KR101084194B1 - 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치 - Google Patents

Abstract

증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치을 개시한다. 본 발명은 복수의 증착 영역과, 증착 영역 사이에 형성되어서, 증착 영역을 구획하는 복수의 비증착 영역을 가지는 기판;과, 증착원과, 증착원의 전방에 배치된 제1 노즐과, 제1 노즐 어셈블리 전방에 배치된 적어도 하나 이상의 차단벽 어셈블리와, 차단벽 어셈블리와, 기판 사이에 배치된 제2 노즐을 가지는 박막 증착 장치;를 포함하되, 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판 사이에는 간격들이 형성되고, 간격들중 어느 한 간격에는 기판의 비증착 영역과 대응되는 위치에 적어도 하나 이상의 증착 가림막이 설치된 것으로서, 증착 가림막이 증착원과, 제1 노즐과, 차단벽 어셈블리와, 제2 노즐과, 기판 사이의 간격중 어느 한 가격에 설치되어 있으므로, 증착 동안 증착재가 기판상의 비증착 영역에 증착되는 것을 최소화시킬 수 있다.

Description

증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치{Apparatus for thin film deposition having deposition blades}

본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 증착재가 기판의 비증착 영역에 증착되지 않도록 구조가 개선된 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치에 관한 것이다.

통상적으로, 유기 발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형화가 용이하며, 시야각이 넓고, 응답 속도가 빠르다는 점에서 각광을 받고 있다.

유기 발광 디스플레이 장치는 애노우드와, 캐소우드와, 발광층을 구비하고, 애노우드와 캐소우드 사이에 주입되는 정공(hole)과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있는 구조를 가지고 있다.

그러나, 상기한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어려우므로, 유기 발광 디스플레이 장치는 애노우드, 캐소우드, 및 발광층 사이에 전자 주입층, 정공 수송층, 및 정공 주입층등의 중간층을 선택적으로 추가 삽입하고 있다.

그러나, 유기 발광 디스플레이 장치는 발광층과, 중간층등의 유기 박막의 미세 패턴을 형성하는 것이 실질적으로 매우 어렵고, 상기한 층 구조에 따라, 적색, 녹색, 및 청색의 발광 효율이 달라지므로, 종래의 박막 증착 장치로는 대면적의 마더 글래스(mother glass)에 대한 패터닝이 불가능하여 만족할만한 수준의 구동 전압, 전류 밀도, 휘도, 색 순도, 발광 효율 및 수명등을 가지는 대형 유기 발광 디스플레이 장치를 제조할 수 없어서, 이의 개선이 시급하다.

한편, 상술한 애노우드, 캐소우드, 발광층 및 중간층을 형성시키는 방법은 여러 가지 들 수 있는데, 이중 하나의 방법은 증착법이다. 증착 방법을 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 기판면에 형성될 박막과 대응되는 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, 이하, FMM)을 밀착시키고, 증착재를 이용하여 소망하는 패턴의 박막을 형성가능하다.

그러나, 종래의 FMM을 이용한 증착 방법은 FMM 크기가 기판 크기와 동일하게 형성되어야 하므로, 기판의 크기가 증가할수록 FMM도 대형화되어야 하는데, 이러한 크기의 FMM가 용이하지 않고, 대형 크기의 증착원을 개발해야 하고, FMM을 인장하여 정밀한 패턴으로 얼라인(align) 하기에도 용이하지 않다.

게다가, FMM을 이용한 증착 방법은 증착 효율이 낮다는 문제점이 있다. 이때, 증착 효율이라는 것은 증착원에서 기화된 증착재중 실제로 기판에 증착된 증착재의 비율을 의미하는 것으로서, 증착 효율은 대략 32% 이다. 더욱이, 종래의 FMM을 이용한 증착 방법에는 증착에 사용되지 않은 대략 68% 정도의 증착재가 박막 증착 장치 내부의 소망하지 않은 영역에 증착되기 때문에 재활용이 용이하지 않다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판상에 증착재의 증착이 용이하며, 증착 효율이 향상된 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 증착재가 기판의 증착되지 않을 영역에는 증착시키지 않는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따른 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치는,

복수의 증착 영역과, 상기 증착 영역 사이에 형성되어서, 상기 증착 영역을 구획하는 복수의 비증착 영역을 가지는 기판;과,

증착원과, 상기 증착원의 전방에 배치된 제1 노즐과, 상기 제1 노즐 어셈블리 전방에 배치된 적어도 하나 이상의 차단벽 어셈블리와, 상기 차단벽 어셈블리와, 기판 사이에 배치된 제2 노즐을 가지는 박막 증착 장치;를 포함하되,

상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판 사이에는 간격들이 형성되고,

상기 간격들중 어느 한 간격에는 상기 기판의 비증착 영역과 대응되는 위치에 적어도 하나 이상의 증착 가림막이 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 증착원은 상기 기판과 대향되는 곳에 위치하며, 기화되는 증착재가 수용되고,

상기 제1 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 복수의 제1 슬릿이 형성된 제1 노즐와, 상기 제1 노즐을 지지하는 제1 노즐 프레임을 포함하고,

상기 차단벽 어셈블리는 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 설치된 복수의 차단벽을 가지고,

상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 제2 슬릿이 형성된 제2 노즐와, 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 포함한다.

나아가, 상기 비증착 영역은 상기 기판의 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제1 방향을 따라 형성된 제1 비증착 영역과, 상기 제1 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제2 방향을 따라 형성된 제2 비증착 영역을 포함하고,

복수의 증착 가림막은 증착재의 증착시 상기 제1 비증착 영역과 대응되는 영역을 각각 커버한다.

게다가, 각각의 증착 가림막의 폭은 상기 제1 비증착 영역의 폭과 실질적으로 동일하다.

아울러, 상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 박막 증착 장치의 승강 운동시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버한다.

더욱이, 상기 증착 가림막은 증착재의 증착시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버하도록 형성된다.

또한, 상기 차단벽 어셈블리는 제1 노즐 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제1 차단벽 어셈블리와, 상기 제1 차단벽 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제2 차단벽 어셈블리를 포함하며,

상기 증착 가림막은 상기 제1 차단벽 어셈블리와, 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 설치된다.

또한, 상기 증착 가림막은 증착원과, 차단벽 어셈블리 사이의 간격에 설치된 다.

본 발명의 다른 측면에 따른 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치는,

기판상에 증착재를 증착시키는 박막 증착 장치에 관한 것으로서,

증착원과, 상기 증착원의 전방에 배치된 제1 노즐과, 상기 제1 노즐 어셈블리 전방에 배치된 적어도 하나 이상의 차단벽 어셈블리와, 상기 차단벽 어셈블리와 기판 사이에 배치된 제2 노즐을 가지는 박막 증착 장치;와,

상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판을 수용하는 진공 챔버;를 포함하되,

상기 진공 챔버에는 증착 가림막이 연결되고,

상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판 사이에는 간격들이 형성되어서,

증착 대기 모드시, 상기 박막 증착 장치가 승강 운동에 의하여 진공 챔버의 상부 또는 하부로 이동시에 상기 간격들중 어느 한 간격에 대하여 상기 증착 가림막이 선택적으로 위치하도록 결합된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 증착원은 상기 기판과 대향되는 곳에 위치하며, 기화되는 증착재가 수용되고,

상기 제1 노즐 어셈블리에는 상기 기판의 제1 방향을 따라 복수의 제1 슬릿이 형성된 제1 노즐을 포함하고,

상기 차단벽 어셈블리는 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 설치된 복수의 차단벽을 가지고,

상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 제2 슬릿이 형성된 제2 노즐을 포함한다.

게다가, 상기 증착 가림막은 상기 진공 챔버내의 상부에 고정되는 제1 증착 가림막과, 상기 박막 증착 장치를 사이에 두고, 상기 진공 챔버내의 하부에 고정되는 제2 증착 가림막을 포함한다.

아울러, 상기 차단벽 어셈블리는 제1 노즐 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제1 차단벽 어셈블리와, 상기 제1 차단벽 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제2 차단벽 어셈블리를 포함하되,

상기 증착 가림막은 진공 챔버의 상부 또는 하부에서 상기 제1 차단벽 어셈블리와, 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 위치한다.

더욱이, 상기 제1 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제1 차단벽을 포함하고, 각각의 제1 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,

상기 제2 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제2 차단벽을 포함하고, 각각의 제2 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,

상기 제1 차단벽과, 제2 차단벽은 기판에 대하여 나란하게 배치되어서, 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 형성된다.

나아가, 상기 증착 가림막은 진공 챔버의 상부 또는 하부에서 증착원과, 차단벽 어셈블리 사이의 간격에 위치한다.

또 다른 측면에 따른 본 발명은, 복수의 증착 영역과, 상기 증착 영역 사이에 형성되어 상기 증착 영역을 구획하는 복수의 비증착 영역을 가지는 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착 물질을 방사하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐; 및 상기 제1 노즐과 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐을 포함하고, 상기 증착원과 상기 제1 노즐 사이, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이, 및 상기 제2 노즐과 상기 기판 사이 중 적어도 하나에는 간격들이 형성되고, 상기 간격들 중 하나 이상의 간격에는 상기 기판의 비증착 영역과 대응되는 위치에 배치된 증착 가림막이 배치되며, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서 증착이 수행되는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치를 제공한다.

