KR20100090070A - 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 - Google Patents

마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것으로, 증착 공정 시 기판의 무게에 의해 마스크 조립체의 패턴이 변형되는 것을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크; 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크; 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 마스크 조립체에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 챔버; 상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원; 및 상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
마스크 조립체, 증착 장치

Description

마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치{Mask Assembly and Deposition Apparatus using the same for Flat Panel Display}
본 발명은 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것으로, 증착 공정 시 기판의 무게에 의해 마스크 조립체의 패턴이 변형되는 것을 방지하여 증착 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display device)는 경량 및 박형 등의 특성으로 인하여, 음극선관 표시 장치(Cathode-ray Tube Display device)를 대체하는 표시 장치로 사용되고 있으며, 대표적인 예로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device; LCD)와 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting diode Display device; OLED)가 있다. 이 중, 유기전계발광표시장치는 액정표시장치에 비하여 휘도 특성 및 시야각 특성이 우수하고 백라이트(Backlight)를 필요로 하지 않아 초박형으로 구현할 수 있다는 장점이 있다.
이와 같은 유기전계발광표시장치는 유기박막에 음극(Cathode)으로부터 주입되는 전자(Electron)과 양극(Anode)으로부터 주입되는 정공(Hole)이 재결합하여 여 기자를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상을 이용한 표시 장치이다.
상기 유기전계발광표시장치는 유리, 스테인레스 스틸 또는 합성 수지로 형성된 기판 상에 음극, 양극 및 유기박막 등을 선택적으로 형성하기 위하여, 포토리소그라피 방법 또는 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 패턴이 형성된 마스크 조립체를 이용한 증착법을 사용하다. 이 중, 상기 포토리소그라피 방법은 일부 영역에 포토레지스터를 도포한 후, 습식 식각 또는 건식 식각하는 방법으로 상기 포토레지스터를 박리하는 과정 및 식각과정에서 수분이 유입될 수 있으므로, 상기 유기박막과 같이 수분에 의해 열화 될 수 있는 물질은 상기 마스크 조립체를 이용한 증착법이 주로 사용된다.
상기와 같은 유기전계발광표시장치는 풀-컬러(full-color)를 디스플레이하기 위하여 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 형성하고 있으며, 다수의 개구부가 형성된 마스크 패턴을 증착 대상물 즉, 상기 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자가 형성될 기판 상에 정렬시키고, 상기 마스크 패턴의 개구부를 통해 상기 R, G, B 유기 발광층 등의 증착 대상물을 상기 기판에 제공하여 원하는 형태의 패턴을 기판 상에 증착함으로써, 기판 상의 일정 영역에 상기 R, G, B 유기 발광층을 포함하는 유기전계발광소자를 각각 형성하고 있으므로, 상기 마스크 조립체의 패턴이 매우 정밀하게 정렬되어야 한다.
그러나, 마스크 조립체를 이용한 평판표시장치용 증착 장치는 마스크 조립체에 의한 증착 정밀도를 높이기 위하여, 기판과 마스크 조립체가 매우 근접하도록 위치시키거나, 상기 마스크 조립체가 기판을 지지하도록 하고 있으므로, 증착 공정 중 기판의 무게에 의해 상기 기판의 중심부가 마스크 조립체 방향으로 휘어지는 경우, 상기 기판에 의해 상기 마스크 조립체의 패턴 마스크가 눌리게 되어 상기 마스크 조립체의 패턴이 변형되어 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 증착 공정 시 기판의 무게에 의해 마스크 조립체의 패턴이 변형되는 것을 방지하여, 증착 정밀도를 향상시킬 수 있는 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크; 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크; 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 마스크 조립체에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 상기 목적은 챔버; 상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원; 및 상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며, 상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 인장되어 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치는 마스크 프레임의 개구부를 가로지르며, 하나 또는 다수의 패턴을 포함하는 패턴 마스크를 지지하기 위한 지지대를 구비하고, 상기 지지대와 패턴 마스크를 용접하여, 증착 공정 중 기판의 무게에 의해 패턴 마스크가 변형되는 것을 방지함으로써, 마스크 조립체에 의한 증착 정밀도를 향상시키는 효과가 있다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소를 나타내는 것이며, 도면에 있어서 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다.
