition Television)와 대략 FHD 면적의 4배 면적에 해당하는 UHD(Ultra High Definition Television)가 개발되었으며, 크기가 크면서도 고화질의 얇은 디스플레이 장치로 계속해서 발전하고 있다.
도 1은 종래의 마스크 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 1을 참고하면, 대면적 디스플레이 패널을 제조하기 위한 종래의 마스크 모듈(1)은 기판(S)을 선택적으로 성막시키기 위한 마스크(10)와 마스크(10)를 지지하는 지지 프레임(20)으로 구성된다. 그런데, 디스플레이 패널의 대면적 기판(S)의 크기 정도로 형성되는 원장 마스크(10)로는 대면적 기판(S)을 대응할 수 없기 때문에, 종래의 마스크 모듈(1)에서 상기 마스크(10)는 부분별로 분할된 복수의 스틱 마스크(11)들로 구성된다. 각각의 스틱 마스크(11)에는 기판(S)의 패턴 형성 영역에 대응되도록 개구부(12)가 형성되어 있다.
기판(S)을 패터닝하는 방법인 증착 방법은 기판(S)에 증착되는 증착 물질을 가열하여 승화시키고, 승화된 증착 물질이 기판(S)에 증착됨으로써 이루어진다. 증착 물질은 마스크(10)의 개구부(12)를 통해 기판(S)에 성막되며, 개구부(12) 이외의 부분에서는 마스크(10)에 차단되어 성막되지 않게 된다.
여기서, 증착 물질이 기판(S)의 패턴 형성 영역에 명확하게 패터닝 되기 위해서는 상기 마스크(10)의 개구부(12)와 상기 기판(S)의 패턴 형성 영역의 얼라인(align)이 정확하게 일치해야 한다. 그리고, 상기 마스크(10)와 상기 기판(S)이 밀착되지 않을 경우 상기 마스크(10)와 상기 기판(S) 사이의 이격 공간에 증기 유기물이 유입되어 패턴이 정확하게 형성되지 않게 된다. 이를 방지하기 위해, 상기 마스크(10)는 상기 기판(S)에 밀착되도록 유지되어야 한다.
그런데, 종래의 마스크 모듈(1)은 상기 스틱 마스크(11)들 사이사이의 틈새에 증착 물질이 쌓이게 되고, 증착 물질(F)의 세척이 어려워 수명이 단축된다. 이를 방지하기 위해, 종래의 마스크 모듈(1)은 상기 스틱 마스크(11)들 사이사이 마다 결합된 틈새 차단판(30)을 포함한다.
그런데, 종래의 마스크 모듈(1)은 상기 틈새 차단판(30)이 개구부(12)와 패턴 형성 영역 간의 얼라인을 확인하는 것을 방해하며, 복수의 틈새 차단판(30)들을 용접하는 공정 시간이 추가되어 제조 작업의 능률을 저하시키는 문제가 있다.
또한, 종래의 마스크 모듈(1)은 상기 지지 프레임(20)에 상기 틈새 차단판(30)들이 삽입되는 삽입 홈(21)이 가공되는데, 이로 인해 제작 비용이 상승될 뿐만 아니라, 재활용 비율도 상당히 감소되는 문제가 있다.
또한, 종래의 마스크 모듈(1)은 상기 스틱 마스크(11)와 상기 틈새 차단판(30) 간 단차 부분에 증착 물질(F)이 쌓여 오염되며, 이로 인해 수명이 단축되는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 스틱 마스크들 사이, 스틱 마스크와 틈새 차단판 사이에 증착 물질이 쌓이는 것을 방지하기 위한 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 지지 프레임에 삽입 홈이 추가로 가공되는 것과 틈새 차단판들의 용접 공정 추가되어 전체의 제조 시간을 연장시키는 것을 방지하기 위한 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
위에서 언급된 본 발명의 기술적 과제 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 박막 형성 장치를 제공하기 위한 것으로, 공정 공간을 가지는 챔버, 각각의 결합면이 상하로 중첩되게 배열된 복수의 스틱 마스크를 포함하는 증착 마스크, 상기 증착 마스크를 지지하는 지지 프레임, 및 상기 증착 마스크의 통과부를 통과하여 대상 기판에 증착되는 증착 물질을 분출시키는 증착 모듈을 포함하고, 상기 복수의 스틱 마스크는 각각의 일면이 평면을 이루도록 서로 연결되어 증착 물질을 차단하는 증착 마스크의 차단부를 이루고, 각각의 타면이 상기 차단면에 평행한 평면을 이루도록 서로 연결되어 상기 대상 기판에 대향되는 증착 마스크의 대향부를 이룰 수 있다.