본 발명에 있어서, 상기 비증착 영역은, 상기 제1 방향을 따라 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제2 방향을 따라 형성된 제1 비증착 영역들과, 상기 제2 방향을 따라 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제1 방향을 따라 형성된 제2 비증착 영역들을 포함하고, 상기 증착 가림막들은 상기 증착 물질의 증착시 상기 제1 비증착 영역들과 대응되는 영역에 배치될 수 있다.

여기서, 상기 각각의 증착 가림막들의 폭은 상기 각각의 제1 비증착 영역의 폭과 실질적으로 동일할 수 있다.

여기서, 상기 증착 가림막들은 상기 증착 물질의 증착시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버하도록 형성될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 증착 가림막은 상기 기판과 상기 제2 노즐 사이의 간격에 설치될 수 있다.

여기서, 상기 증착 가림막의 두께는 상기 기판과 상기 제2 노즐 사이의 간격에 개재되도록 상기 간격보다 얇게 형성될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 진공 챔버 내부에 배치되고, 상기 진공 챔버에 상기 증착 가림막이 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가질 수 있다.

여기서, 증착 대기 모드시, 상기 박막 증착 장치가 이동하여 상기 진공 챔버의 일 측으로 이동시에 상기 간격들 중 어느 한 간격에 대하여 상기 증착 가림막이 선택적으로 위치하도록 상기 증착 가림막이 상기 진공 챔버에 연결될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 증착원 및 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트는 연결 부재에 의해 결합되어 일체로 형성될 수 있다.

여기서, 상기 연결 부재는 상기 증착 물질의 이동 경로를 가이드 할 수 있다.

여기서, 상기 연결 부재는 상기 증착원 및 상기 증착원 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 시트 사이의 공간을 외부로부터 밀폐하도록 형성될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 상기 기판과 소정 정도 이격되도록 형성될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서, 상기 기판상에 상기 증착 물질이 연속적으로 증착될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치의 상기 패터닝 슬릿 시트는 상기 기판보다 작게 형성될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 복수 개의 증착원 노즐들은 소정 각도 틸트 되도록 형성될 수 있다.

여기서, 상기 복수 개의 증착원 노즐들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 증착원 노즐들을 포함하며, 상기 두 열(列)의 증착원 노즐들은 서로 마주보는 방향으로 틸트될 수 있다.

여기서, 상기 복수 개의 증착원 노즐들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 증착원 노즐들을 포함하며, 상기 두 열(列)의 증착원 노즐들 중 제1 측에 배치된 증착원 노즐들은 패터닝 슬릿 시트의 제2 측 단부를 바라보도록 배치되고, 상기 두 열(列)의 증착원 노즐들 중 제2 측에 배치된 증착원 노즐들은 패터닝 슬릿 시트의 제1 측 단부를 바라보도록 배치될 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 증착 가림막이 증착원과, 제1 노즐과, 차단벽 어셈블리와, 제2 노즐과, 기판 사이의 간격중 어느 한 가격에 설치되어 있으므로, 증착 동안 증착재가 기판상의 비증착 영역에 증착되는 것을 최소화시킬 수 있다.

둘째, 증착 가림막이 증착 대기 모드시에 챔버내의 상측 또는 하측에서 증착원과, 제1 노즐과, 차단벽 어셈블리와, 제2 노즐과, 기판 사이의 간격중 어느 한 간격에 위치하므로, 하나의 기판이 증착된 다음에 다른 하나의 기판에 증착이 이루어지기 이전의 증착 대기 모드 상태에 있을시에도 증착원으로부터 지속적으로 방출되는 증착재가 노즐을 포함한 챔버내의 다른 영역에 누적되는 것을 최소화시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 분리 사시도,
도 2는 도 1의 박막 증착 장치의 측단면도이고,
도 3은 도 1의 박막 증착 장치의 평면도이고,
도 4는 도 1의 박막 증착 장치의 정면도이고,
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 측단면도이고,
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 측단면도이고,
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 측단면도.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도.
도 9는 도 8의 박막 증착 장치의 개략적인 측면도.
도 10은 도 8의 박막 증착 장치의 개략적인 평면도.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 박막 증착 장치를 나타내는 도면.
도 12는 본 발명에 따른 박막 증착 장치에서 증착원 노즐을 틸트시키지 아니하였을 때 기판에 증착된 증착막의 분포 형태를 개략적으로 나타내는 도면.
도 13은 본 발명에 따른 박막 증착 장치에서 증착원 노즐을 틸트시켰을 때 기판에 증착된 증착막의 분포 형태를 개략적으로 나타내는 도면.
도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 박막 증착 장치를 나타내는 도면.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막 증착 장치(100)를 도시한 분리 사시도이고, 도 2는 도 1의 박막 증착 장치(100)의 측단면도이고, 도 3은 도 1의 박막 증착 장치(100)의 평면도이고, 도 4는 도 1의 박막 증착 장치(100)의 정면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 박막 증착 장치(100)는 X 방향을 따라서 증착원(110)과, 상기 증착원(110)의 전방에 설치된 제1 노즐(120)과, 상기 제1 노즐(120)의 전방에 설치된 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)의 전방에 설치된 제2 차단벽 어셈블리(140)와, 상기 제2 차단벽 어셈블리(140)의 전방에 설치된 제2 노즐(150)과, 상기 제2 노즐(150)의 전방에 설치된 기판(160)을 포함한다.

상기 증착원(110)에는 내열 소재로 된 도가니(111)가 마련되어 있다 .상기 도가니(110)의 내부에는 상기 기판(160) 상에 증착시키기 위한 증착재(112)가 수용되어 있다. 상기 도가니(111)의 내표면에는 이의 내부에 채워진 상기 증착재(112)를 가열하여 기화시키기 위한 히터(113)가 설치되어 있다.

상기 증착원(110)의 전방, 즉, 상기 기판(160)과 대향되는 방향(X 방향)으로 상기 증착원(110)의 일측에는 제1 노즐(120)이 설치되어 있다. 상기 제1 노즐(120)에는 소정 간격 이격되게 복수의 제1 슬릿(121)이 형성되어 있다. 상기 제1 슬릿(121)은 상기 기판(160)의 제1 방향(Y 방향)을 따라 배치되어 있다. 상기 제1 슬릿(121)은 서로 동일한 간격을 유지하면서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 증착원(110)로부터 기화된 증착재(112)는 상기 제1 슬릿(121)을 통하여 기판(160)을 향하여 진행가능하다.

상기 제1 노즐(120)의 전방에는 제1 차단벽 어셈블리(130)가 배치되어 있다. 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)는 복수의 제1 차단벽(131)을 포함한다. 복수의 제1 차단벽(131)은 기판(160)의 제1 방향(Y 방향)을 따라서 소정 간격 이격되게 배치되며, 서로 동일한 간격을 유지하는 것이 바람직하다. 각각의 제1 차단벽(131)은 평판형으로서, XZ 평면과 나란하게 제1 방향에 대하여 교차하는 방향인 제2 방향으로 배치되어 있다.

이때, 각각의 제1 차단벽(131)은 서로 인접하게 형성된 제1 슬릿(121) 사이에 배치되어 있다. 즉, 서로 인접하게 배치된 한 쌍의 제1 차단벽(131) 사이에는 하나의 제1 슬릿(121)이 위치한다고 볼 수 있다. 상기 제1 슬릿(121)은 한 쌍의 제1 차단벽(131) 사이에서 제1 노즐(120)의 정중앙에 위치하는 것이 바람직하다.

복수의 제1 차단벽(131)의 외곽으로는 제1 차단벽 프레임(132)이 배치되어있다. 상기 제1 차단벽 프레임(132)은 복수의 제1 차단벽(131)의 상부쪽 및 하부쪽에 각각 배치되어서, 복수의 차단막(131)을 지지하고 있다.

상기 제1 차단벽 어셈블리(1301)의 전방으로 제2 차단벽 어셈블리(140)가 나란하게 배치되어 있다. 상기 제2 차단벽 어셈블리(140)는 복수의 제2 차단벽(141)을 포함한다. 복수의 제2 차단벽(141)은 기판(160)의 제1 방향을 따라서 소정 간격 이격되게 배치되어 있으며, 서로 동일한 간격을 유지하는 것이 바람직하다. 각각의 제2 차단벽(141)은 평판형으로서, XZ 평면과 나란하게 제1 방향에 대하여 교차하는 방향인 제2 방향으로 배치되어 있다.

각각의 제2 차단벽(141)은 제2 노즐(150)과의 정밀한 얼라인이 요구되므로, 각각의 차단벽(141)보다 상대적으로 얇게 형성되는 것이 바람직하다. 반면에, 정밀한 얼라인이 요구되지 않는 각각의 제1 차단벽(131)은 상대적으로 두껍게 형성하여서, 그 제조가 용이하다고 할 수 있다.

복수의 제2 차단벽(141)의 외곽으로는 제2 차단벽 프레임(142)이 배치되어 있다. 상기 제2 차단벽 프레임(142)은 복수의 제2 차단벽(141)의 상부쪽 및 하부쪽에 각각 배치되어서, 복수의 제2 차단벽(141)을 지지하고 있다.

이때, 각각의 제2 차단벽(141)은 각각의 제1 차단벽(131)과 서로 대응하도록 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 각각의 제2 차단벽(141)은 각각의 제1 차단벽(131)과 얼라인시에 X 방향으로 일직선상에 배치될 수 있다. 서로 대응되는 제1 차단벽(131)과, 제2 차단벽(141)은 동일한 평면상에서 기판(160)의 제1 방향에 대하여 교차하는 방향인 제2 방향으로 일직선상에 나란하게 배치되는 것에 의하여 제1 노즐(120) 및 제2 노즐(150) 사이의 공간을 구획하게 된다.