(실시 예)
도 1a는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체를 나타낸 사시도이고, 도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체의 패턴을 확대한 도면이며, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임을 이용한 평판표시장치용 증착 장비를 나 타낸 개략도 이다.
도 1a 및 1b를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체는 개구부(120)를 포함하는 마스크 프레임(100), 길이 방향인 제 1 방향(X)으로 인장되어 상기 마스크 프레임(100)에 용접되는 다수의 패턴 마스크(200) 및 상기 개구부(120)를 가로지르는 지지대(300)를 포함한다. 여기서, 본 발명의 실시 예는 상기 마스크 프레임(100)에 다수의 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X)으로 인장 용접되는 것으로 설명하고 있으나, 상기 개구부(120)에 대응되는 면적을 가지는 단일 패턴 마스크(200)가 제 1 방향(X) 및 상기 제 1 방향(X)과 수직한 제 2 방향(Y) 중 어느 한 방향 또는 모든 방향으로 인장 용접될 수 있다.
상기 마스크 프레임(100)은 개구부(120) 및 상기 개구부(120)를 둘러싸며, 상기 패턴 마스크(200)와 용접되는 프레임(110)을 포함하며, 상기 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 상기 패턴 마스크(200)의 종단부가 용접되어 고정될 수 있도록 압축력에 의해 변형이 작은 물질, 즉 강성이 큰 금속 재료인 것이 바람직하다.
상기 패턴 마스크(200)는 상기 개구부(120)에 대응되도록 하나 또는 다수의 패턴(210)이 형성된 패턴부(220) 및 제 1 방향(X)으로 인장되어 상기 프레임(110)에 용접되는 용접부(230)를 포함하며, 상기 패턴(210)은 하나 또는 다수의 슬릿(slit, 201)을 포함한다. 여기서, 상기 패턴 마스크(200)는 금속 박막으로 형성된 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)일 수 있으며, 스테인레스 스틸(Steel Use Stainless; SUS), 인바(Invar), 니켈, 코발트 및 이들의 합금으로 이루어진 그룹에 서 선택된 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 지지대(300)는 상기 마스크 프레임(100)의 개구부(120)을 가로지르도록 위치하여 상기 패턴 마스크(200)가 변형되는 것을 방지하기 위한 것이므로, 도 1a에 도시된 바와 같이, 다수의 패턴 마스크(200)가 상기 마스크 프레임(100)과 용접되는 경우, 상기 패턴 마스크(200)의 길이 방향인 제 1 방향(X)과 수직한 제 2 방향(Y)으로 상기 개구부(120)를 가로지르는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 지지대(300)와 상기 패턴 마스크(200) 사이의 용접에 의해 상기 패턴 마스크(200)의 패턴(210)이 차폐되는 것을 방지하기 위하여, 상기 지지대(300)는 상기 패턴 마스크(200)의 패턴(210) 사이에서 상기 패턴 마스크(200)과 용접되도록 하여, 상기 지지대(300)와 패턴 마스크(200) 사이의 용접점(P)이 상기 패턴(210) 사이에 위치하도록 하는 것이 더욱 바람직하다.
상기 지지대(300)는 서로 이격되어 위치하는 다수 개가 구비될 수 있으며, 단면이 원형, 다각형 또는 기타 어떠한 형상이어도 무관하다고 할 수 있으나, 상기 패턴 마스크(200)에 압력이 가해지는 경우, 상기 지지대(300)에 의해 상기 패턴 마스크(200)가 손상되는 것을 방지하며, 상기 지지대(300)와 패턴 마스크(200)의 용접성을 높이기 위하여, 상기 패턴 마스크(200)와 일정 면적이 접촉하는 다각형인 것이 바람직하다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임을 이용한 평판표시장치용 증착 장치는 챔버(400), 챔버(400)의 하측에 위치하는 증착원(410) 및 상기 증착원(410) 상에 위치하며, 기판(S)을 지지하기 위한 마스크 조립체(100)를 포 함한다. 여기서, 상기 평판표시장치용 증착 장치는 상기 마스크 조립체(100)를 고정하기 위한 별도의 고정 부재(420)를 더 포함할 수도 있다.