본 발명에 따른 스틱 마스크는 몸체를 구성하는 베이스 플레이트, 상기 베이스 플레이트의 일면에 형성되어 증착 물질을 차단하는 차단면, 상기 베이스 플레이트의 타면에 형성되어 대상 기판에 대향되는 대향면, 및 상기 베이스 플레이트를 관통하도록 형성된 통과부를 포함하고, 상기 차단면과 상기 대향면 각각은 서로 상이한 폭으로 형성될 수 있다.
상기 과제의 해결 수단에 의하면, 본 발명은 스틱 마스크들 사이, 스틱 마스크와 틈새 차단판 사이에 증착 물질이 증착되지 않아 세척이 용이하고, 이에 따라 수명이 연장되는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 지지 프레임에 삽입 홈의 추가 가공 공정이 생략되고 틈새 차단판이 제거되어 전체의 제조 시간을 단축 시키고 제조 비용을 감소시키는 효과가 있다.
도 1은 종래의 마스크 모듈을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 3은 지지 프레임에 지지된 증착 마스크를 나타내는 사시도이고,
도 4 내지 도 6은 증착 마스크를 도 3의 A 방향에서 나타낸 단면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
"상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제 3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.
이하에서는 본 발명에 따른 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 박막 형성 장치(100)는 챔버(110), 증착 마스크(120), 지지 프레임(130) 및 증착 모듈(140)을 포함하여 구성된다.
상기 챔버(110)는 증착 물질이 기판에 증착되는 공정 공간을 가진다. 상기 공정 공간은 밀폐되어 진공 상태로 유지된다. 상기 챔버(110)는 내부의 벽면을 둘러싸도록 방착판(미도시)이 결합될 수 있다. 상기 방착판은 상기 증착 모듈(140)로부터 분출되는 증착 물질이 챔버(110) 내부 벽면에 흡착되는 것을 방지하는 역할을 한다. 한편, 상기 챔버(110)에는 대상 기판과 증착 마스크(120)의 정렬(align)을 위한 CCD카메라가 구비될 수 있다.
상기 증착 마스크(120)는 상기 지지 프레임(130)에 지지되며, 대상 기판을 지지할 수 있다. 상기 증착 마스크(120)는 대상 기판 상에 증착 물질이 증착되어 박막이 형성되는 성막 영역과 증착되지 않는 비성막 영역을 정의할 수 있다. 즉, 상기 증착 마스크(120)는 상기 성막 영역에서 증착 물질을 통과시키고, 상기 비성막 영역에서 증착 물질을 차단할 수 있다. 상기 성막 영역은 대상 기판의 패턴 형성 영역에 해당한다.
상기 지지 프레임(130)은 상기 공정 공간에 설치되어 증착 마스크(120)를 지지한다. 상기 지지 프레임(130)은 대상 기판에서 증착 물질이 증착되는 부분을 가리지 않도록 중공된 프레임(frame) 형태로 형성된다. 이러한 지지 프레임(130)은 상기 증착 모듈(140)에 대향되게 배치된 증착 마스크(120)의 하면 가장자리를 지지한다.
도시되지 않았지만, 상기 지지 프레임(130)에는 대상 기판 및 증착 마스크(120) 중에서 적어도 하나를 고정할 수 있는 홀더가 설치될 수 있다.
상기 증착 모듈(140)은 기판에 증착되는 증착 물질을 수용하고 있으며, 상기 공정 공간에 설치된다. 상기 증착 모듈(140)은 수용된 증착 물질을 가열하여 승화시키기 위한 히터를 구비할 수 있다. 히터가 작동하여 증착 물질을 가열하면, 증착 물질은 승화되어 상기 증착 모듈(140)의 상측에 중공되게 형성된 개구부를 통해 증착 모듈(140) 외부로 분출된다.
한편, 상기 증착 모듈(140)은 상기 챔버(110)의 바닥면을 가로질러 구성되는 트롤리 레일(trolley rail)을 따라 좌우로 슬라이딩 이동하면서 대상 기판 상에 증착 물질을 증착시킬 수 있다.