이에 따라, 하나의 제1 슬릿(121)로부터 방출되는 증착재(112)는 인접한 다른 슬릿(21)에서 방출되는 증착재(112)와 혼합되지 않고, 후술하는 제2 노즐(150)의 제2 슬릿(151)을 통과하여 기판(160)에 증착되는 것이 가능하다.

이처럼, 본원의 박막 증착 장치(100)는 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)를 이용하여 증착 공간을 외부 공간과 분리가능하게 설치하므로, 기판(160)에 증착되지 않은 증착재(120)는 대부분 제1 차단벽 어셈블리(130) 내에 증착되고, 나머지 일부분은 제2 차단벽 어셈블리(140) 내에 증착된다. 따라서, 장시간 증착 이후에, 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)에 증착재(120)가 누적되면, 이를 박막 증착 장치(100)로부터 분리한 이후에, 별도의 증착재 재활용 장치에 넣어서 증착재(120)를 회수할 수 있다.

또한, 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)는 서로 소정 간격 이격되도록 형성되어 있다.

상기와 같이 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)를 서로 이격시키는 이유는 복수의 제2 차단벽(141)과 제2 노즐(150)은 상호간에 정밀한 얼라인이 요구되지만, 복수의 제1 차단벽(131)에 대한 복수의 제2 차단벽(141)은 높은 정밀도를 요구하지 않기 때문이다. 따라서, 고정밀 제어가 요구되는 부분과, 그렇지 않은 부분을 분리함으로써, 고정밀 제어 작업이 용이해지기 위해서이다.

게다가, 고온 상태의 증착원(110)에 의하여 제1 차단벽 어셈블리(130)의 온도는 최대 100℃ 이상 상승하므로, 상승된 제1 차단벽 어셈블리(130)의 온도가 제2 차단벽 어셈블리(140) 및 제2 노즐(150)로 전도되지 않기 위하여 제1 차단벽 어셈블리(130)에 대하여 제2 차단벽 어셈블리(140)를 분리하게 된다.

이외에도, 제1 차단벽 어셈블리(130)에 증착된 증착재(112)는 주로 재활용하고, 제2 차단벽 어셈블리(140) 및 제2 노즐(150)에 증착된 증착재(112)는 재활용을 하지 않을 수 있다. 이에 따라, 제1 차단벽 어셈블리(130)이 제2 차단벽 어셈블리(140) 및 제2 노즐(150)과 분리되면 증착재(112)의 재활용 작업이 용이해지는 효과를 얻을 수 있다.

상기 제2 차단벽 어셈블리(140)와, 기판(160) 사이에는 제2 노즐(150)이 설치되어 있다. 상기 제2 노즐(150)에는 소정 간격 이격되게 복수의 제2 슬릿(151)이 설치되어있다. 상기 제2 슬릿(151)은 상기 기판(160)의 제1 방향을 따라 배치된다. 상기 제2 슬릿(151)은 서로 동일한 간격을 유지하면서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 제2 노즐(150)의 외곽에는 이를 지지하는 제2 노즐 프레임(152)이 더 설치될 수 있다.

이때, 제1 노즐(120)의 제1 슬릿(121)의 총 개수보다 제2 노즐(150)의 제2 슬릿(151)의 총 개수가 더 많다. 또한, 서로 인접하게 배치된 한 쌍의 제1 차단벽(131)과, 한 쌍의 제2 차단벽(141) 사이에 형성되는 제1 슬릿(121)의 개수보다 제2 슬릿(151)의 개수가 더 많다.

본 실시예에서는 한 쌍의 제1 차단벽(131) 및 한 쌍의 제2 차단벽(141) 사이에 형성된 하나의 제1 슬릿(121)에 대하여 세 개의 제2 슬릿(151)이 형성된 것으로 도시되어 있지만, 제1 슬릿(121)의 개수에 대한 제2 슬릿(151) 개수의 비율은 다양하게 변형가능하다.

상기 제2 노즐(150)은 기판(160)에 대하여 소정 간격 이격되게 배치되는 것이 바람직하다. 이것은 서로간의 접촉으로 인한 불량을 해소할 수 있으며, 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)를 구비하고 있으므로, 기판(160)에 생성되는 음영(shadow)이 작아지게 됨으로써 실현 가능하다.

또한, 상기 박막 증착 장치(100)는 챔버 내에서 Z 방향으로 기판(160)에 대하여 상대적으로 상하 이동하면서 증착이 이루어지는데, 상기와 같은 이유로 기판(160)의 제1 방향으로는 제2 노즐(150)이 후술될 기판(160)상의 하나의 증착 영역을 커버할 수 있는 크기로 형성되는 반면에, 기판(160)의 제2 방향으로는 상기 제2 노즐(150)이 상기 하나의 증착 영역의 크기보다 작게 형성할 수 있다.

상기 기판(160)은 평판 표시 장치용 기판으로서, 다수의 평판 표시 장치를 동시에 형성할 수 있도록 복수의 증착 영역을 가지는 마더 글래스와 같은 대면적 의 기판을 적용하는 것이 바람직하다. 상기 기판(160)은 제1 노즐(120)과, 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)와, 제2 노즐(150)을 사이에 두고, 상기 증착원(110)이 배치된 곳에 대하여 X 방향으로 반대되는 측에 배치되어 있다.

한편, 상기 증착원(110), 제1 노즐(120), 제1 차단벽 어셈블리(130), 제2 차단벽 어셈블리(140), 제2 노즐(150), 기판(160)을 포함한 박막 증착 장치(100)는 증착되는 증착재의 직진성을 확보하기 위하여 적절한 진공도를 유지한 진공 챔버(도 6 참조, 1000) 내에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140), 제2 노즐(150)의 온도는 증착원(110)의 온도보다 예컨대 약 100℃보다 낮아야 제1 노즐(120)과, 제2 노즐(150) 사이의 공간을 고진공 상태로 유지할 수 있다.

상기와 같이, 제1 차단벽 어셈블리(130), 제2 차단벽 어셈블리(140), 제2 노즐(150)의 온도가 충분히 낮으면, 소망하지 않는 방향으로 방출되는 증착재(112)는 대부분 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)에 흡착되어서 고진공을 유지할 수 있다. 그러므로, 증착재(112)간의 충돌이 발생하지 않아서 증착재(112)의 직진성을 확보할 수 있다.

여기서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판(160)은 다수의 평판 표시 장치를 하나의 대형 기판에서 동시에 제조할 수 있도록 다수의 증착 영역(401 내지 406)이 형성되어 있다. 각각의 증착 영역(401 내지 406)은 각각의 평판 표시 장치에 대응된다고 볼 수 있다.

상기 다수의 증착 영역(401 내지 406)은 기판(160)의 전체 영역에 걸쳐서 소정 간격 이격되게 배치되어 있으며, 상기 증착원(110)으로부터 방출되는 증착재(112)가 증착되는 영역이다. 본 실시예에서는 상기 증착 영역(401 내지 406)이 6개로 도시되어 있지만, 기판(160)의 크기에 따라 이보다 많거나 작게 형성시킬 수 있을 것이다.

다수의 증착 영역(401 내지 406)의 가장자리 영역은 비증착 영역(407)(408)이다. 상기 비증착 영역(407)(408)은 증착재(112)가 증착되지 않는 영역으로서, 기판(160)의 제1 방향으로 형성되는 제1 비증착 영역(407)과, 기판(160)의 제2 방향으로 형성되는 제2 비증착 영역(408)을 포함한다.

즉, 상기 제1 비증착 영역(407)은 상기 제1 기판(160)의 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역(401 내지 406) 사이의 공간을 구획하도록 기판(160)의 제1 방향을 따라 형성된다. 상기 제2 비증착 영역(408)은 상기 제1 기판(160)의 제1 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역(401 내지 406) 사이의 공간을 구획하도록 기판(160)의 제2 방향을 따라 형성된다. 상기 제1 비증착 영역(407)과, 제2 비증착 영역(408)은 서로 연결되어 있으며, 창살 형상을 유지하고 있다.

이처럼, 상기 기판(106)의 제1 방향을 따라 이격되게 형성된 제1 비증착 영역(407)과, 기판(106)의 제2 방향을 따라 이격되게 형성된 제2 비증착 영역(408)이 서로 연결되어 있으므로, 각각의 증착 영역(401 내지 406)은 상기 제1 비증착 영역(407)과, 제2 비증착 영역(408)이 둘러싸는 것에 의하여 서로 접촉하지 않고, 독립적으로 배치되어 있다.

한편, 상기 기판(160) 상에는 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 일정한 간격(g)을 유지하고, 이와 동시에, 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 정밀 얼라인의 기준이 되는 포지셔닝 마크(positioning mark, 409)가 형성되어 있다. 본 실시예에서는 상기 포지셔닝 마크(409)가 기판(160) 상의 좌측 가장자리 부분과, 중앙 부분과, 우측 가장자리 부분의 세 영역에 형성되어 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 기판(160)의 양 측으로는 레일(451)이 설치되어 있다. 상기 레일(451)에는 베이스 프레임(452)이 결합되어 있다. 상기 베이스 프레임(452)은 구동 모우터의 구동력에 의하여 레일(451)을 따라 Z축 방향으로 승강운동가능하다.