도 2를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체를 이용한 박막 증착 과정을 설명하면, 상기 마스크 조립체를 고정 부재(420)에 고정한 후, 상기 마스크 조립체의 패턴 마스크(200) 상에 기판(S)을 위치시킨다. 여기서, 상기 기판(S)은 별도의 홀더(미도시)에 의해 상기 패턴 마스크(200)와 일정 간격 이격되도록 위치시킬 수도 있다.
다음으로, 상기 챔버(400)의 하측에 위치하는 증착원(410)으로부터 증착 물질이 분사 또는 증발되면, 상기 패턴 마스크(200)의 패턴(210)에 의해 상기 기판(S) 상에 일정 패턴(pattern)을 가지도록 증착 물질이 증착된다. 여기서, 상기 챔버(400) 내부의 온도에 의해 상기 마스크 조립체가 열팽창 되는 경우, 상기 지지대(300)와 마스크 프레임(100) 사이의 열팽창 특성 차이에 의한 상기 지지대(300)의 이탈 또는 변형을 방지하기 위하여, 상기 지지대(300)는 상기 마스크 프레임(100)과 동일한 금속으로 형성되는 것이 바람직하다.
이 때, 증착 공정 중 상기 기판(S)의 무게에 인하여, 상기 기판(S)의 중심부에 상기 증착원(410) 방향으로 응력이 발생하여, 상기 기판(S)을 지지하는 상기 패턴 마스크(200)는 상기 지지대(300)와 용접되어 있으므로, 상기 응력은 상기 패턴 마스크(200)를 지지하는 지지대(300)에 의해 분산되고, 상기 패턴 마스크(200)는 변형되지 않는다.
여기서, 상기 지지대(300)에 의해 상기 마스크 프레임(100)과 패턴 마스 크(200) 사이의 거리가 증가하는 경우, 상기 마스크 프레임(100)의 프레임(110)과 패턴 마스크(200)의 용접부(230) 사이의 용접이 용이하지 않거나, 용접에 의한 결합력이 저하될 수 있으므로, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 프레임(100)의 프레임(110)은 상기 지지대(300)의 종단부를 수용하기 위한 홈(311)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 홈(311)의 깊이는 상기 지지대(300)의 두께와 동일한 것이 더욱 바람직하다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치는 마스크 프레임의 개구부를 가로지르며, 하나 또는 다수의 패턴을 포함하는 패턴 마스크를 지지하기 위한 지지대를 구비하고, 상기 지지대와 패턴 마스크를 용접함으로써, 증착 공정 중 기판의 무게에 의해 패턴 마스크가 변형되는 것을 방지한다.
도 1a는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임을 나타낸 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임의 패턴을 확대한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 프레임을 이용한 평판표시장치용 증착 장비를 나타낸 개략동이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따름 마스크 프레임의 다른 예를 나타낸 사시도이다.
<도면 주요 부호들에 대한 부호의 설명>
100 : 마스크 프레임 110 : 프레임
200 : 패턴 마스크 205 : 슬릿(slit)
220 : 패턴부 300 : 지지대
311 : 홈

Claims (20)

  1. 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크;
    하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크; 및
    상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 용접부는 상기 패턴 마스크의 길이 방향인 제 1 방향으로 인장되어 상기 프레임과 용접되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 개구부를 가로지르는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 제 2 방향으로 서로 이격되도록 다수 개가 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 지지대의 종단부를 수용하기 위한 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 홈의 깊이는 상기 지지대의 두께와 동일한 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크는 미세 금속 마스크인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 마스크 프레임과 동일 재질인 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크와 지지대 사이의 용접점은 상기 패턴 마스크의 패턴 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 패턴은 하나 또는 다수의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 조립체.
  11. 챔버;
    상기 챔버의 하측에 위치하는 증착원; 및
    상기 증착원 상에 위치하며, 기판을 지지하기 위한 마스크 조립체를 포함하며,
    상기 마스크 조립체는 개구부 및 상기 개구부를 둘러싼 프레임을 포함하는 프레임 마스크, 하나 또는 다수의 패턴이 형성되는 패턴부 및 상기 프레임과 용접되는 용접부를 포함하는 패턴 마스크 및 상기 개구부를 가로지르며, 상기 패턴 마스크와 용접되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크의 용접부는 상기 패턴 마스크의 길이 방향인 제 1 방향으로 인장되어 상기 프레임과 용접되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 개구부를 가로지르는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 제 2 방향으로 서로 이격되도록 다수 개가 위치하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 지지대의 종단부를 수용하기 위한 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 홈의 깊이는 상기 지지대의 두께와 동일한 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크는 미세 금속 마스크인 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 지지대는 상기 마스크 프레임과 동일 재질인 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 증착 장치.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 패턴 마스크와 지지대 사이의 용접점은 상기 패턴 마스크의 패턴 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 고정하기 위한 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 증착 장치.