증착 물질은 유기 발광 디스플레이 패널을 형성하는 유기물일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 박막 형성 장치(100)는 대상 기판과 상기 증착 마스크(120)가 서로 밀착되도록 하는 가압 수단(150)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 구체적으로, 상기 가압 수단(150)은 대상 기판 및 상기 지지 프레임(130) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 수단(150)은 대상 기판과 상기 증착 마스크(120) 간을 기밀(氣密) 상태로 유지시켜 상기 성막 영역에 증착되는 증착 물질의 경계가 흐릿하지 않고 명확하게 형성되도록 기능할 수 있다.
이하에서는 상기 증착 마스크(120)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 3은 지지 프레임에 지지된 증착 마스크를 나타내는 사시도이고, 도 4 내지 도 6은 증착 마스크를 도 3의 A 방향에서 나타낸 단면도이다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 상기 증착 마스크(120)는 각각의 결합면이 상하로 중첩되게 배열된 복수의 스틱 마스크를 포함한다. 상기 복수의 스틱 마스크는 각각의 일면이 평면을 이루도록 서로 연결되어 증착 물질을 차단하는 차단부(120a)를 이룬다. 또한, 상기 복수의 스틱 마스크는 각각의 타면이 상기 차단부(120a)에 평행한 평면을 이루도록 서로 연결되어 상기 대상 기판에 대향되는 대향부(120b)를 이룬다. 즉, 상기 증착 마스크(120)는 일면이 증착 물질을 차단하는 차단부(120a)로 정의되고, 타면이 상기 대상 기판에 대향되는 대향부(120b)로 정의되어 구성된다.
상기 증착 마스크(120)는 상기 스틱 마스크들 간에 이격 공간을 형성하지 않고 서로 접촉됨에 따라 증착 물질이 이격 공간에서 성막되는 것이 방지된다. 그렇기 때문에, 본 발명에 따른 박막 형성 장치(100)는 종래와 같이 상기 이격 공간을 차단하는 차단판을 상기 스틱 마스크들 사이에 위치되도록 구비하지 않아도 되며, 이에 따라 스틱 마스크와 차단판 사이의 단차 부분에 증착 물질이 성막되는 것이 방지된다. 또한, 본 발명에 따른 박막 형성 장치(100)는 차단판을 구비하지 않으므로 차단판이 삽입되는 삽입 홈이 상기 지지 프레임(130)에 가공되지 않아도 되며, 이에 따라 지지 프레임(130)의 제조 단가를 감소시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 박막 형성 장치(100)는 상기 지지 프레임(130)에 상기 복수의 스틱 마스크 각각을 용접 방식으로 결합하여 형성될 수 있는데, 종래와 같이 차단판을 구비하지 않으므로 차단판을 용접하는 공정이 생략되어 제조 시간이 감소되는 효과가 있다.
상기 스틱 마스크는 베이스 플레이트(211, 221), 차단면(212, 222), 대향면(213, 223) 및 통과부(214, 224)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스 플레이트(211, 221)는 본 발명에 따른 스틱 마스크의 몸체를 구성하며, 상기 지지 프레임(130)에 지지된다.
상기 차단면(212, 222)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)의 일면에 형성된다. 상기 차단면(212, 222)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)가 상기 지지 프레임(130)에 지지되면 상기 증착 모듈(140)에 대향되는 면을 의미한다. 상기 차단면(212, 222)은 대상 기판과 중첩된 부분에서 증착 물질을 차단함에 따라 상기 비성막 영역을 정의하게 된다.
상기 대향면(213, 223)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)의 타면에 형성된다. 상기 대향면(213, 223)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)가 상기 지지 프레임(130)에 지지되면 대상 기판의 일면에 대향되는 면을 의미한다. 상기 대향면(213, 223)은 대상 기판의 일면에서 상기 비성막 영역에 접촉되게 된다.
상기 통과부(214, 224)는 상기 베이스 플레이트(211, 221)를 관통하도록 형성되며, 상기 증착 모듈(140)에서 대상 기판으로 증착 물질을 통과시킬 수 있다. 상기 통과부(214, 224)는 대상 기판과 중첩된 부분에 유기물이 성막되도록 함에 따라 상기 성막 영역을 정의하게 된다. 상기 통과부(214, 224)는 대상 기판 상에 형성되는 패턴 형성 영역의 수에 따라 상기 베이스 플레이트(211, 221)에 복수로 형성되어 서로 이격될 수 있다.