상기 베이스 프레임(452) 상에는 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 일정한 간격을 유지하고, 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 정밀한 얼라인을 위한 구성 요소들, 예컨대, 제2 노즐(150), 제2 노즐 프레임(152), 트레이(453), 간격 제어부, 얼라인 제어부가 배치되어 있다.

즉, 상기 베이스 프레임(452)에는 트레이(453)가 결합되어 있다. 상기 트레이(453) 내측으로는 상기 제2 노즐 프레임(152)이 착탈가능하도록 결합되어 있다. 상기 트레이(453)와, 제2 노즐 프레임(152) 사이에는 간격 제어부가 배치되고, 베이스 프레임(452)과 트레이(453) 사이에는 얼라인 제어부가 배치되어 있다.

상기 트레이(453)는 제2 노즐 프레임(152)이 Y축 방향 및 Z축 방향으로 움직이지 않도록 고정시키며, 반면에, X축 방향으로 일정 정도 이동가능하도록 결합되어 있다. 즉, X축 방향에서의 기판(160)과 제2 노즐(150) 간의 간격 제어는 트레이(453)를 기준으로 제2 노즐 프레임(152)을 이동시킴으로써 가능하다.

상기 트레이(453)는 얼라인 조절 액튜에이터(454)를 이용하여, 베이스 프레임(452)에 대하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동가능하다. 반면에, 상기 트레이(453)는 X축 방향으로 고정되어 있어야 한다. 이처럼, YZ 평면상에서의 제2 노즐(150)과 기판(160)의 정밀 얼라인은 베이스 프레임(451)을 기준으로 트레이(453)를 이동시킴으로써 가능하다.

간격 제어부는 복수의 간격 조절 액튜에이터(455)와, 복수의 간격 조절 센서(456)를 포함한다. 상기 간격 조절 액튜에이터(455)는 트레이(453)와, 제2 노즐 프레임(152) 사이에 설치되며, 상기 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 간격을 제어한다. 상기 간격 조절 센서(456)는 제2 노즐 프레임(152) 상에 설치되며, 상기 제2 노즐 프레임(152)과 기판(160) 사이의 간격을 측정하는 역할을 수행한다. 상기 간격 조절 센서(456)는 기판(160) 상의 포지셔닝 마크(409)를 이용하여 제2 노즐 프레임(152)과 기판(160) 사이의 간격을 측정할 수 있다.

얼라인 제어부는 복수의 얼라인 조절 액튜에이터(454)와, 복수의 얼라인 조절 센서(457)를 포함한다. 상기 얼라인 조절 액튜에이터(454)는 베이스 프레임(452)과, 트레이(453) 사이에 설치될 수 있으며, 기판(160)에 대한 트레이(453) 및 트레이(453)에 배치된 제2 노즐(150)의 회전각을 조절함으로써, 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 얼라인을 제어하는 역할을 한다. 얼라인 조절 센서(457)는 제2 노즐 프레임(152) 상에 설치되며, 제2 노즐 프레임(152)과 기판(160)이 정렬되었는지 여부를 측정하는 역할을 수행한다. 상기 얼라인 조절 센서(457)는 기판(160)상의 포지셔닝 마크(409)를 이용하여 제2 노즐 프레임(152)과 기판(160) 사이의 얼라인 여부를 측정하는 것이 가능하다.

이때, 상기 기판(160) 상에 증착재(112)를 증착시, 상기 증착재(112)가 증착되는 영역인 각각의 증착 영역(401 내지 406)에만 증착시키고, 상기 증착재(112)가 증착되지 않는 영역인 제1 비증착 영역(407)과, 제2 비증착 영역(408)에는 증착되지 않도록 오픈 마스크(open mask, 미도시)를 이용할 수 있다.

오픈 마스크는 각각의 증착 영역(401 내지 406)과 대응되는 영역에는 개구가 형성되고, 제1 비증착 영역(407)과, 제2 비증착 영역(408)과 대응되는 영역에는 개구가 형성되지 않은 형상을 가지고 있으며, 이를 제2 노즐(150)과 대향되는 기판(160) 상에 위치시킨 상태에서 증착 공정을 수행하게 된다.

그런데, 오픈 마스크를 사용할 경우에는 이의 존재로 인하여 제2 노즐(150)과 기판(160) 사이의 간격(g)을 소망하는 일정한 간격, 예컨대, 100 마이크로미터로 미세하게 조절하는게 용이하지 않다.

이에 따라, 본 실시예에서는 오픈 마스크 대신에 증착원(110)과, 제1 노즐 어셈블리(120)와, 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)와, 제2 노즐 어셈블리(150)와, 기판(160) 사이의 간격중 어느 하나의 간격에는 복수의 증착 가림막(170)을 설치하게 된다.

보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 증착 가림막(170)은 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이의 간격(d1)에 설치되어 있다. 이를 위하여, 상기 증착 가림막(170)의 두께(t1)는 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이의 간격(d1)에 개재되도록 상기 간격(d1)보다 얇게 형성되어 있다. 상기 증착 가림막(170)은 박형의 금속재로 이루어지는 것이 바람직하나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 증착 가림막(170)은 기판(160)의 제2 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역(401 내지 406) 사이의 공간을 구획하는 제1 비증착 영역(407)과 대응되는 영역을 커버 가능하게 각각 형성되어 있다. 즉, 상기 증착 가림막(170)은 기판(160)의 제1 방향으로 각각 배치가능하다.

상기 증착 가림막(170)은 상기 기판(160) 상에 형성된 모든 제1 비증착 영역(407)이 형성되는 영역을 다같이 커버할 수 있도록 제1 내지 제 n개의 증착막을 포함한다. 본 실시예에서는 3개의 증착 가림막(171, 172, 173)을 가지고 있지만, 상기 증착 가림막(170)은 상기 기판(160)에 형성되는 제1 비증착 영역(407)에 따라 그 개수가 정해진다.

각각의 증착 가림막(171, 172, 173)의 폭(W)은 상기 제1 비증착 영역(407)을 완전히 커버할 수 있도록 제1 비증착 영역(407)의 폭과 실질적으로 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 각각의 증착 가림막(171, 172, 173)의 길이(ℓ1)는 상기 기판(160)의 제1 방향의 길이(ℓ2)보다 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이에 따른 각각의 증착 가림막(171, 172, 173)은 스트립 형상의 평판 구조를 이루고 있다.

반면에, 상기 증착 가림막(170)은 기판(160)의 제1 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역(401 내지 406) 사이의 공간을 구획하는 제2 비증착 영역(408)과 대응되는 영역은 커버하지 않는다. 즉, 상기 증착 가림막(170)은 기판(160)의 제2 방향으로 배치되지 않는다.

상기 증착 가림막(170)이 기판(160)의 제2 방향으로 설치되지 않은 것은 증착 공정중에는 승강 운동을 하는 제2 노즐(150)이 설치된 제2 노즐 프레임(152)으로 인하여 증착원(111)으로부터 기화된 증착재(112)가 기판(160)의 제2 비증착 영역(408)에 증착되는 것을 차단할 수 있기 때문이다. 즉, 상기 제2 노즐(150)이 설치된 제2 노즐 프레임(152)이 제2 비증착 영역(408)과 대응되는 영역을 커버한다.

대안으로는, 상기 증착 가림막(170)은 기판(160)의 제1 방향으로 각각 배치될 뿐만 아니라, 기판(160)의 제2 방향으로 선택적으로 더 설치될 수 있으며, 기판(160)의 제1 방향 및 제2 방향으로 위치한 복수의 증착 가림막이 서로 연결되거나, 독립적으로 설치될 수 있는등 상기 기판(160)의 증착 영역(401 내지 406)을 제외한 비증착 영역(407)(408)을 커버하는 구조라면 어느 하나의 구조에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 증착 가림막(170)은 진공 챔버 내부에 설치된 별도의 프레임(미도시)에 결합되어 그 위치를 정하거나, 제1 차단벽 어셈블리(130) 및 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이의 간격에 위치하면서, 상기 박막 증착 장치(100)와 동시에 승강 운동하면서 제2 노즐(150)이 설치된 제2 노즐 프레임(152)과 함께 비증착 영역(407)(408)을 커버할 수 있는등 어느 하나의 구조에 한정되는 것은 아니다.

상기와 같은 구조를 가지는 박막 증착 장치(170)의 증착되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 증착원(111)으로부터 기화되는 증착재(112)가 제1 노즐(121)의 제1 슬릿(121)을 통하여 방출되어서, 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)에 의하여 구획된 공간을 통하여 진행하게 된다. 이어서, 상기 증착재(112)는 제2 노즐(150)의 제2 슬릿(151)을 통하여 기판(160)의 소망하는 증착 영역(401 내지 406)에 증착가능하다.

상기 제1 노즐(120)과, 제2 노즐(150) 사이의 공간은 제1 차단벽(131)과, 제2 차단벽(141)에 의하여 각각의 공간으로 구획되어 있으므로, 제1 노즐(120)의 제1 슬릿(121)을 통하여 방출되는 증착재(112)는 인접하는 다른 제1 슬릿(121)로부터 방출되는 증착재(112)와는 서로 혼합되지 않는다.

상기 제1 노즐(120)과, 제2 노즐(150) 사이의 공간이 제1 차단벽(131)과, 제2 차단벽(141)에 의하여 구획되어 있을 경우에는 증착재(112)는 거의 수직에 가까운 각도로 제2 노즐(150)을 통하여 기판(160)에 증착된다.