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KR1020090009344A KR101117645B1 (ko) 2009-02-05 2009-02-05 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8343278B2 (ko)
JP (1) JP5544785B2 (ko)
KR (1) KR101117645B1 (ko)
CN (1) CN101798670B (ko)
TW (1) TWI427177B (ko)

Cited By (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101104945B1 (ko) * 2011-06-15 2012-01-12 이성 옵티컬 트랙패드의 하우징 제조기구
CN102776473A (zh) * 2012-08-10 2012-11-14 深圳市华星光电技术有限公司 有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置
KR20130134707A (ko) * 2012-05-31 2013-12-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 인장 장치, 마스크 시트 및 이를 포함하는 마스크 제조 시스템
US8631761B2 (en) 2011-06-21 2014-01-21 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin-film deposition
KR20140107037A (ko) * 2013-02-27 2014-09-04 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리 제조 방법
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8881676B2 (en) 2011-04-25 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8915213B2 (en) 2011-01-10 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Division mask and method of assembling mask frame assembly by using the same
US8927180B2 (en) 2011-09-15 2015-01-06 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a mask
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9039478B2 (en) 2012-10-25 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for manufacturing deposition mask assembly for flat panel display
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
KR20150073624A (ko) * 2013-12-23 2015-07-01 엘지디스플레이 주식회사 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치
US9076982B2 (en) 2011-05-25 2015-07-07 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
CN104846328A (zh) * 2014-02-14 2015-08-19 三星显示有限公司 掩模框架组件及其制造方法
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
KR20150109001A (ko) * 2014-03-18 2015-10-01 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그것을 이용하는 증착 장치
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
KR20160015214A (ko) * 2013-04-22 2016-02-12 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 능동적으로-정렬되는 미세 금속 마스크
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
KR20160033338A (ko) * 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9372395B2 (en) 2013-05-30 2016-06-21 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a mask
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
KR20170105684A (ko) * 2016-03-09 2017-09-20 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20190013852A (ko) * 2016-05-26 2019-02-11 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크, 프레임 구비 증착 마스크, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
WO2019054718A3 (ko) * 2017-09-18 2019-05-09 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
US10344376B2 (en) 2011-05-06 2019-07-09 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition and method of manufacturing the same
KR20200013782A (ko) * 2018-05-14 2020-02-07 쿤산 고-비젼녹스 옵토-일렉트로닉스 씨오., 엘티디. 마스크 및 마스크 어셈블리
KR20230164258A (ko) * 2022-05-24 2023-12-04 (주)세우인코퍼레이션 증착 마스크 및 증착 마스크 제조 방법

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5258278B2 (ja) * 2007-12-13 2013-08-07 キヤノントッキ株式会社 成膜用マスク及びマスク密着方法
KR101074792B1 (ko) * 2009-06-12 2011-10-19 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101117719B1 (ko) * 2009-06-24 2012-03-08 삼성모바일디스플레이주식회사 박막 증착 장치
KR101030030B1 (ko) 2009-12-11 2011-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 조립체
KR101182440B1 (ko) * 2010-01-11 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
KR101174879B1 (ko) * 2010-03-09 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 그 조립방법
KR101182239B1 (ko) * 2010-03-17 2012-09-12 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 이를 포함하는 마스크 조립체