본 발명에 따른 스틱 마스크는 좌측 결합면(215, 225) 및 우측 결합면(216, 226)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
상기 좌측 결합면(215, 225)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)의 좌측에 형성되며, 다른 베이스 플레이트(211, 221)의 우측 결합면(216, 226)에 접촉되는 부분이다.
상기 우측 결합면(216, 226)은 상기 베이스 플레이트(211, 221)의 우측에 형성되며, 다른 베이스 플레이트(211, 221)의 좌측 결합면(215, 225)에 접촉되는 부분이다.
본 발명에 따른 스틱 마스크는 좌측 결합면(215, 225)과 우측 결합면(216, 226)의 형태가 동일하게 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 스틱 마스크의 단면은 대략 평행사변형 꼴로 대변(代辯)될 수 있다.
또는, 본 발명에 따른 스틱 마스크는 상기 차단면(212, 222)과 상기 대향면(213, 223) 각각이 서로 상이한 폭으로 형성될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 스틱 마스크의 단면은 대략 사다리꼴 형태로 대변될 수 있다.
본 발명에 따른 스틱 마스크의 단면이 대략 평행사변형 꼴로 대변되는 경우, 좌측 결합면(215, 225) 및 우측 결합면(216, 226)은 상기 차단면(212, 222)을 기준으로 일측으로 기울어진 경사를 이루도록 형성될 수 있다.
도 4는 각각의 결합면의 형태가 서로 동일하게 형성된 것을 도시한 것이다.
도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 스틱 마스크는 좌측 결합면(215, 225)과 우측 결합면(216, 226)이 차단면(212, 222)을 기준으로 일측(좌측 또는 우측)으로 기울어진 경사를 이루도록 형성될 수 있다. 여기서, 상기 좌측 결합면(215, 225)과 상기 우측 결합면(216, 226)은 서로 동일한 방향과 동일한 각도로 기울어진다. 그러면, 상기 차단면(212, 222)과 상기 대향면(213, 223)은 서로 동일한 폭으로 형성된다. 이러한 본 발명에 따른 스틱 마스크는 우측 결합면(216, 226)에 다른 스틱 마스크의 좌측 결합면(215, 225)이 끼워 맞춰(fit)지게 된다. 따라서, 복수로 형성된 본 발명에 따른 스틱 마스크는 각각의 결합면이 이격 공간 없이 접촉되도록 결합될 수 있다.
도시되지는 않았지만, 본 발명에 따른 스틱 마스크는 좌측 결합면(215, 225)과 우측 결합면(216, 226) 각각이 단턱을 이루도록 형성될 수 있다. 여기서, 상기 좌측 결합면(215, 225)과 상기 우측 결합면(216, 226) 각각은 동일한 방향과 길이로 절곡되도록 이루어진다. 그러면, 상기 차단면(212, 222)과 상기 대향면(213, 223)은 서로 동일한 폭으로 형성되고, 우측 결합면(216, 226)에 다른 스틱 마스크의 좌측 결합면(215, 225)이 끼워 맞춰지게 된다. 따라서, 복수로 형성된 본 발명에 따른 스틱 마스크는 각각의 결합면이 이격 공간 없이 접촉되도록 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 스틱 마스크의 단면이 대략 사다리꼴 형태로 대변되는 경우, 좌측 및 우측 결합면(216, 226)이 서로 대칭되게 형성될 수도 있다.
도 5 및 도 6은 각각의 결합면의 형태가 서로 대칭되게 형성된 것을 도시한 것이다.
도 6 및 도 7을 참고하면, 상기 복수의 스틱 마스크는 상기 좌측 결합면(215, 225) 및 상기 우측 결합면(216, 226)이 상기 차단면(212, 222)과 경사를 이루도록 형성될 수 있다. 여기서, 상기 좌측 결합면(215, 225)과 상기 우측 결합면(216, 226)은 서로 대칭되는 방향과 각도로 기울어진다. 그러면, 상기 차단면(212, 222)과 상기 대향면(213, 223)은 서로 상이한 폭으로 형성된다.
또는, 상기 복수의 스틱 마스크는 좌측 결합면(215, 225) 및 우측 결합면(216, 226) 각각이 단턱을 이루도록 형성될 수 있다. 여기서, 상기 좌측 결합면(215, 225)과 상기 우측 결합면(216, 226) 각각은 서로 대칭되는 방향으로 절곡되도록 이루어진다. 그러면, 상기 차단면(212, 222)과 상기 대향면(213, 223)은 서로 상이한 폭으로 형성된다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 복수의 스틱 마스크는 제 1 스틱 마스크(121)와 제 2 스틱 마스크(122)를 포함하여 구성된다.