이때, 상기 증착재(112)는 상기 제1 차단벽 어셈블리(130)와 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이의 간격에 설치된 각각의 증착 가림막(171, 172, 173)으로 인하여 기판(160)의 제1 방향을 따라 이격되게 형성된 제1 비증착 영역(407)에는 증착이 되지 않으며, 승강 운동하는 제2 노즐(150)이 설치된 제2 노즐 프레임(152)에 의하여 기판(160)의 제2 방향을 따라 형성된 제2 비증착 영역(408)으로 증착이 되지 않는다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막 증착 장치(500)를 도시한 것이다.

이하, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 부재는 동일한 기능을 하는 동일한 구성 요소를 가리키므로, 동일한 구성요소에 대한 설명은 생략하고, 각각의 실시예에서 특징적인 부분만을 발췌하여 설명하기로 한다.

도면을 참조하면, 상기 박막 증착 장치(500)에는 증착 가림막(570)이 설치되어 있다.

상기 증착 가림막(570)은 증착원(110)과, 제1 차단벽 어셈블리(130) 사이의 간격(d2)에 설치되어 있다. 이를 위하여, 상기 증착 가림막(570)의 두께(t2)는 상기 증착원(110)과, 제1 차단벽 어셈블리(130) 사이의 간격(d2)에 개재되도록 상기 간격(d2)보다 얇게 형성되어 있다. 상기 증착 가림막(570)은 박형의 금속재로 이루어지나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 증착 가림막(570)은 상술한 바 있는 기판(160) 상에 형성된 복수의 증착 영역 둘레에 형성된 비증착 영역과 대응되는 위치에 설치된다. 상기 증착 가림막(570)은 진공 챔버 내부에 별도의 프레임(미도시)에 결합되는 것에 의하여 그 위치를 정하거나, 승강 운동하는 박막 증착 장치(500)내에 설치되어서 이와 함께 이동가능하다.

이때, 각각의 증착 가림막(571 내지 573)은 상기 기판(160)의 제1 방향으로 각각 배치되어서, 기판(160)의 제2 방향으로 인접하게 배열된 복수의 증착 영역 사이의 공간을 구획하는 제1 비증착 영역을 커버 가능하다.

반면에, 상기 증착 가림막(570)은 기판(160)의 제2 방향으로는 배치되지 않는다. 상기 기판(160)의 제1 방향으로 인접하게 배열된 복수의 증착 영역 사이의 공간을 구획하는 제2 비증착 영역은 승강 운동하는 제2 노즐(150)이 설치된 제2 노즐 프레임(152)으로 인하여 차단가능하기 때문에 반드시 설치할 필요가 없다.

대안으로는, 상기 증착 가림막(570)은 기판(160)의 제1 방향과, 이와 교차하는 제2 방향으로 각각 설치될 수 있는 등, 기판(160)의 전체 비증착 영역을 커버하는 구조라면 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.

도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 박막 증착 장치(600)를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 박막 증착 장치(600)는 증착원(110), 제1 노즐(120), 제1 차단벽 어셈블리(130), 제2 차단벽 어셈블리(140), 제2 노즐(150), 기판(160)을 포함한다. 상기 박막 증착 장치(600)는 증착원(111)으로부터 기화된 증착재(112)의 직진성을 확보하기 위하여 적절한 진공도를 유지하고 있는 진공 챔버(1000) 내에 설치되어 있다.

여기서, 상기 박막 증착 장치(600)는 한번 가동을 시작하면 증착재(112), 예컨대, 유기물의 변성을 방지하기 위하여 증착원(110)을 수시로 끄거나 켜지 않고, 상기 증착재(112)가 다 소진될 때까지 계속 일정한 온도를 유지해야 한다.

이럴 경우, 상기 박막 증착 장치(600)가 상기 기판(160)에 증착하고 난 다음, 다른 기판에 증착이 이루어지기 전 상태인 증착 대기 모드시에도 제2 노즐(150)을 통하여 증착재(112)가 계속적으로 진공 챔버(1000) 내로 방출되고, 이로 인하여 제2 노즐(150)에 증착재(112)가 누적되므로, 이를 차단할 필요가 있다.

이를 위하여, 진공 챔버(1000)내의 상부(1010)에는 제1 증착 가림막(671)이 설치되어 있으며, 하부(1020)에는 제2 증착 가림막(672)이 설치되어 있다. 상기 제1 증착 가림막(671)과, 제2 증착 가림막(672)은 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이의 간격(d1)과 대응되는 위치에 고정되어 있다. 상기 제1 증착 가림막(671)과, 제2 증착 가림막(672)의 각각의 두께(t1)는 상기 간격(d1)보다 얇게 형성되어 있다.

이처럼, 상기 제1 증착 가림막(671)과, 제2 증착 가림막(672)이 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140) 사이에 개재되면, 증착원(110)에서 배출된 증착재(112)가 제2 노즐(150)을 포함하여 진공 챔버(1000) 내의 다른 영역에 달라붙는 것을 최소화시킬 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 박막 증착 장치(600)는 하나의 기판(160)에 대하여 증착이 완료된 이후에는 증착 대기 모드로 전환하게 된다. 이에 따라, 상기 박막 증착 장치(600)는 진공 챔버(1000)의 위쪽 방향이나, 아래쪽 방향으로 이동하게 된다.

그러나, 증착 대기 모드시에도, 상기 증착원(110)으로부터 증착재(112)의 증발은 계속 진행중이다. 이에 따라, 증착재(112)는 제2 노즐(150)에 계속적으로 축적된다. 이로 인하여, 제2 노즐(150)의 패턴 폭이 감소하게 되므로, 이의 교체 주기가 빨라질 수 밖에 없다.

이때, 진공 챔버(1000)내의 상부(1010) 또는 하부(1020)에서는 이동된 제1 차단벽 어셈블리(130)와, 제2 차단벽 어셈블리(140)가 제1 증착 가림막(671) 또는 제2 증착 가림막(672) 사이에 위치하게 되므로, 방출되는 증착재(112)는 제1 증착 가림막(671) 또는 제2 증착 가림막(672)의 표면에 부착하게 된다. 따라서, 상기 증착재(112)가 제2 노즐(150)에 축적되는 것을 최소화시킬 수 있다.

도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 박막 증착 장치(700)를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 진공 증착(1000)내의 상부(1010)에는 제1 증착 가림막(771)이 설치되어 있으며, 하부(1020)에는 제2 증착 가림막(772)이 설치되어 있다.

이때, 상기 제1 증착 가림막(771)과, 제2 증착 가림막(772)은 증착원(110)과, 제1 차단벽 어셈블리(130) 사이의 간격(d2)에 설치되어 있다. 상기 제1 증착 가림막(771)와, 제2 증착 가림막(772)의 각각의 두께(t2)는 상기 간격(d2)보다 얇게 형성되어 있다.

이처럼, 상기 제1 증락 가림막(771)과, 제2 증착 가림막(772)이 증착원(110)과, 제1 차단벽 어셈블리(130) 사이에 개재되면, 증착원(110)에서 배출된 증착재(112)가 제2 노즐(150)을 포함하여 진공 챔버(1000) 내의 다른 영역에 달라붙는 것을 최소화시킬 수 있다.

이하에서는, 본 발명에 관한 박막 증착 장치의 제5 실시예에 대하여 설명한다. 본 발명의 제 실시예는 차단벽 어셈블리를 구비하지 아니한다는 점에서 제1 실시예와 특징적으로 구별된다.

도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 9는 도 8의 박막 증착 장치의 개략적인 측면도이고, 도 10은 도 8의 박막 증착 장치의 개략적인 평면도이다.

도 8, 도 9 및 도 10을 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 관한 박막 증착 장치(900)는 증착원(910), 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)을 포함한다.

여기서, 도 8, 도 9 및 도 10에는 설명의 편의를 위해 챔버를 도시하지 않았지만, 도 8 내지 도 10의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 챔버 내에 배치되는 것이 바람직하다. 이는 증착 물질의 직진성을 확보하기 위함이다.

상세히, 증착원(910)에서 방출된 증착 물질(915)이 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)을 통과하여 기판(400)에 원하는 패턴으로 증착되게 하려면, 기본적으로 챔버(미도시) 내부는 FMM 증착 방법과 동일한 고진공 상태를 유지해야 한다. 또한 제2 노즐(950)의 온도가 증착원(910) 온도보다 충분히 낮아야(약 100°이하) 한다. 왜냐하면, 제2 노즐(950)의 온도가 충분히 낮아야만 온도에 의한 제2 노즐(950)의 열팽창 문제를 최소화할 수 있기 때문이다.

이러한 챔버(미도시) 내에는 피 증착체인 기판(400)이 배치된다. 상기 기판(400)은 평판 표시장치용 기판이 될 수 있는데, 다수의 평판 표시장치를 형성할 수 있는 마더 글라스(mother glass)와 같은 대면적 기판이 적용될 수 있다.

여기서, 본 발명의 제5 실시예에서는, 기판(400)이 박막 증착 장치(900)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착이 진행되는 것을 일 특징으로 한다.