KR101853265B1 (ko) * 2011-03-15 2018-05-02 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크
KR20120123918A (ko) * 2011-05-02 2012-11-12 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체의 조립방법
KR101813549B1 (ko) * 2011-05-06 2018-01-02 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크와 그 분할 마스크를 포함한 마스크 프레임 조립체의 조립장치
KR20120131548A (ko) * 2011-05-25 2012-12-05 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치
KR20130028165A (ko) * 2011-06-21 2013-03-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 유닛
KR101295354B1 (ko) * 2011-08-19 2013-08-12 (주)한 송 ｗｈｉｔｅ ＯＬＥＤ용 ＴＶ 제작 공정중의 ｗｈｉｔｅ ＯＬＥＤ 패널 제작을 위한 유기증착 및 봉지용 마스크프레임어셈블리, 그 제조방법 및 제조장치
KR101972920B1 (ko) 2012-01-12 2019-08-23 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 수지판을 구비한 금속 마스크, 증착 마스크, 증착 마스크 장치의 제조 방법, 및 유기 반도체 소자의 제조 방법
KR101443772B1 (ko) * 2012-01-12 2014-09-23 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 스텝 앤드 리피트 증착 마스크의 제조 방법, 이것에 의해 얻어지는 스텝 앤드 리피트 증착 마스크, 및 유기 반도체 소자의 제조 방법
CN103207518A (zh) * 2012-01-16 2013-07-17 昆山允升吉光电科技有限公司 防止下垂的掩模框架及防止下垂的掩模组件
KR101897209B1 (ko) * 2012-08-03 2018-09-11 삼성디스플레이 주식회사 프레임 및 이를 포함하는 마스크 조립체
CN103668052A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种复合掩模板组件
CN103668049A (zh) * 2012-09-07 2014-03-26 昆山允升吉光电科技有限公司 一种大尺寸oled蒸镀用掩模板组件
KR20140047889A (ko) * 2012-10-15 2014-04-23 삼성전기주식회사 기판 고정용 지그 유닛 및 그를 포함하는 기판 이송 장치
CN103866228B (zh) * 2012-12-10 2018-04-27 昆山允升吉光电科技有限公司 一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法
CN103938153A (zh) * 2013-01-22 2014-07-23 昆山允升吉光电科技有限公司 一种蒸镀用掩模组件及相应的掩模板安装方法
CN104018117A (zh) * 2013-03-01 2014-09-03 昆山允升吉光电科技有限公司 一种掩模框架及其对应的掩模组件
KR102131659B1 (ko) * 2013-07-08 2020-07-09 삼성디스플레이 주식회사 마스크 클램핑 장치 및 마스크 제조 방법
CN104419890B (zh) * 2013-08-20 2018-04-27 昆山允升吉光电科技有限公司 一种掩模组件
KR102130546B1 (ko) * 2013-10-11 2020-07-07 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치
US9142778B2 (en) * 2013-11-15 2015-09-22 Universal Display Corporation High vacuum OLED deposition source and system
CN103695842B (zh) * 2013-12-31 2015-12-09 信利半导体有限公司 一种掩膜板及其制作方法
KR102273049B1 (ko) * 2014-07-04 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리
KR102273050B1 (ko) * 2014-09-17 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
CN104561892B (zh) * 2014-12-04 2016-11-23 深圳市华星光电技术有限公司 Oled材料真空热蒸镀用掩膜板
KR102278606B1 (ko) * 2014-12-19 2021-07-19 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 이를 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
CN104611668B (zh) 2015-01-29 2017-03-01 京东方科技集团股份有限公司 用于掩膜板的框架和掩膜板
CN105039907B (zh) * 2015-09-22 2018-08-21 深圳市华星光电技术有限公司 一种掩膜板的固定组件
KR102549358B1 (ko) * 2015-11-02 2023-06-29 삼성디스플레이 주식회사 증착 마스크 조립체 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
KR102586049B1 (ko) 2015-11-13 2023-10-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20170059526A (ko) * 2015-11-20 2017-05-31 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 마스크 프레임 조립체 제조 방법 및 표시 장치 제조 방법
KR102586048B1 (ko) * 2016-01-12 2023-10-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치
KR102420460B1 (ko) * 2016-01-15 2022-07-14 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN105586568B (zh) 2016-03-18 2018-01-26 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板
KR102532305B1 (ko) * 2016-06-15 2023-05-15 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
CN105839052A (zh) * 2016-06-17 2016-08-10 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板以及掩膜板的组装方法
KR102616578B1 (ko) * 2016-06-24 2023-12-22 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이의 제조 방법
CN106086782B (zh) * 2016-06-28 2018-10-23 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置
KR20180023139A (ko) * 2016-08-24 2018-03-07 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리
KR102640219B1 (ko) * 2016-09-12 2024-02-23 삼성디스플레이 주식회사 분할 마스크