상기 제 1 스틱 마스크(121)는 몸체를 구성하는 제 1 베이스 플레이트(211), 상기 제 1 베이스 플레이트(211)의 일면에 형성된 제 1 차단면(212), 상기 제 1 베이스 플레이트(211)의 타면에 형성된 제 1 대향면(213), 상기 제 1 베이스 플레이트(211)를 관통하도록 형성된 제 1 통과부(214), 상기 제 1 베이스 플레이트(211)의 좌측에 형성된 제 1 좌측 결합면(215), 및 상기 제 1 베이스 플레이트(211)의 우측에 형성된 제 1 우측 결합면(216)을 포함하여 구성된다. 상기 제 1 차단면(212)은 상기 증착 마스크(120)의 차단부(120a)를 구성하는 일부분이고, 상기 제 1 대향면(213)은 상기 증착 마스크(120)의 대향부(120b)를 구성하는 일부분이다. 이러한 제 1 스틱 마스크(121)는 상기 제 1 차단면(212)의 폭이 상기 제 1 대향면(213)의 폭보다 크게 형성될 수 있다.
상기 제 2 스틱 마스크(122)는 몸체를 구성하는 제 2 베이스 플레이트(221), 상기 제 2 베이스 플레이트(221)의 일면에 형성된 제 2 차단면(222), 상기 제 2 베이스 플레이트(221)의 타면에 형성된 제 2 대향면(223), 상기 제 2 베이스 플레이트(221)를 관통하도록 형성된 제 2 통과부(224), 상기 제 2 베이스 플레이트(221)의 좌측에 형성된 제 2 좌측 결합면(225), 및 상기 제 2 베이스 플레이트(221)의 우측에 형성된 제 2 우측 결합면(226)을 포함하여 구성된다. 상기 제 2 차단면(222)은 상기 증착 마스크(120)의 차단부(120a)를 구성하는 일부분이고, 상기 제 2 대향면(223)은 상기 증착 마스크(120)의 대향부(120b)를 구성하는 일부분이다. 이러한 제 2 스틱 마스크(122)는 상기 제 2 차단면(222)의 폭이 상기 제 2 대향면(223)의 폭보다 작게 형성될 수 있다.
도 6을 참고하면, 상기 제 1 스틱 마스크(121)는 제 1 차단면(212)이 제 1 대향면(213)보다 크게 형성됨에 따라 제 1 좌측 결합면(215)과 제 1 우측 결합면(216)이 상측을 향할수록 근접하도록 경사질 수 있다. 반면, 상기 제 2 스틱 마스크(122)는 제 2 차단면(222)이 제 2 대향면(223)보다 작게 형성됨에 따라 제 2 좌측 결합면(225)과 제 2 우측 결합면(226)이 상측을 향할수록 원격하도록 경사질 수 있다. 상기 제 2 스틱 마스크(122)는 상기 제 1 스틱 마스크(121)가 뒤집힌 듯한 형태로 형성되며, 이에 따라 상기 제 2 좌측 결합면(225)은 상기 제 1 우측 결합면(216)과 대응되는 형태가 되므로 상기 제 1 우측 결합면(216)에 끼워 맞춰지게 된다. 따라서, 상기 제 1 및 제 2 스틱 마스크(121, 122)는 각각의 결합면이 이격 공간 없이 접촉되도록 결합될 수 있다.
도 7을 참고하면, 상기 제 1 스틱 마스크(121)는 제 1 차단면(212)이 제 1 대향면(213)보다 크게 형성됨에 따라 제 1 좌측 결합면(215)과 제 1 우측 결합면(216)의 하측이 돌출되게 형성될 수 있다. 반면, 상기 제 2 스틱 마스크(122)는 제 2 차단면(222)이 제 2 대향면(223)보다 작게 형성됨에 따라 제 2 좌측 결합면(225)과 제 2 우측 결합면(226)의 상측이 돌출되게 형성될 수 있다. 상기 제 2 스틱 마스크(122)는 상기 제 1 스틱 마스크(121)가 뒤집힌 듯한 형태로 형성되며, 이에 따라 상기 제 2 좌측 결합면(225)은 상기 제 1 우측 결합면(216)과 대응되는 형태가 되므로 상기 제 1 우측 결합면(216)에 끼워 맞춰지게 된다. 따라서, 상기 제 1 및 제 2 스틱 마스크(121, 122)는 각각의 결합면이 이격 공간 없이 접촉되도록 결합될 수 있다.