상세히, 기존 FMM 증착 방법에서는 FMM 크기가 기판 크기와 동일하게 형성되어야 한다. 따라서, 기판 사이즈가 증가할수록 FMM도 대형화되어야 하며, 이로 인해 FMM 제작이 용이하지 않고, FMM을 인장하여 정밀한 패턴으로 얼라인(align) 하기도 용이하지 않다는 문제점이 존재하였다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 제5 실시예에 관한 박막 증착 장치(900)는, 박막 증착 장치(900)와 기판(400)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어지는 것을 일 특징으로 한다. 다시 말하면, 박막 증착 장치(900)와 마주보도록 배치된 기판(400)이 Y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로 증착을 수행하게 된다. 즉, 기판(400)이 도 8의 화살표 A 방향으로 이동하면서 스캐닝(scanning) 방식으로 증착이 수행되는 것이다. 여기서, 도면에는 기판(400)이 챔버(미도시) 내에서 Y축 방향으로 이동하면서 증착이 이루어지는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 기판(400)은 고정되어 있고 박막 증착 장치(900) 자체가 Y축 방향으로 이동하면서 증착을 수행하는 것도 가능하다 할 것이다.

따라서, 본 발명의 박막 증착 장치(900)에서는 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 제2 노즐(950)을 만들 수 있다. 즉, 본 발명의 박막 증착 장치(900)의 경우, 기판(400)이 Y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로, 즉 스캐닝(scanning) 방식으로 증착을 수행하기 때문에, 제2 노즐(950)의 X축 방향 및 Y축 방향의 길이는 기판(400)의 길이보다 훨씬 작게 형성될 수 있는 것이다. 이와 같이, 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 제2 노즐(950)을 만들 수 있기 때문에, 본 발명의 제2 노즐(950)은 그 제조가 용이하다. 즉, 제2 노즐(950)의 에칭 작업이나, 그 이후의 정밀 인장 및 용접 작업, 이동 및 세정 작업 등 모든 공정에서, 작은 크기의 제2 노즐(950)가 FMM 증착 방법에 비해 유리하다. 또한, 이는 디스플레이 장치가 대형화될수록 더욱 유리하게 된다.

이와 같이, 박막 증착 장치(900)와 기판(400)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어지기 위해서는, 박막 증착 장치(900)와 기판(400)이 일정 정도 이격되는 것이 바람직하다. 이에 대하여는 뒤에서 상세히 기술하기로 한다.

한편, 챔버 내에서 상기 기판(400)과 대향하는 측에는, 증착 물질(915)이 수납 및 가열되는 증착원(910)이 배치된다. 상기 증착원(910) 내에 수납되어 있는 증착 물질(915)이 기화됨에 따라 기판(400)에 증착이 이루어진다.

상세히, 증착원(910)은 그 내부에 증착 물질(915)이 채워지는 도가니(911)와, 도가니(911)를 가열시켜 도가니(911) 내부에 채워진 증착 물질(915)을 도가니(911)의 일 측, 상세하게는 제1 노즐(920) 측으로 증발시키기 위한 히터(912)를 포함한다.

증착원(910)의 일 측, 상세하게는 증착원(910)에서 기판(400)을 향하는 측에는 제1 노즐(920)이 배치된다. 그리고, 제1 노즐(920)에는, Y축 방향 즉 기판(400)의 스캔 방향을 따라서 복수 개의 제1 슬릿(921)들이 형성된다. 여기서, 상기 복수 개의 제1 슬릿(921)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(910) 내에서 기화된 증착 물질(915)은 이와 같은 제1 노즐(920)을 통과하여 피 증착체인 기판(400) 쪽으로 향하게 되는 것이다. 이와 같이, 제1 노즐(920) 상에 Y축 방향 즉 기판(400)의 스캔 방향을 따라서 복수 개의 제1 슬릿(921)들이 형성할 경우, 제2 노즐(950)의 각각의 제2 슬릿(951)들을 통과하는 증착 물질에 의해 형성되는 패턴의 크기는 제1 슬릿(921) 하나의 크기에만 영향을 받으므로(즉, X축 방향으로는 제1 슬릿(921)이 하나만 존재하는 것에 다름 아니므로), 음영(shadow)이 발생하지 않게 된다. 또한, 다수 개의 제1 슬릿(921)들이 스캔 방향으로 존재하므로, 개별 증착원 노즐 간 플럭스(flux) 차이가 발생하여도 그 차이가 상쇄되어 증착 균일도가 일정하게 유지되는 효과를 얻을 수 있다.

한편, 증착원(910)과 기판(400) 사이에는 제2 노즐(950) 및 제2 노즐 프레임(955)이 더 구비된다. 제2 노즐 프레임(955)은 대략 창문 틀과 같은 형태로 형성되며, 그 내측에 제2 노즐(950)이 결합된다. 그리고, 제2 노즐(950)에는 X축 방향을 따라서 복수 개의 제2 슬릿(951)들이 형성된다. 증착원(910) 내에서 기화된 증착 물질(915)은 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)을 통과하여 피 증착체인 기판(400) 쪽으로 향하게 되는 것이다. 이때, 상기 제2 노즐(950)은 종래의 파인 메탈 마스크(FMM) 특히 스트라이프 타입(stripe type)의 마스크의 제조 방법과 동일한 방법인 에칭을 통해 제작될 수 있다. 이때, 제1 슬릿(921)들의 총 개수보다 제2 슬릿(951)들의 총 개수가 더 많게 형성될 수 있다.

한편, 상술한 증착원(910) 및 이와 결합된 제1 노즐(920)과 제2 노즐(950)은 서로 일정 정도 이격되도록 형성될 수 있으며, 증착원(910) 및 이와 결합된 제1 노즐(920)과 제2 노즐(950)은 연결 부재(935)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 즉, 증착원(910), 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)이 연결 부재(935)에 의해 연결되어 서로 일체로 형성될 수 있는 것이다. 여기서 연결 부재(935)들은 제1 슬릿(921)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않도록 증착 물질의 이동 경로를 가이드 할 수 있다. 도면에는 연결 부재(935)가 증착원(910), 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)의 좌우 방향으로만 형성되어 증착 물질의 X축 방향만을 가이드 하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 도시의 편의를 위한 것으로, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 연결 부재(935)가 박스 형태의 밀폐형으로 형성되어 증착 물질의 X축 방향 및 Y축 방향 이동을 동시에 가이드 할 수도 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(900)는 기판(400)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착을 수행하며, 이와 같이 박막 증착 장치(900)가 기판(400)에 대하여 상대적으로 이동하기 위해서 제2 노즐(950)은 기판(400)으로부터 일정 정도 이격되도록 형성된다.

상세히, 종래의 FMM 증착 방법에서는 기판에 음영(shadow)이 생기지 않도록 하기 위하여 기판에 마스크를 밀착시켜서 증착 공정을 진행하였다. 그러나, 이와 같이 기판에 마스크를 밀착시킬 경우, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량 문제가 발생한다는 문제점이 존재하였다. 또한, 마스크를 기판에 대하여 이동시킬 수 없기 때문에, 마스크가 기판과 동일한 크기로 형성되어야 한다. 따라서, 디스플레이 장치가 대형화됨에 따라 마스크의 크기도 커져야 하는데, 이와 같은 대형 마스크를 형성하는 것이 용이하지 아니하다는 문제점이 존재하였다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치(900)에서는 제2 노즐(950)이 피 증착체인 기판(400)과 소정 간격을 두고 이격되어 배치되도록 한다.

이와 같은 본 발명에 의해서 마스크를 기판보다 작게 형성한 후, 마스크를 기판에 대하여 이동시키면서 증착을 수행할 수 있게 됨으로써, 마스크 제작이 용이해지는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 공정에서 기판과 마스크를 밀착시키는 시간이 불필요해지기 때문에, 제조 속도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.

여기서, 본 발명의 제5 실시예에 따른 박막 증착 장치(900)는 증착원(910)과, 제1 노즐(920)과, 제2 노즐(950)과, 기판(960) 사이의 간격 중 어느 하나의 간격에 복수의 증착 가림막(970)을 설치하는 것을 일 특징으로 한다. 여기서, 상기 증착 가림막(970)은 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이의 간격(d1)에 설치되어 있다. 이를 위하여, 상기 증착 가림막(970)의 두께(t1)는 상기 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이의 간격(d1)에 개재되도록 상기 간격(d1)보다 얇게 형성되어 있다. 이와 같은 증착 가림막에 대하여는 제1 실시예에서 상세히 설명하였는바, 본 실시예에서는 그 상세한 설명은 생략하도록 한다.

이하에서는, 본 발명에 관한 박막 증착 장치의 제6 실시예에 대하여 설명한다. 본 발명의 제6 실시예는 제1 노즐(920)에 형성된 복수 개의 제1 슬릿(921)들이 소정 각도 틸트(tilt)되어 배치된다는 점에서 전술한 제5 실시예와 구별된다.

도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 박막 증착 장치를 나타내는 도면이다. 도면을 참조하면, 본 발명의 제6 실시예에 따른 박막 증착 장치는 증착원(910), 제1 노즐(920) 및 제2 노즐(950)을 포함한다. 여기서, 증착원(910)은 그 내부에 증착 물질(915)이 채워지는 도가니(911)와, 도가니(911)를 가열시켜 도가니(911) 내부에 채워진 증착 물질(915)을 제1 노즐(920) 측으로 증발시키기 위한 히터(912)를 포함한다. 한편, 증착원(910)의 일 측에는 제1 노즐(920)이 배치되고, 제1 노즐(920)에는 Y축 방향을 따라서 복수 개의 제1 슬릿(921)들이 형성된다. 한편, 증착원(910)과 기판(400) 사이에는 제2 노즐(950) 및 제2 노즐 프레임(955)이 더 구비되고, 제2 노즐(950)에는 X축 방향을 따라서 복수 개의 제2 슬릿(951)들이 형성된다. 그리고, 증착원(910) 및 제1 노즐(920)과 제2 노즐(950)은 연결 부재(935)에 의해서 결합된다.