KR102696806B1 (ko) 2016-09-22 2024-08-21 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN106480404B (zh) * 2016-12-28 2019-05-03 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜集成框架及蒸镀装置
CN106498343B (zh) * 2017-01-09 2019-12-03 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板和掩膜板的组装方法
WO2018138824A1 (ja) * 2017-01-26 2018-08-02 シャープ株式会社 蒸着用マスク、蒸着用マスクの製造方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法
CN108796433B (zh) * 2017-04-27 2024-01-30 京东方科技集团股份有限公司 掩模片、掩模板及其组装方法
CN107326325B (zh) * 2017-06-30 2019-07-23 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 掩膜板
CN109423600B (zh) * 2017-08-25 2020-01-07 京东方科技集团股份有限公司 掩膜条及其制备方法、掩膜板
KR102506005B1 (ko) * 2017-09-28 2023-03-08 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조 방법
CN107653437B (zh) * 2017-11-08 2019-10-25 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀用的复合掩模板
CN108193169A (zh) * 2018-03-06 2018-06-22 华东师范大学 一种制备二维材料金属电极的掩膜版
CN208266253U (zh) * 2018-05-14 2018-12-21 昆山国显光电有限公司 掩膜板
US11326245B2 (en) 2018-05-14 2022-05-10 Kunshan Go-Visionox Opto-Electronics Co., Ltd. Masks for fabrication of organic lighting-emitting diode devices
CN108977763B (zh) * 2018-06-20 2020-02-14 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 有源矩阵有机发光二极管精细荫罩组件及其制造方法
CN108761998A (zh) * 2018-06-20 2018-11-06 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版张网框架及掩膜版张网工艺
CN108611598B (zh) * 2018-07-27 2021-01-22 京东方科技集团股份有限公司 一种框架结构
KR102668687B1 (ko) * 2018-09-28 2024-05-24 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법
US11613802B2 (en) * 2020-04-17 2023-03-28 Rockwell Collins, Inc. Additively manufactured shadow masks for material deposition control
CN111394692B (zh) * 2020-05-09 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 掩膜版
CN113684444B (zh) * 2021-08-06 2023-08-04 昆山国显光电有限公司 支撑条及张网方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1050478A (ja) 1996-04-19 1998-02-20 Toray Ind Inc 有機電界発光素子およびその製造方法
JP3303667B2 (ja) 1996-06-03 2002-07-22 富士電機株式会社 真空成膜用マスク
JPH10330910A (ja) * 1997-06-04 1998-12-15 Toray Ind Inc シャドーマスクおよびその製造方法
JP4494681B2 (ja) * 2001-08-17 2010-06-30 パイオニア株式会社 堆積膜形成方法およびこれに用いるマスク、並びに有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル
KR100490534B1 (ko) * 2001-12-05 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 유기 전자 발광 소자의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체
US7006202B2 (en) 2002-02-21 2006-02-28 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Mask holder for irradiating UV-rays
CN100464440C (zh) * 2002-06-03 2009-02-25 三星移动显示器株式会社 用于有机电致发光装置的薄层真空蒸发的掩模框组件
JP4439203B2 (ja) * 2003-05-09 2010-03-24 大日本印刷株式会社 多面付けマスク装置及びその組立方法
JP2005165015A (ja) * 2003-12-03 2005-06-23 Seiko Epson Corp 膜形成用マスク、膜形成装置、電気光学装置および電子機器
KR100659057B1 (ko) * 2004-07-15 2006-12-21 삼성에스디아이 주식회사 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 유기 전계 발광표시장치
KR101087233B1 (ko) 2004-08-24 2011-11-29 엘지디스플레이 주식회사 마스크
KR100708654B1 (ko) 2004-11-18 2007-04-18 삼성에스디아이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체
KR100603400B1 (ko) 2004-11-18 2006-07-20 삼성에스디아이 주식회사 평판표시장치의 박막 증착용 마스크
JP2006216289A (ja) * 2005-02-02 2006-08-17 Seiko Epson Corp マスク及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP5084112B2 (ja) * 2005-04-06 2012-11-28 エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド 蒸着膜の形成方法
JP4795842B2 (ja) * 2006-04-26 2011-10-19 日本冶金工業株式会社 蒸着用治具
KR20080054741A (ko) 2006-12-13 2008-06-19 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자용 프레임 마스크 조립체 및 이의제작방법
KR100853544B1 (ko) 2007-04-05 2008-08-21 삼성에스디아이 주식회사 평판 표시장치 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 이를이용한 증착장비
KR100903624B1 (ko) 2007-11-23 2009-06-18 삼성모바일디스플레이주식회사 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체
JP5258278B2 (ja) * 2007-12-13 2013-08-07 キヤノントッキ株式会社 成膜用マスク及びマスク密着方法