한편, 상기 제 1 및 제 2 스틱 마스크(121, 122) 각각은 복수로 형성되어 교대로 배치될 수 있다.
상기 좌측 결합면(215, 225) 및 상기 우측 결합면(216, 226)이 서로 동일한 형태로 형성되든지, 서로 대칭되게 형성되든지 관계 없이, 본 발명에 따른 스틱 마스크는 상기 좌측 결합면(215, 225) 및 상기 우측 결합면(216, 226) 각각이 상기 차단면(212, 222)과 경사를 이루도록 형성될 수 있고, 단턱을 이루도록 형성될 수도 있다. 이외에도, 증착 마스크(120)의 차단면(212, 222)과 대향면(213, 223)이 평행하게 대향될 수 있다면, 서로 접촉되는 복수의 스틱 마스크 각각의 결합면은 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상술한 본 발명에 따른 스틱 마스크는 Metal Sheet Wet Etching 방법으로 제조될 수 있으며, 특히 Half Etching, Half Laser Cutting 등의 방법으로 제조될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 유기물 증착 장치 110 : 챔버
120 : 증착 마스크 121 : 제 1 스틱 마스크
122 : 제 2 스틱 마스크 130 : 지지 프레임
140 : 증착 모듈 150 : 가압 수단
211, 221 : 제 1 및 제 2 베이스 플레이트
212, 222 : 제 1 및 제 2 차단면
213, 223 : 제 1 및 제 2 대향면
214, 224 : 제 1 및 제 2 통과부
215, 225 : 제 1 및 제 2 좌측 결합부
216, 226 : 제 1 및 제 2 우측 결합부

Claims (10)

  1. 공정 공간을 가지는 챔버;
    각각의 결합면이 상하로 중첩되게 배열된 복수의 스틱 마스크를 포함하는 증착 마스크;
    상기 증착 마스크를 지지하는 지지 프레임; 및
    상기 증착 마스크의 통과부를 통과하여 대상 기판에 증착되는 증착 물질을 분출시키는 증착 모듈을 포함하고,
    상기 복수의 스틱 마스크는 각각의 일면이 평면을 이루도록 서로 연결되어 증착 물질을 차단하는 증착 마스크의 차단부를 이루고, 각각의 타면이 상기 차단면에 평행한 평면을 이루도록 서로 연결되어 상기 대상 기판에 대향되는 증착 마스크의 대향부를 이루는 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 스틱 마스크 각각은 좌측 결합면과 우측 결합면의 형태가 서로 대칭되게 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 스틱 마스크는 제 1 스틱 마스크와 제 2 스틱 마스크를 포함하여 구성되고,
    상기 제 1 스틱 마스크는 상기 차단부를 구성하는 제 1 차단면의 폭이 상기 대향부를 구성하는 제 1 대향면의 폭보다 크게 형성되며,
    상기 제 2 스틱 마스크는 상기 차단부를 구성하는 제 2 차단면의 폭이 상기 대향부를 구성하는 제 2 대향면의 폭보다 작게 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 스틱 마스크는 상기 좌측 결합면 및 상기 우측 결합면이 상기 차단면과 경사를 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 스틱 마스크는 상기 좌측 및 우측 결합면 각각이 단턱을 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 스틱 마스크 각각은 복수로 형성되어 교대로 배치된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 스틱 마스크 각각은 좌측 결합면과 우측 결합면의 형태가 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 좌측 및 우측 결합면은 상기 차단면을 기준으로 일측으로 기울어진 경사를 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 박막 형성 장치.
  9. 몸체를 구성하는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 일면에 형성되어 증착 물질을 차단하는 차단면;
    상기 베이스 플레이트의 타면에 형성되어 대상 기판에 대향되는 대향면; 및
    상기 베이스 플레이트를 관통하도록 형성된 통과부를 포함하고,
    상기 차단면과 상기 대향면 각각은 서로 상이한 폭으로 형성된 것을 특징으로 하는 스틱 마스크.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트의 좌측에 형성된 좌측 결합면; 및
    상기 베이스 플레이트의 우측에 형성된 우측 결합면을 더 포함하고,
    상기 좌측 및 우측 결합면은 서로 대칭되게 형성된 것을 특징으로 하는 스틱 마스크.
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