본 실시예에서는, 제1 노즐(920)에 형성된 복수 개의 제1 슬릿(921)들이 소정 각도 틸트(tilt)되어 배치된다는 점에서 전술한 제5 실시예와 구별된다. 상세히, 제1 슬릿(921)은 두 열의 제1 슬릿(921a)(921b)들로 이루어질 수 있으며, 상기 두 열의 제1 슬릿(921a)(921b)들은 서로 교번하여 배치된다. 이때, 제1 슬릿(921a)(921b)들은 XZ 평면상에서 소정 각도 기울어지도록 틸트(tilt)되어 형성될 수 있다.

즉, 본 실시예에서는 제1 슬릿(921a)(921b)들이 소정 각도 틸트되어 배치되도록 한다. 여기서, 제1 열의 제1 슬릿(921a)들은 제2 열의 제1 슬릿(921b)들을 바라보도록 틸트되고, 제2 열의 제1 슬릿(921b)들은 제1 열의 제1 슬릿(921a)들을 바라보도록 틸트될 수 있다. 다시 말하면, 왼쪽 열에 배치된 제1 슬릿(921a)들은 제2 노즐(950)의 오른쪽 단부를 바라보도록 배치되고, 오른쪽 열에 배치된 제1 슬릿(921b)들은 제2 노즐(950)의 왼쪽 단부를 바라보도록 배치될 수 있는 것이다.

도 12는 본 발명에 따른 박막 증착 장치에서 증착원 노즐을 틸트시키지 아니하였을 때 기판에 증착된 증착막의 분포 형태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 13은 본 발명에 따른 박막 증착 장치에서 증착원 노즐을 틸트시켰을 때 기판에 증착된 증착막의 분포 형태를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 12와 도 13을 비교하면, 제1 슬릿을 틸트시켰을 때 기판의 양단부에 성막되는 증착막의 두께가 상대적으로 증가하여 증착막의 균일도가 상승함을 알 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여, 기판의 중앙과 끝 부분에서의 성막 두께 차이가 감소하게 되어 전체적인 증착 물질의 두께가 균일하도록 증착량을 제어할 수 있으며, 나아가서는 재료 이용 효율이 증가하는 효과를 얻을 수 있다.

여기서, 본 발명의 제6 실시예에 따른 박막 증착 장치(900)는 증착원(910)과, 제1 노즐(920)과, 제2 노즐(950)과, 기판(960) 사이의 간격 중 어느 하나의 간격에 복수의 증착 가림막(970)을 설치하는 것을 일 특징으로 한다. 여기서, 상기 증착 가림막(970)은 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이의 간격(d1)에 설치되어 있다. 이를 위하여, 상기 증착 가림막(970)의 두께(t1)는 상기 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이의 간격(d1)에 개재되도록 상기 간격(d1)보다 얇게 형성되어 있다. 이와 같은 증착 가림막에 대하여는 제1 실시예에서 상세히 설명하였는바, 본 실시예에서는 그 상세한 설명은 생략하도록 한다.

도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 것이다.

도면을 참조하면, 상기 박막 증착 장치(900)는 증착원(910), 제1 노즐(920), 제2 노즐(950) 및 기판(960)을 포함한다. 상기 박막 증착 장치(900)는 증착원(911)으로부터 기화된 증착재(912)의 직진성을 확보하기 위하여 적절한 진공도를 유지하고 있는 진공 챔버(미도시) 내에 설치되어 있다.

여기서, 상기 박막 증착 장치(900)는 한번 가동을 시작하면 증착재(912), 예컨대, 유기물의 변성을 방지하기 위하여 증착원(910)을 수시로 끄거나 켜지 않고, 상기 증착재(912)가 다 소진될 때까지 계속 일정한 온도를 유지해야 한다.

이럴 경우, 상기 박막 증착 장치(900)가 상기 기판(400)에 증착하고 난 다음, 다른 기판에 증착이 이루어지기 전 상태인 증착 대기 모드 시에도 제2 노즐(950)을 통하여 증착재(912)가 계속 진공 챔버 내로 방출되고, 이로 인하여 진공 챔버 내에 증착재(912)가 누적되므로, 이를 차단할 필요가 있다.

이를 위하여, 진공 챔버 내의 상부에는 제1 증착 가림막(971)이 설치되어 있으며, 하부에는 제2 증착 가림막(972)이 설치되어 있다. 상기 제1 증착 가림막(971)과, 제2 증착 가림막(972)은 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이의 간격(d1)과 대응되는 위치에 고정되어 있다. 상기 제1 증착 가림막(971)과, 제2 증착 가림막(972)의 각각의 두께(t1)는 상기 간격(d1)보다 얇게 형성되어 있다.

이처럼, 상기 제1 증착 가림막(971)과, 제2 증착 가림막(972)이 제2 노즐(950)과 기판(400) 사이에 개재되면, 증착원(910)에서 배출된 증착재(912)가 진공 챔버 내의 다른 영역에 달라붙는 것을 최소화시킬 수 있다.

상기와 같은 구성을 가지는 박막 증착 장치(900)는 하나의 기판(960)에 대하여 증착이 완료된 이후에는 증착 대기 모드로 전환하게 된다. 이에 따라, 상기 박막 증착 장치(900)는 진공 챔버의 위쪽 방향이나, 아래쪽 방향으로 이동하게 된다.

그러나, 증착 대기 모드 시에도, 상기 증착원(910)으로부터 증착재(912)의 증발은 계속 진행중이다. 이에 따라, 증착재(912)는 챔버 내부에 계속적으로 축적된다. 이로 인하여, 증착재의 활용률이 현저하게 감소하게 된다.

이때, 진공 챔버 내의 상부 또는 하부에서는 이동된 제2 노즐(950)과 기판(400)이 제1 증착 가림막(971) 또는 제2 증착 가림막(972) 사이에 위치하게 되므로, 방출되는 증착재(912)는 제1 증착 가림막(971) 또는 제2 증착 가림막(972)의 표면에 부착하게 된다. 따라서, 상기 증착재(912)가 챔버 내부에 축적되는 것을 최소화시킬 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

100: 박막 증착 장치 110: 증착원
120...제1 노즐 121...제1 슬릿
130...차단벽 어셈블리 131...차단벽
140...차단막 어셈블리 141...차단막
150...제2 노즐 151...제2 슬릿
160...기판 407...제1 비증착 영역
408...제2 비증착 영역 170...증착 가림막

Claims (41)