JP5297046B2 (ja) * 2008-01-16 2013-09-25 キヤノントッキ株式会社 成膜装置

Cited By (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11920233B2 (en) 2009-05-22 2024-03-05 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US11624107B2 (en) 2009-05-22 2023-04-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10689746B2 (en) 2009-05-22 2020-06-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9873937B2 (en) 2009-05-22 2018-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9224591B2 (en) 2009-10-19 2015-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing a thin film
US10287671B2 (en) 2010-01-11 2019-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9453282B2 (en) 2010-03-11 2016-09-27 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9136310B2 (en) 2010-04-28 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8915213B2 (en) 2011-01-10 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Division mask and method of assembling mask frame assembly by using the same
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US9192959B2 (en) 2011-04-25 2015-11-24 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
US8881676B2 (en) 2011-04-25 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition
US10344376B2 (en) 2011-05-06 2019-07-09 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin film deposition and method of manufacturing the same
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9076982B2 (en) 2011-05-25 2015-07-07 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
KR101104945B1 (ko) * 2011-06-15 2012-01-12 이성 옵티컬 트랙패드의 하우징 제조기구
US8631761B2 (en) 2011-06-21 2014-01-21 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin-film deposition
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8927180B2 (en) 2011-09-15 2015-01-06 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a mask
KR20130134707A (ko) * 2012-05-31 2013-12-10 삼성디스플레이 주식회사 마스크 인장 장치, 마스크 시트 및 이를 포함하는 마스크 제조 시스템
CN102776473A (zh) * 2012-08-10 2012-11-14 深圳市华星光电技术有限公司 有机电致发光二极管有机材料蒸镀用掩模装置
US9039478B2 (en) 2012-10-25 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Apparatus for manufacturing deposition mask assembly for flat panel display
KR20140107037A (ko) * 2013-02-27 2014-09-04 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리 제조 방법
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
KR20160015214A (ko) * 2013-04-22 2016-02-12 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 능동적으로-정렬되는 미세 금속 마스크
US9372395B2 (en) 2013-05-30 2016-06-21 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing a mask
KR20150073624A (ko) * 2013-12-23 2015-07-01 엘지디스플레이 주식회사 스틱 마스크 및 이를 포함하는 박막 형성 장치
CN104846328A (zh) * 2014-02-14 2015-08-19 三星显示有限公司 掩模框架组件及其制造方法
CN104846328B (zh) * 2014-02-14 2019-02-19 三星显示有限公司 掩模框架组件及其制造方法
KR20150109001A (ko) * 2014-03-18 2015-10-01 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 및 그것을 이용하는 증착 장치
US9673424B2 (en) 2014-09-17 2017-06-06 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly, method of manufacturing the same, and method of manufacturing organic light-emitting display device
KR20160033338A (ko) * 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR20170105684A (ko) * 2016-03-09 2017-09-20 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20190013852A (ko) * 2016-05-26 2019-02-11 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크, 프레임 구비 증착 마스크, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법
WO2019054718A3 (ko) * 2017-09-18 2019-05-09 주식회사 티지오테크 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20200013782A (ko) * 2018-05-14 2020-02-07 쿤산 고-비젼녹스 옵토-일렉트로닉스 씨오., 엘티디. 마스크 및 마스크 어셈블리
KR20230164258A (ko) * 2022-05-24 2023-12-04 (주)세우인코퍼레이션 증착 마스크 및 증착 마스크 제조 방법

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