1. 복수의 증착 영역과, 상기 증착 영역 사이에 형성되어서, 상기 증착 영역을 구획하는 복수의 비증착 영역을 가지는 기판;과,
   증착원과, 상기 증착원의 전방에 배치된 제1 노즐과, 상기 제1 노즐 어셈블리 전방에 배치된 적어도 하나 이상의 차단벽 어셈블리와, 상기 차단벽 어셈블리와, 기판 사이에 배치된 제2 노즐을 가지는 박막 증착 장치;를 포함하되,
   상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판 사이에는 간격들이 형성되고,
   상기 간격들중 어느 한 간격에는 상기 기판의 비증착 영역과 대응되는 위치에 적어도 하나 이상의 증착 가림막이 설치되고,
   상기 박막 증착 장치는 상기 기판과 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되고, 상기 박막 증착 장치가 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 증착원은 상기 기판과 대향되는 곳에 위치하며, 기화되는 증착재가 수용되고,
   상기 제1 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 복수의 제1 슬릿이 형성된 제1 노즐와, 상기 제1 노즐을 지지하는 제1 노즐 프레임을 포함하고,
   상기 차단벽 어셈블리는 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 설치된 복수의 차단벽을 가지고,
   상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 제2 슬릿이 형성된 제2 노즐와, 상기 제2 노즐을 지지하는 제2 노즐 프레임을 포함하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 비증착 영역은 상기 기판의 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제1 방향을 따라 형성된 제1 비증착 영역과, 상기 제1 방향으로 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제2 방향을 따라 형성된 제2 비증착 영역을 포함하고,
   복수의 증착 가림막은 증착재의 증착시 상기 제1 비증착 영역과 대응되는 영역을 각각 커버하는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   각각의 증착 가림막의 폭은 상기 제1 비증착 영역의 폭과 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
5. 제 3 항에 있어서,
   상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 박막 증착 장치의 승강 운동시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버하는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
6. 제 3 항에 있어서,
   상기 증착 가림막은 증착재의 증착시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버하도록 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 차단벽 어셈블리는 제1 노즐 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제1 차단벽 어셈블리와, 상기 제1 차단벽 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제2 차단벽 어셈블리를 포함하며,
   상기 증착 가림막은 상기 제1 차단벽 어셈블리와, 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 증착 가림막의 두께는 상기 제1 차단벽 어셈블리와 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 개재되도록, 상기 제1 차단벽 어셈블리와 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격보다 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
9. 제 7 항에 있어서,
   상기 제1 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제1 차단벽을 포함하고, 각각의 제1 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,
   상기 제2 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제2 차단벽을 포함하고, 각각의 제2 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,
   상기 제1 차단벽과, 제2 차단벽은 기판에 대하여 나란하게 배치되어서, 상기 제1 노즐와, 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 차단벽의 바깥쪽으로는 제1 차단벽 프레임이 더 설치되고,
    상기 복수의 제2 차단벽의 바깥쪽으로 제2 차단벽 프레임이 더 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 증착원과, 차단벽 어셈블리 사이의 간격에 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치는 진공 챔버 내부에 배치되고,
    상기 증착 가림막은 진공 챔버 내부에 설치된 프레임에 결합된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
13. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 슬릿은 상기 기판의 제1 방향을 따라 서로 동일한 간격을 유지하면서, 상기 제1 노즐에 형성되고, 상기 제2 슬릿은 상기 기판의 제1 방향을 따라 서로 동일한 간격을 유지하면서 제2 노즐에 형성되고,
    서로 인접하게 배치된 한 쌍의 차단벽 사이에 형성된 제1 슬릿의 개수보다 제2 슬릿의 개수가 더 많게 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
14. 기판상에 증착재를 증착시키는 박막 증착 장치에 관한 것으로서,
    증착원과, 상기 증착원의 전방에 배치된 제1 노즐과, 상기 제1 노즐 어셈블리 전방에 배치된 적어도 하나 이상의 차단벽 어셈블리와, 상기 차단벽 어셈블리와 기판 사이에 배치된 제2 노즐을 가지는 박막 증착 장치;와,
    상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판을 수용하는 진공 챔버;를 포함하되,
    상기 진공 챔버에는 증착 가림막이 연결되고,
    상기 증착원, 제1 노즐 어셈블리, 차단벽 어셈블리, 제2 노즐 어셈블리, 기판 사이에는 간격들이 형성되어서,
    증착 대기 모드시, 상기 박막 증착 장치가 승강 운동에 의하여 진공 챔버의 상부 또는 하부로 이동시에 상기 간격들중 어느 한 간격에 대하여 상기 증착 가림막이 선택적으로 위치하도록 결합되고,
    상기 박막 증착 장치는 상기 기판과 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되고, 상기 박막 증착 장치가 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
15. 제 14 항에 있어서,
    상기 증착원은 상기 기판과 대향되는 곳에 위치하며, 기화되는 증착재가 수용되고,
    상기 제1 노즐 어셈블리에는 상기 기판의 제1 방향을 따라 복수의 제1 슬릿이 형성된 제1 노즐을 포함하고,
    상기 차단벽 어셈블리는 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 설치된 복수의 차단벽을 가지고,
    상기 제2 노즐 어셈블리는 상기 기판의 제1 방향을 따라 제2 슬릿이 형성된 제2 노즐을 포함하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
16. 제 14 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 상기 진공 챔버내의 상부에 고정되는 제1 증착 가림막과, 상기 박막 증착 장치를 사이에 두고, 상기 진공 챔버내의 하부에 고정되는 제2 증착 가림막을 포함하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
17. 제 14 항에 있어서,
    상기 차단벽 어셈블리는 제1 노즐 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제1 차단벽 어셈블리와, 상기 제1 차단벽 어셈블리 및 제2 노즐 어셈블리 사이에 배치된 제2 차단벽 어셈블리를 포함하되,
    상기 증착 가림막은 진공 챔버의 상부 또는 하부에서 상기 제1 차단벽 어셈블리와, 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 위치하는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
18. 제 17 항에 있어서,
    상기 증착 가림막의 두께는 상기 제1 차단벽 어셈블리와 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격에 개재되도록, 상기 제1 차단벽 어셈블리와 제2 차단막 어셈블리 사이의 간격보다 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
19. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제1 차단벽을 포함하고, 각각의 제1 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,
    상기 제2 차단벽 어셈블리는 기판의 제1 방향을 따라 이격되게 배치된 복수의 제2 차단벽을 포함하고, 각각의 제2 차단벽은 제1 방향과 교차하는 방향인 제2 방향으로 위치하고,
    상기 제1 차단벽과, 제2 차단벽은 기판에 대하여 나란하게 배치되어서, 상기 제1 노즐과, 제2 노즐 어셈블리 사이의 공간을 구획하도록 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
20. 제 19 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 증착동안 기판의 비증착 영역과 대응되는 영역을 커버하도록 상기 제1 차단벽과, 제2 차단벽 사이의 간격에 더 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
21. 제 19 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 차단벽의 바깥쪽으로는 제1 차단벽 프레임이 더 설치되고,
    상기 복수의 제2 차단벽의 바깥쪽으로는 제2 차단벽 프레임이 더 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
22. 제 14 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 진공 챔버의 상부 또는 하부에서 증착원과, 차단벽 어셈블리 사이의 간격에 위치하는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
23. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1 슬릿은 상기 기판의 제1 방향을 따라 서로 동일한 간격을 유지하면서, 상기 제1 노즐 어셈블리에 형성되고, 상기 제2 슬릿은 상기 기판의 제1 방향을 따라 서로 동일한 간격을 유지하면서 제2 노즐에 형성되고,
    서로 인접하게 배치된 한 쌍의 차단벽 사이에 형성되는 제1 슬릿의 개수보다 제2 슬릿의 개수가 더 많게 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
24. 제 14 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 증착동안 기판의 비증착 영역과 대응되는 영역을 커버하도록 상기 증착원과, 차단벽 어셈블리 사이의 간격에 더 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
25. 복수의 증착 영역과, 상기 증착 영역 사이에 형성되어 상기 증착 영역을 구획하는 복수의 비증착 영역을 가지는 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서,
    증착 물질을 방사하는 증착원;
    상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐; 및
    상기 제1 노즐과 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향에 대해 수직인 제2 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐을 포함하고,
    상기 증착원과 상기 제1 노즐 사이, 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이, 및 상기 제2 노즐과 상기 기판 사이 중 적어도 하나에는 간격들이 형성되고,
    상기 간격들 중 하나 이상의 간격에는 상기 기판의 비증착 영역과 대응되는 위치에 배치된 증착 가림막이 배치되며,
    상기 박막 증착 장치는 상기 기판과 소정 간격을 두고 이격되도록 형성되고, 상기 박막 증착 장치가 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
26. 제 25 항에 있어서,
    상기 비증착 영역은,
    상기 제1 방향을 따라 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제2 방향을 따라 형성된 제1 비증착 영역들과,
    상기 제2 방향을 따라 이격되게 배열된 복수의 증착 영역 사이를 구획하도록 제1 방향을 따라 형성된 제2 비증착 영역들을 포함하고,
    상기 증착 가림막들은 상기 증착 물질의 증착시 상기 제1 비증착 영역들과 대응되는 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
27. 제 26 항에 있어서,
    상기 각각의 증착 가림막들의 폭은 상기 각각의 제1 비증착 영역의 폭과 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
28. 제 26 항에 있어서,
    상기 증착 가림막들은 상기 증착 물질의 증착시 상기 제2 비증착 영역과 대응되는 영역을 더 커버하도록 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
29. 제 25 항에 있어서,
    상기 증착 가림막은 상기 기판과 상기 제2 노즐 사이의 간격에 설치된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
30. 제 29 항에 있어서,
    상기 증착 가림막의 두께는 상기 기판과 상기 제2 노즐 사이의 간격에 개재되도록, 상기 기판과 상기 제2 노즐 사이의 간격보다 얇게 형성된 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
31. 제 25 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치는 진공 챔버 내부에 배치되고,
    상기 진공 챔버에 상기 증착 가림막이 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
32. 제 31 항에 있어서,
    증착 대기 모드시, 상기 박막 증착 장치가 이동하여 상기 진공 챔버의 일 측으로 이동시에 상기 간격들 중 어느 한 간격에 대하여 상기 증착 가림막이 선택적으로 위치하도록 상기 증착 가림막이 상기 진공 챔버에 연결되는 것을 특징으로 하는 증착 가림막을 가지는 박막 증착 장치.
33. 제 25 항에 있어서,
    상기 증착원 및 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐은 연결 부재에 의해 결합되어 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
34. 제 33 항에 있어서,
    상기 연결 부재는 상기 증착 물질의 이동 경로를 가이드 하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
35. 제 33 항에 있어서,
    상기 연결 부재는 상기 증착원 및 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 외부로부터 밀폐하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
36. 삭제
37. 제 25 항에 있어서,
    상기 기판이 상기 박막 증착 장치에 대하여 상기 제1 방향을 따라 이동하면서, 상기 기판상에 상기 증착 물질이 연속적으로 증착되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
38. 제 25 항에 있어서,
    상기 박막 증착 장치의 상기 제2 노즐은 상기 기판보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
39. 제 25 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 슬릿들은 소정 각도 틸트 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
40. 제 39 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 슬릿들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 제1 슬릿들을 포함하며, 상기 두 열(列)의 제1 슬릿들은 서로 마주보는 방향으로 틸트되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
41. 제 39 항에 있어서,
    상기 복수 개의 제1 슬릿들은 상기 제1 방향을 따라 형성된 두 열(列)의 제1 슬릿들을 포함하며,
    상기 두 열(列)의 제1 슬릿들 중 제1 측에 배치된 제1 슬릿들은 제2 노즐의 제2 측 단부를 바라보도록 배치되고,
    상기 두 열(列)의 제1 슬릿들 중 제2 측에 배치된 제1 슬릿들은 제2 노즐의 제1 측 단부를 바라보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.

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